一種設(shè)備運(yùn)行過程中的線纜通斷檢測保護(hù)裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種設(shè)備運(yùn)行過程中的線纜通斷檢測保護(hù)裝置，包括信號源、檢測信號回路以及檢測信號處理單元，所述信號源向所述檢測信號回路的一端發(fā)送信號，經(jīng)所述檢測信號回路的傳導(dǎo)作用傳遞至所述回路的另一端，所述檢測信號處理單元從所述回路的另一端接收所述發(fā)送信號，所述檢測信號回路由連接執(zhí)行器的接插件以及連接線纜組成。本實(shí)用新型利用連接執(zhí)行器的接插件以及連接線纜組成反饋回路，實(shí)時檢測接插件的連接狀態(tài)，節(jié)省故障檢測的時間；本實(shí)用新型簡單易行，對反饋回路的接插件規(guī)格沒有額外的限制。
【專利說明】一種設(shè)備運(yùn)行過程中的線纜通斷檢測保護(hù)裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種設(shè)備故障檢測裝置，尤其涉及一種設(shè)備運(yùn)行過程中的線纜通斷檢測保護(hù)裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]在光刻機(jī)系統(tǒng)中，考慮到機(jī)械組裝和設(shè)置現(xiàn)場檢測點(diǎn)的問題，光刻機(jī)的電機(jī)、傳感器、光柵尺和板卡等(以下統(tǒng)稱為“執(zhí)行器”)通常都會經(jīng)過多次的接插件的對插進(jìn)行連接，才可以在控制終端得到執(zhí)行器的數(shù)據(jù)。在光刻機(jī)的運(yùn)行過程中，有時會無法讀取到執(zhí)行器所發(fā)送的數(shù)據(jù)，或者無法對執(zhí)行器進(jìn)行正常的供電。造成這一現(xiàn)象的原因可能是終端控制軟件發(fā)生問題、可能是執(zhí)行器本身已經(jīng)損壞、也可能是因?yàn)殡娎|接插件接觸不良，或者接插件已經(jīng)斷開等等多種原因?qū)е碌?。目前遇到此類問題的處理方法是對以上可能性一一進(jìn)行排查，最先檢查項(xiàng)便是線纜接插件的連接情況，鑒于光刻機(jī)的機(jī)械構(gòu)造十分復(fù)雜，且空間有限，很多接插件的對插位置十分刁鉆、需要拆除部分機(jī)械件，再由測試人員鉆入狹小的空間進(jìn)行檢測，不便捷的同時，也十分浪費(fèi)時間。若最后檢測結(jié)果顯示不是接插件的連接故障導(dǎo)致信號傳輸故障和供電故障的話，不但錯過了解決問題的第一時間，而且加大了機(jī)械人員和電氣檢測人員的工作量。
[0003]同時，就目前技術(shù)文檔調(diào)研表示，對于接插件在機(jī)器運(yùn)行過程中斷開的處理方式多為使用蜂鳴器或者LED燈示警，卻無任何斷電防護(hù)措施，這可能造成檢測人員在檢測過程中的人身傷害，也可能引起由于在接插件斷開處，接插件接觸了其他導(dǎo)電物質(zhì)發(fā)生短路，對設(shè)備造成損壞的后果。同時對檢測信號輸入端的接插件插件規(guī)格有要求，靈活度不高。
[0004]因此，如何提供一種可以在第一時間確認(rèn)設(shè)備在運(yùn)行過程中的信號傳輸故障和供電故障是否是由于電纜接插件接觸不良或者斷路造成，并且在接插件斷開的情況下對該條線路實(shí)施斷電保護(hù)措施的線纜通斷檢測保護(hù)裝置是本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的一個技術(shù)問題。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0005]本實(shí)用新型提供一種設(shè)備運(yùn)行過程中的線纜通斷檢測保護(hù)裝置，可以在第一時間確認(rèn)設(shè)備在運(yùn)行過程中的信號傳輸故障和供電故障是否是由于電纜接插件接觸不良或者斷路造成，并且在接插件斷開的情況下對該條線路實(shí)施斷電保護(hù)。
[0006]為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供一種設(shè)備運(yùn)行過程中的線纜通斷檢測保護(hù)裝置，包括信號源、檢測信號回路以及檢測信號處理單元，所述信號源向所述檢測信號回路的一端發(fā)送信號，經(jīng)所述檢測信號回路的傳導(dǎo)作用傳遞至所述回路的另一端，所述檢測信號處理單元從所述回路的另一端接收所述發(fā)送信號，所述檢測信號回路由連接執(zhí)行器的接插件以及連接線纜組成。
