陣列測(cè)試裝置和方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種陣列測(cè)試裝置和陣列測(cè)試方法，該裝置包括：探針矩陣，多根探針均勻連續(xù)排列于探針矩陣上，具有地址矩陣信息且由電磁開關(guān)獨(dú)立控制；地址矩陣系統(tǒng)，存儲(chǔ)探針的地址矩陣信息；電壓控制系統(tǒng)，根據(jù)探針的地址矩陣信息控制探針；運(yùn)算組件，用于設(shè)定探針的選定規(guī)則。該方法包括：S1.劃分多個(gè)探針子矩陣；S2.選定一個(gè)探針子矩陣，將每根探針處于扎針狀態(tài)；S3.接收所有處于扎針狀態(tài)中導(dǎo)通的探針的地址矩陣信息，選定一根或多根導(dǎo)通的探針；S4.解除非選定的探針的扎針狀態(tài)；S5.重復(fù)上述步驟S2～S4，直至選定所有探針；S6.將電壓通過所有選定的探針導(dǎo)入，進(jìn)行測(cè)試。本發(fā)明的陣列測(cè)試裝置和方法，測(cè)試效率高，適用性強(qiáng)。
【專利說明】陣列測(cè)試裝置和方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及測(cè)試玻璃基板【技術(shù)領(lǐng)域】，特別是涉及一種陣列測(cè)試裝置和一種根據(jù)該陣列測(cè)試裝置的陣列測(cè)試方法。

【背景技術(shù)】
[0002]在一些應(yīng)用領(lǐng)域里，比如平板顯示器中，我們需要在玻璃上設(shè)置排布一些導(dǎo)電材料或者器件，為了測(cè)試這些導(dǎo)電材料和器件是否有缺陷，一般是通過例如檢測(cè)柵極線或數(shù)據(jù)線是否斷線或者檢測(cè)像素單元是否顯色不佳來實(shí)現(xiàn)的。
[0003]典型地，使用具有多個(gè)探針的陣列測(cè)試裝置來測(cè)試玻璃基板。通過將探針置于對(duì)應(yīng)玻璃基板上的電極的位置，將探針與電極接觸，然后將電信號(hào)通過探針施加至電極。
[0004]傳統(tǒng)的通用型探針都是根據(jù)產(chǎn)品測(cè)試板的位置預(yù)先設(shè)計(jì)好的，排布有單排/多排、連續(xù)/不連續(xù)的探針。陣列測(cè)試裝置通常會(huì)借助探針的排列完成對(duì)玻璃基板的檢測(cè)，在檢測(cè)過程中，每一片玻璃基本上相對(duì)于探針都是獨(dú)立的，玻璃位置的微偏移、探針本身的微變形或者產(chǎn)品測(cè)試點(diǎn)位的異常等等都會(huì)降低扎針成功率，需要花費(fèi)大量的人力和時(shí)間重新對(duì)位，中斷正常的生產(chǎn)，影響產(chǎn)能。并且對(duì)于不同的產(chǎn)品，需要重新設(shè)計(jì)替換相應(yīng)的探針矩陣，不可重復(fù)使用。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]基于此，有必要針對(duì)上述問題，提供一種陣列測(cè)試裝置和方法，可以減少探針和玻璃基板間的扎針異常頻率，提高生產(chǎn)的連續(xù)性。
[0006]一種陣列測(cè)試裝置，包括:
[0007]探針矩陣，所述探針矩陣上設(shè)置有多個(gè)探針，所述多個(gè)探針均勻連續(xù)排列于所述探針矩陣上，所述探針具有地址矩陣信息并由電磁開關(guān)獨(dú)立控制；
[0008]地址矩陣系統(tǒng)，用于存儲(chǔ)所述探針的地址矩陣信息；
[0009]電壓控制系統(tǒng)，用于根據(jù)所述探針的地址矩陣信息控制所述探針；
[0010]運(yùn)算組件，用于設(shè)定探針的選定規(guī)則。
[0011]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述運(yùn)算組件選定的探針為所有導(dǎo)通的探針的幾何中心的那根探針。
[0012]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述運(yùn)算組件選定的探針為所有導(dǎo)通的探針中的任意一根或多根探針。
[0013]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述運(yùn)算組件具有記憶功能，用以儲(chǔ)存每次選定的探針地址矩陣信息。
