技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種薄片形成設(shè)備，薄片形成設(shè)備包含用于固持材料熔體以及置于熔體內(nèi)的固體薄片的坩堝、配置于所述坩堝上方用以自所述熔體形成薄片的結(jié)晶器和鄰近所述結(jié)晶器配置的超聲波測量系統(tǒng)，所述超聲波測量系統(tǒng)包括至少一個超聲波測量裝置，其包含耦合到超聲波換能器的波導(dǎo)以導(dǎo)引超聲波脈沖穿過所述熔體。

技術(shù)研發(fā)人員：彼德·L·凱勒曼;阿拉·莫瑞迪亞;法蘭克·辛克萊
受保護(hù)的技術(shù)使用者：瓦里安半導(dǎo)體設(shè)備公司
文檔號碼：201580055518
技術(shù)研發(fā)日：2015.10.16
技術(shù)公布日：2017.05.31