一種新型傳感器的制造方法
【專利摘要】為了解決傳統(tǒng)傳感器在工作時因水垢沉積和結(jié)晶帶來的傳感器異常使基板錯誤位置信息上傳而引起的設(shè)備異常停機，本實用新型提出一種新型傳感器，包括底座、支架和接觸單元，所述底座與支架上設(shè)有相互作用的磁感應(yīng)裝置，所述支架一端設(shè)有受力后向下運動并觸發(fā)所述磁感應(yīng)裝置產(chǎn)生信號的接觸單元，另一端通過彈性部件與底座連接。
【專利說明】一種新型傳感器

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實用新型涉及一種傳感器，尤其涉及一種應(yīng)用于基板清洗、顯影或刻蝕設(shè)備上 的位置傳感器。

【背景技術(shù)】
[0002] 在傳統(tǒng)的基板清洗、顯影或刻蝕設(shè)備中，需要通過位置傳感器來感應(yīng)基板當時所 處的位置，并將該位置信息上傳給上位機和下單元，如圖1所示為傳統(tǒng)的搖擺式位置傳感 器，凹形底座11固定于清洗、顯影或刻蝕設(shè)備(未示出)上，搖擺頭13通過轉(zhuǎn)軸12安裝于底 座11上，并可隨轉(zhuǎn)軸12發(fā)上轉(zhuǎn)動。在底座11和搖擺頭13相對應(yīng)的位置上分別安裝有磁 感應(yīng)器14和磁鐵15。由于搖擺頭13的高度高于底座11，當基板10在底座11的上平面上 傳送時，將觸碰到搖擺頭13,并帶動搖擺頭13發(fā)生轉(zhuǎn)動，從而使磁鐵15發(fā)生位移，磁感應(yīng)器 14將該位移信息反饋給控制中心并得到基板10的位置信息。
[0003] 這種傳統(tǒng)的搖擺式位移傳感器在運行一段時間后會沉積水垢或結(jié)晶，致使搖擺頭 工作時不能正常復(fù)位，從而將錯誤的基板位置信息上傳給上位機和下單元，這樣就會導(dǎo)致 設(shè)備異常停機，需要采用人力將有水垢和結(jié)晶的搖擺式位移傳感器清潔，并將設(shè)備內(nèi)部的 基板手動或半自動傳出重新清洗，既影響設(shè)備的稼動率，又增加了生產(chǎn)成本。 實用新型內(nèi)容
[0004] 為了解決上述問題，本實用新型提出一種新型傳感器，包括底座、支架和接觸單 元，所述底座與支架上設(shè)有相互作用的磁感應(yīng)裝置，所述支架一端設(shè)有受力后向下運動并 觸發(fā)所述磁感應(yīng)裝置產(chǎn)生信號的接觸單元，另一端通過彈性部件與底座連接。
[0005] 特別地，所述支架設(shè)有磁鐵，所述底座在與磁鐵相對應(yīng)的位置上設(shè)有磁感應(yīng)器。
[0006] 特別地，所述支架設(shè)有磁感應(yīng)器，所述底座在與磁感應(yīng)器相對應(yīng)的位置上設(shè)有磁 鐵。
[0007] 特別地，所述支架設(shè)有磁鐵，所述底座在與磁鐵相對應(yīng)的位置上設(shè)有線圈。
[0008] 特別地，所述支架設(shè)有線圈，所述底座在與線圈相對應(yīng)的位置上設(shè)有磁鐵。
[0009] 特別地，所述接觸單元為球形或圓柱形，所述接觸單元可滾動或不可滾動。
[0010] 特別地，所述接觸單元的接觸面為弧形或斜面。
[0011] 特別地，所述彈性部件為卡簧。
[0012] 特別地，所述接觸單元為弧形或斜面。有益效果：本實用新型的位置傳感器解決 了傳統(tǒng)傳感器在工作時因水垢沉積和結(jié)晶帶來的傳感器異常使基板錯誤位置信息上傳而 引起的設(shè)備異常停機，從而提升設(shè)備的稼動率，降低生產(chǎn)成本。
[0013] 上述說明僅是本實用新型技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本實用新型的技 術(shù)手段，而可依照說明書的內(nèi)容予以實施，并且為了讓本實用新型的上述和其他目的、特征 和優(yōu)點能夠更明顯易懂，以下特舉較佳實施例，并配合附圖，詳細說明如下。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0014] 圖1為傳統(tǒng)的位置傳感器結(jié)構(gòu)示意圖。
[0015] 圖2為實施例一的傳感器結(jié)構(gòu)示意圖。
[0016] 圖3為實施例二的傳感器結(jié)構(gòu)示意圖。
[0017] 圖4為實施例三的傳感器結(jié)構(gòu)示意圖。
[0018] 圖5為實施例四的傳感器結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實施方式】
