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質量流量計以及速度計的制作方法

文檔序號:12286785閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種質量流量計,其中,

所述質量流量計具備:

傳感器(10、20),具有一面(10a)和與其相反側的另一面(10b),在內部形成有熱電轉換元件;以及

熱源體(13、14、240),相對于存在于所述一面?zhèn)鹊牧黧w放出溫熱與冷熱中的一方的熱,

所述傳感器具備由熱塑性樹脂構成的多個層疊的絕緣層(100、110、120、210、220)、以及相對于所述絕緣層形成且由不同的導電體構成,并且相互連接的第1導電體、第2導電體(130、140、250、260),所述傳感器由將多個所述絕緣層一邊加熱一邊加壓而一體化的多層基板構成,

所述熱電轉換元件由相互連接的所述第1導電體、所述第2導電體構成,并且,當具有從所述熱源體放出的熱的所述流體沿著所述一面移動時,所述熱電轉換元件產生與在位于所述一面的第1區(qū)域和所述傳感器中的與所述第1區(qū)域不同的位置的第2區(qū)域之間產生的溫度差相應的大小的電輸出,

所述質量流量計還具備運算部(2),該運算部(2)基于在所述熱電轉換元件產生的所述輸出、以及所述輸出與所述流體的質量流量之間的關系,對所述流體的質量流量進行運算。

2.根據(jù)權利要求1所述的質量流量計,其中,

所述傳感器作為所述熱電轉換元件具有在與所述一面平行的方向上分別位于隔著所述熱源體的兩側的第1熱電轉換元件與第2熱電轉換元件,

當具有從所述熱源體放出的熱的所述流體沿著所述一面移動時,所述第1熱電轉換元件產生與在所述傳感器中的形成有所述第1熱電轉換元件的區(qū)域(11)中的位于所述一面的所述第1區(qū)域與位于所述另一面的所述第2區(qū)域之間產生的溫度差相應的大小的所述輸出,并且,所述第2熱電轉換元件產生與在所述傳感器中的形成有所述第2熱電轉換元件的區(qū)域(12)中的位于所述一面的所述第1區(qū)域與位于所述另一面的所述第2區(qū)域之間產生的溫度差相應的大小的所述輸出,

所述第1熱電轉換元件與所述第2熱電轉換元件構成為,所述一面和所述另一面的高溫側與低溫側的關系相同時的所述輸出的極性不同,

所述運算部基于將在所述第1熱電轉換元件、所述第2熱電轉換元件產生的所述輸出合在一起的總輸出、以及所述總輸出與所述流體的質量流量之間的關系,對所述流體的質量流量進行運算。

3.根據(jù)權利要求1所述的質量流量計,其中,

所述熱電轉換元件具有在所述絕緣層沿著厚度方向貫通而形成的第1通孔、第2通孔埋入有所述第1導電體、所述第2導電體的構造。

4.根據(jù)權利要求1所述的質量流量計,其中,

當具有從所述熱源體(240)放出的熱的所述流體沿著所述一面移動時,所述熱電轉換元件(250、260)產生與在所述一面中的位于相比所述熱源體靠上游側的位置的所述第1區(qū)域、和所述一面中的位于相比所述熱源體靠下游側的位置的所述第2區(qū)域之間產生的溫度差相應的大小的所述輸出。

5.根據(jù)權利要求1所述的質量流量計,其中,

所述熱電轉換元件具有沿著所述絕緣層的表面形成所述第1導電體、所述第2導電體(250、260),所述第1導電體、所述第2導電體的一端側部分與另一端側部分分別在與所述一面平行的方向上配置于隔著所述熱源體的兩側的構造。

6.根據(jù)權利要求1所述的質量流量計,其中,

所述傳感器以在所述另一面存在與所述流體相比較熱難以移動的部件(3、4、5)的狀態(tài)設置于所述流體的質量流量的計測部位。

7.根據(jù)權利要求6所述的質量流量計,其中,

所述傳感器具備設置于所述另一面且與所述流體相比較熱難以移動的部件(4、5)。

8.根據(jù)權利要求1所述的質量流量計,其中,

所述熱源體(14)是形成于所述多層基板的珀耳帖元件,從所述一面放出溫熱,并且從所述另一面放出冷熱。

9.一種速度計,其中,

所述速度計具備:

傳感器(10、20),設置于在流體內移動的移動體,具有一面(10a)和與其相反側的另一面(10b),在內部形成有熱電轉換元件;以及

熱源體(13、14、240),相對于存在于所述一面?zhèn)鹊牧黧w放出溫熱與冷熱中的一方的熱,

所述傳感器具備由熱塑性樹脂構成的多個層疊的絕緣層(100、110、120、210、220)、以及相對于所述絕緣層形成且由不同的導電體構成,并且相互連接的第1導電體、第2導電體(130、140、250、260),所述傳感器由將多個所述絕緣層一邊加熱一邊加壓而一體化的多層基板構成,

