技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明的目的在于提供一種技術(shù)，該技術(shù)在對(duì)半導(dǎo)體裝置的電氣特性進(jìn)行評(píng)價(jià)時(shí)能夠抑制氣體放電，并且高精度地對(duì)半導(dǎo)體裝置的溫度進(jìn)行檢測(cè)。作為接觸探針型溫度檢測(cè)器的溫度檢測(cè)用探針(7)具有：柱塞部(12)，其能夠與作為被測(cè)定物的半導(dǎo)體裝置(5)接觸；彈簧部件(17)，其配置于柱塞部(12)的基端部；筒部(14)，其經(jīng)由彈簧部件(17)而將柱塞部(12)向半導(dǎo)體裝置(5)側(cè)按壓；以及作為測(cè)溫部的熱電偶(19)，其對(duì)半導(dǎo)體裝置(5)的溫度進(jìn)行檢測(cè)。

技術(shù)研發(fā)人員：山下欽也;野口貴也;岡田章;秋山肇;上野和起
受保護(hù)的技術(shù)使用者：三菱電機(jī)株式會(huì)社
文檔號(hào)碼：201610466367
技術(shù)研發(fā)日：2016.06.23
技術(shù)公布日：2017.01.04