1.一種浮游粒子檢測(cè)裝置,其特征在于,該浮游粒子檢測(cè)裝置具有:
激光照射部,其具有激光發(fā)光元件和反向監(jiān)視用受光元件,該激光發(fā)光元件包含出射對(duì)存在浮游粒子的被檢測(cè)區(qū)域進(jìn)行照射的照射激光的前側(cè)端面、和出射向該照射激光的行進(jìn)方向的相反方向行進(jìn)的反向監(jiān)視用激光的后側(cè)端面,該反向監(jiān)視用受光元件配置在所述反向監(jiān)視用激光入射的位置,生成與入射光的量對(duì)應(yīng)的第1檢測(cè)信號(hào);
散射光受光部,其選擇性地接收在照射到所述浮游粒子時(shí)產(chǎn)生的所述照射激光的散射光中的預(yù)定偏振成分的光,生成第2檢測(cè)信號(hào);以及
判別處理部,其根據(jù)所述第1檢測(cè)信號(hào)和所述第2檢測(cè)信號(hào)判別所述浮游粒子的種類,
入射到所述反向監(jiān)視用受光元件的所述入射光包含所述反向監(jiān)視用激光、和照射到所述浮游粒子的所述照射激光的散射光中的朝向所述激光照射部的后方散射光。
2.一種浮游粒子檢測(cè)裝置,其特征在于,該浮游粒子檢測(cè)裝置具有:
激光照射部,其具有激光發(fā)光元件和反向監(jiān)視用受光元件,該激光發(fā)光元件包含出射對(duì)存在浮游粒子的被檢測(cè)區(qū)域進(jìn)行照射的照射激光的前側(cè)端面、和出射向該照射激光的行進(jìn)方向的相反方向行進(jìn)的反向監(jiān)視用激光的后側(cè)端面,該反向監(jiān)視用受光元件配置在所述反向監(jiān)視用激光入射的位置,生成與入射光的量對(duì)應(yīng)的第1檢測(cè)信號(hào);
散射光受光部,其選擇性地接收在照射到所述浮游粒子時(shí)產(chǎn)生的所述照射激光的散射光中的預(yù)定偏振成分的光,生成第2檢測(cè)信號(hào);以及
判別處理部,其根據(jù)所述第1檢測(cè)信號(hào)和所述第2檢測(cè)信號(hào)判別所述浮游粒子的種類,
將由于照射到所述浮游粒子的所述照射激光的散射光中的朝向所述激光照射部的后方散射光入射到所述激光照射部的激光發(fā)光元件的前側(cè)端面而引起的所述反向監(jiān)視用激光的波動(dòng),用于所述浮游粒子的種類判別。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的浮游粒子檢測(cè)裝置,其特征在于,
入射到所述反向監(jiān)視用受光元件的所述入射光包含所述后方散射光中的入射到所述反向監(jiān)視用受光元件的成分和所述后方散射光中的入射到所述激光發(fā)光元件的所述前側(cè)端面的成分中的至少一方。
4.根據(jù)權(quán)利要求1~3中的任意一項(xiàng)所述的浮游粒子檢測(cè)裝置,其特征在于,
所述散射光受光部具有:
偏振濾波器,其僅使所述照射激光的所述散射光中的預(yù)定偏振成分的光透過;以及
散射光檢測(cè)元件,其接收透過所述偏振濾波器后的偏振成分的光而生成所述第2檢測(cè)信號(hào)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1~4中的任意一項(xiàng)所述的浮游粒子檢測(cè)裝置,其特征在于,
所述照射激光的散射光中的預(yù)定偏振成分的光是具有與從所述激光發(fā)光元件射出的所述照射激光的偏振方向正交的偏振方向的線偏振光。
6.根據(jù)權(quán)利要求1~5中的任意一項(xiàng)所述的浮游粒子檢測(cè)裝置,其特征在于,
所述判別處理部具有第1判別部,該第1判別部根據(jù)由所述反向監(jiān)視用受光元件生成的所述第1檢測(cè)信號(hào)檢測(cè)所述浮游粒子的尺寸和濃度中的至少一方。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的浮游粒子檢測(cè)裝置,其特征在于,
所述判別處理部還具有直流交流分離部,該直流交流分離部將由所述反向監(jiān)視用受光元件生成的所述第1檢測(cè)信號(hào),分離成與所述反向監(jiān)視用激光對(duì)應(yīng)的直流成分和與朝向所述激光照射部的所述后方散射光對(duì)應(yīng)的交流成分,
所述第1判別部根據(jù)由所述直流交流分離部分離出的所述直流成分和所述交流成分,檢測(cè)所述浮游粒子的尺寸和濃度中的至少一方。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的浮游粒子檢測(cè)裝置,其特征在于,
所述判別處理部還具有:
波形校正部,其對(duì)由所述反向監(jiān)視用受光元件生成的所述第1檢測(cè)信號(hào)的波形進(jìn)行校正,以便和與所述反向監(jiān)視用激光對(duì)應(yīng)的直流成分相比,增強(qiáng)與所述后方散射光對(duì)應(yīng)的交流成分;以及
直流交流分離部,其將由所述波形校正部校正后的所述第1檢測(cè)信號(hào)分離成所述直流成分和所述交流成分,
所述第1判別部根據(jù)由所述直流交流分離部分離出的所述直流成分和所述交流成分,檢測(cè)所述浮游粒子的尺寸和濃度中的至少一方。
9.根據(jù)權(quán)利要求1~8中的任意一項(xiàng)所述的浮游粒子檢測(cè)裝置,其特征在于,
所述判別處理部包含第2判別部,該第2判別部根據(jù)由所述散射光受光部生成的所述第2檢測(cè)信號(hào)判別所述浮游粒子的形狀。
10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的浮游粒子檢測(cè)裝置,其特征在于,
所述判別處理部包含:
第2判別部,其根據(jù)由所述散射光受光部生成的所述第2檢測(cè)信號(hào)判別所述浮游粒子的形狀;以及
第3判別部,其根據(jù)從所述第1判別部得到的所述浮游粒子的尺寸和濃度中的至少一方以及從所述第2判別部得到的所述浮游粒子的形狀,判別所述浮游粒子的種類。