一種氧化銦錫膜手持式探頭測試裝置及其方法
【專利摘要】一種氧化銦錫膜手持式探頭測試裝置及其方法，提高測量節(jié)拍3倍以上，降低磨損、彎曲、變形情況，減少維修和維護成本；裝置及其方法簡單合理，使用方便快捷，確保讀取數(shù)值的測量準確性及測量重復性，大大提高工作效率和成品率；有效延長使用壽命，達到2000小時以上，節(jié)能環(huán)保。一種氧化銦錫膜手持式探頭測試裝置，是由：電阻測試儀裝置，手持式探頭測試裝置外殼，自重配重塊，上滑竿，外殼內擋板，測試內芯裝置，底座支撐防滑裝置，圓滑探針針頭，下滑竿裝置，導線，測試探針套管，S型懸臂式彈簧構成；氧化銦錫膜上方設置底座支撐防滑裝置，底座支撐防滑裝置上方設置手持式探頭測試裝置外殼；滿足用戶和市場的需求。
【專利說明】一種氧化銦錫膜手持式探頭測試裝置及其方法

【技術領域】
[0001] 本發(fā)明涉及氧化銦錫膜測試裝置及其方法，尤其是一種氧化銦錫膜手持式探頭測 試裝置及其方法。

【背景技術】
[0002] 目前，現(xiàn)有的氧化銦錫薄膜層的脆弱和柔韌性缺乏，使氧化銦錫薄膜方塊電阻、電 阻率的測試較為復雜。氧化銦錫是一種銦（III族）氧化物（In2O3)和錫（IV族）氧化物 (SnO2)的混合物，通常質量比為90% In203 : 10% SnO2及97% In2O3 : 3% SnO2;氧化 銦錫在薄膜狀時，無色透明，隨薄膜厚度加深，顏色反射色發(fā)生變化，由淡灰藍色一亮灰色 -黃色一紫紅色一綠色一紅色，透射顏色呈顯茶色，隨之薄膜層加厚，透射顏色呈現(xiàn)茶色越 重；氧化銦錫在塊狀態(tài)時，它呈黃偏灰黑色；在薄膜狀態(tài)時，膜層脆弱，碰觸硬物碰扎，會形 成ITO膜層空洞。
[0003] 由于氧化銦錫薄膜脆弱和柔韌性缺乏的特性，現(xiàn)有四探針分尖頭探針和圓頭探 針，圓頭探針間距過寬、間距微弱變化，測試薄膜時出現(xiàn)數(shù)值測量重復性差，前者尖頭探針 對膜層存在破壞性，導致薄膜層形成ITO空洞，制約了高端產品測量電阻的制程；尖頭探針 或通常采用平臺，外靠人為受力加壓測試，或采用支架支撐，加測試平臺，前者存在人為性 受力差別不均勻，測試數(shù)據(jù)跳動，測試數(shù)據(jù)重復性差，后者雖把前者系列弊端予以掩蓋，由 于測試支架活動范圍受限，需延續(xù)固定軌道測試，測試范圍、測試頻率受制約，對于氧化銦 錫薄膜連續(xù)生產企業(yè)，無法滿足制程連續(xù)性。
[0004] 具體的表現(xiàn)有：讀取數(shù)值的測量準確性及測量重復性不一；主要部件測試的探針 處，磨損、彎曲、變形情況較多，一般有時200-300小時就會失效、損壞，增加維修維護成本， 耗費大量時間與能源。測試中對表面薄膜層損傷破壞率不小，降低了成品率，以及產品質 量；現(xiàn)有的測試裝置與ITO膜層接觸，壓力保持的一致性差，導致工作人員測量要求高，操 作緩慢、繁瑣復雜，需依靠測量架支撐，測試頻率及工作效率低；形成氧化銦錫膜測試技術 發(fā)展中的瓶頸，是本領域長期以來難以解決的技術問題，不能滿足用戶和市場的需求。