所述熱電轉換元件由相互連接的所述第1導電體、所述第2導電體構成,并且,當從所述傳感器來看具有從所述熱源體放出的熱的所述流體相對地沿著所述一面移動時,所述熱電轉換元件產生與在位于所述一面的第1區(qū)域、和所述傳感器中的與所述第1區(qū)域不同的位置的第2區(qū)域之間產生的溫度差相應的大小的電輸出,

所述速度計還具備運算部(2),該運算部(2)基于在所述熱電轉換元件產生的所述輸出、以及所述輸出與所述移動體的移動速度之間的關系,對所述移動體的移動速度進行運算。

10.一種質量流量計,其中,

所述質量流量計具備:

傳感器(10、20),具有一面(10a)和與其相反側的另一面(10b),在內部形成有熱電轉換元件;以及

熱源體(13、14、240),相對于存在于所述一面?zhèn)鹊牧黧w放出溫熱與冷熱中的一方的熱,

所述傳感器具備由撓性材料構成的絕緣層(100、110、120、210、220)、以及相對于所述絕緣層形成且由不同的導電體構成,并且相互連接的第1導電體、第2導電體(130、140、250、260),將所述絕緣層與所述第1導電體、所述第2導電體一邊加熱一邊加壓而一體化,

所述熱電轉換元件由相互連接的所述第1導電體、所述第2導電體構成,并且,當具有從所述熱源體放出的熱的所述流體沿著所述一面移動時,所述熱電轉換元件產生與在位于所述一面的第1區(qū)域、和所述傳感器中的與所述第1區(qū)域不同的位置的第2區(qū)域之間產生的溫度差相應的大小的電輸出,

所述質量流量計還具備運算部(2),該運算部(2)基于在所述熱電轉換元件產生的所述輸出、以及所述輸出與所述流體的質量流量之間的關系,對所述流體的質量流量進行運算。

11.根據(jù)權利要求10所述的質量流量計,其中,

所述絕緣層由樹脂構成。

12.一種質量流量計,其中,

所述質量流量計具備:

傳感器(10、20),具有一面(10a)和與其相反側的另一面(10b),在內部形成有熱電轉換元件;以及

熱源體(13、14、240),相對于存在于所述一面?zhèn)鹊牧黧w放出溫熱與冷熱中的一方的熱,

所述傳感器是具備由不同的導電體構成并且相互連接的第1導電體、第2導電體(130、140、250、260)的實心的構造體,所述熱電轉換元件由相互連接的所述第1導電體、所述第2導電體構成,并且,當具有從所述熱源體放出的熱的所述流體沿著所述一面移動時,所述熱電轉換元件產生與在位于所述一面的第1區(qū)域、和所述傳感器中的與所述第1區(qū)域不同的位置的第2區(qū)域之間產生的溫度差相應的大小的電輸出,

所述質量流量計還具備運算部(2),該運算部(2)基于在所述熱電轉換元件產生的所述輸出、以及所述輸出與所述流體的質量流量之間的關系,對所述流體的質量流量進行運算。

13.一種質量流量計,其中,

所述質量流量計具備:

傳感器(10、20),具有一面(10a)和與其相反側的另一面(10b),在內部形成有熱電轉換元件;以及

熱源體(13、14、240),相對于存在于所述一面?zhèn)鹊牧黧w放出溫熱與冷熱中的一方的熱,

所述熱電轉換元件由不同的導電體構成并且相互連接的第1導電體、第2導電體構成,并且,當具有從所述熱源體放出的熱的所述流體沿著所述一面移動時,所述熱電轉換元件產生與在位于所述一面的第1區(qū)域、和所述傳感器中的與所述第1區(qū)域不同的位置的第2區(qū)域之間產生的溫度差相應的大小的電輸出,

所述質量流量計還具備運算部(2),該運算部(2)基于在所述熱電轉換元件產生的所述輸出、以及所述輸出與所述流體的質量流量之間的關系,對所述流體的質量流量進行運算。

14.根據(jù)權利要求13所述的質量流量計,其中,

所述傳感器作為所述熱電轉換元件具有在沿著所述一面的方向上分別位于隔著所述熱源的兩側的第1熱電轉換元件與第2熱電轉換元件,

當具有從所述熱源體放出的熱的所述流體沿著所述一面移動時,所述第1熱電轉換元件產生與在所述傳感器中的形成有所述第1熱電轉換元件的區(qū)域(11)中的位于所述一面的所述第1區(qū)域與位于所述另一面的所述第2區(qū)域之間產生的溫度差相應的大小的所述輸出,并且,所述第2熱電轉換元件產生與在所述傳感器中的形成有所述第2熱電轉換元件的區(qū)域(12)中的位于所述一面的所述第1區(qū)域與位于所述另一面的所述第2區(qū)域之間產生的溫度差相應的大小的所述輸出,

