用于探測(cè)目標(biāo)的運(yùn)動(dòng)的電容傳感器的制造方法
【專利摘要】所述的用于探測(cè)目標(biāo)的運(yùn)動(dòng)，尤其是用于探測(cè)操作單元的按鍵的動(dòng)作的電容傳感器設(shè)置有第一電極(30；32)以及提供連接或機(jī)械耦合至，或者設(shè)置于所述的目標(biāo)上的第二電極(34；36)，當(dāng)所述的目標(biāo)運(yùn)動(dòng)時(shí)，所述的第二電極與所述的第一電極(30；32)的距離改變。所述的兩個(gè)電極(30，34；32，36)與介于所述的電極(30，34；32，36)之間的體積(40)形成第一電容器(26；28)，當(dāng)所述的目標(biāo)運(yùn)動(dòng)時(shí)，其的大小改變，進(jìn)一步提供一估算單元，其連接至所述的兩個(gè)電極(30，34；32，36)且確定由于他們間距和體積的變化所導(dǎo)致的介于所述的兩個(gè)電極(30，34；32，36)之間的電容容量的變化。可變形的、非氣態(tài)的第一電介質(zhì)(42)設(shè)置于所述的兩個(gè)電極(30，34；32，36)之間。所述的第一電介質(zhì)(42)定義了至少一個(gè)氣體體積(44)或者，與至少其中一個(gè)所述的兩個(gè)電極(30，34；32，36)一起定義了一個(gè)被氣態(tài)第二電介質(zhì)填充的氣體體積(44)，在其中，當(dāng)所述的兩個(gè)電極(30，34；32，36)彼此接近時(shí)，所述的第二電介質(zhì)的至少一部分從所述的氣體體積(44)以及從介于所述的兩個(gè)電極之間的所述的體積(40)中溢出，以及，當(dāng)所述的兩個(gè)電極(30，34；32，36)彼此接近時(shí)，介于所述的兩個(gè)電極(30，34；32，36)之間的所述的體積(40)的被所述的第一電介質(zhì)(42)占據(jù)的部分增加，且介于所述的兩個(gè)電極(30，34；32，36)之間的所述的體積(40)的被所述的第二電介質(zhì)占據(jù)的部分減少。
【專利說明】用于探測(cè)目標(biāo)的運(yùn)動(dòng)的電容傳感器

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種用于探測(cè)目標(biāo)的運(yùn)動(dòng)的電容傳感器，且所述的目標(biāo)為尤其是專門提供用于車輛部件的，就像即空調(diào)控制設(shè)備、信息娛樂設(shè)備、導(dǎo)航設(shè)備、無線電或者一般地人機(jī)交互接口的操作單元的手動(dòng)操作的按鍵。

【背景技術(shù)】
[0002]在大多數(shù)情況下，以被探測(cè)操作的手動(dòng)操作按鍵的形式的目標(biāo)的運(yùn)動(dòng)探測(cè)，將由包括機(jī)械耦合至所述的按鍵的開關(guān)器件的機(jī)械開關(guān)完成。因此，當(dāng)所述的按鍵被操作，所述的開關(guān)器件將會(huì)被操作，且反過來所述的開關(guān)器件將建立開關(guān)接觸以發(fā)信號(hào)至所述的按鍵的操作。通過這樣的機(jī)械方法的替代，也存在電容系統(tǒng)，在其中，基于電容容量的變化，目標(biāo)的運(yùn)動(dòng)被探測(cè)。因此，關(guān)于操作元件的按鍵的例子，按鍵的動(dòng)作會(huì)導(dǎo)致即改變電容傳感器的電容器的兩個(gè)電極之間的距離，其可以在信號(hào)處理技術(shù)的幫助下估算。為了使兩個(gè)電極執(zhí)行相對(duì)運(yùn)動(dòng)成為可能，介于所述的兩個(gè)電極之間的體積必須分別是可壓縮的和可膨脹的。作為這方面的電介質(zhì)，氣體或者尤其是空氣是合適的。然而，在這方面，空氣，或者氣體在一般情況下僅僅具有一相對(duì)較低的電介質(zhì)常數(shù)是不利的，以致于由介于所述的兩個(gè)電極之間的距離的變化造成的電容容量的改變只會(huì)產(chǎn)生小的信號(hào)變化。
