一種鍍膜旋轉陰極皮帶斷裂故障報警檢測裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種鍍膜旋轉陰極皮帶斷裂故障報警檢測裝置，包括旋轉靶材、旋轉電機、編碼器、提示器和控制系統(tǒng)，所述旋轉靶材和旋轉電機通過皮帶傳動；旋轉電機與變頻器連接，變頻器與控制系統(tǒng)連接；變頻器驅動旋轉電機，變頻器監(jiān)控當時旋轉電機的轉速；編碼器檢測皮帶的速度，編碼器通過固定件固定，編碼器前端滾輪與皮帶接觸；編碼器信號線與變頻器信號端子電連接；提示器與控制系統(tǒng)連接。本鍍膜旋轉陰極皮帶斷裂故障報警檢測裝置通過增加一編碼器對皮帶的速度進行實時檢測，皮帶的速度即反映旋轉靶材的速度，一旦皮帶斷裂后，編碼器檢測不到皮帶的速度，說明傳動出故障，及時發(fā)出警報，切斷旋轉陰極電源，能夠很好地保護靶材免受損壞。
【專利說明】一種鍍膜旋轉陰極皮帶斷裂故障報警檢測裝置
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種檢測裝置，尤其涉及的是一種鍍膜旋轉陰極皮帶斷裂故障報警檢測裝置。
【背景技術】
[0002]陰極濺射是鍍膜生產中最為重要的一道工序，其濺射品質的好壞直接影響到鍍膜產品膜層的結構性。旋轉陰極與平面陰極相比，旋轉陰極能提高靶材的使用率和減少了掉渣的可能性，因此旋轉陰極廣泛運用到鍍膜生產線上，旋轉陰極傳動方式是變頻電機為主傳動，以皮帶帶動旋轉，旋轉陰極在工作的過程中需要保持勻速旋轉，以保證濺射的均勻性，但實際生產過程中，旋轉陰極有時會因軸承壞死導致傳動皮帶被拉斷的情況出現(xiàn)，皮帶斷裂后，旋轉靶即停止轉動，由于控制系統(tǒng)是以變頻電機的故障作為報警點，而實際上變頻電機仍在工作，因此，系統(tǒng)并沒有發(fā)出任何故障警報，工作人員不能及時發(fā)現(xiàn)問題，而當旋轉靶在停止轉動且沒有切斷電源的情況下，濺射的區(qū)域會聚焦于靶材的某一個位置，如果不及時切斷電源，會造成靶材燒壞，帶來經濟上的損失，嚴重時可能損壞設備，后果不堪設想。
[0003]因此，現(xiàn)有技術還有待于改進和發(fā)展。

【發(fā)明內容】

[0004]本實用新型的目的在于提供一種鍍膜旋轉陰極皮帶斷裂故障報警檢測裝置，旨在解決現(xiàn)有的旋轉陰極因軸承壞死導致皮帶斷裂后不能及時發(fā)出警報，燒壞旋轉靶的技術問題。
[0005]本實用新型的技術方案如下:一種鍍膜旋轉陰極皮帶斷裂故障報警檢測裝置，其中，包括旋轉靶材、旋轉電機、編碼器、提示器和控制系統(tǒng)，所述旋轉靶材和旋轉電機通過皮帶傳動；旋轉電機與變頻器連接，變頻器與控制系統(tǒng)連接；變頻器驅動旋轉電機，變頻器監(jiān)控當時旋轉電機的轉速；編碼器檢測皮帶的速度，編碼器通過固定件固定，編碼器前端滾輪與皮帶接觸；編碼器信號線與變頻器信號端子電連接；提示器與控制系統(tǒng)連接。
[0006]所述的鍍膜旋轉陰極皮帶斷裂故障報警檢測裝置，其中，所述編碼器還包括調整固定件位置的調整裝置。
[0007]所述的鍍膜旋轉陰極皮帶斷裂故障報警檢測裝置，其中，所述提示器為指示燈或蜂鳴器。
[0008]本實用新型的有益效果:本實用新型通過提供一種鍍膜旋轉陰極皮帶斷裂故障報警檢測裝置，本鍍膜旋轉陰極皮帶斷裂故障報警檢測裝置通過增加一編碼器對皮帶的速度進行實時檢測，皮帶的速度即反映旋轉靶材的速度，一旦皮帶斷裂后，編碼器檢測不到皮帶的速度，說明傳動出故障，及時發(fā)出警報，切斷旋轉陰極電源，能夠很好地保護靶材免受損壞?！緦＠綀D】

