本發(fā)明涉及一種用于在過(guò)程和/或自動(dòng)化工程中所使用的現(xiàn)場(chǎng)裝置的至少一個(gè)部件的抗化學(xué)多層涂層，該現(xiàn)場(chǎng)裝置用于監(jiān)測(cè)介質(zhì)的至少一種物理或化學(xué)過(guò)程變量。

背景技術(shù)：

要監(jiān)測(cè)的過(guò)程變量例如可以由容器中的介質(zhì)的填充狀態(tài)或者通過(guò)管道的介質(zhì)的流量給出，但是也可以由密度、粘度、ph值、壓力、電導(dǎo)率、電容或溫度給出。光學(xué)傳感器，例如濁度傳感器或吸收傳感器也是公知的。不同的基礎(chǔ)測(cè)量原理和基本結(jié)構(gòu)和/或布置可以從多個(gè)出版物知曉。相應(yīng)的現(xiàn)場(chǎng)裝置由申請(qǐng)人生產(chǎn)和銷售，種類繁多。

現(xiàn)場(chǎng)裝置包括至少一個(gè)傳感器單元和一個(gè)電子單元。通常，傳感器單元的至少一個(gè)部件至少暫時(shí)和至少部分地與介質(zhì)接觸。根據(jù)介質(zhì)和/或多個(gè)最普通的過(guò)程條件，這導(dǎo)致對(duì)于使用材料的不同需求，與介質(zhì)接觸的至少一種部件由該材料生產(chǎn)出來(lái)。至于過(guò)程條件，這尤其涉及高過(guò)程壓力和/或高過(guò)程溫度。至于相應(yīng)的介質(zhì)，特別是腐蝕通常構(gòu)成大問(wèn)題。腐蝕介質(zhì)-尤其是酸-持續(xù)地侵蝕與介質(zhì)接觸的傳感器單元的各個(gè)部件。在該方面最公知的例子可能是銹蝕的發(fā)生。通過(guò)持續(xù)地操作與腐蝕介質(zhì)(例如水溶液-尤其是酸)接觸的現(xiàn)場(chǎng)裝置，現(xiàn)場(chǎng)裝置的使用壽命大大減少。這尤其適用于化學(xué)、制藥和食品工業(yè)。

常見(jiàn)的抗腐蝕的保護(hù)措施通過(guò)在至少一個(gè)部件的與介質(zhì)接觸的至少一部分上涂上合適的抗化學(xué)材料的應(yīng)用給出，該部件的至少一部分至少暫時(shí)地與介質(zhì)接觸。為了這個(gè)目的，特定的優(yōu)點(diǎn)和缺點(diǎn)的不同可能性存在于現(xiàn)有技術(shù)中。所以，下文的不同涂層材料和不同涂層方法和/或生產(chǎn)方法的列表不是窮舉性的，而只是示出與本申請(qǐng)有關(guān)的幾個(gè)示例。

例如，一種金屬涂層-尤其是貴金屬的，例如金或鉑-可以被使用?？梢允褂秒姵练e工藝來(lái)執(zhí)行應(yīng)用，但也可以使用pvd(物理氣相沉積)方法-尤其是通過(guò)濺射。采用這種方式獲得的層提供非常好的抗腐蝕防護(hù)。然而，還存在一個(gè)明顯的缺點(diǎn)，就是貴金屬涂層容易導(dǎo)致與介質(zhì)或過(guò)程接觸的其他多個(gè)部件的更嚴(yán)重和更迅速的腐蝕，例如介質(zhì)容器和管道或管件。后者通常由不那么貴重的金屬或金屬合金制成，例如耐蝕鋼。不同材料的不同氧化還原電位導(dǎo)致氧化還原反應(yīng)，在這期間容器、管道或管件可能被腐蝕。