[0003]在其中利用作為有效的力結(jié)果的所述的電極的電耦合變化的電容傳感器的不同設(shè)計(jì)在 DE102007001086A1，EP1261845B1 (以及US6683780B2)以及 US5206785 中描述過。根據(jù)DE102007001086A1的傳感器中，利用固定的電介質(zhì)，與設(shè)置于此處的距離處的電導(dǎo)體、活動(dòng)層產(chǎn)生。當(dāng)加壓時(shí)，活塞會(huì)對(duì)該層起作用，并將其朝所述的電介質(zhì)且或多或少的與所述的電介質(zhì)相接觸的大的表面移動(dòng)，從而影響了所述的傳感器的輸出信號(hào)的期望信號(hào)的變化。在根據(jù)US5206785的傳感器中，固定的電介質(zhì)被應(yīng)用。在EP1261845B1和EUS6683780B2中，描述了空氣作為電解質(zhì)的電容式差動(dòng)傳感器。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的一個(gè)目的是提供一用于探測(cè)目標(biāo)運(yùn)動(dòng)的電容傳感器，其傳感器會(huì)產(chǎn)生易于探測(cè)且從而在小的運(yùn)動(dòng)的情況下也足夠大的測(cè)量信號(hào)的變化。
[0005]為了實(shí)現(xiàn)上述目標(biāo)，本發(fā)明提供了用于探測(cè)目標(biāo)運(yùn)動(dòng)的，尤其是探測(cè)操作單元的按鍵的操作的電容傳感器，其電容傳感器包括在權(quán)利要求1中所定義的特征。從屬權(quán)利要求涉及到本發(fā)明的個(gè)別的實(shí)施例。
[0006]本發(fā)明的電容傳感器包括具有第一和第二電極以及于其間體積的電容器。所述的兩個(gè)電極之一連接至目標(biāo)或者機(jī)械耦合至此，且分別設(shè)置在其上，以使得當(dāng)所述的目標(biāo)運(yùn)動(dòng)時(shí)，所述的電極會(huì)運(yùn)動(dòng)。一旦所述的電極運(yùn)動(dòng)，其與另一個(gè)電極的距離會(huì)改變。因此，介于所述的兩個(gè)電極之間的體積也會(huì)改變。介于所述的兩個(gè)電極之間的體積被理解為在一方面由所述的電極自身，進(jìn)一步地，由所述的電極側(cè)面的被劃定界限的那區(qū)域。所述的兩個(gè)電極連接至一用于探測(cè)所述的電容器的電容量變化的估算單元。
[0007]根據(jù)本發(fā)明，介于所述的兩個(gè)電極之間的所述的體積至少是部分地被可變形的、非氣態(tài)的第一電介質(zhì)填充。介于所述的兩個(gè)電極之間的所述的體積另一部分被氣體填充。該氣體體積可以由所述的第一電介質(zhì)形成或者介于所述的第一電介質(zhì)和一或兩個(gè)所述的電極之間形成。所述的氣體體積由氣態(tài)第二電介質(zhì)填充。現(xiàn)在，當(dāng)所述的兩個(gè)電極彼此接近時(shí)，氣態(tài)第二電介質(zhì)會(huì)從所述的氣體體積溢出；相反地，介于所述的兩個(gè)電極之間的距離的增加會(huì)導(dǎo)致氣態(tài)第二電介質(zhì)從周圍環(huán)境進(jìn)入所述的氣體體積中。在介于所述的兩個(gè)電極之間的距離改變的情況下，因此，在一方面，介于所述的電極之間的體積的被所述的第一電介質(zhì)占據(jù)的部分，并且，在另一方面，被所述的第二電介質(zhì)占據(jù)的部分會(huì)產(chǎn)生變化。所述的部分的這些變化會(huì)影響在測(cè)量技術(shù)的幫助下會(huì)被探測(cè)到的電容容量的變化的放大，因此也使得所述的電極的，以及從而所述的目標(biāo)的小的運(yùn)動(dòng)，也會(huì)通過可靠的方式且低成本的測(cè)量技術(shù)被但測(cè)到。