[0019] 為使本領(lǐng)域技術(shù)人員更好地理解本實用新型的技術(shù)方案，下面結(jié)合附圖和具體實 施方式對本實用新型作進一步詳細描述。
[0020] 實施例一
[0021] 如圖2所示，本實施例的傳感器包括底座21和支架22,支架22的一端設(shè)有接觸單 元23,另一端通過彈性部件24連接底座21。在底座21與支架22之間設(shè)有磁感應(yīng)裝置，包 括在支架22的末端設(shè)置的磁鐵251，以及在底座21上與磁鐵251相對應(yīng)的位置上設(shè)置的磁 感應(yīng)器252。
[0022] 當基板20進入清洗、顯影或刻蝕單元時，基板20壓動接觸單元23向下運動，從而 帶動磁鐵251移動，磁感應(yīng)器252感應(yīng)磁鐵251變化產(chǎn)生信號，通過檢測該信號可以得到基 板20的位置。
[0023] 特別地，本實施例的彈性部件24為卡簧，其作用為復(fù)位。
[0024] 本實施例的接觸單元23為球形，但并不局限于此，也可以為圓柱形、弧形或斜面， 只要可以使接觸單元23在受力后向下運動即可。
[0025] 本實施例的接觸單元23在受力時會發(fā)生滾動，使得基板20與接觸單元23觸碰時 有一個緩沖，可以更好地保護基板20。當然，當接觸單元23為球形或圓柱形時，即使受力后 不會滾動也并不影響傳感器的工作。
[0026] 作為本實施例的另一種實現(xiàn)方式，也可以將磁鐵251設(shè)于支架22的末端，而將磁 感應(yīng)器252設(shè)在底座21與磁鐵251相對應(yīng)的位置上。
[0027] 實施例二
[0028] 如圖3所示，本實施例的傳感器包括底座31和支架32,在底座31與支架32之間 設(shè)有磁感應(yīng)裝置，包括在支架32的末端設(shè)置的磁鐵351，以及在底座31上與磁鐵351相對 應(yīng)的位置上設(shè)置的線圈352。支架32的一端設(shè)有接觸單元33,另一端的磁鐵351通過彈性 部件34連接底座32。
[0029] 當基板30進入清洗、顯影或刻蝕單元時，基板30壓動接觸單元33向下運動，磁鐵 351與線圈352相對運動，根據(jù)電磁感應(yīng)原理，產(chǎn)生感應(yīng)電流，通過檢測電流變化就可以感 知基板30的位置。
[0030] 特別地，本實施例的彈性部件34為卡簧，其作用為復(fù)位。
[0031] 本實施例的接觸單元33為球形，但并不局限于此，也可以為圓柱形、弧形或斜面， 只要可以使接觸單元33在受力后向下運動即可。
[0032] 本實施例的接觸單元33在受力時會發(fā)生滾動，使得基板30與接觸單元33觸碰時 有一個緩沖，可以更好地保護基板30。當然，當接觸單元33為球形或圓柱形時，即使受力后 不會滾動也并不影響傳感器的工作。
[0033] 實施例三
[0034] 如圖4所示，本實施例的傳感器包括底座41和支架42,在底座31與支架32之間 設(shè)有磁感應(yīng)裝置，包括在支架42的末端設(shè)置的線圈452,以及在底座31上與線圈452相對 應(yīng)的位置上設(shè)置的磁鐵451。支架42的一端設(shè)有接觸單元43,另一端通過彈性部件44連 接底座42。
[0035] 當基板40進入清洗、顯影或刻蝕單元時，基板40壓動接觸單元43向下運動，磁鐵 451與線圈452相對運動，根據(jù)電磁感應(yīng)原理，產(chǎn)生感應(yīng)電流，通過檢測電流變化就可以感 知基板40的位置。
[0036] 特別地，本實施例的彈性部件44為卡簧，其作用為復(fù)位。
[0037] 本實施例的接觸單元43為球形，但并不局限于此，也可以為圓柱形、弧形或斜面， 只要可以使接觸單元43在受力后向下運動即可。
[0038] 本實施例的接觸單元43在受力時會發(fā)生滾動，使得基板40與接觸單元43觸碰時 有一個緩沖，可以更好地保護基板40。當然，當接觸單元43為球形或圓柱形時，即使受力后 不會滾動也并不影響傳感器的工作。
[0039] 實施例四
[0040] 如圖5所不，本實施例的傳感器包括底座51和支架52,支架52為杠桿，其一端（A 端）作為杠桿支點通過彈性部件54與底座51連接，另一端（B端）設(shè)置有接觸單元53。在 底座51和支架52之間設(shè)有磁感應(yīng)裝置，包括設(shè)在支架51A端的磁鐵551，以及在底座52上 與磁鐵551相對應(yīng)的位置上設(shè)置的磁感應(yīng)器552。
[0041] 當基板50進入清洗、顯影或刻蝕單元時，基板50壓動接觸單元53向下運動，從而 使支架52的B端向下運動，并帶動磁鐵551發(fā)生位移，磁感應(yīng)器552感應(yīng)磁鐵551變化產(chǎn) 生信號，通過檢測該信號可以得到基板50的位置。
