區(qū)熔熱場線圈冷卻水壓力及流量測試臺的制作方法
【專利摘要】本實用新型提供區(qū)熔熱場線圈冷卻水壓力及流量測試臺，包括線圈固定臺、進水管、出水管、第一壓力表、第二壓力表、流量計、電動水泵、水箱，線圈固定臺為矩形板狀，線圈固定臺上設(shè)有進水孔、出水孔及用于線圈定位的定位螺絲孔，進水管的一端與進水孔螺栓連接，另一端順次連接第一壓力表、流量計和電動水泵，出水管的一端與出水孔螺栓連接，另一端順次連接第二壓力表和水箱，水箱通過出水管與電動水泵相連。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，安裝便捷，模擬線圈內(nèi)冷卻水的壓力及流量,對其進行嚴格檢測，避免在使用中出現(xiàn)問題。
【專利說明】
區(qū)熔熱場線圈冷卻水壓力及流量測試臺

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明創(chuàng)造涉及一種對區(qū)熔熱場線圈冷卻水進行壓力及流量檢測的區(qū)熔熱場線圈測試臺。

【背景技術(shù)】
[0002]區(qū)熔熱場線圈需用銅質(zhì)螺絲固定在區(qū)熔爐內(nèi)的銅軸上，熱場線圈安裝后，線圈內(nèi)將流過一定壓力及流量的冷卻水，所以區(qū)熔熱場線圈需要保證絕對的密閉性。區(qū)熔法拉制單晶時，熱場線圈中會通過高功率的射頻電流，射頻功率激發(fā)的電磁場將在多晶柱中引起渦流，產(chǎn)生焦耳熱，通過調(diào)整線圈功率，可以使得多晶柱緊鄰線圈的部分熔化，在由射頻功率激發(fā)出的電磁場的作用下從線圈的中心孔流下，在線圈下方熔料再結(jié)晶為單晶，如果區(qū)熔熱場線圈產(chǎn)生的磁力線不穩(wěn)定，將會造成線圈下方的液面嚴重抖動，影響成晶，所以區(qū)熔熱場線圈對其冷卻水溫度，壓力，流量都有嚴格要求，故區(qū)熔熱場線圈制成后需對成品模擬實際使用情況時冷卻水壓力及流量進行測試，以避免不合格的熱場線圈安裝在區(qū)熔單晶爐上進行拉晶而造成的不必要的損失。目前國內(nèi)還沒有相關(guān)的專用設(shè)備進行檢測。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明創(chuàng)造要解決無法檢測區(qū)熔熱場線圈的外觀情況而在拉晶過程中造成的不必要的損失，本發(fā)明創(chuàng)造提供一種全新的區(qū)熔熱場線圈冷卻水壓力及流量測試臺，對區(qū)熔熱場線圈在上爐拉制單晶之前對其進行嚴格的檢測。
[0004]為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明創(chuàng)造采用的技術(shù)方案是:區(qū)熔熱場線圈冷卻水壓力及流量測試臺，包括線圈固定臺面、進水管、出水管、第一壓力表、第二壓力表、流量計、電動水泵、水箱，所述線圈固定臺面為矩形板狀，其板面設(shè)有進水孔、出水孔及用于線圈定位的定位螺絲孔，所述進水管的一端與所述進水孔螺栓連接，其另一端順次連接所述第一壓力表、所述流量計和所述電動水泵，所述出水管的一端與所述出水孔螺栓連接，其另一端順次連接所述第二壓力表和水箱，所述水箱通過所述出水管與所述電動水泵相連，所述進水管和出水管形成循環(huán)回路。
[0005]進一步，所述定位螺絲孔、所述進水孔和所述出水孔均為兩組。
[0006]進一步，所述每組中的定位螺絲孔為四個，所述每組中的進水孔和所述出水孔均為一個。
[0007]進一步，所述第一壓力表、所述流量計、所述電動水泵和所述進水管組成進水管路，所述第二壓力表、所述水箱和所述出水管組成出水管路，還包括流量調(diào)節(jié)閥、安全閥和手閥，所述流量調(diào)節(jié)閥位于所述流量計和所述電動水泵間的進水管上，所述手閥位于所述第二壓力表和所述水箱間的出水管上，所述安全閥位于進水管路和回水管路中間。
[0008]進一步，所述安全閥通過管路與進水管和出水管相連，該進水管為所述流量計和所述流量調(diào)節(jié)閥間的進水管，該出水管為所述第二壓力表和所述手閥間的出水管。