[0008]根據(jù)本發(fā)明的一優(yōu)選的實(shí)施例，兩個(gè)電容器可以用于相反的方向以探測(cè)目標(biāo)的運(yùn)動(dòng)。相關(guān)的設(shè)置以這樣一種方式選定，一旦所述的目標(biāo)的運(yùn)動(dòng)發(fā)生，一電容器的電極的距離會(huì)減少，而另一電容器的電極的距離會(huì)增加。兩個(gè)電容器在設(shè)計(jì)上實(shí)質(zhì)上是一樣的，即，每個(gè)包括一非氣態(tài)第一電介質(zhì)和一氣態(tài)第二電介質(zhì)。因此，影響是測(cè)量精度的以及，相應(yīng)地，所述的目標(biāo)的運(yùn)動(dòng)的探測(cè)的可靠性的進(jìn)一步地增加。
[0009]在該實(shí)施例中，包括第一電極和供給連接或者機(jī)械耦合，或者設(shè)置于所述的目標(biāo)上的第二電極的第二電容器被特定地提供，在其中，在所述的目標(biāo)運(yùn)動(dòng)的情況下，介于所述的兩個(gè)電容器的電極之間的距離會(huì)沿相反的方向改變，在其中，兩個(gè)電容器包括介于它們之間的非氣態(tài)第一和氣態(tài)第二電介質(zhì)，以及在其中兩個(gè)電容器的電極連接于所述的估算單
J Li ο
[0010]由于所述的第一電介質(zhì)包括至少一個(gè)朝外部開設(shè)的，當(dāng)所述的兩個(gè)電極彼此接近時(shí)，氣體會(huì)從其溢出的凹槽，所述的第一電介質(zhì)的氣體體積以及各個(gè)介于所述的第一電介質(zhì)以及至少其中一個(gè)所述的兩個(gè)電極之間的氣體體積相應(yīng)地實(shí)現(xiàn)。或者，所述的第一電介質(zhì)的表面可以被壓型并分別構(gòu)造，即包括獲得向外部開設(shè)的氣體的空間?？傊?，所述的氣體可以從被所述的第二電介質(zhì)填充的氣體空間，也從介于所述的兩個(gè)電極之間的中間空間溢出是必須被保障的。
[0011]根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)有益的實(shí)施例，所述的第一電介質(zhì)是具有彈性的可以被提供。因此，在由于介于所述的電極之間的距離的改變的變形之后，所述的第一電介質(zhì)會(huì)自動(dòng)地再次呈現(xiàn)其原始形狀。在這方面，如果所述的第一電介質(zhì)與所述的電極相連接，尤其是處于它們相互對(duì)立的(內(nèi)部的)表面是有益的。所述的第一電介質(zhì)的彈性使得應(yīng)用所述的第一電介質(zhì)同時(shí)支撐其運(yùn)動(dòng)被探測(cè)的目標(biāo)成為可能。進(jìn)一步地，彈性第一電介質(zhì)會(huì)影響所述的目標(biāo)自動(dòng)轉(zhuǎn)變成所述的目標(biāo)在運(yùn)動(dòng)前假定的平衡位置。因此，如果提供兩個(gè)電容器，正如上述的，所述的目標(biāo)受到從兩個(gè)對(duì)立側(cè)指向相反方向的恢復(fù)力，其會(huì)再次移動(dòng)所述的目標(biāo)至他已被從中移出的平衡位置處。
[0012]根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)進(jìn)一步的有益的實(shí)施例，所述的第一電介質(zhì)是以棱鏡方式形成的形狀體，且具有兩個(gè)面向所述的電極的外側(cè)面，以及所述的氣體體積是介于所述的外側(cè)面和電極之間形成可以被提供。
