本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種微觀缺陷檢測裝置及其控制方法、顯微鏡。

背景技術(shù)：

在薄膜晶體管(英文：Thin Film Transistor；簡稱：TFT)領(lǐng)域中，顯微鏡是使用非常普遍的設(shè)備。在分析被測對(duì)象(如顯示面板)的不良時(shí)，可以使用顯微鏡觀察被測對(duì)象的微觀形貌，檢測被測對(duì)象上存在微觀缺陷(如顯示面板的不良點(diǎn))的區(qū)域，然后標(biāo)記該區(qū)域中的微觀缺陷，進(jìn)行微觀分析等。

現(xiàn)有技術(shù)中有一種微觀缺陷檢測裝置，在使用該裝置檢測被測對(duì)象上存在微觀缺陷的區(qū)域后，采用人工標(biāo)記的方式標(biāo)記該區(qū)域中的微觀缺陷，具體的，工作人員用記號(hào)筆在被測對(duì)象的表面畫圈，使該微觀缺陷位于工作人員所畫的圈內(nèi)。由于顯微鏡的存在，工作人員每次都是斜視微觀缺陷，完成微觀缺陷的標(biāo)記過程。

由于在使用該裝置檢測被測對(duì)象上存在微觀缺陷的區(qū)域后，需要采用人工標(biāo)記的方式對(duì)該微觀缺陷進(jìn)行標(biāo)記，因此，微觀缺陷檢測裝置的功能較單一。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為了解決現(xiàn)有技術(shù)中微觀缺陷檢測裝置的功能較單一的問題，本發(fā)明提供了一種微觀缺陷檢測裝置及其控制方法、顯微鏡。所述技術(shù)方案如下：

第一方面，提供了一種微觀缺陷檢測裝置，所述微觀缺陷檢測裝置包括：檢測組件和標(biāo)記組件，所述檢測組件和所述標(biāo)記組件均設(shè)置在顯微鏡上，

所述檢測組件用于檢測被測對(duì)象上存在微觀缺陷的第一區(qū)域；

所述標(biāo)記組件用于在所述檢測組件檢測到所述第一區(qū)域后，采用第一標(biāo)記印章標(biāo)記所述第一區(qū)域中的微觀缺陷。

可選的，所述標(biāo)記組件還用于在所述檢測組件檢測到所述第一區(qū)域后，在所述第一區(qū)域內(nèi)確定所述被測對(duì)象上存在所述微觀缺陷的第二區(qū)域，所述第二區(qū)域的面積小于所述第一區(qū)域的面積；

所述標(biāo)記組件還用于在檢測到所述第二區(qū)域后，采用第二標(biāo)記印章標(biāo)記所述第二區(qū)域中的微觀缺陷。

可選的，所述標(biāo)記組件包括依次連接的壓力感測部件、驅(qū)動(dòng)部件和標(biāo)記部件，

所述標(biāo)記部件用于在所述驅(qū)動(dòng)部件的推力作用下，與所述被測對(duì)象的表面接觸，并產(chǎn)生所述第一標(biāo)記印章；

所述壓力感測部件用于在檢測到所述標(biāo)記組件受到的壓力達(dá)到預(yù)設(shè)壓力值時(shí)，向所述驅(qū)動(dòng)部件發(fā)送提示信號(hào)，以便于所述驅(qū)動(dòng)部件根據(jù)所述提示信號(hào)帶動(dòng)所述標(biāo)記組件遠(yuǎn)離所述被測對(duì)象，所述提示信號(hào)用于指示所述驅(qū)動(dòng)部件控制所述標(biāo)記組件遠(yuǎn)離所述被測對(duì)象。

可選的，所述驅(qū)動(dòng)部件包括：控制單元、推動(dòng)桿、彈性元件和推動(dòng)元件，

所述推動(dòng)元件設(shè)置在所述標(biāo)記部件遠(yuǎn)離所述被測對(duì)象的一端，所述彈性元件設(shè)置在所述壓力感測部件和所述推動(dòng)元件之間，所述控制單元與所述推動(dòng)桿電連接，所述推動(dòng)桿與所述壓力感測部件接觸，所述控制單元用于控制所述推動(dòng)桿靠近或遠(yuǎn)離所述被測對(duì)象，帶動(dòng)所述標(biāo)記組件靠近或遠(yuǎn)離所述被測對(duì)象。