[0005] 鑒于上述原因，現(xiàn)有的氧化銦錫膜測試裝置及其方法亟待創(chuàng)新。


【發(fā)明內容】

[0006] 本發(fā)明的目的是為了克服現(xiàn)有技術中的不足，提供了一種氧化銦錫膜手持式探頭 測試裝置及其方法，提高測量節(jié)拍3倍以上，降低磨損、彎曲、變形情況，減少維修和維護成 本；裝置及其方法簡單合理，使用方便快捷，確保讀取數(shù)值的測量準確性及測量重復性，大 大提高工作效率和成品率；有效延長使用壽命，達到2000小時以上，節(jié)能環(huán)保。
[0007] 本發(fā)明為了實現(xiàn)上述目的，采用如下的技術方案：
[0008] -種氧化銦錫膜手持式探頭測試裝置，是由：電阻測試儀裝置1，手持式探頭測試 裝置外殼2,自重配重塊3,上滑竿4,外殼內擋板5,測試內芯裝置6,底座支撐防滑裝置7， 圓滑探針針頭8,下滑竿裝置9,導線10,測試探針套管11，S型懸臂式彈簧12構成；氧化銦 錫膜上方設置底座支撐防滑裝置7,底座支撐防滑裝置7上方設置手持式探頭測試裝置外 殼2 ;底座支撐防滑裝置7與手持式探頭測試裝置外殼2之間的中部預留孔，孔中設置下滑 竿裝置9 ;
[0009] 下滑竿裝置9內設置至少四根測試探針套管11，測試探針套管11內設置S型懸臂 式彈簧12 ;S型懸臂式彈簧12的上端設置導線10,下端設置圓滑探針針頭8,圓滑探針針頭 8設置于測試探針套管11內的下部；導線10的另一端通過手持式探頭測試裝置外殼2設 置于電阻測試儀裝置1的一側。
[0010] 手持式探頭測試裝置外殼2內的上部設置外殼內擋板5,外殼內擋板5中部預留 孔，孔中設置上滑竿4 ;上滑竿4的上端設置自重配重塊3,下端設置測試內芯裝置6 ;下滑 竿裝置9設置于測試內芯裝置6下部，測試內芯裝置6內設置導線10。
[0011] 手持式探頭測試裝置外殼2設置為圓筒形、或正多邊柱形，與自重配重塊3、上滑 竿4、外殼內擋板5、測試內芯裝置6、下滑竿裝置9五者同軸心線設置；自重配重塊3設置 為圓形、正多邊形的金屬、或鐵塊。
[0012] 下滑竿裝置9內設置的四根測試探針套管11均布為一排、或者矩形；測試探針套 管11下端對應設置圓滑探針針頭8。
[0013] 圓滑探針針頭8采用球形鍍金，直徑〇)設置為0. 7mm，相鄰的圓滑探針針頭8之間 的距離S設置為0. 5mm±0. 01mm。
[0014] 底座支撐防滑裝置7以手持式探頭測試裝置外殼2的軸心線為中心，對稱設置至 少三個。
[0015] 一種氧化銦錫膜手持式探頭測試的方法，具體的方法步驟依次如下：首先，開啟電 阻測試儀裝置1，準備好氧化銦錫膜的被測試方塊樣本，將一種氧化銦錫膜手持式探頭測試 裝置的底座支撐防滑裝置7放置于準備好的氧化銦錫膜的被測試方塊樣本上；