[0009]進一步，所述線圈固定臺面均為不銹鋼板。
[0010]本發(fā)明創(chuàng)造具有的優(yōu)點和積極效果是:一種區(qū)熔熱場線圈冷卻水壓力及流量測試臺，模擬線圈在區(qū)熔熱場爐拉制單晶過程冷卻水的壓力及流量，并對其進行嚴格的檢測，以避免在使用過程中出現(xiàn)冷卻水壓力及流量不足、漏水等問題。本發(fā)明創(chuàng)造結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，安裝便捷，能及時有效地排除線圈使用過程中的潛在問題。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0011]圖1是本發(fā)明創(chuàng)造工作結(jié)構(gòu)示意圖；
[0012]圖2是線圈固定臺面結(jié)構(gòu)示意圖。
[0013]圖中:
[0014]1、線圈固定臺面2、進水管 3、出水管
[0015]4、第一壓力表 5、第二壓力表6、流量計
[0016]7、電動水泵 8、水箱9、進水孔
[0017]10、出水孔 11、定位螺絲孔12、流量調(diào)節(jié)閥
[0018]13、安全閥 14、手閥

【具體實施方式】
[0019]如圖1、2所示，區(qū)熔熱場線圈冷卻水壓力及流量測試臺，包括線圈固定臺面1、進水管2、出水管3、第一壓力表4、第二壓力表5、流量計6、電動水泵7、水箱8，所述線圈固定臺面I為矩形板狀，所述線圈固定臺面I設(shè)有定位螺絲孔11，及設(shè)有進水孔9和出水孔10，所述進水管2的一端與所述進水孔9快插連接，其另一端順次連接所述第一壓力表4、所述流量計6和所述電動水泵7，所述出水管3的一端與所述出水孔10快插連接，其另一端順次連接所述第二壓力表5和水箱8，所述水箱8通過所述出水管3與所述電動水泵7相連，所述進水管2和出水管3形成循環(huán)回路。
[0020]所述定位螺絲孔11、所述進水孔9和所述出水孔10均為兩組。所述每組中的定位螺絲孔11為四個，所述每組中的進水孔9和所述出水孔10均為一個。所述定位螺絲孔11、所述進水孔9和所述出水孔10均為兩組的目的是為了使測試臺能夠滿足現(xiàn)場生產(chǎn)需要，能達到多套測試系統(tǒng)同時進行的目的，提高生產(chǎn)效率。
[0021]所述第一壓力表4、所述流量計6、所述電動水泵7和所述進水管2組成進水管路，所述第二壓力表5、所述水箱8和所述出水管3組成出水管路。還包括流量調(diào)節(jié)閥12、安全閥13和手閥14，所述流量調(diào)節(jié)閥12于所述流量計6和所述電動水泵7間的進水管2上，所述手閥14于所述第二壓力表5和所述水箱8間的出水管3上，所述安全閥13位于進水管2和出水管3之間。
[0022]所述安全閥13通過管路與進水管2和出水管3相連，該進水管2為所述流量計6和所述流量調(diào)節(jié)閥12間的進水管2，該出水管3為所述第二壓力表5和所述手閥14間的出水管3。
[0023]所述線圈固定臺面I為不銹鋼板。
[0024]一種區(qū)熔熱場線圈冷卻水壓力及流量檢測臺，按照圖1所示連接閉合循環(huán)水路，其檢測方法為:
[0025]1.把所述線圈固定臺面I放置于水平桌面臺上；
[0026]2.把待檢測線圈上螺栓孔與所述線圈固定臺面I上的所述定位螺絲孔11對應后，擰緊緊固螺栓。把水平尺放在線圈正面，檢測是否水平；
[0027]3.將線圈固定臺面I的進水孔9與所述回路的進水管2快插相連，再按照圖1所示依次連接所述第一壓力表4、流量計6、流量調(diào)節(jié)閥12和電動水泵7 ;將線圈固定臺面I的出水孔10與所述回路的出水管3相連，再按照圖1所示依次連接所述第二壓力表5、手閥14和水箱8 ;連接所述安全閥13。整個檢測裝置形成閉合循環(huán)水路，開啟電動水泵7后，通過調(diào)節(jié)進出水路上的第一壓力表4、第二壓力表5及流量計6，模擬區(qū)熔線圈實際使用狀態(tài)，確認水路壓力及流量是否符合要求；