[0013]作為所述的第一電介質(zhì)的材料，尤其是彈性的且優(yōu)選地橡膠是合適的。所述的第一電介質(zhì)可以是有氣孔的以及分別開孔的。尤其有效的是會(huì)受到當(dāng)所述的所述的氣體溢出時(shí)，兩個(gè)電極彼此靠近時(shí)，所述的開孔氣體體積會(huì)向外部壓縮的影響而可壓縮的泡沫材料。
[0014]本發(fā)明進(jìn)一步地涉及一提供用于車輛部件的操作單元，尤其是空調(diào)控制設(shè)備、信息娛樂設(shè)備、導(dǎo)航設(shè)備、無線電或者一般地人機(jī)交互接口，所述的操作單元包括一手動(dòng)操作的、可移動(dòng)按鍵，尤其是切換鍵、搖桿鍵或按壓按鈕，以及與用于運(yùn)動(dòng)和從而所述的按鍵的動(dòng)作的探測(cè)的電容傳感器，在其中所述的電容傳感器可以根據(jù)權(quán)利要求其中之一或多被設(shè)計(jì)。
[0015]本發(fā)明的用于探測(cè)目標(biāo)運(yùn)動(dòng)的電容傳感器，可以-與上述清楚的-起力以及單獨(dú)的壓力傳感器和/或位置傳感器的作用，然而，雖然，總是應(yīng)用于探測(cè)目標(biāo)的運(yùn)動(dòng)。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0016]本發(fā)明將以兩個(gè)實(shí)施例以及參照附圖的形式在下面被更加詳細(xì)的說明。在附圖中，
[0017]圖1為本發(fā)明的包括其動(dòng)作通過電容傳感設(shè)備探測(cè)的陽臺(tái)式(切換)按鍵的車輛操作單元的部分橫截面圖，以及
[0018]圖2為根據(jù)進(jìn)一步的典型的實(shí)施例，包括按壓按鈕以及用于探測(cè)所述的按壓按鈕的運(yùn)動(dòng)的電容傳感器設(shè)備的車輛操作單元的局部剖視圖。
[0019]參考數(shù)字列表
[0020]10 車輛操作單元
[0021]12 車輛操作單元的外殼
[0022]14 外殼的正面
[0023]16 操作鍵的操作末端
[0024]18 操作按鍵
[0025]20 操作按鍵的支撐物
[0026]22 支撐物/操作按鍵的傾斜軸
[0027]24 具有電容器的支撐物末端
[0028]26 第一電容器
[0029]28 第二電容器
[0030]29 支撐體上的凹槽
[0031]30 第一電容的第一電極
[0032]31 用于所述的兩個(gè)電容器的第一電極的支撐體
[0033]32 第二電容的第一電極
[0034]34 第一電容的第二電極
[0035]36 第二電容的第二電極
[0036]38 估算單元
[0037]40 介于電容器的電極之間的體積
[0038]42 介于電容器的電極之間的電介質(zhì)
[0039]44 介于電容器的電極之間的氣體體積

【具體實(shí)施方式】
[0040]在圖1中，對(duì)于本發(fā)明必不可少的車輛操作設(shè)備10的部分被以橫截面圖以及很大程度上簡(jiǎn)化表示說明，所述的設(shè)備包括一其的動(dòng)作被電容式探測(cè)的切換按鍵。所述的車輛操作設(shè)備10包括外殼12，與具有突設(shè)在所述的外殼的正面14之上的操作按鍵18的操作終端16。所述的操作按鍵18設(shè)置于其支持繞在外殼12內(nèi)的傾斜軸22旋轉(zhuǎn)的杠桿式且分別板形支撐物20上。所述的支撐物20朝遠(yuǎn)離所述的操作按鍵18的末端24的上方以及下方設(shè)置有第一以及第二電容器26、28。每個(gè)電容器26、28包括一固定的第一電極30、32以及一可移動(dòng)的第二電極34、36。在該典型的實(shí)施例中，所述的兩個(gè)電容器26、28的兩個(gè)第一電極30、32設(shè)置于在支撐體31中的凹槽29的互相對(duì)立的邊緣部分之上，操作按鍵18的支撐物20的末端24浸入所述的凹槽29中。