[0016] 同時，手持式探頭測試裝置外殼2內的自重配重塊3由自身的重力作用在上滑竿 4上，使上滑竿4通過外殼內擋板5定向壓下測試內芯裝置6向下滑動，繼而測試內芯裝置 6推動下滑竿裝置9向下滑動，下滑竿裝置9內的圓滑探針針頭8與測試探針套管11同 步向下移動；當圓滑探針針頭8與氧化銦錫膜的被測試方塊樣本接觸，接觸點接受到穩(wěn)定 壓力，使圓滑探針針頭8合力為4± IN牛頓，反作用于測試探針套管11內S型懸臂式彈簧 12上，且向上移動伸入測試探針套管11內，相鄰的圓滑探針針頭8之間的距離S設置為 0? 5mm±0. 01mm，使圓滑探針針頭8的間距相對偏差彡L 0%，探針游移率彡0? 3mm，探針弧 度為n /2 ;
[0017] 接著，將一種氧化銦錫膜手持式探頭測試裝置的四根圓滑探針針頭8中，靠外邊 兩根探針由穩(wěn)壓電源供電，經過串聯(lián)的電流表測出：在被測氧化銦錫膜的被測試方塊樣本 擴散薄層中通過一定量的電流I ;中間兩根探針測定出兩根探針之間的電位差V，繼而由電 阻測試儀裝置1測出氧化銦錫膜的被測試方塊樣本的方塊電阻Rs = V/I ;
[0018] 當氧化銦錫膜的被測試方塊樣本的尺寸大于圓滑探針針頭8的間距S，達到3倍以 上時，方塊電阻可以表示為Rs = C(V/I)，式中C為修正因子，其數(shù)值由被測樣品的長L、寬 a、厚b尺寸和探針間距決定；
[0019] 然后，測出氧化銦錫膜的被測試方塊樣本的方塊電阻Rs，及其電阻率：P "電阻率 單位為Rho" =電阻R*截面面積A/長度L。
[0020] 本發(fā)明的工作原理是：采用四探針探頭自重原理，測量節(jié)拍快，測量精度提高，改 善探針形態(tài)，避免人為性測量對氧化銦錫薄膜層破損，能夠與市面現(xiàn)有測試電阻儀器相連 接匹配；該裝置耐用性好，機身其加工精度不高，結構緊湊探針間距精確，導向精度高，針 尖上下滑動靈活，無卡阻和拖尾現(xiàn)象，保證同一平面上的針尖在同一水平線上，探針型號普 通，便于維修維護。
[0021] 本發(fā)明裝置包括四探針探頭自重測量，四探針與氧化銦錫膜層接觸點受力平均， 受力壓力減少。測試探頭裝置垂直放于測試樣本上，結合柔軟圓滑探針針頭、底座支持防滑 裝置，利用探頭自身重量對探針進行施加壓力，致使四探針與氧化銦錫膜層緊密接觸，結構 緊湊合理，探針間距精確，導向精度高，針尖上下滑動靈活，無卡阻和拖尾現(xiàn)象，保證同一平 面上的針尖在同一水平線上，配合探針柔軟防滑的特性，加以底座支撐防滑裝置，得以穩(wěn)定 精密接觸測量氧化銦錫薄膜，傳導至電阻測試儀。
[0022] 本發(fā)明用于對薄膜方塊電阻、電阻率的測試。測試探頭裝置垂直放于測試樣本上， 結合圓滑探針針頭、底座支持防滑裝置，利用探頭自身重量對探針進行施加壓力，致使四探 針與氧化銦錫膜層緊密接觸，結構緊湊，探針間距精確，導向精度高，針尖上下滑動靈活，無 卡阻和拖尾現(xiàn)象，保證同一平面上的針尖在同一水平線上，加以底座支撐防滑裝置，得以穩(wěn) 定精密接觸測量氧化銦錫薄膜，傳導至電阻測試儀。
[0023] 本發(fā)明測試探頭提起時，內部測試內芯垂直下壓，通過所配比自重力，施壓給四探 針，通過探針內部彈簧調節(jié)壓力，緊密結合探針與測試樣品氧化銦錫薄膜層。
[0024] 本發(fā)明探頭裝置頂部配有自重配重鐵塊，根據(jù)探針彈簧壓力，配備相應配重鐵塊， 以致能與薄膜緊密結合，減少傳輸電流、電壓損耗。
