技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提出了一種上下分立的雙電極分布式微陀螺儀及其制備方法，包括：?jiǎn)尉Ч杌?、中心固定支撐柱、微型諧振子、上電極、下電極、玻璃基底。所述上電極為多個(gè)，多個(gè)上電極分布均勻在微型諧振子的上側(cè)，構(gòu)成均勻分布式上電極；所述下電極為多個(gè)，多個(gè)下電極均勻分布在微型諧振子的下側(cè)，構(gòu)成均勻分布式下電極；本發(fā)明結(jié)合MEMS體硅加工工藝和表面硅加工工藝進(jìn)行制作；本發(fā)明可提供不同的驅(qū)動(dòng)、檢測(cè)方式及不同的工作模式，可工作在需要復(fù)雜控制的系統(tǒng)中；本發(fā)明可利用下電極和上電極分別進(jìn)行驅(qū)動(dòng)和檢測(cè)，減小驅(qū)動(dòng)電極和檢測(cè)電極之間的寄生電容，提高檢測(cè)精度。

技術(shù)研發(fā)人員：張衛(wèi)平;歐彬;劉朝陽(yáng);唐健;孫殿竣;邢亞亮;魏志方;崔峰;成宇翔;趙萬(wàn)良;劉瑞鑫
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海交通大學(xué);上海航天控制技術(shù)研究所
文檔號(hào)碼：201610635051
技術(shù)研發(fā)日：2016.08.04
技術(shù)公布日：2017.01.11