技術特征：

技術總結(jié)
干涉觀察裝置(1A)具備光源(10)、分支用分束器(21)、合波用分束器(22)、分束器(31)、鏡(32)、分束器(41)、鏡(42)、壓電元件(43)、平臺(44)、攝像部(61)、圖像取得部(71)以及控制部(72)。從分支用分束器(21)到合波用分束器(22)為止的干涉光學系統(tǒng)(20A)構成馬赫?曾德爾干涉儀。鏡(42)在垂直于鏡(42)的反射面的方向上移動自如。干涉光學系統(tǒng)(20A)中的第1分支光以及第2分支光各自的反射的次數(shù)之和為偶數(shù)。

技術研發(fā)人員：山內(nèi)豐彥;山田秀直
受保護的技術使用者：浜松光子學株式會社
技術研發(fā)日：2015.12.14
技術公布日：2017.09.26