[0025] 本發(fā)明采用特制的S型懸臂式彈簧，使每根探針都具有獨立、準確的壓力，探針尾 部伸入彈簧，測試時彈簧整體受力，并且確保壓力可以垂直用于彈簧。采用這種結合，針頭 運動穩(wěn)定，更換維修方便。
[0026] 本發(fā)明測試薄膜的四探針探頭，為球形鍍金探針，保證接觸電阻最小，將裝置緊密 有效接觸被測氧化銦錫薄膜。
[0027] 本發(fā)明測試探針尾部套管壁增厚，能保證探針伸縮游移率，套管與導線連接尾端， PBC板焊接、固封，減少探針伸縮游移率。
[0028] 本發(fā)明探頭裝置外殼上下端伸縮滑竿，依靠自重上下滑動，探頭裝置放于測試樣 品表面時，上下環(huán)固架支撐，保證無卡頓受阻，更平緩的垂直壓于測試樣品表面。
[0029] 本發(fā)明的具體實施不局限于以上內容的說明。對于本發(fā)明所屬【技術領域】的普通技 術人員來說，在不脫離本發(fā)明構思的前提下，還可以做出若干簡單推演或替換，都應當視為 屬于本發(fā)明的保護范圍。
[0030] 本發(fā)明的有益效果是：裝置及其方法簡單合理，使用方便，操作快捷，制造容易，提 高測量節(jié)拍3倍以上，降低磨損、彎曲、變形情況，減少維修和維護成本；確保讀取數(shù)值的測 量準確性及測量重復性，大大提高工作效率和成品率；有效延長使用壽命，達到2000小時 以上，節(jié)能環(huán)保。正常工作中，實現(xiàn)測試100000次以上無故障。具體研發(fā)結果見下（表1)。
[0031] 本發(fā)明采用手持式、自重力探頭，無需借助人為施壓，探頭放于測試樣品后即可讀 取數(shù)值，測量準確性及測量重復性得以保證；主要部件探針處，無較大外力對其施壓，減少 磨損、彎曲、變形情況，采用針套式圓頭形探頭，杜絕了測試對表面薄膜層的損傷破壞，形成 ITO膜層空洞。該裝置使用自重力壓合探針與波膜層接觸，壓力保持一致，避免人員測量差 別性，簡化了操作，無需依靠測量架支撐，提高了測試頻率及工作效率。滿足了用戶和市場 的需求。
[0032] (表 1):
[0033]

【權利要求】
1. 一種氧化銦錫膜手持式探頭測試裝置，是由：電阻測試儀裝置（1)，手持式探頭測試 裝置外殼（2)，自重配重塊（3)，上滑竿（4)，外殼內擋板（5)，測試內芯裝置（6)，底座支撐防 滑裝置（7)，圓滑探針針頭（8)，下滑竿裝置（9)，導線（10)，測試探針套管（11)，S型懸臂式 彈簧（12)構成；其特征在于：氧化銦錫膜上方設置底座支撐防滑裝置（7)，底座支撐防滑裝 置（7)上方設置手持式探頭測試裝置外殼（2);底座支撐防滑裝置（7)與手持式探頭測試 裝置外殼（2)之間的中部預留孔，孔中設置下滑竿裝置（9); 下滑竿裝置（9)內設置至少四根測試探針套管（11)，測試探針套管（11)內設置S型懸 臂式彈簧（12) ;S型懸臂式彈簧（12)的上端設置導線（10)，下端設置圓滑探針針頭（8)，圓 滑探針針頭（8)設置于測試探針套管（11)內的下部；導線（10)的另一端通過手持式探頭 測試裝置外殼（2)設置于電阻測試儀裝置（1)的一側。
