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一種分子電子型角加速度計動電轉(zhuǎn)換單元的制作方法

文檔序號:12591769閱讀:347來源:國知局
一種分子電子型角加速度計動電轉(zhuǎn)換單元的制作方法與工藝

本發(fā)明屬于角加速度傳感器測量領(lǐng)域,具體涉及一種分子電子型角加速度計動電轉(zhuǎn)換單元。



背景技術(shù):

分子電子型角加速度計的敏感組件是整個傳感器的核心部件,其動電轉(zhuǎn)換單元包括工作液體、電極和轉(zhuǎn)換器,其作用是敏感測量軸方向的角加速度信號并轉(zhuǎn)換成電信號輸出。當(dāng)進行小型分子電子型角加速度計的設(shè)計時,敏感組件的體積也隨之減小,工作液體質(zhì)量、液體通道結(jié)構(gòu)等均發(fā)生改變,從而使得敏感到的角加速度信號動電轉(zhuǎn)換為輸出電信號更加微弱,為確保小型分子電子型角加速度計的輸出特性,需要增大小型分子電子型角加速度計的輸出信號。



技術(shù)實現(xiàn)要素:

本發(fā)明的目的在于提供一種適用于小體積傳感器的測量特性穩(wěn)定的分子電子型角加速度計動電轉(zhuǎn)換單元。

實現(xiàn)本發(fā)明目的的技術(shù)方案:

一種分子電子型角加速度計動電轉(zhuǎn)換單元,它包括工作液體、轉(zhuǎn)換器、電極、工作液體補償器、殼體;殼體為雙層球形結(jié)構(gòu),其內(nèi)部為環(huán)形空腔;工作液體充滿殼體內(nèi)的環(huán)形空腔;殼體環(huán)形空腔的內(nèi)壁與轉(zhuǎn)換器連接;轉(zhuǎn)換器的外形為圓柱體,它的圓柱側(cè)面與殼體環(huán)形空腔的內(nèi)壁連接;兩片電極緊貼在轉(zhuǎn)換器兩側(cè)圓面上;殼體內(nèi)側(cè)的內(nèi)壁與工作液體補償器連接;工作液體補償器為球形空腔,通過一根毛細(xì)管與殼體的環(huán)形空腔連通。

所述的轉(zhuǎn)換器是由粒徑50μ~100μ范圍的玻璃微珠或玻璃粉末材料制作的多孔隙芯片。

所述的電極的結(jié)構(gòu)為螺旋形,其最大直徑與轉(zhuǎn)換器直徑相同;螺旋相鄰兩圈金屬絲間的間距為1mm。

所述的工作液體補償器內(nèi)并充有一部分氣體,用以補償不同溫度下工作液體的體積變化。

所述的電極材料為鉑金;殼體和轉(zhuǎn)換器的材料為鉑組系玻璃。

本發(fā)明的有益技術(shù)效果在于:本發(fā)明所提供的一種分子電子型角加速度計 動電轉(zhuǎn)換單元通過螺旋電極的設(shè)計及使用大粒徑玻璃原料制作轉(zhuǎn)換器,來實現(xiàn)增大分子電子型角加速度計敏感組件的輸出信號,成功解決小型分子電子型角加速度計因體積減小液體慣性質(zhì)量減少而對輸出特性的影響,工藝上容易實現(xiàn),有利于工程應(yīng)用。

附圖說明

圖1為本發(fā)明所提供的一種分子電子型角加速度計動電轉(zhuǎn)換單元的結(jié)構(gòu)示意圖;

圖2為電極在A-A方向的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中:1.工作液體、2.轉(zhuǎn)換器、3.電極、4.工作液體補償器、5.殼體。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明作進一步詳細(xì)說明。

如圖1所示,本發(fā)明所提供的一種分子電子型角加速度計動電轉(zhuǎn)換單元包括工作液體1、轉(zhuǎn)換器2、電極3、工作液體補償器4、殼體5。殼體5為雙層球形結(jié)構(gòu),其內(nèi)部為環(huán)形空腔。殼體5采用玻璃或陶瓷材料。工作液體1為有機溶液,充滿殼體5內(nèi)的環(huán)形空腔。殼體5環(huán)形空腔的內(nèi)壁與轉(zhuǎn)換器2連接。轉(zhuǎn)換器2是由粒徑50μ~100μ范圍的玻璃微珠或玻璃粉末材料制作的多孔隙芯片,轉(zhuǎn)換器2的外形為圓柱體,它的結(jié)構(gòu)尺寸范圍為:Φ3mm~Φ6mm,厚度為2mm,其圓柱側(cè)面與殼體5環(huán)形空腔的內(nèi)壁密封連接。兩片電極3緊貼在轉(zhuǎn)換器2兩側(cè)圓面上。殼體5內(nèi)側(cè)的內(nèi)壁與工作液體補償器4連接。工作液體補償器4為球形空腔,通過一根毛細(xì)管與殼體5的環(huán)形空腔連通。工作液體補償器4內(nèi)并未充滿工作液體,還充有一部分氣體,用以補償不同溫度下工作液體1的體積變化。

如圖2所示,電極3的結(jié)構(gòu)為螺旋形,其最大直徑與轉(zhuǎn)換器2直徑相同。螺旋相鄰兩圈金屬絲間的間距為1mm。電極3材料的選擇原則為:不與工作液體1發(fā)生化學(xué)反應(yīng)、與殼體5和轉(zhuǎn)換器2材料膨脹系數(shù)相近的適宜做電極的金屬。在本實施例中,電極3材料為鉑金。殼體5和轉(zhuǎn)換器2的材料為鉑組系玻璃。

當(dāng)本發(fā)明的分子電子型角加速度計動電轉(zhuǎn)換單元受到外加一個角加速度時,轉(zhuǎn)換器2受力面的壓力可表示為:

式中,

ΔP,壓力;

m,液體慣性質(zhì)量;

角加速度;

k1,比例常數(shù);

流動電勢與壓力成正比:

E=k2εζΔP/4πηλ (2)

式中,

E,流動電勢;

k2,比例常數(shù),與轉(zhuǎn)換器多孔結(jié)構(gòu)的有效參數(shù)有關(guān);

ε,液體介電常數(shù);

ζ,電動電勢,即電動過程中帶電表面與電解質(zhì)溶液之間的剪切面的電勢;

η,液體粘度;

λ,電導(dǎo)率;

將(1)式代入(2)式中,可得到流動電勢:

從而可以得到流動電勢,并反推得到角加速度

本發(fā)明的工作過程為:當(dāng)外界角加速度信號輸入時,工作液體1作為慣性質(zhì)量繞測量軸進行旋轉(zhuǎn)運動,在轉(zhuǎn)換器2兩側(cè)形成壓力差。在壓力差的作用下,工作液體1流經(jīng)轉(zhuǎn)換器2內(nèi)部的孔隙。由于流動電勢效應(yīng),工作液體1帶動孔隙固液界面附近可移動的帶電離子流動,形成流動電流,通過電極3上的電化學(xué)反應(yīng)或者雙層電極電容的再充電,將離子流轉(zhuǎn)變成金屬導(dǎo)線電流輸出,完成對角加速度信號的測量。

上面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明作了詳細(xì)說明,但是本發(fā)明并不限于上述實施例,在本領(lǐng)域普通技術(shù)人員所具備的知識范圍內(nèi),還可以在不脫離本發(fā)明宗旨的前提下作出各種變化。本發(fā)明中未作詳細(xì)描述的內(nèi)容均可以采用現(xiàn)有技術(shù)。

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