[0007]較佳地，最靠近執(zhí)行器的所述接插件中未使用的兩個管腳短接，所述線纜中未使用的2根線分別引向2頭接插件中未使用的兩個管腳，所述執(zhí)行器的接插件與所述線纜的一頭的接插件配合接插連接。
[0008]較佳地，所述檢測信號處理單元包括:依次連接的反饋信號接收模塊、反饋信號儲存模塊、反饋信號控制處理模塊以及指示燈。
[0009]較佳地，所述反饋信號接收模塊連接至所述檢測信號回路的另一端，并將所述檢測信號回路檢測到的模擬信號轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號。
[0010]較佳地，所述數(shù)字信號通過所述反饋信號儲存模塊傳輸至所述反饋信號控制處理模塊。
[0011]較佳地，所述反饋信號控制處理模塊讀取所述檢測信號回路的信息，并對該信息進(jìn)行分析處理；處理后的信息由所述指示燈進(jìn)行指示。
[0012]較佳地，一個執(zhí)行器對應(yīng)一組相互連接的所述反饋信號接收模塊、所述反饋信號儲存模塊、所述反饋信號控制處理模塊以及所述指示燈。
[0013]較佳地，所述檢測信號處理單元還包括:反饋信號人機(jī)操作模塊和執(zhí)行器電源信號控制模塊，所述反饋信號人機(jī)操作模塊的輸入端連接至所述反饋信號控制處理模塊，所述反饋信號人機(jī)操作模塊的輸出端連接至所述執(zhí)行器電源信號控制模塊和信號源，所述執(zhí)行器電源信號控制模塊的輸出端連接至所述執(zhí)行器的供電端。
[0014]較佳地，所述反饋信號控制處理模塊讀取到的檢測信號回路的信息分為三種:讀取到連續(xù)的高電平信號，則對應(yīng)執(zhí)行器的接插件連接牢固；讀取到交替變換的高低電平信號，則對應(yīng)執(zhí)行器的接插件連接不良；讀取到連續(xù)的低電平信號，則對應(yīng)執(zhí)行器的接插件出現(xiàn)斷路。
[0015]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有以下優(yōu)點(diǎn):
[0016]1.本實(shí)用新型可在執(zhí)行器運(yùn)行過程中發(fā)生數(shù)據(jù)無法讀取和無法對執(zhí)行器供電情況下，第一時間確定或排除引發(fā)故障的原因是否為電纜接插件連接故障。從而加快問題的排查速度，提高工作效率，降低不必要的工作量；
[0017]2.利用連接執(zhí)行器的接插件以及連接線纜構(gòu)成檢測信號回路，使得接插件一旦接觸不良就可立即被發(fā)現(xiàn)，故而提高了發(fā)現(xiàn)問題的效率，使接插件空置管腳利用率最大化；
[0018]3.本實(shí)用新型簡單易行，對反饋回路的接插件規(guī)格沒有額外的限制；
[0019]4.本實(shí)用新型在檢測到電纜連接的接插件發(fā)生斷路情況下，可以對斷路處實(shí)施斷電保護(hù)措施，很好的防止人身傷害以及設(shè)備損壞所帶來的財產(chǎn)損失。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0020]圖1為本實(shí)用新型一【具體實(shí)施方式】的設(shè)備運(yùn)行過程中的線纜通斷檢測保護(hù)裝置的結(jié)構(gòu)框圖；
[0021]圖2為本實(shí)用新型一【具體實(shí)施方式】的設(shè)備運(yùn)行過程中的線纜通斷檢測保護(hù)裝置中接插件引腳組成檢測信號回路的示意圖；
[0022]圖3為本實(shí)用新型一【具體實(shí)施方式】的設(shè)備運(yùn)行過程中的線纜通斷檢測保護(hù)裝置中檢測信號處理單元的框圖。
[0023]圖中:10_信號源、20-檢測信號回路、30-檢測信號處理單元、31-反饋信號接收模塊、32-反饋信號儲存模塊、33-反饋信號控制處理模塊、34-指示燈、35-反饋信號人機(jī)操作模塊、36-執(zhí)行器電源信號控制模塊、40-執(zhí)行器、41-線纜、42-接插件。

【具體實(shí)施方式】
[0024]為使本實(shí)用新型的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加清晰易懂，下面結(jié)合附圖對本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】做詳細(xì)的說明。需說明的是，本實(shí)用新型附圖均采用簡化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。