2. 根據(jù)權利要求1所述的一種氧化銦錫膜手持式探頭測試裝置，其特征在于：手持式 探頭測試裝置外殼（2)內的上部設置外殼內擋板（5)，外殼內擋板（5)中部預留孔，孔中設 置上滑竿（4);上滑竿（4)的上端設置自重配重塊（3)，下端設置測試內芯裝置（6);下滑竿 裝置（9)設置于測試內芯裝置（6)下部，測試內芯裝置（6)內設置導線（10)。
3. 根據(jù)權利要求1、或2所述的一種氧化銦錫膜手持式探頭測試裝置，其特征在于：手 持式探頭測試裝置外殼（2)設置為圓筒形、或正多邊柱形，與自重配重塊（3)、上滑竿（4)、 外殼內擋板（5)、測試內芯裝置（6)、下滑竿裝置（9)五者同軸心線設置；自重配重塊（3)設 置為圓形、正多邊形的金屬、或鐵塊。
4. 根據(jù)權利要求1所述的一種氧化銦錫膜手持式探頭測試裝置，其特征在于：下滑竿 裝置（9)內設置的四根測試探針套管（11)均布為一排、或者矩形；測試探針套管（11)下端 對應設置圓滑探針針頭（8)。
5. 根據(jù)權利要求4所述的一種氧化銦錫膜手持式探頭測試裝置，其特征在于：圓滑探 針針頭（8)采用球形鍍金，直徑〇>設置為0. 7_，相鄰的圓滑探針針頭（8)之間的距離S設 置為 0? 5臟±0. Olmnin
6. 根據(jù)權利要求1所述的一種氧化銦錫膜手持式探頭測試裝置，其特征在于：底座支 撐防滑裝置（7)以手持式探頭測試裝置外殼（2)的軸心線為中心，對稱設置至少三個。
7. -種氧化銦錫膜手持式探頭測試的方法，其特征在于：具體的方法步驟依次如下： 首先，開啟電阻測試儀裝置（1)，準備好氧化銦錫膜的被測試方塊樣本，將一種氧化銦錫膜 手持式探頭測試裝置的底座支撐防滑裝置（7)放置于準備好的氧化銦錫膜的被測試方塊 樣本上； 同時，手持式探頭測試裝置外殼（2)內的自重配重塊（3)由自身的重力作用在上滑竿 (4)上，使上滑竿（4)通過外殼內擋板（5)定向壓下測試內芯裝置（6)向下滑動，繼而測試 內芯裝置（6)推動下滑竿裝置（9)向下滑動，下滑竿裝置（9)內的圓滑探針針頭（8)與測試 探針套管（11)同步向下移動；當圓滑探針針頭（8)與氧化銦錫膜的被測試方塊樣本接觸， 接觸點接受到穩(wěn)定壓力，使圓滑探針針頭（8)合力為4±1N牛頓，反作用于測試探針套管 (11)內S型懸臂式彈簧（12)上，且向上移動伸入測試探針套管（11)內，相鄰的圓滑探針針 頭⑶之間的距離S設置為0? 5mm±0. 01mm，使圓滑探針針頭⑶的間距相對偏差彡1. 0%， 探針游移率彡〇? 3mm,探針弧度為？! /2 ; 接著，將一種氧化銦錫膜手持式探頭測試裝置的四根圓滑探針針頭（8)中，靠外邊兩 根探針由穩(wěn)壓電源供電，經過串聯(lián)的電流表測出：在被測氧化銦錫膜的被測試方塊樣本擴 散薄層中通過一定量的電流I ;中間兩根探針測定出兩根探針之間的電位差V，繼而由電阻 測試儀裝置（1)測出氧化銦錫膜的被測試方塊樣本的方塊電阻Rs = V/I ; 當氧化銦錫膜的被測試方塊樣本的尺寸大于圓滑探針針頭（8)的間距S，達到3倍以上 時，方塊電阻可以表示為Rs = C(V/I)，式中C為修正因子，其數(shù)值由被測樣品的長L、寬a、 厚b尺寸和探針間距決定； 然后，測出氧化銦錫膜的被測試方塊樣本的方塊電阻Rs，及其電阻率：p "電阻率單位 為Rho" =電阻R*截面面積A/長度L。
