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磁傳感器的制作方法

文檔序號:11530074閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種磁場范圍較寬的磁傳感器。該磁傳感器具有:基板;聚磁部,其配置在基板上或者基板內(nèi);多個磁檢測部;以及運算部,聚磁部使與感磁軸方向不同的方向的外部磁場在多個磁檢測部的各磁檢測部變換為感磁軸方向的磁場,各磁檢測部包含與基板的平面平行地排列的多個磁阻元件,多個磁阻元件的各磁阻元件包含根據(jù)外部磁場而使磁化的方向變化的自由層、磁化被固定的釘扎層、設(shè)置在自由層和釘扎層之間的隔層這樣的層疊結(jié)構(gòu),多個磁阻元件中所含的一個磁阻元件的自由層的長度方向和與一個磁阻元件相鄰的至少一個磁阻元件的自由層的長度方向為相同的方向,與一個磁阻元件相鄰的至少一個磁阻元件沿著一個磁阻元件的自由層的長度方向排列。

技術(shù)研發(fā)人員:四竈格久;藤本佳伸
受保護的技術(shù)使用者:旭化成微電子株式會社
技術(shù)研發(fā)日:2015.09.25
技術(shù)公布日:2017.08.18
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