所述第1熱電轉換元件與所述第2熱電轉換元件構成為,所述一面和所述另一面的高溫側與低溫側的關系相同時的所述輸出的極性不同,

所述運算部基于將在所述第1熱電轉換元件、所述第2熱電轉換元件產生的所述輸出合在一起的總輸出、以及所述總輸出與所述流體的質量流量之間的關系,對所述流體的質量流量進行運算。

15.一種速度計,其中,

所述速度計具備:

傳感器(10、20),設置于在流體內移動的移動體,具有一面(10a)和與其相反側的另一面(10b),在內部形成有熱電轉換元件;以及

熱源體(13、14、240),相對于存在于所述一面?zhèn)鹊牧黧w放出溫熱與冷熱中的一方的熱,

所述傳感器具備由撓性材料構成的絕緣層(100、110、120、210、220)、以及相對于所述絕緣層形成且由不同的導電體構成,并且相互連接的第1導電體、第2導電體(130、140、250、260),將所述絕緣層與所述第1導電體、所述第2導電體一邊加熱一邊加壓而一體化,

所述熱電轉換元件由相互連接的所述第1導電體、所述第2導電體構成,并且,當從所述傳感器來看具有從所述熱源體放出的熱的所述流體相對地沿著所述一面移動時,所述熱電轉換元件產生與在位于所述一面的第1區(qū)域、和所述傳感器中的與所述第1區(qū)域不同的位置的第2區(qū)域之間產生的溫度差相應的大小的電輸出,

所述速度計還具備運算部(2),該運算部(2)基于在所述熱電轉換元件產生的所述輸出、以及所述輸出與所述移動體的移動速度之間的關系,對所述移動體的移動速度進行運算。

16.根據(jù)權利要求15所述的速度計,其中,

所述絕緣層由樹脂構成。

17.一種速度計,其中,

所述速度計具備:

傳感器(10、20),設置于在流體內移動的移動體,具有一面(10a)和與其相反側的另一面(10b),在內部形成有熱電轉換元件;以及

熱源體(13、14、240),相對于存在于所述一面?zhèn)鹊牧黧w放出溫熱與冷熱中的一方的熱,

所述傳感器是具備由不同的導電體構成并且相互連接的第1導電體、第2導電體(130、140、250、260)的實心的構造體,

所述熱電轉換元件由相互連接的所述第1導電體、所述第2導電體構成,并且,當從所述傳感器來看具有從所述熱源體放出的熱的所述流體相對地沿著所述一面移動時,所述熱電轉換元件產生與在位于所述一面的第1區(qū)域、和所述傳感器中的與所述第1區(qū)域不同的位置的第2區(qū)域之間產生的溫度差相應的大小的電輸出,

所述速度計還具備運算部(2),該運算部(2)基于在所述熱電轉換元件產生的所述輸出、以及所述輸出與所述移動體的移動速度之間的關系,對所述移動體的移動速度進行運算。

18.一種速度計,其中,

所述速度計具備:

傳感器(10、20),設置于在流體內移動的移動體,具有一面(10a)和與其相反側的另一面(10b),在內部形成有熱電轉換元件;以及

熱源體(13、14、240),相對于存在于所述一面?zhèn)鹊牧黧w放出溫熱與冷熱中的一方的熱,

所述熱電轉換元件由不同的導電體構成并且相互連接的第1導電體、第2導電體構成,并且,當從所述傳感器來看具有從所述熱源體放出的熱的所述流體相對地沿著所述一面移動時,所述熱電轉換元件產生與在位于所述一面的第1區(qū)域、和所述傳感器中的與所述第1區(qū)域不同的位置的第2區(qū)域之間產生的溫度差相應的大小的電輸出,

所述速度計還具備運算部(2),該運算部(2)基于在所述熱電轉換元件產生的所述輸出、以及所述輸出與所述移動體的移動速度之間的關系,對所述移動體的移動速度進行運算。

19.根據(jù)權利要求18所述的速度計,其中,

所述傳感器作為所述熱電轉換元件具有在沿著所述一面的方向上分別位于隔著所述熱源的兩側的第1熱電轉換元件與第2熱電轉換元件,

當具有從所述熱源體放出的熱的所述流體沿著所述一面移動時,所述第1熱電轉換元件產生與在所述傳感器中的形成有所述第1熱電轉換元件的區(qū)域(11)中的位于所述一面的所述第1區(qū)域與位于所述另一面的所述第2區(qū)域之間產生的溫度差相應的大小的所述輸出,并且,所述第2熱電轉換元件產生與在所述傳感器中的形成有所述第2熱電轉換元件的區(qū)域(12)中的位于所述一面的所述第1區(qū)域與位于所述另一面的所述第2區(qū)域之間產生的溫度差相應的大小的所述輸出,

所述第1熱電轉換元件與所述第2熱電轉換元件構成為,所述一面和所述另一面的高溫側與低溫側的關系相同時的所述輸出的極性不同,

所述運算部基于將在所述第1熱電轉換元件、所述第2熱電轉換元件產生的所述輸出合在一起的總輸出、以及所述總輸出與所述流體的質量流量之間的關系,對所述流體的質量流量進行運算。

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