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光學(xué)氣敏傳感器的制作方法

文檔序號:11934785閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種傳感頭,包括:

第一工件,所述第一工件包括:

本體,所述本體具有外表面和內(nèi)表面;

光源腔,所述光源腔在所述內(nèi)表面處布置在所述本體中,其中,所述光源腔布置在所述本體的第一端部處并且構(gòu)造成容納光源;

光學(xué)裝置腔,所述光學(xué)裝置腔在所述內(nèi)表面處布置在所述本體中,其中,所述光學(xué)裝置腔鄰近于所述光源腔布置并且構(gòu)造成容納光學(xué)裝置;

橢球體腔,所述橢球體腔在所述內(nèi)表面處布置在所述本體中,其中,所述橢球體腔鄰近于所述光學(xué)裝置腔布置;

接收裝置腔,所述接收裝置腔鄰近于形成所述橢球體腔的內(nèi)表面布置在所述本體中,其中,所述接收裝置腔構(gòu)造成容納接收裝置;以及

至少一個通道,所述至少一個通道布置在所述本體中,其中,所述至少一個通道具有布置在鄰近于所述橢球體腔的內(nèi)表面處的第一端部。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感頭,其中,形成所述橢球體腔的所述內(nèi)表面在光學(xué)和聲學(xué)上反射。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的傳感頭,還包括:

第二工件,所述第二工件聯(lián)接至所述第一工件,其中,所述第二工件與所述第一工件基本對稱,以及其中,在所述第一工件與所述第二工件之間,光學(xué)和聲學(xué)上的反射特性在形成橢球體腔的內(nèi)表面上基本一致。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感頭,其中,所述至少一個通道包括構(gòu)造成接收測試氣體并且將所述測試氣體輸送至所述橢球體腔的第一通道。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的傳感頭,其中,所述至少一個通道包括構(gòu)造成接收來自所述橢球體腔的已測試氣體的至少一部分的第二通道。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的傳感頭,其中,所述測試氣體從所述橢球體腔流動通過所述接收裝置腔。

7.一種光學(xué)氣敏傳感器,包括:

傳感頭的至少一個工件,其中,所述至少一個工件包括:

本體,所述本體具有外表面和內(nèi)表面;

光源腔,所述光源腔在所述內(nèi)表面處布置在所述本體中,其中,所述光源腔布置在所述本體的第一端部處;

光學(xué)裝置腔,所述光學(xué)裝置腔在所述內(nèi)表面處布置在所述本體中,其中,所述光學(xué)裝置腔鄰近于所述光源腔布置;

橢球體腔,所述橢球體腔在所述內(nèi)表面處布置在所述本體中,其中,所述橢球體腔鄰近于所述光學(xué)裝置腔布置,以及其中,所述橢球體腔包括第一焦點和第二焦點;

接收裝置腔,所述接收裝置腔鄰近于形成所述橢球體腔的內(nèi)表面布置在所述本體中;以及

第一通道,所述第一通道布置在所述本體中,其中,所述第一通道具有布置在形成所述橢球體腔的內(nèi)表面處的第一端部;

光源,所述光源布置在所述光源腔內(nèi);

光學(xué)裝置,所述光學(xué)裝置布置在所述光學(xué)裝置腔內(nèi);以及

接收裝置,所述接收裝置布置在所述接收裝置腔內(nèi)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的光學(xué)氣敏傳感器,其中,所述接收裝置包括音叉,其中,所述音叉包括將所述第二焦點包圍在所述橢球體腔內(nèi)的多個柄部。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的光學(xué)氣敏傳感器,還包括:

聯(lián)接至所述光源的動力源,其中,所述動力源向所述光源提供動力和控制信號。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的光學(xué)氣敏傳感器,還包括:

聯(lián)接至所述音叉的驅(qū)動器,其中,所述驅(qū)動器使得所述音叉的柄部以共振頻率振動。

11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的光學(xué)氣敏傳感器,還包括:

聯(lián)接至所述音叉的接收器,其中,所述接收器確定所述音叉的柄部的振蕩幅度,其中,所述柄部的所述振蕩幅度由與通過所述第一通道噴射到所述橢球體腔內(nèi)的氣體相關(guān)的聲波的振幅引起。

12.根據(jù)權(quán)利要求8所述的光學(xué)氣敏傳感器,其中,所述多個柄部平行于包括所述第一焦點和所述第二焦點的軸線。

13.根據(jù)權(quán)利要求8所述的光學(xué)氣敏傳感器,其中,所述接收裝置腔在所述第一焦點與所述第二焦點之間的位置處定位在鄰近于所述橢球體腔的內(nèi)表面處,以及其中,所述接收裝置腔接收來自所述橢球體腔的已測試氣體。

14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的光學(xué)氣敏傳感器,其中,所述接收裝置包括音叉,其中,所述音叉布置在所述接收裝置內(nèi)和所述橢球體腔的外部。

15.根據(jù)權(quán)利要求7所述的光學(xué)氣敏傳感器,還包括布置在所述本體中的第二通道,其中,所述第二通道的第二端部定位在鄰近于所述橢球體腔的內(nèi)表面處并且與所述第二焦點基本對準(zhǔn),以及其中,所述第二通道接收來自所述橢球體腔的已測試氣體。

16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的光學(xué)氣敏傳感器,其中,所述接收裝置包括至少一個擴音器,其中,所述至少一個擴音器布置在所述接收裝置腔內(nèi)并且抵接形成所述橢球體腔的內(nèi)表面。

17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的光學(xué)氣敏傳感器,其中,所述至少一個擴音器導(dǎo)向所述橢球體腔內(nèi)的位于所述第一焦點與所述第二焦點之間并且包括所述第一焦點和所述第二焦點在內(nèi)的點。

18.根據(jù)權(quán)利要求7所述的光學(xué)氣敏傳感器,其中,所述光學(xué)裝置在所述橢球體腔內(nèi)的所述第一焦點處發(fā)射由所述光源接收的光。

19.根據(jù)權(quán)利要求7所述的光學(xué)氣敏傳感器,其中,所述接收裝置腔鄰近于所述本體的第二端部處的所述橢球體腔布置,其中,所述第二端部與所述第一端部相對。

20.根據(jù)權(quán)利要求7所述的光學(xué)氣敏傳感器,其中,所述光源產(chǎn)生具有多個波長中的一個波長的光,其中,所述一個波長基于通過所述第一通道噴射到所述橢球體腔內(nèi)的氣體。

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