技術(shù)編號(hào)：11860503
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及金屬氧化物檢測(cè)氣體的傳感器領(lǐng)域，具體地，涉及集成的濕度傳感器和多單元?dú)怏w傳感器及其制造方法。背景技術(shù)環(huán)境的質(zhì)量與人們的生活和工作舒適度，健康息息相關(guān)。近幾年來(lái)，隨著人們對(duì)環(huán)境的要求越來(lái)越高，人們希望能有簡(jiǎn)單可靠，價(jià)格便宜的方法和產(chǎn)品檢測(cè)環(huán)境空氣的質(zhì)量，比如一氧化碳、可燃性氣體、乙醇、NO2等的不適或有毒氣體在空氣中的含量。用金屬氧化物檢測(cè)氣體的傳感器已經(jīng)被研究多時(shí)，相關(guān)的專利也有申請(qǐng)和授予專利權(quán)。但是，因?yàn)闅饷籼匦耘c濕度有關(guān)，如果要精確利用金屬氧化物電阻的氣敏特性檢測(cè)氣體，需要精確測(cè)量...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。