8. 根據(jù)權利要求7所述的一種氧化銦錫膜手持式探頭測試的方法，其特征在于：具體 的方法步驟依次如下：首先，開啟電阻測試儀裝置（1)，準備好氧化銦錫膜的被測試方塊樣 本，將一種氧化銦錫膜手持式探頭測試裝置的底座支撐防滑裝置（7)放置于準備好的氧化 銦錫膜的被測試方塊樣本上； 同時，手持式探頭測試裝置外殼（2)內的自重配重塊（3)由自身的重力作用在上滑竿 (4)上，使上滑竿（4)通過外殼內擋板（5)定向壓下測試內芯裝置（6)向下滑動，繼而測試 內芯裝置（6)推動下滑竿裝置（9)向下滑動，下滑竿裝置（9)內的圓滑探針針頭（8)與測 試探針套管（11)同步向下移動；當圓滑探針針頭（8)與氧化銦錫膜的被測試方塊樣本接 觸，接觸點接受到穩(wěn)定壓力，使圓滑探針針頭（8)合力為4+1N牛頓，反作用于測試探針套管 (11)內S型懸臂式彈簧（12)上，且向上移動伸入測試探針套管（11)內，相鄰的圓滑探針針 頭（8)之間的距離S設置為0. 5mm+0. 01mm，使圓滑探針針頭（8)的間距相對偏差1. 0%，探 針游移率〇? 3mm，探針弧度為/2 ; 接著，將一種氧化銦錫膜手持式探頭測試裝置的四根圓滑探針針頭（8)中，靠外邊兩 根探針由穩(wěn)壓電源供電，經過串聯(lián)的電流表測出：在被測氧化銦錫膜的被測試方塊樣本擴 散薄層中通過一定量的電流I ;中間兩根探針測定出兩根探針之間的電位差V，繼而由電阻 測試儀裝置（1)測出氧化銦錫膜的被測試方塊樣本的方塊電阻Rs = V/I ; 當氧化銦錫膜的被測試方塊樣本的尺寸大于圓滑探針針頭（8)的間距S時，達到10倍 時，方塊電阻可以表示為Rs = C(V/I)，式中C為修正因子，其數(shù)值由被測樣品的長L、寬a、 厚b尺寸和探針間距決定； 然后，測出氧化銦錫膜的被測試方塊樣本的方塊電阻Rs，及其電阻率：p "電阻率單位 為Rho" =電阻R*截面面積A/長度L。
9. 根據(jù)權利要求7所述的一種氧化銦錫膜手持式探頭測試的方法，其特征在于：具體 的方法步驟依次如下：首先，開啟電阻測試儀裝置（1)，準備好氧化銦錫膜的被測試方塊樣 本，將一種氧化銦錫膜手持式探頭測試裝置的底座支撐防滑裝置（7)放置于準備好的氧化 銦錫膜的被測試方塊樣本上； 同時，手持式探頭測試裝置外殼（2)內的自重配重塊（3)由自身的重力作用在上滑竿 (4)上，使上滑竿（4)通過外殼內擋板（5)定向壓下測試內芯裝置（6)向下滑動，繼而測試 內芯裝置（6)推動下滑竿裝置（9)向下滑動，下滑竿裝置（9)內的圓滑探針針頭（8)與測 試探針套管（11)同步向下移動；當圓滑探針針頭（8)與氧化銦錫膜的被測試方塊樣本接 觸，接觸點接受到穩(wěn)定壓力，使圓滑探針針頭（8)合力為4-1N牛頓，反作用于測試探針套管 (11)內S型懸臂式彈簧（12)上，且向上移動伸入測試探針套管（11)內，相鄰的圓滑探針針 頭（8)之間的距離S設置為0. 5mm-0. 