[0014]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述運(yùn)算組件為通過計(jì)算機(jī)軟件建模。
[0015]根據(jù)上述陣列測(cè)試裝置的陣列測(cè)試方法，包括以下步驟:
[0016]S1.根據(jù)基板測(cè)試板，在探針矩陣上劃分多個(gè)探針子矩陣；S2.選定一個(gè)所述探針子矩陣，通過所述探針的地址矩陣信息將所述探針子矩陣中的每根探針由電磁開關(guān)控制處于扎針狀態(tài)；
[0017]S3.接收所有處于扎針狀態(tài)中導(dǎo)通的探針的地址矩陣信息，并選定一根或多根所述導(dǎo)通的探針；
[0018]S4.解除非選定的探針的扎針狀態(tài)；
[0019]S5.重復(fù)上述步驟S2?S4，直至選定所有用于測(cè)試的探針；
[0020]S6.將電壓通過所有選定的探針導(dǎo)入，進(jìn)行測(cè)試。
[0021]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述步驟SI中的探針子矩陣為整個(gè)探針矩陣。
[0022]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述步驟S3中選定的探針為所有導(dǎo)通的探針的幾何中心的那根探針。
[0023]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述步驟S3中選定的探針為所有導(dǎo)通的探針中的任意一根或多根探針。
[0024]上述陣列測(cè)試方法和陣列測(cè)試裝置，可以有效的降低扎針異常率，提高檢測(cè)效率，提高生產(chǎn)的連續(xù)性，進(jìn)而減少設(shè)備運(yùn)營成本，并且適用性強(qiáng)。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0025]圖1為本發(fā)明陣列測(cè)試裝置的一個(gè)實(shí)施例的陣列測(cè)試裝置的系統(tǒng)運(yùn)行控制結(jié)構(gòu)圖；
[0026]圖2為現(xiàn)有技術(shù)中通用型探針矩陣的底視圖示意圖；
[0027]圖3為現(xiàn)有技術(shù)中通用型探針矩陣的側(cè)視圖；
[0028]圖4為本發(fā)明陣列測(cè)試裝置的一個(gè)實(shí)施例的探針矩陣的局部底視圖；
[0029]圖5為本發(fā)明陣列測(cè)試裝置的一個(gè)實(shí)施例的探針矩陣中單根探針的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0030]圖6為本發(fā)明陣列測(cè)試裝置的一個(gè)實(shí)施例的選中的探針子矩陣的示意圖；
[0031]圖7為本發(fā)明陣列測(cè)試裝置的一個(gè)實(shí)施例的選定的探針的示意圖；
[0032]圖8為本發(fā)明陣列測(cè)試方法的流程示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0033]為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂，下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】做詳細(xì)的說明。在下面的描述中闡述了很多具體細(xì)節(jié)以便于充分理解本發(fā)明。但是本發(fā)明能夠以很多不同于在此描述的其它方式來實(shí)施，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在不違背本發(fā)明內(nèi)涵的情況下做類似改進(jìn)，因此本發(fā)明不受下面公開的具體實(shí)施的限制。
[0034]參見圖1，為本發(fā)明陣列測(cè)試裝置的一個(gè)實(shí)施例的陣列測(cè)試裝置的系統(tǒng)運(yùn)行控制結(jié)構(gòu)圖。如圖所示，一種陣列測(cè)試裝置，包括:探針矩陣，該探針矩陣上設(shè)置有多根探針，所有探針均勻連續(xù)排列于探針矩陣上，每根探針都具有地址矩陣信息并由電磁開關(guān)獨(dú)立控制；地址矩陣系統(tǒng)，用于存儲(chǔ)探針的地址矩陣信息；電壓控制系統(tǒng)，用于根據(jù)探針的地址矩陣信息控制探針，以及運(yùn)算組件，用于設(shè)定探針的選定規(guī)則。探針矩陣通過地址矩陣系統(tǒng)將探針的地址矩陣信息傳遞給運(yùn)算組件，運(yùn)算組件進(jìn)行計(jì)算和選擇后，選定的探針的地址矩陣信息傳遞給電壓控制系統(tǒng)，然后電壓控制系統(tǒng)根據(jù)接收到的探針的地址矩陣信息通過電磁開關(guān)控制各個(gè)探針。
