技術(shù)特征：

1.一種高溫氧化膜內(nèi)部的應(yīng)力的測(cè)量方法，其特征在于，所述測(cè)量方法，包括以下步驟：

1)對(duì)被測(cè)試件進(jìn)行預(yù)處理：

將被測(cè)試件的表面打磨拋光，達(dá)到滿足高溫納米壓痕儀對(duì)表面光潔平整度的標(biāo)準(zhǔn)；

2)進(jìn)行位置標(biāo)記：在常溫條件下，利用高溫納米壓痕儀的壓頭在被測(cè)試件的表面做壓痕，同時(shí)，高溫納米壓痕儀記錄下壓痕標(biāo)記位置；

3)對(duì)被測(cè)試件逐段升溫，被測(cè)試件的表面發(fā)生高溫氧化，同時(shí)利用高溫納米壓痕儀的高溫探針對(duì)掃描區(qū)域進(jìn)行連續(xù)掃描，掃描區(qū)域?yàn)槭孪仍O(shè)定的包含壓痕標(biāo)記位置的區(qū)域，并對(duì)掃描區(qū)域成像，記錄氧化過(guò)程中表面形貌演化，并獲得高溫氧化過(guò)程中表面形貌演化圖像，當(dāng)表面形貌發(fā)生明顯粗糙變化時(shí)，被測(cè)試件的氧化達(dá)到臨界點(diǎn)，停止加熱，并以此溫度下的表面形貌演化圖像作為臨界點(diǎn)的表面形貌演化圖像；

4)對(duì)臨界點(diǎn)的表面形貌演化圖像進(jìn)行分析計(jì)算，獲得表面形貌演化過(guò)程中臨界點(diǎn)的平均波長(zhǎng)λ_cr；

5)利用應(yīng)力-表面形貌演化理論，表面形貌演化過(guò)程中臨界點(diǎn)的平均波長(zhǎng)λ_cr與應(yīng)力σ_ox對(duì)應(yīng)的關(guān)系式計(jì)算得到被測(cè)試件的氧化膜內(nèi)部的應(yīng)力，關(guān)系式中負(fù)號(hào)表示應(yīng)力狀態(tài)為壓應(yīng)力，π為圓周率，U_s為氧化膜的表面能，E為彈性模量。

2.如權(quán)利要求1所述的測(cè)量方法，其特征在于，在步驟3)中，對(duì)被測(cè)試件逐段升溫，記錄氧化過(guò)程中表面形貌演化，包括以下步驟：

a)對(duì)對(duì)被測(cè)試件升溫至設(shè)定的溫度點(diǎn)，然后穩(wěn)定在此溫度點(diǎn)；

b)被測(cè)試件的表面發(fā)生高溫氧化，利用高溫納米壓痕儀的高溫探針對(duì)掃描區(qū)域進(jìn)行連續(xù)掃描，并對(duì)掃描區(qū)域成像，記錄在此溫度點(diǎn)下，氧化過(guò)程中的表面形貌演化，并得到表面形貌演化圖像；

c)重復(fù)步驟a)和b)，直至表面形貌演化圖像發(fā)生明顯粗糙變化時(shí)，判定此時(shí)被測(cè)試件的氧化達(dá)到臨界點(diǎn)，升溫和掃描結(jié)束，并以此溫度下的表面形貌演化圖像作為臨界點(diǎn)的表面形貌演化圖像。

3.如權(quán)利要求1所述的測(cè)量方法，其特征在于，所述被測(cè)試件為金屬或合金基體。

4.如權(quán)利要求1所述的測(cè)量方法，其特征在于，步驟3)中，升溫的步長(zhǎng)為30℃～100℃之間。

5.如權(quán)利要求1所述的測(cè)量方法，其特征在于，在步驟4)中，根據(jù)表面形貌演化圖像獲得表面形貌演化過(guò)程中的臨界點(diǎn)的平均波長(zhǎng)λ_cr，包括以下步驟：

a)在獲取的臨界點(diǎn)的表面形貌演化圖像中提取平均線，該平均線即為三維表面形貌的一個(gè)二維截面，反映高度在橫向距離上的變化；

b)將上述提取的平均線進(jìn)行平滑處理，根據(jù)平滑后的曲線計(jì)算得到臨界點(diǎn)的平均波長(zhǎng)。