可替選的，以及同時(shí)節(jié)約成本的是，涂層由塑料的使用給出，例如聚醚醚酮(peek)、聚四氟乙烯(ptfe)、全氟烷氧基樹(shù)脂(pfa)或乙烯-三氟氯乙烯共聚物(ectfe)。塑料涂層例如由回火和/或燒結(jié)工藝生產(chǎn)并具有優(yōu)異的抗化學(xué)性、良好的抗粘附性和抗高溫性(高達(dá)250攝氏度)。另外，許多塑料涂層是彈性的，并且提供介質(zhì)和與介質(zhì)接觸的傳感器單元的多個(gè)部件之間的電絕緣。在食品工業(yè)中，例如，改進(jìn)的全氟烷氧基樹(shù)脂(pfa)材料，諸如pfaedlonsc-7005，被廣泛應(yīng)用。然而在這些用于現(xiàn)場(chǎng)裝置的涂層材料的使用中，根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)裝置和測(cè)量原理，有時(shí)強(qiáng)烈地限制適用性和效率的多種需求要被滿足。這些限制主要由塑料涂層的性能給定，這些塑料涂層由較大的分子構(gòu)成且基本上在它們的結(jié)構(gòu)中與其它的涂層材料(例如已經(jīng)提到的多種金屬)相比壓實(shí)不那么緊密。更小的顆?；蚍肿?尤其是水或酸分子，例如hf(氫氟酸)和hcl(鹽酸)-可能相應(yīng)地通過(guò)塑料涂層擴(kuò)散。然而擴(kuò)散率隨著層厚度的增加而被大大減少，從而充分厚的層帶來(lái)充分好的抗腐蝕保護(hù)。然而，根據(jù)相應(yīng)的測(cè)量原理，存在對(duì)不同現(xiàn)場(chǎng)裝置的層厚度的限制，例如壓力測(cè)量單元、隔膜密封、溫度傳感器等。

在壓力測(cè)量單元的情況下，測(cè)量單元和密封液壓系統(tǒng)由膜密封。所述膜，在該情形下其構(gòu)成至少暫時(shí)和部分與介質(zhì)接觸的傳感器的部件，然后分別將當(dāng)前過(guò)程壓力傳遞到測(cè)量單元?；谠摴δ埽瞿け仨毞浅Ｓ袕椥郧冶?從25微米到150微米)。這樣一種膜在運(yùn)行中可能相對(duì)快速地被腐蝕，這就是為什么壓力測(cè)量單元的使用壽命有限-特別是在腐蝕介質(zhì)中。更長(zhǎng)的使用壽命通常通過(guò)應(yīng)用涂層來(lái)達(dá)到。像所述膜一樣，在該情形下膜的涂層然而也必須是薄的和有彈性的-大約100-300微米。然而事實(shí)是介質(zhì)在塑料涂層中的擴(kuò)散阻力與層的厚度成比例，并且充分抗腐蝕的塑料涂層的優(yōu)化的層厚度基本上比壓力測(cè)量單元的膜涂層的允許厚度高10倍。

所謂硬涂層構(gòu)成涂層的另一種供替代的涂層選擇。在這方面，碳化硅(sic)、類金剛石(dlc)或者甚至氮化硼(bn)尤其必須被提及。這些材料例如能夠使用cvd(化學(xué)氣相沉積)方法沉積-尤其是，使用低壓條件下的等離子體cvd方法，其也稱為等離子體增強(qiáng)cvd。除了硬材料之外，鉭涂層也通常使用cvd工藝被生長(zhǎng)。

在cvd方法中，各種材料分別由氣相通過(guò)化學(xué)反應(yīng)的方式被沉積到基板上。在最簡(jiǎn)單的情形下，某些物質(zhì)，其中呈現(xiàn)期望的將要被建立的涂層所使用的元素，在氣相中被引導(dǎo)到基板材料上。在那里，它們發(fā)生化學(xué)反應(yīng)以形成目標(biāo)材料，以及氣態(tài)副產(chǎn)品。在過(guò)程中，在基板材料上發(fā)生反應(yīng)需要的能量由基板的溫度提供，或者在等離子體增強(qiáng)cvd工藝情況下，部分也由等離子體的耦合提供。

sic層例如可以根據(jù)如下的反應(yīng)方程式由甲烷和甲烷硅的氣態(tài)混合物在等離子體中生成：

sih4+ch4→sichx+h2。

dlc層可以采用類似的方式在等離子體中沉積：

ch4→chx+h2。

在兩個(gè)過(guò)程中，x＜＜1。

所述cvd方法提供了所生產(chǎn)的涂層的高彈性性質(zhì)。例如，氣體混合物的成分可以在涂層過(guò)程中持續(xù)地被改變。sic層可以利用厚得多的dlc層密封，或者層的頂部可以被氧化。兩種措施都導(dǎo)致涂層的更大的表面能。這可能對(duì)于不同的應(yīng)用是有利的。