[0042] 特別地，本實施例的彈性部件54為卡簧，其作用為復(fù)位。
[0043] 由于彈性部件54的形變量一般較小，因此支架52的垂直截面一般設(shè)計為三角形， 使A端較薄，B端較厚，既能保證接觸單元53可以受到基板50的壓力作用，又能滿足彈性 部件54的形變量。
[0044] 磁感應(yīng)裝置的實現(xiàn)方式可以由多種，本實施例是通過設(shè)置在支架51的A端的磁鐵 551，以及設(shè)置在底座52上與磁鐵551相對應(yīng)的位置上的磁感應(yīng)器552實現(xiàn)，但也可以在支 架A端設(shè)置磁感應(yīng)器并在底座與磁感應(yīng)器相對應(yīng)位置上設(shè)置磁鐵實現(xiàn)；或者在支架A端設(shè) 置磁鐵并在底座與磁鐵相對應(yīng)位置上設(shè)置線圈；或者在支架A端設(shè)置線圈并在底座與線圈 相對應(yīng)位置上設(shè)置磁鐵。
[0045] 本實施例的接觸單元53為球形，但并不局限于此，也可以為圓柱形、弧形或斜面， 只要可以使接觸單元53在受力后向下運動即可。
[0046] 本實施例的接觸單元53在受力時會發(fā)生滾動，使得基板50與接觸單元53觸碰時 有一個緩沖，可以更好地保護基板50。當然，當接觸單元53為球形或圓柱形時，即使受力后 不會滾動也并不影響傳感器的工作。
[0047] 以上所述四個實施例的傳感器都可以解決傳統(tǒng)傳感器在工作時因水垢沉積和結(jié) 晶帶來的傳感器異常使基板錯誤位置信息上傳而引起的設(shè)備異常停機，從而提升設(shè)備的稼 動率，降低生產(chǎn)成本。
[0048] 可以理解的是，以上實施方式僅僅是為了說明本實用新型的原理而采用的示例性 實施方式，然而本實用新型并不局限于此。對于本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員而言，在不脫離本 實用新型的精神和實質(zhì)的情況下，可以做出各種變型和改進，這些變型和改進也視為本實 用新型的保護范圍。
【權(quán)利要求】
1. 一種新型傳感器，包括底座，其特征在于，還包括支架和接觸單元，所述底座與支架 上設(shè)有相互作用的磁感應(yīng)裝置，所述支架一端設(shè)有受力后向下運動并觸發(fā)所述磁感應(yīng)裝置 產(chǎn)生信號的接觸單元，另一端通過彈性部件與底座連接。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器，其特征在于，所述支架設(shè)有磁鐵，所述底座在與磁鐵 相對應(yīng)的位置上設(shè)有磁感應(yīng)器。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器，其特征在于，所述支架設(shè)有磁感應(yīng)器，所述底座在與 磁感應(yīng)器相對應(yīng)的位置上設(shè)有磁鐵。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器，其特征在于，所述支架設(shè)有磁鐵，所述底座在與磁鐵 相對應(yīng)的位置上設(shè)有線圈。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器，其特征在于，所述支架設(shè)有線圈，所述底座在與線圈 相對應(yīng)的位置上設(shè)有磁鐵。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器，其特征在于，所述接觸單元為球形或圓柱形。
7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的傳感器，其特征在于，所述接觸單元可滾動或不可滾動。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器，其特征在于，所述接觸單元的接觸面為弧形或斜面。
9. 據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器，其特征在于，所述彈性部件為卡簧。
【文檔編號】G01D5/12GK203848848SQ201420239470
【公開日】2014年9月24日 申請日期:2014年5月12日 優(yōu)先權(quán)日:2014年5月12日
【發(fā)明者】程保龍, 楊大可, 王磊, 卜維亮, 茍琦 申請人:昆山國顯光電有限公司