可選的，所述壓力感測部件、所述彈性元件、所述推動(dòng)元件和所述標(biāo)記部件均呈圓環(huán)狀，所述標(biāo)記組件還包括定位部件，

所述定位部件貫穿設(shè)置在所述壓力感測部件、所述彈性元件、所述推動(dòng)元件和所述標(biāo)記部件的中空區(qū)域，所述定位部件用于在所述檢測組件檢測到所述第一區(qū)域后，在所述第一區(qū)域內(nèi)確定所述被測對(duì)象上存在所述微觀缺陷的第二區(qū)域。

可選的，所述標(biāo)記組件的長度方向與承載所述被測對(duì)象的承載臺(tái)的臺(tái)面垂直。

可選的，所述第一標(biāo)記印章和所述第二標(biāo)記印章均包括第一印章，所述第一印章呈圓形，所述微觀缺陷位于所述第一印章內(nèi)，所述第一印章為人眼可識(shí)別的印章。

可選的，所述第一標(biāo)記印章和所述第二標(biāo)記印章還包括第二印章，所述第二印章呈圓形，所述第二印章位于所述第一印章內(nèi)，所述第二印章為人眼不可識(shí)別的印章。

可選的，所述壓力感測部件還用于在檢測到所述標(biāo)記組件受到的壓力達(dá)到所述預(yù)設(shè)壓力值時(shí)，發(fā)出告警信號(hào)，所述告警信號(hào)用于指示所述標(biāo)記組件受到的壓力達(dá)到所述預(yù)設(shè)壓力值。

可選的，所述檢測組件為第一倍率的物鏡；

所述定位部件為第二倍率的物鏡，所述第二倍率大于所述第一倍率。

可選的，所述標(biāo)記部件包括儲(chǔ)油機(jī)構(gòu)和印章機(jī)構(gòu)，所述儲(chǔ)油機(jī)構(gòu)位于所述推動(dòng)元件和所述印章機(jī)構(gòu)之間，所述印章機(jī)構(gòu)用于在受到壓力后，擠壓所述儲(chǔ)油機(jī)構(gòu)出油，以產(chǎn)生所述第一標(biāo)記印章或所述第二標(biāo)記印章。

可選的，所述壓力感測部件為壓力傳感器；

所述彈性元件為彈簧；

所述推動(dòng)元件為活塞。

可選的，所述儲(chǔ)油機(jī)構(gòu)為儲(chǔ)油墊；

所述印章機(jī)構(gòu)為光敏墊。

第二方面，提供了一種微觀缺陷檢測裝置的控制方法，所述微觀缺陷檢測裝置包括：檢測組件和標(biāo)記組件，所述檢測組件和所述標(biāo)記組件均設(shè)置在顯微鏡上，所述方法包括：

采用所述檢測組件檢測被測對(duì)象上存在微觀缺陷的第一區(qū)域；

控制所述標(biāo)記組件采用第一標(biāo)記印章標(biāo)記所述第一區(qū)域中的微觀缺陷。

可選的，在所述采用所述檢測組件檢測被測對(duì)象上存在微觀缺陷的第一區(qū)域之后，所述方法還包括：

采用所述標(biāo)記組件在所述第一區(qū)域內(nèi)確定所述被測對(duì)象上存在所述微觀缺陷的第二區(qū)域，所述第二區(qū)域的面積小于所述第一區(qū)域的面積；

控制所述標(biāo)記組件采用第二標(biāo)記印章標(biāo)記所述第二區(qū)域中的微觀缺陷。

可選的，所述標(biāo)記組件包括依次連接的壓力感測部件、驅(qū)動(dòng)部件和標(biāo)記部件，

所述控制所述標(biāo)記組件采用第一標(biāo)記印章標(biāo)記所述第一區(qū)域中的微觀缺陷，包括：

控制所述驅(qū)動(dòng)部件推動(dòng)所述標(biāo)記部件，以使所述標(biāo)記部件在所述驅(qū)動(dòng)部件的推力作用下，與所述被測對(duì)象的表面接觸，并產(chǎn)生所述第一標(biāo)記印章；