與cvd方法有關(guān)的提及的涂層材料的特征在于，由于它們的緊密結(jié)構(gòu)帶來(lái)的突出的抗腐蝕性，防止水和/或酸分子的擴(kuò)散。然而這些涂層還具有嚴(yán)重的缺點(diǎn)。一方面，相應(yīng)的涂層是易碎的且可能被撞擊和刮擦而快速和容易地?fù)p壞。另一方面，微觀缺陷-所謂的微穿孔或針孔-通常作為使用cvd方法的生產(chǎn)結(jié)果而存在。在sic的情形下，缺陷的數(shù)量例如在每平方厘米10個(gè)的量級(jí)上。即使這些缺陷通常不具有高密度，但腐蝕性分子能夠由于缺陷的原因向金屬合金腐蝕，這就是為什么對(duì)于在腐蝕介質(zhì)中的持續(xù)使用來(lái)說(shuō)，相應(yīng)的多個(gè)涂層是較少令人感興趣的。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明基于提供一種現(xiàn)場(chǎng)裝置的目的，其適用于在侵蝕的和/或腐蝕介質(zhì)中被持續(xù)應(yīng)用-尤其是，還適用于在高溫和/或高壓中。

該目的根據(jù)本發(fā)明由過(guò)程和/或自動(dòng)工程中使用的現(xiàn)場(chǎng)裝置獲得，用于監(jiān)測(cè)部件中的介質(zhì)的至少一個(gè)化學(xué)或物理變量，該部件至少部分和暫時(shí)地承載介質(zhì)并包括至少一個(gè)電子單元和傳感器單元，其中傳感器單元的至少一個(gè)部件的至少一部分至少暫時(shí)的與介質(zhì)接觸，其中部件的與介質(zhì)接觸的至少一部分設(shè)置有由至少兩層構(gòu)成的抗化學(xué)多層涂層，其中第一層通過(guò)由緊密壓實(shí)原子排列構(gòu)成的材料制成并提供抵抗所述介質(zhì)帶來(lái)的腐蝕的防護(hù)，以及其中由抗化學(xué)塑料材料構(gòu)成的第二層包圍第一層布置和保護(hù)第一層抵抗外部的損害和腐蝕。

根據(jù)本發(fā)明的多層涂層還允許在介紹中描述的不同的已知涂層材料和方法的各個(gè)缺點(diǎn)被補(bǔ)償，并且，特別地，其特征在于在相對(duì)低的層厚度下的非常好的腐蝕保護(hù)。

在該情形下，第一層已經(jīng)以非常低的層厚度提供完美的抗腐蝕保護(hù)，并且相應(yīng)地，提供非常好的擴(kuò)散阻礙物。然而，該第一層是非常易碎的-尤其是對(duì)于機(jī)械影響。第二個(gè)更堅(jiān)固的塑料層然后也起到有效的防擴(kuò)散和腐蝕保護(hù)的作用——特別地，對(duì)于在第一層中由生產(chǎn)過(guò)程導(dǎo)致的微穿孔或針孔。然而在更大程度上，它提供第一層抵抗外部損害的防護(hù)。與純塑料涂層相比，根據(jù)本發(fā)明的與多層涂層有關(guān)的第二層也可以是相對(duì)薄的，因?yàn)榈谝粚右呀?jīng)提供了充分的腐蝕保護(hù)。

兩層一起為與介質(zhì)接觸的傳感器單元的至少一個(gè)部件帶來(lái)了非常好的腐蝕保護(hù)，該保護(hù)在極端過(guò)程條件下也是可靠的，例如高過(guò)程溫度和/或高過(guò)程壓力。這在現(xiàn)場(chǎng)裝置中是尤其有利的，例如在已經(jīng)提到的壓力測(cè)量單元中，由于各自的結(jié)構(gòu)和分別使用的測(cè)量原理的原因涂層必須非常薄。

對(duì)于第二層由pfa、ptfe、fep、ectfe、peek或橡膠構(gòu)成是有利的。

對(duì)于第一層由金屬——特別是金、鉑、銀或鉭——或硬材料，例如sic、dlc、al2o3、sio2或bn構(gòu)成也是有利的。

然而，自不必說(shuō)，對(duì)于第一層和第二層兩者，或者甚至額外的層來(lái)說(shuō)其他材料也可以使用，其也落在本發(fā)明內(nèi)。

在一個(gè)優(yōu)選的實(shí)施例中，彈性材料——特別是sic或dlc，或者由sic和dlc構(gòu)成的雙層系統(tǒng)——被用于第一層。這些材料可使用等離子體形式的cvd方法生產(chǎn)。這特別是對(duì)于壓力測(cè)量單元提供了多個(gè)優(yōu)勢(shì)，因?yàn)槟け旧硎菑椥缘?，并且彈性涂層在過(guò)程壓力的測(cè)量中對(duì)它的性能具有較少的影響。然而，出于類似的原因，在其他現(xiàn)場(chǎng)裝置中使用彈性材料也是有利的。

