技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種加速度計(jì)系統(tǒng)，加速度計(jì)探頭及其制備方法，該加速度計(jì)系統(tǒng)包括加速度計(jì)探頭、射頻振蕩電路和頻譜儀。加速度計(jì)探頭包括應(yīng)力集中結(jié)構(gòu)、薄膜體聲波諧振器、支撐固定結(jié)構(gòu)和薄膜體聲波諧振器的電極焊盤；應(yīng)力集中結(jié)構(gòu)通過(guò)支撐固定結(jié)構(gòu)固定在加速度計(jì)探頭上；薄膜體聲波諧振器通過(guò)薄膜體聲波諧振器的電極焊盤與射頻振蕩電路的選頻網(wǎng)絡(luò)端相連。本發(fā)明采用具有大質(zhì)量塊的橋式應(yīng)力集中結(jié)構(gòu)，具有應(yīng)力放大效果，可以提高系統(tǒng)測(cè)量加速度的靈敏度；加速度的大小通過(guò)頻譜儀測(cè)量由薄膜體聲波諧振器作為選頻網(wǎng)絡(luò)部件的射頻振蕩電路輸出射頻振蕩信號(hào)頻率的變化得出，避免了電容式微機(jī)電系統(tǒng)加速度計(jì)寄生電容干擾和結(jié)構(gòu)復(fù)雜的缺點(diǎn)。

技術(shù)研發(fā)人員：湯亮;張忠山;季磊;支萌輝;齊敏;孫泉;喬?hào)|海;張倩
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中國(guó)科學(xué)院聲學(xué)研究所
文檔號(hào)碼：201610675221
技術(shù)研發(fā)日：2016.08.16
技術(shù)公布日：2017.01.11