技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種透鏡中心厚度干涉測量方法，該方法首先通過移動(dòng)被測透鏡，使干涉儀出射的平行光束經(jīng)過標(biāo)準(zhǔn)鏡頭后會(huì)聚在被測透鏡表面。然后采用雙路測距干涉儀進(jìn)行距離測量及面形誤差補(bǔ)償，獲取被測透鏡前后表面頂點(diǎn)處兩次定位的位置坐標(biāo)，然后利用光線追跡公式計(jì)算透鏡中心厚度。該方法使用的測量裝置包括干涉儀，標(biāo)準(zhǔn)物鏡，激光測距儀，五維調(diào)整架及移動(dòng)導(dǎo)軌。其中標(biāo)準(zhǔn)物鏡和被測透鏡依次放在干涉儀光源出射光線方向。被測透鏡固定在五維調(diào)整架上，可在導(dǎo)軌上移動(dòng)。本發(fā)明利用干涉法對透鏡表面定位及位置補(bǔ)償，實(shí)現(xiàn)了透鏡中心厚度的非接觸測量。

技術(shù)研發(fā)人員：毛潔;侯溪;伍凡
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所
文檔號碼：201410586538
技術(shù)研發(fā)日：2014.10.27
技術(shù)公布日：2017.03.15