在另一個(gè)實(shí)施例中，第一層使用電沉積工藝生產(chǎn)。然而，可替換地，第一層也可以使用cvd方法生產(chǎn)，特別是使用處于低溫度條件下的等離子體形式的cvd方法生產(chǎn)。另外一個(gè)變體包括使用溶膠-凝膠方法——一種濕化學(xué)方法——生產(chǎn)第一層，利用該方法可以沉積薄的陶瓷層。

至于各個(gè)獨(dú)立層的多種生產(chǎn)方法，也自不必說(shuō)，比起已經(jīng)提到的那些，也落在本發(fā)明內(nèi)的其他生產(chǎn)方法也是可能的。

第一層朝向介質(zhì)的那部分的表面能被適度調(diào)整、特別是最大化、特別是通過(guò)氧化或摻雜調(diào)整是有利的。采用這種方式，第二層到第一層的粘附可以增強(qiáng)。在sic的情形下，氧化或者用薄dlc層密封導(dǎo)致表面能的增強(qiáng)。

第一層是混合結(jié)構(gòu)也是有利的。采用該方法，層在面對(duì)傳感器單元的部分中和在面對(duì)第二層的部分中能夠分別被優(yōu)化調(diào)整成相應(yīng)材料。這尤其涉及粘附性能和表面能兩者的調(diào)整。

在一個(gè)優(yōu)選的實(shí)施例中，現(xiàn)場(chǎng)裝置是壓力測(cè)量單元，其中至少以一部分并且至少部分地與介質(zhì)接觸的部件是膜。在該情形下，第一層具有大約10微米的厚度并且是彈性的以及第二層具有大約300微米的厚度是有利的。

在另一個(gè)優(yōu)選的實(shí)施例中，現(xiàn)場(chǎng)裝置是填充狀態(tài)測(cè)量裝置，其中傳感器單元具有能夠振蕩的單元，其是至少以一部分且至少部分地與介質(zhì)接觸的部件，并且其在面對(duì)介質(zhì)的部分設(shè)置有多層涂層。

附圖說(shuō)明

參考如下的附圖1到3更詳細(xì)地解釋本發(fā)明以及它的優(yōu)點(diǎn)。這些示出：

附圖1是傳感器單元的部件的與介質(zhì)接觸的表面的示意圖，該表面涂覆有根據(jù)本發(fā)明的多層涂層；

附圖2是根據(jù)本發(fā)明被涂覆的壓力測(cè)量元件的示意圖的三維(a)和二維(b)視圖，以及；

附圖3是根據(jù)本發(fā)明被涂覆的填充狀態(tài)測(cè)量裝置(a)的示意圖，以及能夠振蕩和涂覆有多層涂層的單元(b)的詳細(xì)示意圖。

具體實(shí)施方式

附圖1示出與介質(zhì)接觸的傳感器單元1的部件的表面的示意圖，其涂覆有根據(jù)本發(fā)明的多層涂層2。為了簡(jiǎn)明的目的，與介質(zhì)接觸的傳感器單元的部件3表示為矩形。多層涂層2由布置在其上的第一層4和第二層5組成。

如同已經(jīng)提到的，第一層能夠由金屬，例如金、鉑、銀或鉭或者所謂的硬材料，例如sic、dlc、al2o3、sio2或bn構(gòu)成。根據(jù)應(yīng)用，不同的材料以及相應(yīng)的，也不同的涂層方法是有利的，例如電氣相沉積，物理氣相沉積工藝(pvd)或者甚至cvd方法?；A(chǔ)原理可以從多個(gè)出版物獲知并且因此在此處不再詳細(xì)解釋。

特別地，所述cvd方法，其中固體部件利用化學(xué)反應(yīng)從氣相被沉積到通常加熱過(guò)的表面上，提供保角的層沉積的優(yōu)點(diǎn)。因此，cvd方法特別適用于復(fù)雜的三維形成的表面。