[0035]參見圖4，為本發(fā)明陣列測(cè)試裝置的一個(gè)實(shí)施例的探針矩陣的局部底視圖，圖2和圖3分別為現(xiàn)有技術(shù)中通用型探針矩陣的底視圖示意圖和側(cè)視圖。在現(xiàn)有技術(shù)中，設(shè)計(jì)好后的通用型的探針矩陣中探針的排列通常為間斷非連續(xù)的。而圖4所示的本發(fā)明的探針矩陣中的探針為均勻連續(xù)排列，探針矩陣的有效面積可以視基板測(cè)試板的待測(cè)區(qū)域的面積而定，一般大于基板測(cè)試板的待測(cè)區(qū)域，從而全面覆蓋基板測(cè)試板的待測(cè)區(qū)域，可以涵蓋不同位置設(shè)計(jì)的基板測(cè)試板，因而可以配合不同產(chǎn)品的排版布局，使得該陣列測(cè)試裝置有更強(qiáng)的適用性。
[0036]參見圖5，為本發(fā)明陣列測(cè)試裝置的一個(gè)實(shí)施例的探針矩陣中單根探針的結(jié)構(gòu)示意圖。每根探針都包含地址矩陣信息并且由電磁開關(guān)獨(dú)立控制。每根探針上設(shè)置有電壓控制器3，該電壓控制器3包括電磁開關(guān)2以及地址矩陣盒I。該電磁開關(guān)2可獨(dú)立控制探針，地址矩陣盒I中存儲(chǔ)該探針的地址矩陣信息，用以識(shí)別其在探針矩陣中的位置。電壓控制器3根據(jù)地址矩陣信息，選定探針或者釋放探針，并且可以施加電壓導(dǎo)通探針。如圖所示，每個(gè)探針的針體部分包含有永磁鐵4。當(dāng)電壓控制器3施加有電壓在探針上時(shí)，相應(yīng)的電壓信號(hào)通過該選定的探針導(dǎo)入到基板測(cè)試板上，完成測(cè)試。
[0037]參見圖6，為本發(fā)明陣列測(cè)試裝置的一個(gè)實(shí)施例的選中的探針子矩陣的示意圖，圖中框內(nèi)部分即為選中的探針子矩陣，一般情況下，處于扎針狀態(tài)的探針子矩陣中往往有多根探針導(dǎo)通，運(yùn)算組件可以設(shè)定一定的規(guī)則，比如該多根導(dǎo)通探針的幾何中心的那根探針，或者該多根導(dǎo)通探針的離散的幾個(gè)點(diǎn)上的探針組，然后選定這些探針。參見圖7，為本發(fā)明陣列測(cè)試裝置一個(gè)實(shí)施例的選定探針的示意圖。如圖所示，為選定了一根探針用于測(cè)試。
[0038]在其中一個(gè)實(shí)施例中，運(yùn)算組件選定的探針可以為所有導(dǎo)通的探針的幾何中心的那根探針，然后用該探針進(jìn)行測(cè)試。由于選定探針是所有導(dǎo)通的探針的幾何中心的那根，那么對(duì)于同樣設(shè)計(jì)的待測(cè)基板測(cè)試板，其位于有效位置的概率是最高的。
[0039]在其中一個(gè)實(shí)施例中，運(yùn)算組件選定的探針為所有導(dǎo)通的探針中的任意一根或多根探針。也就是說在所有的導(dǎo)通探針中，隨機(jī)地選擇一根或多根導(dǎo)通的探針作為測(cè)試探針。這樣通過隨機(jī)選定的探針來測(cè)試相同設(shè)計(jì)的不同的基板，可以提高測(cè)試的質(zhì)量，保證不同基板的偏差值相對(duì)較小，也可以實(shí)現(xiàn)抽檢的功能。
[0040]在其中一個(gè)實(shí)施例中，運(yùn)算組件具有記憶功能，可以儲(chǔ)存每次選定的探針地址矩陣信息。這樣，當(dāng)需要重新選擇探針進(jìn)行測(cè)試時(shí)，可以避免選擇之前選中過的探針，從而提聞選針效率，進(jìn)而提聞測(cè)試效率。
[0041]在其中一個(gè)實(shí)施例中，運(yùn)算組件為通過計(jì)算機(jī)軟件建模，設(shè)定一定的規(guī)則，選擇導(dǎo)通的探針中的一根或多根探針。通過計(jì)算機(jī)軟件建模，使得規(guī)則設(shè)計(jì)準(zhǔn)確方便，并且容易更改設(shè)置，提高測(cè)試的便捷性和靈活性。
[0042]請(qǐng)參見圖8，為根據(jù)本發(fā)明的陣列測(cè)試裝置的陣列測(cè)試方法的流程示意圖。