[0028]4.保壓15分鐘，通過壓力損失及流量變化確認線圈水路是否有堵塞漏水等問題。
[0029]所述安全閥13的作用是為了確保進水壓力保持在特定范圍內(nèi)，符合生產(chǎn)實際。安全閥13在系統(tǒng)中起安全保護作用。當系統(tǒng)壓力超過規(guī)定值時，所述安全閥13打開，將系統(tǒng)中的一部分流體通過管道排入所述水箱8中，使系統(tǒng)壓力不超過允許值，從而保證系統(tǒng)不因壓力過高而發(fā)生事故。
[0030]以上對本發(fā)明創(chuàng)造的實施例進行了詳細說明，但所述內(nèi)容僅為本發(fā)明創(chuàng)造的較佳實施例，不能被認為用于限定本發(fā)明的實施范圍。凡依本發(fā)明創(chuàng)造范圍所作的均等變化與改進等，均應仍歸屬于本專利涵蓋范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.區(qū)熔熱場線圈冷卻水壓力及流量測試臺，其特征在于:包括線圈固定臺面(I)、進水管(2)、出水管(3)、第一壓力表(4)、第二壓力表(5)、流量計(6)、電動水泵(7)、水箱(8)，所述線圈固定臺面(I)為矩形板狀，其板面設(shè)有進水孔(9)、出水孔(10)、用于線圈定位的定位螺絲孔(11)，所述進水管(2)的一端與所述進水孔(9)連接，其另一端順次連接所述第一壓力表(4)、所述流量計(6)和所述電動水泵(7)，所述出水管(3)的一端與所述出水孔(10)連接，其另一端順次連接所述第二壓力表(5)和水箱(8)，所述水箱(8)通過所述出水管⑶與所述電動水泵(7)相連，所述進水管(2)和出水管(3)形成循環(huán)回路。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的區(qū)熔熱場線圈冷卻水壓力及流量測試臺，其特征在于:所述定位螺絲孔(11)、所述進水孔(9)和所述出水孔(10)均為兩組。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的區(qū)熔熱場線圈冷卻水壓力及流量測試臺，其特征在于:所述每組中的定位螺絲孔(11)為四個，所述每組中的進水孔(9)和所述出水孔(10)均為一個。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的區(qū)熔熱場線圈冷卻水壓力及流量測試臺，其特征在于:所述第一壓力表(4)、所述流量計￠)、所述電動水泵(7)和所述進水管(2)組成進水管路，所述第二壓力表(5)、所述水箱(8)和所述出水管(3)組成出水管路，還包括流量調(diào)節(jié)閥(12)、安全閥(13)和手閥(14)，所述流量調(diào)節(jié)閥(12)位于所述流量計(6)和所述電動水泵(7)間的進水管(2)上，所述手閥(14)位于所述第二壓力表(5)和所述水箱(8)間的出水管(3)上，所述安全閥(13)位于進水管路和回水管路中間。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的區(qū)熔熱場線圈冷卻水壓力及流量測試臺，其特征在于:所述安全閥(13)通過管路與進水管(2)和出水管(3)相連，該進水管(2)為所述流量計(6)和所述流量調(diào)節(jié)閥(12)間的進水管(2)，該出水管(3)為所述第二壓力表(5)和所述手閥(14)間的出水管(3) ο
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的區(qū)熔熱場線圈冷卻水壓力及流量測試臺，其特征在于:所述線圈固定臺面(I)為不銹鋼板。
【文檔編號】G01M13/00GK204008038SQ201420438606
【公開日】2014年12月10日 申請日期:2014年8月6日 優(yōu)先權(quán)日:2014年8月6日
【發(fā)明者】姚長娟, 靳立輝, 劉旭光, 王國瑞, 于書瀚, 賈弘源, 王凱 申請人:天津市環(huán)歐半導體材料技術(shù)有限公司