另一方面，對(duì)該方法的限制是，不是對(duì)任何期望的材料都存在氣體化合物，由氣體化合物使用cvd方法可以生產(chǎn)的相應(yīng)的層。另外，基板，即在該情形下與介質(zhì)接觸的傳感器單元的至少一個(gè)部件必須設(shè)計(jì)成承受高溫。然而在一些情況下，高溫負(fù)載能夠?qū)е聜鞲衅鞑考淖冃?，或者甚至在傳感器單元?nèi)的擴(kuò)散過(guò)程。

存在pvc方法的多個(gè)不同變體，其中基板的溫度負(fù)載能被大大減少。一種可能是等離子體增強(qiáng)的cvd，或等離子體增強(qiáng)的低壓cvd。在該情形下，感性的或容性的等離子體在基板上方被點(diǎn)燃，該等離子體激發(fā)氣體，將它分解用于涂層且能額外地提供沉積率的增加。用于該方法的通常的基板溫度是在大約200到500攝氏度的范圍內(nèi)，然而，沒(méi)有增強(qiáng)的等離子體的話，有時(shí)要求高達(dá)1000攝氏度的基板溫度。

cvd方法的另一個(gè)優(yōu)點(diǎn)在于非均勻涂層能夠被生產(chǎn)的事實(shí)。例如，如果使用的氣體混合物在沉積過(guò)程中被持續(xù)改變，沉積層的成分也會(huì)隨著時(shí)間持續(xù)變化，如果使用了合適成分的氣體混合物的話。采用這種方法，生產(chǎn)的多個(gè)層可以被氧化和/或例如在它們的表面區(qū)域被密封。表面能尤其能夠因此被特定調(diào)整。

即使采用這種方法生產(chǎn)的層由緊密壓實(shí)結(jié)構(gòu)表征且在非常低的層厚度已經(jīng)具有突出的抗腐蝕性，但是它們不適用于在腐蝕介質(zhì)中的持續(xù)使用。原因在于已經(jīng)提到的層6的微觀缺陷，其對(duì)cvd方法是典型的。例子在附圖1中描述。即使缺陷的密度低，腐蝕分子也能夠在多個(gè)合適的點(diǎn)穿透層且腐蝕金屬合金。這些層的另外一種已經(jīng)提到問(wèn)題包括層是非常易碎的和容易被刮擦和/或撞擊損壞。

出于這個(gè)原因，附圖1中的第一層4根據(jù)本發(fā)明由第二層5包圍，其由抗化學(xué)塑料構(gòu)成且其保護(hù)第一層4抵抗外部損壞。對(duì)于該第二層5，例如，pfa、ptfe、fep、ectfe、peek或橡膠可以被使用。在該情形下，列表也不是窮舉性的，且自不必說(shuō)其他的材料也落在本發(fā)明內(nèi)。如同上文提到的，對(duì)于典型的層厚度，塑料涂層的抗擴(kuò)散性通常低于金屬和/或硬材料的抗擴(kuò)散性。不過(guò)，第二層5也有效地提供對(duì)擴(kuò)散分子的抵抗。然而在更大程度上，它比第一層3更堅(jiān)固且因此提供第一層4抵抗外部損壞的保護(hù)。

附圖2a示出根據(jù)本發(fā)明的壓力測(cè)量單元7。相應(yīng)的現(xiàn)場(chǎng)裝置也由申請(qǐng)人生產(chǎn)和銷售，品種繁多，并且，例如，經(jīng)cerabar和deltabar指定是可用的。測(cè)量元件和密封液壓系統(tǒng)8由膜9密封。在本例子中，膜9由不銹鋼箔生成。然而自不必說(shuō)其他的材料也落在本發(fā)明內(nèi)，例如蒙乃爾耐蝕合金(monel)。膜通常經(jīng)過(guò)具有法蘭10的焊縫11(參見(jiàn)附圖2b)連接，具有傳輸流體8的腔被集成進(jìn)其中。在壓力測(cè)量元件7的操作中，膜9相應(yīng)的將當(dāng)前過(guò)程壓力經(jīng)腔8中的傳輸流體傳輸?shù)綔y(cè)量單元。由于該功能的原因，膜9必須是非常有彈性的且薄的(通常從25微米到150微米)。

