1.一種凸非球面鏡面形的檢測系統(tǒng)，其特征在于，包括點(diǎn)衍射干涉裝置、基準(zhǔn)凹球面鏡、基準(zhǔn)凹球面鏡調(diào)整機(jī)構(gòu)、被測凸非球面鏡調(diào)整機(jī)構(gòu)、控制裝置及圖像處理裝置；
所述點(diǎn)衍射干涉裝置，用于產(chǎn)生衍射光，所述衍射光包括第一衍射光和第二衍射光，還用于將所述衍射光與第二反射光干涉，產(chǎn)生干涉圖像；
所述基準(zhǔn)凹球面鏡，用于將所述點(diǎn)衍射干涉裝置產(chǎn)生的衍射光反射至被測凸非球面鏡，形成第一反射光，并將被測凸非球面鏡的反射光反射至所述點(diǎn)衍射干涉裝置，形成第二反射光；
所述基準(zhǔn)凹球面鏡調(diào)整機(jī)構(gòu)，用于調(diào)整基準(zhǔn)凹球面鏡的位置；
所述被測凸非球面鏡調(diào)整機(jī)構(gòu)，用于調(diào)整所述被測凸非球面鏡沿光軸方向以固定步距移動，以改變所述第二反射光的波前相位；
所述圖像處理裝置，用于接收所述點(diǎn)衍射干涉裝置的干涉圖像，并根據(jù)所述干涉圖像及所述基準(zhǔn)凹面鏡的面形誤差數(shù)據(jù)進(jìn)行計算，從而獲取所述被測凸非球面鏡的面形信息；
所述控制裝置，用于控制所述基準(zhǔn)凹球面鏡調(diào)整機(jī)構(gòu)調(diào)整所述基準(zhǔn)凹球面鏡位置，還用于控制被測凸非球面鏡調(diào)整機(jī)構(gòu)調(diào)整所述被測凸非球面鏡位置。
2.如權(quán)利要求1所述的凸非球面鏡面形的檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述基準(zhǔn)凹面鏡為反射鏡。
3.如權(quán)利要求1所述的凸非球面鏡面形的檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述點(diǎn)衍射干涉裝置包括光源、針孔照明聚光鏡、針孔板、干涉圖像成像組；
沿所述光源的光線出射方向依次設(shè)置所述針孔照明聚光鏡、所述針孔板、所述干涉圖像成像組；
所述光源出射的光經(jīng)所述針孔照明聚光鏡匯聚后，照射到所述針孔板上產(chǎn)生衍射光，所述第一衍射光照射到所述干涉圖像成像組；所述第二衍射光及所述第二反射光照射到所述基準(zhǔn)凹球面鏡上。
4.如權(quán)利要求1所述的凸非球面鏡面形的檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述基準(zhǔn)凹球面鏡調(diào)整機(jī)構(gòu)包括角度調(diào)整機(jī)構(gòu)及位置調(diào)整機(jī)構(gòu)；
所述位置調(diào)整機(jī)構(gòu)，用于調(diào)整所述基準(zhǔn)凹面鏡沿垂直于光軸的方向移動；
所述角度調(diào)整機(jī)構(gòu)，用于調(diào)整所述基準(zhǔn)凹面鏡的偏移角度，從而調(diào)整所述第一反射光的反射角。
5.如權(quán)利要求1所述的凸非球面鏡面形的檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述被測凸非球面鏡調(diào)整機(jī)構(gòu)包括被測凸非球面鏡支撐調(diào)試機(jī)構(gòu)及高精密直線微位移機(jī)構(gòu)；
所述被測凸非球面鏡支撐調(diào)試機(jī)構(gòu)，用于支撐所述被測凸非球面鏡，還用于調(diào)整所述被測凸非球面鏡沿垂直于光軸的方向移動；
所述高精密直線微位移機(jī)構(gòu)，用于調(diào)整所述被測凸非球面鏡沿光軸方向移動。
6.如權(quán)利要求1所述的凸非球面鏡面形的檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述基準(zhǔn)凹面鏡的面形信息通過所述點(diǎn)衍射干涉裝置檢測獲得所述面形誤差數(shù)據(jù)。
7.一種凸非球面鏡面形的檢測方法，其特征在于，包括以下步驟：
S1、點(diǎn)衍射干涉裝置產(chǎn)生衍射光，包括第一衍射光及第二衍射光，并將所述第二衍射光照射至基準(zhǔn)凹面鏡上；
S2、基準(zhǔn)凹面鏡調(diào)整機(jī)構(gòu)調(diào)整所述基準(zhǔn)凹面鏡位置，使所述基準(zhǔn)凹面鏡反射所述第二衍射光至所述被測凸非球面鏡上，形成第一反射光；
S3、所述第一反射光經(jīng)被測凸非球面鏡及所述基準(zhǔn)凹面鏡，反射至所述點(diǎn)衍射干涉裝置上，形成第二反射光；
S4、被測凸非球面鏡調(diào)整機(jī)構(gòu)調(diào)節(jié)所述被測凸非球面鏡沿其光軸以固定步距移動，所述第二反射光根據(jù)所述被測凸非球面鏡位置變化而變化；
S5、所述點(diǎn)衍射干涉裝置將所述第二反射光與所述第一衍射光進(jìn)行干 涉，形成干涉圖像；
S6、圖像處理裝置接收所述干涉圖，并根據(jù)所述干涉圖像及所述基準(zhǔn)凹面鏡的面形誤差數(shù)據(jù)進(jìn)行數(shù)據(jù)處理，從而獲取所述被測凸非球面鏡的面形誤差數(shù)據(jù)。
8.如權(quán)利要求7所述的凸非球面鏡面形的檢測方法，其特征在于，在執(zhí)行所述步驟S1之前，還包括采用點(diǎn)衍射干涉裝置對基準(zhǔn)凹面鏡進(jìn)行面形檢測，獲取所述基準(zhǔn)凹面鏡的面形誤差數(shù)據(jù)。
9.如權(quán)利要求7所述的凸非球面鏡面形的檢測方法，其特征在于，所述點(diǎn)衍射干涉裝置包括光源、針孔照明聚光鏡、針孔板、干涉圖像成像鏡組，由所述光源和所述針孔照明聚光鏡發(fā)出的匯聚光聚焦照射在針孔板的針孔上，形成衍射光。
10.如權(quán)利要求9所述的凸非球面鏡面形的檢測方法，其特征在于，基準(zhǔn)凹面鏡調(diào)整機(jī)構(gòu)包括角度調(diào)整機(jī)構(gòu)和位置調(diào)整機(jī)構(gòu)，角度調(diào)整機(jī)構(gòu)和位置調(diào)整機(jī)構(gòu)調(diào)整所述基準(zhǔn)凹面鏡位置，使得經(jīng)所述基準(zhǔn)凹面鏡的反射的光對準(zhǔn)被測凸非球面鏡，形成第一反射光，并使所述第一反射光再次經(jīng)被測凸非球面鏡和基準(zhǔn)凹面鏡反射，形成所述第二反射光，返回聚焦到所述針孔板上，經(jīng)針孔板反射進(jìn)入所述干涉圖像成像鏡組。