采用所述壓力感測部件檢測所述標(biāo)記組件受到的壓力；

其中，當(dāng)所述壓力達(dá)到預(yù)設(shè)壓力值時(shí)，所述壓力感測部件能夠向所述驅(qū)動(dòng)部件發(fā)送提示信號(hào)，所述驅(qū)動(dòng)部件根據(jù)所述提示信號(hào)帶動(dòng)所述標(biāo)記組件遠(yuǎn)離所述被測對(duì)象，所述提示信號(hào)用于指示所述驅(qū)動(dòng)部件控制所述標(biāo)記組件遠(yuǎn)離所述被測對(duì)象。

可選的，所述驅(qū)動(dòng)部件包括：控制單元、推動(dòng)桿、彈性元件和推動(dòng)元件，所述推動(dòng)元件設(shè)置在所述標(biāo)記部件遠(yuǎn)離所述被測對(duì)象的一端，所述彈性元件設(shè)置在所述壓力感測部件和所述推動(dòng)元件之間，所述控制單元與所述推動(dòng)桿電連接，所述推動(dòng)桿與所述壓力感測部件接觸，

所述控制所述驅(qū)動(dòng)部件推動(dòng)所述標(biāo)記部件，包括：

通過所述控制單元控制所述推動(dòng)桿靠近所述被測對(duì)象，以推動(dòng)所述標(biāo)記部件；

所述驅(qū)動(dòng)部件根據(jù)所述提示信號(hào)帶動(dòng)所述標(biāo)記組件遠(yuǎn)離所述被測對(duì)象，包括：

所述控制單元根據(jù)所述提示信號(hào)，操縱所述推動(dòng)桿遠(yuǎn)離所述被測對(duì)象，以帶動(dòng)所述標(biāo)記組件遠(yuǎn)離所述被測對(duì)象。

可選的，所述壓力感測部件、所述彈性元件、所述推動(dòng)元件和所述標(biāo)記部件均呈圓環(huán)狀，所述標(biāo)記組件還包括定位部件，所述定位部件貫穿設(shè)置在所述壓力感測部件、所述彈性元件、所述推動(dòng)元件和所述標(biāo)記部件的中空區(qū)域，

所述采用所述標(biāo)記組件在所述第一區(qū)域內(nèi)確定所述被測對(duì)象上存在所述微觀缺陷的第二區(qū)域，包括：

采用所述定位部件在所述第一區(qū)域內(nèi)確定所述被測對(duì)象上存在所述微觀缺陷的第二區(qū)域。

第三方面，提供了一種顯微鏡，包括：第一方面所述的微觀缺陷檢測裝置。

本發(fā)明提供了一種微觀缺陷檢測裝置及其控制方法、顯微鏡，該微觀缺陷檢測裝置包括：檢測組件和標(biāo)記組件，通過檢測組件能夠檢測被測對(duì)象上存在微觀缺陷的第一區(qū)域，通過標(biāo)記組件能夠在檢測組件檢測到第一區(qū)域后，采用第一標(biāo)記印章標(biāo)記第一區(qū)域中的微觀缺陷，微觀缺陷檢測裝置不僅能夠檢測存在微觀缺陷的區(qū)域，還能夠?qū)υ撐⒂^缺陷進(jìn)行標(biāo)記，相較于現(xiàn)有技術(shù)，豐富了微觀缺陷檢測裝置的功能。

應(yīng)當(dāng)理解的是，以上的一般描述和后文的細(xì)節(jié)描述僅是示例性和解釋性的，并不能限制本發(fā)明。

附圖說明

為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1-1是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種微觀缺陷檢測裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖1-2是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種標(biāo)記組件的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖1-3是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種又一種標(biāo)記組件的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2-1是本發(fā)明實(shí)施例提供的另一種標(biāo)記組件的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2-2是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種第一標(biāo)記印章的示意圖；

圖3-1是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種微觀缺陷檢測裝置的控制方法的流程圖；

圖3-2是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種控制標(biāo)記組件采用第一標(biāo)記印章標(biāo)記第一區(qū)域中的微觀缺陷的流程圖。

通過上述附圖，已示出本發(fā)明明確的實(shí)施例，后文中將有更詳細(xì)的描述。這些附圖和文字描述并不是為了通過任何方式限制本發(fā)明構(gòu)思的范圍，而是通過參考特定實(shí)施例為本領(lǐng)域技術(shù)人員說明本發(fā)明的概念。

具體實(shí)施方式

為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明實(shí)施方式作進(jìn)一步地詳細(xì)描述。