腐蝕對(duì)于壓力測(cè)量單元基本具有兩種結(jié)果。一方面，膜9能徹底腐蝕，從而介質(zhì)被壓力測(cè)量單元7的傳輸流體污染，且介質(zhì)進(jìn)入壓力測(cè)量元件7的內(nèi)部。另一方面，膜9和相應(yīng)介質(zhì)的容器能形成電偶元件。出于這個(gè)原因，膜9經(jīng)常設(shè)置有用于抵抗腐蝕介質(zhì)的防護(hù)涂層2。

像膜9本身，膜2的涂層也必須是薄的和有彈性的，因?yàn)椴蝗粔毫y(cè)量單元的測(cè)量性能可能被限制。根據(jù)本發(fā)明的多層涂層2因此是有利的。該涂層在附圖2b中的壓力測(cè)量元件的二維視圖中可以更好的看出。在那里。第一層4和第二層5示意性的被示意出。

根據(jù)材料，大約10微米的層厚度對(duì)于第一層4已經(jīng)是足夠的。例如，由塑料制成的第二層5可以具有大約300微米的層厚度。因此，與具有充分的腐蝕保護(hù)的純彈性塑料涂層相比，總厚度被大大減少。它是有利的，特別是在壓力測(cè)量單元7中，如果彈性材料-特別是sic或者甚至dlc-也被選擇用于第一層。膜7的柔性和彈性因此盡可能小的被限制。

根據(jù)本發(fā)明具有多層涂層的現(xiàn)場(chǎng)裝置的第二例子是在附圖3a中示出的填充狀態(tài)測(cè)量裝置12。這是所謂的具有傳感器單元15和電子單元14的電子振動(dòng)傳感器。相應(yīng)的現(xiàn)場(chǎng)裝置也以多種類別由申請(qǐng)人被生產(chǎn)和銷售，并且例如經(jīng)liquiphant和soliphant指定是可用的。利用這種現(xiàn)場(chǎng)裝置12，除了填充狀態(tài)外，在承載介質(zhì)的部件-在該情形下，容器17-中的介質(zhì)16的厚度和/或粘度也能被確定。基本的原理可以從多個(gè)出版物知曉且因此在此處不再詳細(xì)的進(jìn)行解釋。傳感器單元包括能夠振蕩的和至少暫時(shí)地和部分地與介質(zhì)接觸的單元13。在測(cè)量操作期間，能夠振蕩的單元13使用機(jī)電換能器單元通過(guò)電激發(fā)信號(hào)被引起來(lái)執(zhí)行機(jī)械振蕩，該振蕩被轉(zhuǎn)換成電響應(yīng)信號(hào)并在電子單元14中被處理。為了能夠確定填充狀態(tài)，例如，厚度和/或粘度、振蕩的振幅和/或相位被評(píng)估。在這種填充狀態(tài)測(cè)量裝置12中，在腐蝕介質(zhì)中操作期間提供至少能振蕩的和與介質(zhì)接觸的具有涂層的單元也是有利的。

附圖3b示出能夠振蕩的具有多層涂層2的單元13的詳細(xì)的示意圖，其再次由第一層4和第二層5構(gòu)成。在該情形下，根據(jù)本發(fā)明的涂層也提供能夠振蕩的單元的非常好的腐蝕保護(hù)且相應(yīng)地增加測(cè)量裝置的使用壽命。

總之，根據(jù)本發(fā)明用于與介質(zhì)接觸的傳感器單元的至少一個(gè)部件的多層涂層大大延長(zhǎng)在腐蝕介質(zhì)中的相應(yīng)的現(xiàn)場(chǎng)裝置使用壽命。通過(guò)塑料的整合作為第二層5，在所述至少一個(gè)部件和介質(zhì)之間達(dá)到額外的電絕緣。傳感器單元因此在可用的地方也被保護(hù)防止在電偶過(guò)程中的氫擴(kuò)散。

參考標(biāo)記：

1與介質(zhì)接觸的傳感器單元的部件的表面，其包括多層涂層

2多層涂層

3與介質(zhì)接觸的傳感器單元的部件

4第一層

5第二層

6在第一層內(nèi)的微觀缺陷

7壓力測(cè)量單元

8具有傳輸流體的腔

9膜

10法蘭

11在膜和法蘭之間的焊縫

12填充狀態(tài)測(cè)量裝置

13能夠振蕩的單元

14電子單元

15傳感器單元

16介質(zhì)

17部件-在該情形下，容器-承載介質(zhì)