技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種集成的濕度傳感器和多單元?dú)怏w傳感器及其制造方法，其利用傳統(tǒng)的低成本的半導(dǎo)體工藝技術(shù)在標(biāo)準(zhǔn)的硅片上制造出一種特殊的結(jié)構(gòu)，可以同時(shí)測(cè)量氣體和濕度。利用本發(fā)明的應(yīng)用中，使用者通過(guò)分析可以用濕度數(shù)據(jù)對(duì)氣體的數(shù)據(jù)進(jìn)行修正，從而提高氣體的測(cè)量精度，降低成本，體積和功耗。

技術(shù)研發(fā)人員：賴(lài)建文
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海申矽凌微電子科技有限公司
文檔號(hào)碼：201610487994
技術(shù)研發(fā)日：2016.06.28
技術(shù)公布日：2016.11.16