本發(fā)明實(shí)施例提供了一種微觀缺陷檢測裝置100，如圖1-1所示，該微觀缺陷檢測裝置100包括：檢測組件110和標(biāo)記組件120，檢測組件110和標(biāo)記組件120均設(shè)置在顯微鏡130上。

檢測組件110用于檢測被測對(duì)象上存在微觀缺陷的第一區(qū)域。示例的，被測對(duì)象可以為顯示面板。

標(biāo)記組件120用于在檢測組件110檢測到第一區(qū)域后，采用第一標(biāo)記印章標(biāo)記第一區(qū)域中的微觀缺陷。

綜上所述，本發(fā)明實(shí)施例提供的微觀缺陷檢測裝置，該微觀缺陷檢測裝置包括：檢測組件和標(biāo)記組件，通過檢測組件能夠檢測被測對(duì)象上存在微觀缺陷的第一區(qū)域，通過標(biāo)記組件能夠在檢測組件檢測到第一區(qū)域后，采用第一標(biāo)記印章標(biāo)記第一區(qū)域中的微觀缺陷，微觀缺陷檢測裝置不僅能夠檢測存在微觀缺陷的區(qū)域，還能夠?qū)υ撐⒂^缺陷進(jìn)行標(biāo)記，相較于現(xiàn)有技術(shù)，豐富了微觀缺陷檢測裝置的功能。

進(jìn)一步的，標(biāo)記組件還用于在檢測組件檢測到第一區(qū)域后，在第一區(qū)域內(nèi)確定被測對(duì)象上存在微觀缺陷的第二區(qū)域。該第二區(qū)域的面積小于第一區(qū)域的面積。

標(biāo)記組件還用于在檢測到第二區(qū)域后，采用第二標(biāo)記印章標(biāo)記第二區(qū)域中的微觀缺陷。如先采用低倍率物鏡檢測第一區(qū)域，再切換到高倍率物鏡如50倍物鏡確定面積小于第一區(qū)域的第二區(qū)域，進(jìn)而采用第二標(biāo)記印章標(biāo)記第二區(qū)域中的微觀缺陷。這樣一來，提高了微觀缺陷的標(biāo)記精度。

可選的，如圖1-2所示，標(biāo)記組件包括依次連接的壓力感測部件121、驅(qū)動(dòng)部件122和標(biāo)記部件123。

標(biāo)記部件123用于在驅(qū)動(dòng)部件122的推力作用下，與被測對(duì)象140的表面接觸，并產(chǎn)生第一標(biāo)記印章(圖1-2中未畫出)。采用該標(biāo)記組件標(biāo)記微觀缺陷的速度較快，提高了整個(gè)標(biāo)記工作的效率，且該第一標(biāo)記印章的形式統(tǒng)一，便于二次查找。

壓力感測部件121用于在檢測到標(biāo)記組件受到的壓力達(dá)到預(yù)設(shè)壓力值時(shí)，向驅(qū)動(dòng)部件122發(fā)送提示信號(hào)，以便于驅(qū)動(dòng)部件122根據(jù)提示信號(hào)帶動(dòng)標(biāo)記組件遠(yuǎn)離被測對(duì)象140。該提示信號(hào)用于指示驅(qū)動(dòng)部件122控制標(biāo)記組件遠(yuǎn)離被測對(duì)象140。驅(qū)動(dòng)部件能夠控制標(biāo)記組件遠(yuǎn)離被測對(duì)象，避免了被測對(duì)象因受到過大壓力而損壞。

可選的，壓力感測部件可以為壓力傳感器。

可選的，如圖1-3所示，驅(qū)動(dòng)部件122包括：控制單元(圖1-3中未畫出)、推動(dòng)桿1222、彈性元件1223和推動(dòng)元件1224。

推動(dòng)元件1224設(shè)置在標(biāo)記部件123遠(yuǎn)離被測對(duì)象的一端?？蛇x的，推動(dòng)元件為活塞。

彈性元件1223設(shè)置在壓力感測部件121和推動(dòng)元件1224之間?？蛇x的，彈性元件為彈簧。

控制單元與推動(dòng)桿1222電連接，推動(dòng)桿1222與壓力感測部件121接觸?？刂茊卧糜诳刂仆苿?dòng)桿1222靠近或遠(yuǎn)離被測對(duì)象，帶動(dòng)標(biāo)記組件120靠近或遠(yuǎn)離被測對(duì)象。該控制單元能夠控制推動(dòng)桿沿著Z軸反方向(如圖1-3中z所指示的方向)靠近被測對(duì)象，帶動(dòng)標(biāo)記組件沿著Z軸反方向靠近被測對(duì)象，也能夠控制推動(dòng)桿沿著Z軸正方向(如圖1-3中z所指示方向的反方向)遠(yuǎn)離被測對(duì)象，帶動(dòng)標(biāo)記組件沿著Z軸正方向遠(yuǎn)離被測對(duì)象。