【附圖說明】
[0009]圖1是本實用新型中鍍膜旋轉陰極皮帶斷裂故障報警檢測裝置的結構示意圖?！揪唧w實施方式】
[0010]為使本實用新型的目的、技術方案及優(yōu)點更加清楚、明確，以下參照附圖并舉實施例對本實用新型進一步詳細說明。
[0011]如圖1所示，是本實用新型中鍍膜旋轉陰極皮帶斷裂故障報警檢測裝置的結構示意圖。所述的鍍膜旋轉陰極皮帶斷裂故障報警檢測裝置包括旋轉靶材100、旋轉電機200、編碼器300、提示器和控制系統(tǒng)400，所述旋轉靶材100和旋轉電機200通過皮帶210傳動；旋轉電機200與變頻器500連接，變頻器500與控制系統(tǒng)400連接；變頻器500用于驅動旋轉電機200，當旋轉電機200工作時，變頻器500還可以用于監(jiān)控當時旋轉電機200的轉速；編碼器300用于檢測皮帶210的速度，編碼器300通過固定件固定，編碼器300前端滾輪與皮帶210接觸；編碼器300信號線與變頻器500信號端子電連接；提示器與控制系統(tǒng)400連接:當旋轉靶材100通過皮帶210在旋轉電機200帶動下工作時，編碼器300的脈沖信號反饋到變頻器500，與旋轉電機200的速度作對比，當旋轉電機200的速度與實際檢測到的速度差值超出變頻器500設定的差值范圍時，變頻器500發(fā)出警報信號到控制系統(tǒng)400，控制系統(tǒng)400控制自動切斷旋轉靶材100的高壓電源，控制系統(tǒng)400控制觸發(fā)提示器，提醒工作人員設備發(fā)生故障，達到防止旋轉靶材100燒壞的目的。
[0012]所述旋轉靶材100連接有高壓電源，通過高壓電源激發(fā)旋轉靶材100上的粒子運動沉積到陽極上，完成旋轉陰極的濺射過程。
[0013]所述提示器可以為指示燈，也可以為蜂鳴器，還可以是其他提示裝置。
[0014]由于皮帶210是韌性體，經過長期使用后，會有松弛現(xiàn)象，從而導致編碼器300存在打滑的現(xiàn)象，導致檢測的數(shù)據(jù)不準確，誤報錯誤，因此編碼器300還包括調整固定件位置的調整裝置，固定件設計成位置可調，從而可以根據(jù)皮帶的張緊度適度調整編碼器300的位置:當皮帶210發(fā)生松弛導致編碼器300前端滾輪打滑，通過調整裝置調整固定件的位置，從而調整編碼器300及前端滾輪的位置，保證編碼器300前端滾輪與皮帶210之間的接觸不會發(fā)生打滑。
[0015]本鍍膜旋轉陰極皮帶斷裂故障報警檢測裝置通過增加一編碼器對皮帶的速度進行實時檢測，皮帶的速度即反映旋轉靶材的速度，一旦皮帶斷裂后，編碼器檢測不到皮帶的速度，說明傳動出故障，及時發(fā)出警報，切斷旋轉陰極電源，能夠很好地保護靶材免受損壞。
[0016]應當理解的是，本實用新型的應用不限于上述的舉例，對本領域普通技術人員來說，可以根據(jù)上述說明加以改進或變換，所有這些改進和變換都應屬于本實用新型所附權利要求的保護范圍。
【權利要求】
1.一種鍍膜旋轉陰極皮帶斷裂故障報警檢測裝置，其特征在于，包括旋轉靶材、旋轉電機、編碼器、提示器和控制系統(tǒng)，所述旋轉靶材和旋轉電機通過皮帶傳動；旋轉電機與變頻器連接，變頻器與控制系統(tǒng)連接；變頻器驅動旋轉電機，變頻器監(jiān)控當時旋轉電機的轉速；編碼器檢測皮帶的速度，編碼器通過固定件固定，編碼器前端滾輪與皮帶接觸；編碼器信號線與變頻器信號端子電連接；提示器與控制系統(tǒng)連接。
2.根據(jù)權利要求1所述的鍍膜旋轉陰極皮帶斷裂故障報警檢測裝置，其特征在于，所述編碼器還包括調整固定件位置的調整裝置。
3.根據(jù)權利要求2所述的鍍膜旋轉陰極皮帶斷裂故障報警檢測裝置，其特征在于，所述提示器為指示燈或蜂鳴器。
【文檔編號】G01P1/10GK203768453SQ201420082865
【公開日】2014年8月13日 申請日期:2014年2月26日 優(yōu)先權日:2014年2月26日
【發(fā)明者】梁衍忠, 江堅, 邵國桐 申請人:廣東南亮玻璃科技有限公司