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微觀缺陷檢測(cè)裝置及其控制方法、顯微鏡與流程

文檔序號(hào):12358034閱讀:來(lái)源:國(guó)知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種微觀缺陷檢測(cè)裝置及其控制方法、顯微鏡,屬于顯示技術(shù)領(lǐng)域。所述微觀缺陷檢測(cè)裝置包括:檢測(cè)組件和標(biāo)記組件,所述檢測(cè)組件和所述標(biāo)記組件均設(shè)置在顯微鏡上,所述檢測(cè)組件用于檢測(cè)被測(cè)對(duì)象上存在微觀缺陷的第一區(qū)域;所述標(biāo)記組件用于在所述檢測(cè)組件檢測(cè)到所述第一區(qū)域后,采用第一標(biāo)記印章標(biāo)記所述第一區(qū)域中的微觀缺陷。本發(fā)明解決了現(xiàn)有技術(shù)中微觀缺陷檢測(cè)裝置的功能較單一的問(wèn)題,實(shí)現(xiàn)了豐富了微觀缺陷檢測(cè)裝置的功能的效果,用于檢測(cè)微觀缺陷。

技術(shù)研發(fā)人員:王鵬;劉勛
受保護(hù)的技術(shù)使用者:京東方科技集團(tuán)股份有限公司;北京京東方顯示技術(shù)有限公司
文檔號(hào)碼:201610580102
技術(shù)研發(fā)日:2016.07.21
技術(shù)公布日:2017.01.04

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