可選的，如圖2-1所示，壓力感測部件121、彈性元件1223、推動(dòng)元件1224和標(biāo)記部件123均呈圓環(huán)狀，標(biāo)記組件還可以包括定位部件124。

定位部件124貫穿設(shè)置在壓力感測部件121、彈性元件1223、推動(dòng)元件1224和標(biāo)記部件123的中空區(qū)域。

定位部件124用于在檢測組件檢測到第一區(qū)域后，在第一區(qū)域內(nèi)確定被測對(duì)象上存在微觀缺陷的第二區(qū)域?？蛇x的，檢測組件可以為第一倍率的物鏡；定位部件可以為第二倍率的物鏡，第二倍率大于第一倍率。如可以先采用低倍率物鏡(如5倍物鏡)檢測第一區(qū)域，再切換到高倍率物鏡如50倍物鏡確定面積小于第一區(qū)域的第二區(qū)域。

相應(yīng)的，標(biāo)記組件用于在定位部件124檢測到第二區(qū)域后，采用第二標(biāo)記印章標(biāo)記第二區(qū)域中的微觀缺陷。如先采用低倍率物鏡檢測第一區(qū)域，再切換到高倍率物鏡如50倍物鏡確定面積小于第一區(qū)域的第二區(qū)域，進(jìn)而采用第二標(biāo)記印章標(biāo)記第二區(qū)域中的微觀缺陷。這樣一來，提高了微觀缺陷的標(biāo)記精度。同時(shí)，采用該標(biāo)記組件標(biāo)記微觀缺陷的速度較快，提高了整個(gè)標(biāo)記工作的效率，且該第二標(biāo)記印章的形式統(tǒng)一，便于二次查找。

可選的，標(biāo)記組件的長度方向與承載被測對(duì)象的承載臺(tái)的臺(tái)面垂直。由于現(xiàn)有技術(shù)中，工作人員每次都是斜視微觀缺陷以完成微觀缺陷的標(biāo)記過程，而本發(fā)明實(shí)施例中的標(biāo)記組件的長度方向與承載被測對(duì)象的承載臺(tái)的臺(tái)面垂直，因此可以進(jìn)一步提高微觀缺陷的標(biāo)記精度。

如圖1-3所示，標(biāo)記部件123包括儲(chǔ)油機(jī)構(gòu)1231和印章機(jī)構(gòu)1232，儲(chǔ)油機(jī)構(gòu)1231位于推動(dòng)元件1224和印章機(jī)構(gòu)1232之間，印章機(jī)構(gòu)1232用于在受到壓力后，擠壓儲(chǔ)油機(jī)構(gòu)1231出油，以產(chǎn)生第一標(biāo)記印章或第二標(biāo)記印章。示例的，儲(chǔ)油機(jī)構(gòu)可以為儲(chǔ)油墊；印章機(jī)構(gòu)可以為光敏墊。需要說明的是，圖2-1中的1231為儲(chǔ)油機(jī)構(gòu)，1232為印章機(jī)構(gòu)。

可選的，第一標(biāo)記印章和第二標(biāo)記印章均包括第一印章，第一印章呈圓形，微觀缺陷位于第一印章內(nèi)，第一印章為人眼可識(shí)別的印章。第一印章為人眼可識(shí)別的印章，所以后續(xù)工作人員可以通過第一印章很好地識(shí)別微觀缺陷。

可選的，第一標(biāo)記印章和第二標(biāo)記印章還包括第二印章，第二印章呈圓形，第二印章位于第一印章內(nèi)，第二印章為人眼不可識(shí)別的印章。第二印章為人眼不可識(shí)別的印章，所以后續(xù)工作人員可以通過第二印章對(duì)微觀缺陷進(jìn)行微觀分析。示例的，圖2-2示出了包括第一印章1411和第二印章1412的第一標(biāo)記印章141的示意圖，圖2-2中，121為壓力感測部件，1223為彈性元件，1224為推動(dòng)元件，1231為儲(chǔ)油機(jī)構(gòu)，1232為印章機(jī)構(gòu)，140為被測對(duì)象。