[0025]請參考圖1至圖3，本實(shí)用新型提供的設(shè)備運(yùn)行過程中的線纜通斷檢測保護(hù)裝置，包括:信號源10、檢測信號回路20以及檢測信號處理單元30，所述信號源10向所述檢測信號回路20發(fā)送信號，經(jīng)所述檢測信號回路20的傳導(dǎo)作用傳遞至所述檢測信號處理單元30，也就是說，當(dāng)所述檢測信號處理單元30接收到的信號源10發(fā)送到信息異常時，說明所述檢測信號回路20處于異常狀態(tài)，確保操作人員能夠第一時間確定或排除引發(fā)故障的原因是否為線纜41的接插件42連接故障引起的。從而加快問題的排查速度，提高工作效率，降低不必要的工作量。本實(shí)用新型中所述檢測信號回路20由連接執(zhí)行器40的接插件42 (—般情況下為最外側(cè)邊緣的兩個管腳a和b)以及連接線纜組成，請重點(diǎn)參考圖2，其中管腳a和管腳b —般為這種接插件42最外側(cè)邊緣的兩個管腳，連同線纜41中相對應(yīng)的導(dǎo)線，用以連通信號源10和檢測信號處理單元30 ;管腳c至管腳d之間(如圖2所示)的所有管腳(包括管腳c和管腳d)用以執(zhí)行器40本身的供電和信號傳輸。這樣，若接插件42 —旦松動，最先脫離接觸的一般就是最外側(cè)邊緣的管腳a和b，故而提高了發(fā)現(xiàn)問題的效率，使接插件42的空置管腳的利用率最大化。
[0026]較佳地，請重點(diǎn)參考圖1，最靠近執(zhí)行器40的接插件42中未使用的兩個管腳短接，本實(shí)施例中為最外側(cè)邊緣的兩個管腳a和b短接。具體地，所述線纜41中未使用的2根線分別引向2頭接插件42里未使用的兩個管腳，所述執(zhí)行器40的接插件與所述線纜41的一頭的接插件配合接插連接，所述檢測信號回路20的連接方式為:將執(zhí)行器40的控制回路中每一根線纜41兩端的接插件42中的管腳a與管腳a連接，管腳b與管腳b連接。在最接近執(zhí)行器40的接插件42中，需要將它的管腳a和管腳b連接起來，最終形成回路。
[0027]較佳地，請重點(diǎn)參考圖3，所述檢測信號處理單元30包括:依次連接的反饋信號接收模塊31、反饋信號儲存模塊32、反饋信號控制處理模塊33以及指示燈34，所述反饋信號接收模塊31連接至所述檢測信號回路20的另一端，并將所述檢測信號回路20檢測到的模擬信號轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號；所述數(shù)字信號通過所述反饋信號儲存模塊32傳輸至所述反饋信號控制處理模塊33 ;所述反饋信號控制處理模塊33讀取所述檢測信號回路20的信息，并對該信息進(jìn)行分析處理；處理后的信息由所述指示燈34進(jìn)行指示。整個線纜通斷檢測保護(hù)裝置的工作過程如下:
[0028]信號源10為整條檢測信號回路20提供一個信號來源，通過反饋信號接收模塊31接收信號源10發(fā)出后得到的實(shí)際數(shù)據(jù)，并將其轉(zhuǎn)換成可被反饋信號儲存模塊32所接收并儲存的信息類型，預(yù)先對所述反饋信號控制處理模塊33進(jìn)行程序編制，使反饋信號控制處理模塊33中的程序?qū)Ψ答佇盘杻Υ婺K32中的數(shù)據(jù)進(jìn)行分析處理，得出檢測信號回路20的連接狀態(tài)，并最終發(fā)送至指示燈34中進(jìn)行顯示；
[0029]所述反饋信號接收模塊31的主要功能是為了將實(shí)際檢測到的信號數(shù)據(jù)通過A/D轉(zhuǎn)換接口，將模擬信號轉(zhuǎn)換成可被反饋信號儲存模塊32所接收并可儲存的數(shù)字信號；
[0030]所述反饋信號儲存模塊32作為數(shù)字信號的寄存器，并向反饋信號控制處理模塊33不間斷的提供實(shí)時信號的信息；
[0031]所述反饋信號控制處理模塊33的作用是讀取反饋信號儲存模塊32中的數(shù)字信息，將這些數(shù)字信息進(jìn)行分析處理，并將處理結(jié)果發(fā)送給指示燈34。
[0032]較佳地，請繼續(xù)參考圖3，一個執(zhí)行器40對應(yīng)一組相互連接的所述反饋信號接收模塊31、所述反饋信號儲存模塊32、所述反饋信號控制處理模塊33以及所述指示燈34，也就是說，每個執(zhí)行器40需要對應(yīng)一組檢測信號，并單獨(dú)顯示，這樣線路較為簡單，也便于人員觀察，若共用同一個檢測信號，數(shù)據(jù)復(fù)雜，穩(wěn)定性低。