[0043]將基板測(cè)試板放置于探針矩陣下方，其中，該探針矩陣上設(shè)置有多根探針，所有探針均勻連續(xù)排列于探針矩陣上，比如每根探針都保持一定固定間距，排列成n*m的矩陣，每個(gè)探針都具有地址矩陣信息且由電磁開關(guān)獨(dú)立控制。步驟S1.根據(jù)基板測(cè)試板，在探針矩陣上劃分多個(gè)探針子矩陣，探針子矩陣的劃分可以根據(jù)所需探針的分布來劃分，比如對(duì)于一個(gè)周期的正弦波形的線路，預(yù)先計(jì)劃選擇五個(gè)探針點(diǎn)，比如分別在兩個(gè)頂點(diǎn)和三個(gè)與軸的交點(diǎn)，那么就可以根據(jù)設(shè)計(jì)選擇的五個(gè)探針點(diǎn)的區(qū)域，劃分五個(gè)探針子矩陣，比如3*3的探針子矩陣。
[0044]步驟S2.選定一個(gè)探針子矩陣，通過探針的地址矩陣信息將該探針子矩陣中的每根探針由電磁開關(guān)控制處于扎針狀態(tài)，即放下探針將其與基板測(cè)試板接觸。
[0045]步驟S3.接收所有處于扎針狀態(tài)中導(dǎo)通的探針的地址矩陣信息，并選定一根或多根所述導(dǎo)通的探針。由于初選的探針子矩陣覆蓋的區(qū)域一般部分包括了線路，也部分包括了無線路分布的基板，所以探針子矩陣中的探針不一定全部都扎在了線路上，其中與線路接觸的探針將被導(dǎo)通，接收所有扎針狀態(tài)中導(dǎo)通的探針的地址矩陣信息，并選定一根或多根探針用于之后的測(cè)試。
[0046]步驟S4.解除其他非選定的探針的扎針狀態(tài)。步驟S5.重復(fù)上述步驟S2?S4，直至選定所有用于測(cè)試的探針。步驟S6.將電壓通過所有選定的探針導(dǎo)入，進(jìn)行測(cè)試。
[0047]本發(fā)明的這種陣列測(cè)試方法，因?yàn)槠淇梢愿鶕?jù)不同的待測(cè)基板測(cè)試板劃分不同的探針子矩陣，繼而選擇特定的探針進(jìn)行測(cè)試，因此這種方法可以適用于各種不同的待測(cè)基板測(cè)試板，適用性強(qiáng)。并且當(dāng)更換了基板測(cè)試板，由于測(cè)試板的差異性，原先選定的探針出現(xiàn)了扎針異常，無法測(cè)試，可以方便快捷地重新選擇探針，繼續(xù)進(jìn)行測(cè)試。大大縮短了調(diào)節(jié)的時(shí)間，提高了檢測(cè)效率，從而提高了生產(chǎn)連續(xù)性。如果對(duì)于測(cè)試的要求比較高的話，還可以通過多次選擇不同的探針進(jìn)行重復(fù)測(cè)試，以期達(dá)到理想的測(cè)試要求。
[0048]在其中一個(gè)實(shí)施例中，初步選定的探針子矩陣可以為整個(gè)探針矩陣。也就是說，不預(yù)先根據(jù)待測(cè)基板測(cè)試板選擇特定的探針子矩陣，或者由于對(duì)待測(cè)基板測(cè)試板的不熟悉，無法預(yù)先選擇特定的探針子矩陣區(qū)域，亦或者為了一次性選出多根有效探針，可以選定整個(gè)探針矩陣作為探針子矩陣進(jìn)行扎針。然后根據(jù)所有導(dǎo)通的探針的地址矩陣信息，選定一根或多根探針。這樣可以使得該陣列測(cè)試方法，更加靈活，更加全面。同時(shí)，這種選擇也可以作為選擇探針子矩陣的預(yù)選步驟，根據(jù)分析導(dǎo)通的探針的分布，選定一個(gè)或多個(gè)探針子矩陣區(qū)域，然后重復(fù)上述步驟，根據(jù)選定的探針子矩陣?yán)^續(xù)進(jìn)行測(cè)試。這樣，對(duì)于新的待測(cè)產(chǎn)品，可以通過這種方法，迭代遞進(jìn)地一步步實(shí)現(xiàn)精確的測(cè)試。
[0049]在其中一個(gè)實(shí)施例中，步驟S3中選定的探針可以為所有導(dǎo)通的探針的幾何中心的那根探針。通常情況下，同一設(shè)計(jì)的不同基板測(cè)試板之間會(huì)有一些誤差，在不影響性能的情況下，這些誤差往往是可接受的，比如線路的寬度稍寬一些或稍窄一些，如果選定的測(cè)試探針位于待測(cè)線路的邊緣，則對(duì)于不同的基板測(cè)試板的測(cè)試中會(huì)產(chǎn)生不必要的錯(cuò)誤率，所以選擇所有與基板測(cè)試板導(dǎo)通的探針的幾何中心的那根探針，相對(duì)而言，對(duì)于同樣設(shè)計(jì)的待測(cè)基板測(cè)試板，其有效位置的概率是最高的，從而能夠提高測(cè)試效率。