可選的，壓力感測部件還用于在檢測到標(biāo)記組件受到的壓力達(dá)到預(yù)設(shè)壓力值時(shí)，發(fā)出告警信號(hào)。該告警信號(hào)用于指示標(biāo)記組件受到的壓力達(dá)到預(yù)設(shè)壓力值。壓力感測部件及時(shí)發(fā)出報(bào)警信號(hào)，這樣一來，避免了被測對(duì)象因受到過大壓力而損壞。

綜上所述，本發(fā)明實(shí)施例提供的微觀缺陷檢測裝置，該微觀缺陷檢測裝置包括：檢測組件和標(biāo)記組件，通過檢測組件能夠檢測被測對(duì)象上存在微觀缺陷的第一區(qū)域，通過標(biāo)記組件能夠在檢測組件檢測到第一區(qū)域后，采用第一標(biāo)記印章標(biāo)記第一區(qū)域中的微觀缺陷，所以該微觀缺陷檢測裝置不僅能夠檢測存在微觀缺陷的區(qū)域，還能夠?qū)υ撐⒂^缺陷進(jìn)行標(biāo)記，相較于現(xiàn)有技術(shù)，豐富了微觀缺陷檢測裝置的功能，且標(biāo)記速度較快，標(biāo)記的精度較高，標(biāo)記的形式較統(tǒng)一，便于二次查找。

本發(fā)明實(shí)施例提供了一種微觀缺陷檢測裝置的控制方法，如圖1-1所示，該微觀缺陷檢測裝置100包括：檢測組件110和標(biāo)記組件120，檢測組件110和標(biāo)記組件120均設(shè)置在顯微鏡130上，如圖3-1所示，該方法可以包括：

步驟301、采用檢測組件檢測被測對(duì)象上存在微觀缺陷的第一區(qū)域。

步驟302、控制標(biāo)記組件采用第一標(biāo)記印章標(biāo)記第一區(qū)域中的微觀缺陷。

綜上所述，本發(fā)明實(shí)施例提供的微觀缺陷檢測裝置的控制方法，通過該方法，能夠采用檢測組件檢測被測對(duì)象上存在微觀缺陷的第一區(qū)域，再控制標(biāo)記組件采用第一標(biāo)記印章標(biāo)記第一區(qū)域中的微觀缺陷，使得微觀缺陷檢測裝置不僅能夠檢測存在微觀缺陷的區(qū)域，還能夠?qū)υ撐⒂^缺陷進(jìn)行標(biāo)記，相較于現(xiàn)有技術(shù)，豐富了微觀缺陷檢測裝置的功能。

進(jìn)一步的，在步驟301之后，該方法還可以包括：

采用標(biāo)記組件在第一區(qū)域內(nèi)確定被測對(duì)象上存在微觀缺陷的第二區(qū)域，該第二區(qū)域的面積小于第一區(qū)域的面積；

控制標(biāo)記組件采用第二標(biāo)記印章標(biāo)記第二區(qū)域中的微觀缺陷。

可選的，如圖1-2所示，標(biāo)記組件包括依次連接的壓力感測部件121、驅(qū)動(dòng)部件122和標(biāo)記部件123。具體的，如圖3-2所示，步驟302可以包括：

步驟3021、控制驅(qū)動(dòng)部件推動(dòng)標(biāo)記部件，以使標(biāo)記部件在驅(qū)動(dòng)部件的推力作用下，與被測對(duì)象的表面接觸，并產(chǎn)生第一標(biāo)記印章。

如圖1-2所示，通過該方法，可以控制驅(qū)動(dòng)部件122推動(dòng)標(biāo)記部件123，以使標(biāo)記部件123在驅(qū)動(dòng)部件122的推力作用下，與被測對(duì)象140的表面接觸，并產(chǎn)生第一標(biāo)記印章。通過該方法，采用該標(biāo)記組件標(biāo)記微觀缺陷的速度較快，提高了整個(gè)標(biāo)記工作的效率，且標(biāo)記部件產(chǎn)生的第一標(biāo)記印章的形式統(tǒng)一，便于二次查找。