[0033]較佳地，請繼續(xù)參考圖3，所述檢測信號處理單元30還包括:反饋信號人機(jī)操作模塊35和執(zhí)行器電源信號控制模塊36，所述反饋信號人機(jī)操作模塊35的輸入端連接至所述反饋信號控制處理模塊33，所述反饋信號人機(jī)操作模塊35的輸出端連接至所述執(zhí)行器電源信號控制模塊36和信號源10，所述執(zhí)行器電源信號控制模塊36的輸出端連接至所述執(zhí)行器40的供電端。當(dāng)檢測到某個執(zhí)行器40的連接線路出現(xiàn)異常，操作人員可通過所述反饋信號人機(jī)操作模塊35進(jìn)行設(shè)置，通過所述執(zhí)行器電源信號控制模塊36控制該條執(zhí)行器40的連接線路以及對應(yīng)的信號源10進(jìn)行切斷，實(shí)施斷電保護(hù)措施，很好的防止人身傷害以及設(shè)備損壞所帶來的財產(chǎn)損失。
[0034]較佳地，所述反饋信號控制處理模塊33讀取到的檢測信號回路20的信息分為三種:讀取到連續(xù)的高電平信號，則對應(yīng)執(zhí)行器40的接插件42連接牢固；讀取到交替變換的高低電平信號，則對應(yīng)執(zhí)行器40的接插件42連接不良；讀取到連續(xù)的低電平信號，則對應(yīng)執(zhí)行器40的接插件42出現(xiàn)斷路。具體地，在反饋信號控制處理模塊33與反饋信號儲存模塊32相連的接口中讀取反饋信號儲存模塊32中的信息，在一個掃描周期中會得到3種情況的數(shù)據(jù):第一種情況，在一個掃描周期中讀取到連續(xù)的高電平信號，即數(shù)字信號“I”;第二種情況，在一個掃描周期中讀取到交替著出現(xiàn)的高低電平信號，即交替出線的數(shù)字信號“I”和“O”；第三種情況，在一個掃描周期中讀取到連續(xù)的低電平信號，即數(shù)字信號“O”。當(dāng)讀取到第一種情況時，表示檢測信號連接正常，即執(zhí)行器40的控制回路中的接插件42連接牢固，整條線路信號傳輸順暢；當(dāng)讀取到第二種情況時，表示檢測信號連接不良，即執(zhí)行器40的控制回路中的接插件42出現(xiàn)了接觸不良的現(xiàn)象；當(dāng)讀取到第三種情況時，表示檢測信號中斷，即執(zhí)行器40的控制回路中的接插件42出現(xiàn)了斷路現(xiàn)象。反饋信號控制處理模塊33會將所得到的比較結(jié)果反饋給反饋信號人機(jī)操作模塊35和指示燈34，較佳地，所述指示燈34可采用雙色指示燈，當(dāng)結(jié)果為第一種情況時，表示線纜41的回路連接正常，綠色指示燈常亮，反饋信號人機(jī)操作模塊35不做反應(yīng)；當(dāng)結(jié)果為第二種情況時，表示線纜41的回路中接插件42發(fā)生接觸不良，綠色指示燈閃爍，反饋信號人機(jī)操作模塊35在人員可操作界面上顯示“接插件連接不良”的提示，并給出是否對該條線纜41的回路斷電的申請；當(dāng)結(jié)果為第三種時，表示線纜41的回路中接插件42發(fā)生斷路，綠色指示燈滅，紅色指示燈常亮，反饋信號人機(jī)操作模塊35在人員可操作界面上顯示“接插件連接斷開”的提示，并給出是否對該條線纜41的回路進(jìn)行斷電的申請。當(dāng)控制人員在反饋信號人機(jī)操作模塊35上做出對線纜41的回路進(jìn)行斷電的操作指令后，會將對執(zhí)行器40的供電電源切斷，該條線纜41對應(yīng)的信號源10也相應(yīng)切斷，同時將反饋信號儲存模塊32中的數(shù)據(jù)清空。待問題排查結(jié)束后，重新恢復(fù)對執(zhí)行器40的供電和信號源10的供給，重新開始對該條線路的監(jiān)測。
[0035]綜上所述，本實(shí)用新型提供的一種設(shè)備運(yùn)行過程中的線纜通斷檢測保護(hù)裝置，該設(shè)備包括信號源10、檢測信號回路20以及檢測信號處理單元30，所述信號源10向所述檢測信號回路20的一端發(fā)送信號，經(jīng)所述檢測信號回路20的傳導(dǎo)作用傳遞至所述回路的另一端，所述檢測信號處理單元30從所述回路的另一端接收所述發(fā)送信號，所述檢測信號回路20由連接執(zhí)行器40的接插件42以及連接線纜組成。本實(shí)用新型利用連接執(zhí)行器40的接插件42的最外側(cè)邊緣的兩個管腳a和b以及連接線纜組成反饋回路，實(shí)時檢測接插件42的連接狀態(tài)，節(jié)省故障檢測的時間；本實(shí)用新型簡單易行，對反饋回路的接插件42規(guī)格沒有額外的限制。