01mm，使圓滑探針針頭（8)的間距相對偏差0. 5%，探 針游移率〇? 1mm,探針弧度為？! /2 ; 接著，將一種氧化銦錫膜手持式探頭測試裝置的四根圓滑探針針頭（8)中，靠外邊兩 根探針由穩(wěn)壓電源供電，經過串聯(lián)的電流表測出：在被測氧化銦錫膜的被測試方塊樣本擴 散薄層中通過一定量的電流I ;中間兩根探針測定出兩根探針之間的電位差V，繼而由電阻 測試儀裝置（1)測出氧化銦錫膜的被測試方塊樣本的方塊電阻Rs = V/I ; 當氧化銦錫膜的被測試方塊樣本的尺寸大于圓滑探針針頭（8)的間距S時，達到3倍 時，方塊電阻可以表示為Rs = C(V/I)，式中C為修正因子，其數(shù)值由被測樣品的長L、寬a、 厚b尺寸和探針間距決定； 然后，測出氧化銦錫膜的被測試方塊樣本的方塊電阻Rs，及其電阻率：p "電阻率單位 為Rho" =電阻R*截面面積A/長度L。
10.根據(jù)權利要求7所述的一種氧化銦錫膜手持式探頭測試的方法，其特征在于：具體 的方法步驟依次如下：首先，開啟電阻測試儀裝置（1)，準備好氧化銦錫膜的被測試方塊樣 本，將一種氧化銦錫膜手持式探頭測試裝置的底座支撐防滑裝置（7)放置于準備好的氧化 銦錫膜的被測試方塊樣本上； 同時，手持式探頭測試裝置外殼（2)內的自重配重塊（3)由自身的重力作用在上滑竿 (4)上，使上滑竿（4)通過外殼內擋板（5)定向壓下測試內芯裝置（6)向下滑動，繼而測試 內芯裝置（6)推動下滑竿裝置（9)向下滑動，下滑竿裝置（9)內的圓滑探針針頭（8)與測試 探針套管（11)同步向下移動；當圓滑探針針頭（8)與氧化銦錫膜的被測試方塊樣本接觸， 接觸點接受到穩(wěn)定壓力，使圓滑探針針頭（8)合力為4N牛頓，反作用于測試探針套管（11) 內S型懸臂式彈簧（12)上，且向上移動伸入測試探針套管（11)內，相鄰的圓滑探針針頭 (8)之間的距離S設置為0.5mm，使圓滑探針針頭⑶的間距相對偏差0.75%，探針游移率 0? 2mm,探針弧度為？! /2 ; 接著，將一種氧化銦錫膜手持式探頭測試裝置的四根圓滑探針針頭（8)中，靠外邊兩 根探針由穩(wěn)壓電源供電，經過串聯(lián)的電流表測出：在被測氧化銦錫膜的被測試方塊樣本擴 散薄層中通過一定量的電流I ;中間兩根探針測定出兩根探針之間的電位差V，繼而由電阻 測試儀裝置（1)測出氧化銦錫膜的被測試方塊樣本的方塊電阻Rs = V/I ; 當氧化銦錫膜的被測試方塊樣本的尺寸大于圓滑探針針頭（8)的間距S時，達到5倍 時，方塊電阻可以表示為Rs = C(V/I)，式中C為修正因子，其數(shù)值由被測樣品的長L、寬a、 厚b尺寸和探針間距決定； 然后，測出氧化銦錫膜的被測試方塊樣本的方塊電阻Rs，及其電阻率：p "電阻率單位 為Rho" =電阻R*截面面積A/長度L。
【文檔編號】G01R27/08GK104407225SQ201410736288
【公開日】2015年3月11日 申請日期:2014年11月29日 優(yōu)先權日:2014年11月29日
【發(fā)明者】董安光, 王戀貴, 譚華, 秦遵紅 申請人:洛陽康耀電子有限公司