技術(shù)編號：12286785
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及質(zhì)量流量計以及速度計。背景技術(shù)作為現(xiàn)有的質(zhì)量流量計，具有使用了流量傳感器的熱式質(zhì)量流量計。該流量傳感器在具有隔膜以及隔膜正下方的空間的傳感器芯片中，在隔膜形成2個傳感器用電阻體以及加熱器用電阻體。2個傳感器用電阻體以及加熱器用電阻體在流體的流動方向上按照傳感器用電阻體、加熱器用電阻體、傳感器用電阻體的順序配置(例如，參照專利文獻1)。傳感器用電阻體的電阻值因溫度變化而變化。盡量減薄隔膜以便減小傳感器用電阻體所受到的隔膜的熱容量所帶來的影響。隔膜的正下方的空間用于減小傳感器用電阻體受到的...
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