[0036]顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對實(shí)用新型進(jìn)行各種改動和變型而不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實(shí)用新型的這些修改和變型屬于本實(shí)用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實(shí)用新型也意圖包括這些改動和變型在內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種設(shè)備運(yùn)行過程中的線纜通斷檢測保護(hù)裝置，其特征在于，包括信號源、檢測信號回路以及檢測信號處理單元，所述信號源向所述檢測信號回路的一端發(fā)送信號，經(jīng)所述檢測信號回路的傳導(dǎo)作用傳遞至所述回路的另一端，所述檢測信號處理單元從所述回路的另一端接收所述發(fā)送信號，所述檢測信號回路由連接執(zhí)行器的接插件以及連接線纜組成。
2.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備運(yùn)行過程中的線纜通斷檢測保護(hù)裝置，其特征在于，最靠近執(zhí)行器的所述接插件中未使用的兩個管腳短接，所述線纜中未使用的2根線分別引向2頭接插件里未使用的兩個管腳，所述執(zhí)行器的接插件與所述線纜的一頭的接插件配合接插連接。
3.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備運(yùn)行過程中的線纜通斷檢測保護(hù)裝置，其特征在于，所述檢測信號處理單元包括:依次連接的反饋信號接收模塊、反饋信號儲存模塊、反饋信號控制處理模塊以及指示燈。
4.如權(quán)利要求3所述的設(shè)備運(yùn)行過程中的線纜通斷檢測保護(hù)裝置，其特征在于，所述反饋信號接收模塊連接至所述檢測信號回路的另一端，并將所述檢測信號回路檢測到的模擬信號轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號。
5.如權(quán)利要求4所述的設(shè)備運(yùn)行過程中的線纜通斷檢測保護(hù)裝置，其特征在于，所述數(shù)字信號通過所述反饋信號儲存模塊傳輸至所述反饋信號控制處理模塊。
6.如權(quán)利要求5所述的設(shè)備運(yùn)行過程中的線纜通斷檢測保護(hù)裝置，其特征在于，所述反饋信號控制處理模塊讀取所述檢測信號回路的信息，并對該信息進(jìn)行分析處理；處理后的信息由所述指示燈進(jìn)行指示。
7.如權(quán)利要求3所述的設(shè)備運(yùn)行過程中的線纜通斷檢測保護(hù)裝置，其特征在于，一個執(zhí)行器對應(yīng)一組相互連接的所述反饋信號接收模塊、所述反饋信號儲存模塊、所述反饋信號控制處理模塊以及所述指示燈。
8.如權(quán)利要求3所述的設(shè)備運(yùn)行過程中的線纜通斷檢測保護(hù)裝置，其特征在于，所述檢測信號處理單元還包括:反饋信號人機(jī)操作模塊和執(zhí)行器電源信號控制模塊，所述反饋信號人機(jī)操作模塊的輸入端連接至所述反饋信號控制處理模塊，所述反饋信號人機(jī)操作模塊的輸出端連接至所述執(zhí)行器電源信號控制模塊和信號源，所述執(zhí)行器電源信號控制模塊的輸出端連接至所述執(zhí)行器的供電端。
9.如權(quán)利要求3所述的設(shè)備運(yùn)行過程中的線纜通斷檢測保護(hù)裝置，其特征在于，所述反饋信號控制處理模塊讀取到的檢測信號回路的信息分為三種:讀取到連續(xù)的高電平信號，則對應(yīng)執(zhí)行器的接插件連接牢固；讀取到交替變換的高低電平信號，則對應(yīng)執(zhí)行器的接插件連接不良；讀取到連續(xù)的低電平信號，則對應(yīng)執(zhí)行器的接插件出現(xiàn)斷路。
【文檔編號】G01R31/02GK204156496SQ201420423284
【公開日】2015年2月11日 申請日期:2014年7月29日 優(yōu)先權(quán)日:2014年7月29日
【發(fā)明者】孔莉菲 申請人:上海微電子裝備有限公司