步驟3022、采用壓力感測部件檢測標(biāo)記組件受到的壓力。

如圖1-2所示，采用壓力感測部件121檢測標(biāo)記組件受到的壓力。

其中，當(dāng)壓力達(dá)到預(yù)設(shè)壓力值時(shí)，如圖1-2所示，壓力感測部件121能夠向驅(qū)動(dòng)部件122發(fā)送提示信號(hào)，驅(qū)動(dòng)部件122根據(jù)該提示信號(hào)帶動(dòng)標(biāo)記組件遠(yuǎn)離被測對(duì)象140，該提示信號(hào)用于指示驅(qū)動(dòng)部件122控制標(biāo)記組件遠(yuǎn)離被測對(duì)象140。

如圖1-3所示，驅(qū)動(dòng)部件122包括：控制單元、推動(dòng)桿1222、彈性元件1223和推動(dòng)元件1224。其中，推動(dòng)元件1224設(shè)置在標(biāo)記部件123遠(yuǎn)離被測對(duì)象的一端。彈性元件1223設(shè)置在壓力感測部件121和推動(dòng)元件1224之間?？刂茊卧c推動(dòng)桿1222電連接，推動(dòng)桿1222與壓力感測部件121接觸。具體的，步驟3021可以包括：通過控制單元控制推動(dòng)桿1222靠近被測對(duì)象，以推動(dòng)標(biāo)記部件123?？刂茊卧刂仆苿?dòng)桿1222靠近被測對(duì)象，通過壓力感測部件121、彈性元件1223和推動(dòng)元件1224推動(dòng)標(biāo)記部件123，使得標(biāo)記部件123與被測對(duì)象的表面接觸，并產(chǎn)生第一標(biāo)記印章。

其中，驅(qū)動(dòng)部件根據(jù)提示信號(hào)帶動(dòng)標(biāo)記組件遠(yuǎn)離被測對(duì)象，可以包括：

控制單元根據(jù)提示信號(hào)，操縱推動(dòng)桿遠(yuǎn)離被測對(duì)象，以帶動(dòng)標(biāo)記組件遠(yuǎn)離被測對(duì)象，標(biāo)記過程完成。

如圖2-1所示，壓力感測部件121、彈性元件1223、推動(dòng)元件1224和標(biāo)記部件123均呈圓環(huán)狀，標(biāo)記組件還包括定位部件124。定位部件124貫穿設(shè)置在壓力感測部件121、彈性元件1223、推動(dòng)元件1224和標(biāo)記部件123的中空區(qū)域。相應(yīng)的，采用標(biāo)記組件在第一區(qū)域內(nèi)確定被測對(duì)象上存在微觀缺陷的第二區(qū)域，包括：

采用定位部件在第一區(qū)域內(nèi)確定被測對(duì)象上存在微觀缺陷的第二區(qū)域。

可選的，檢測組件可以為第一倍率的物鏡；定位部件可以為第二倍率的物鏡，第二倍率大于第一倍率。如先采用低倍率物鏡檢測第一區(qū)域，再切換到高倍率物鏡如50倍物鏡確定面積小于第一區(qū)域的第二區(qū)域，進(jìn)而控制標(biāo)記組件采用第二標(biāo)記印章標(biāo)記第二區(qū)域中的微觀缺陷。該方法提高了微觀缺陷的標(biāo)記精度。同時(shí)，標(biāo)記微觀缺陷的速度較快，提高了整個(gè)標(biāo)記工作的效率，且產(chǎn)生的第二標(biāo)記印章的形式統(tǒng)一，便于二次查找。

綜上所述，本發(fā)明實(shí)施例提供的微觀缺陷檢測裝置的控制方法，通過該方法，能夠采用檢測組件檢測被測對(duì)象上存在微觀缺陷的第一區(qū)域，再控制標(biāo)記組件采用第一標(biāo)記印章標(biāo)記第一區(qū)域中的微觀缺陷，使得微觀缺陷檢測裝置不僅能夠檢測存在微觀缺陷的區(qū)域，還能夠?qū)υ撐⒂^缺陷進(jìn)行標(biāo)記，相較于現(xiàn)有技術(shù)，豐富了微觀缺陷檢測裝置的功能，且標(biāo)記速度較快，標(biāo)記的精度較高，標(biāo)記的形式較統(tǒng)一，便于二次查找。

本發(fā)明實(shí)施例還提供了一種顯微鏡，包括圖1-1所示的微觀缺陷檢測裝置。

以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例，并不用以限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。