[0050]在其中一個(gè)實(shí)施例中，步驟S3中選定的探針可以為所有導(dǎo)通的探針中的任意一根或多根探針。對(duì)于不同的測(cè)試，有時(shí)候會(huì)有不同的測(cè)試要求，在所有導(dǎo)通探針中隨機(jī)選定任意一根或多根探針導(dǎo)通探針，這樣通過隨機(jī)選定的探針來測(cè)試相同設(shè)計(jì)的不同的基板，可以提高測(cè)試的質(zhì)量，保證不同基板的偏差值相對(duì)較小，也可以實(shí)現(xiàn)抽檢的功能。
[0051]以上所述實(shí)施例僅表達(dá)了本發(fā)明的幾種實(shí)施方式，其描述較為具體和詳細(xì)，但并不能因此而理解為對(duì)本發(fā)明專利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。因此，本發(fā)明專利的保護(hù)范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準(zhǔn)。
【權(quán)利要求】
1.一種陣列測(cè)試裝置，其特征在于，包括: 探針矩陣，所述探針矩陣上設(shè)置有多個(gè)探針，所述多個(gè)探針均勻連續(xù)排列于所述探針矩陣上，所述探針具有地址矩陣信息并由電磁開關(guān)獨(dú)立控制； 地址矩陣系統(tǒng)，用于存儲(chǔ)所述探針的地址矩陣信息； 電壓控制系統(tǒng)，用于根據(jù)所述探針的地址矩陣信息控制所述探針； 運(yùn)算組件，用于設(shè)定探針的選定規(guī)則。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的陣列測(cè)試裝置，其特征在于，所述運(yùn)算組件選定的探針為所有導(dǎo)通的探針的幾何中心的那根探針。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的陣列測(cè)試裝置，其特征在于，所述運(yùn)算組件選定的探針為所有導(dǎo)通的探針中的任意一根或多根探針。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的陣列測(cè)試裝置，其特征在于，所述運(yùn)算組件具有記憶功能，用以儲(chǔ)存每次選定的探針地址矩陣信息。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一權(quán)利要求所述的陣列測(cè)試裝置，其特征在于，所述運(yùn)算組件為通過計(jì)算機(jī)軟件建模。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一權(quán)利要求所述的一種陣列測(cè)試裝置的陣列測(cè)試方法，其特征在于，所述陣列測(cè)試方法包括以下步驟: 51.根據(jù)基板測(cè)試板，在探針矩陣上劃分多個(gè)探針子矩陣； 52.選定一個(gè)所述探針子矩陣，通過所述探針的地址矩陣信息將所述探針子矩陣中的每根探針由電磁開關(guān)控制處于扎針狀態(tài)； 53.接收所有處于扎針狀態(tài)中導(dǎo)通的探針的地址矩陣信息，并選定一根或多根所述導(dǎo)通的探針； 54.解除非選定的探針的扎針狀態(tài)； 55.重復(fù)上述步驟S2?S4，直至選定所有用于測(cè)試的探針； 56.將電壓通過所有選定的探針導(dǎo)入，進(jìn)行測(cè)試。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的陣列測(cè)試方法，其特征在于，所述步驟SI中的探針子矩陣為整個(gè)探針矩陣。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的陣列測(cè)試方法，其特征在于，所述步驟S3中選定的探針為所有導(dǎo)通的探針的幾何中心的那根探針。
9.根據(jù)權(quán)利要求6述的陣列測(cè)試方法，其特征在于，所述步驟S3中選定的探針為所有導(dǎo)通的探針中的任意一根或多根探針。
【文檔編號(hào)】G01R31/00GK104267299SQ201410572496
【公開日】2015年1月7日 申請(qǐng)日期:2014年10月23日 優(yōu)先權(quán)日:2014年10月23日
【發(fā)明者】施文峰 申請(qǐng)人:昆山國顯光電有限公司