所述的兩個(gè)電極34、36設(shè)置于所述的杠桿式且分別板形支撐物20相對(duì)的側(cè)上，即在后者的上以及下側(cè)。從而，每個(gè)所述的第一電極30以及32分別地具有第二電極34、36與他相對(duì)設(shè)置。當(dāng)所述的操作按鍵18傾斜時(shí)，所述的兩個(gè)電容器26、28的第二電極34、36與他們相應(yīng)的第一電極30以及分別地32的距離會(huì)沿相反的方向改變。通過所述的電極的距離的這些改變(在該典型的實(shí)施例中，沿相互對(duì)立的方向，即相反的方向)，每個(gè)電容器26、28的電容容量會(huì)改變，在測(cè)量技術(shù)的幫助下其會(huì)被探測(cè)和被估算。因此，從而有可能探測(cè)操作按鍵18的動(dòng)作。
[0041]正如在圖1中圖示的，所述的電容器26、28的兩個(gè)電極對(duì)在其之間定義了各自的體積40。根據(jù)圖1在操作按鍵18的開始位置處，所述的體積40由第一電介質(zhì)42部分地填充。在該典型的實(shí)施例中，所述的第一電介質(zhì)42具有棱鏡的形狀。所述的第一電介質(zhì)42由其在該典型的實(shí)施例中，為彈性體或者橡膠的非氣態(tài)材料制成。因此，在該典型的實(shí)施例中，所述的第一電介質(zhì)42是有彈性的。由于所述的棱鏡形狀，所述的第一電介質(zhì)42與所述的各個(gè)電極30至36并不是全面抵接的，取而代之的是，包括多個(gè)部分體積的氣體體積44是介于所述的第一電介質(zhì)42以及所述的相關(guān)的電極之間形成的。當(dāng)所述的操作按鍵18在其的開始位置時(shí)，所述的部分體積被所述的空氣填充。
[0042]目前，當(dāng)所述的操作按鍵18被啟動(dòng)，所述的支撐物20會(huì)被旋轉(zhuǎn)，且結(jié)果是一個(gè)電容器的電極距離會(huì)減少且另一個(gè)電容器的電極距離會(huì)增加。在所述的電極距離減少的情況下，空氣會(huì)從所述的氣體體積44中擠出，且最后會(huì)被所述的電介質(zhì)42的材料“代替”。因此，介于所述的電容器的電極之間的空氣的部分會(huì)減少，其會(huì)導(dǎo)致電容容量的改變的增加，使得可能通過改善的可靠性以及更大的信號(hào)變化探測(cè)到所述的操作按鍵18的運(yùn)動(dòng)。所述的電介質(zhì)42的相對(duì)介電常數(shù)比存在于所述的氣體體積44中的空氣的相對(duì)介電常數(shù)高的多的事實(shí)也對(duì)這起了作用。
[0043]根據(jù)圖1所述的設(shè)置的構(gòu)造上的實(shí)現(xiàn)可包括例如形成在其中穿過接觸的縱向孔(參見凹槽29)的垂直地設(shè)置的電路板(參看支撐體31)。然后，所述的貫穿孔接觸在兩個(gè)對(duì)立末端是隔斷的，從而產(chǎn)生了兩個(gè)電極30、32。在所述的縱向孔(參見凹槽29)中，進(jìn)一步地電極(包括所述的電極34以及36)是中間設(shè)置的。現(xiàn)在，如果其浸入至所述的縱向孔中的該電極會(huì)朝向所述的兩個(gè)電極30、32其中任一個(gè)移動(dòng)，介于所述的各個(gè)電極之間的所述的電容容量會(huì)增加，而介于各個(gè)其他電極之間的減少。為了增加待測(cè)電容容量以及實(shí)現(xiàn)力和位移的關(guān)聯(lián)，彈性的電介質(zhì)42(例如橡膠)被插入至電極之間。為了增加根據(jù)所述的位移的電容容量的變化，所述的電介質(zhì)42，具有例如壓型形狀以使，當(dāng)在施力的影響下變形發(fā)生時(shí)，由于所述的壓型形狀，其會(huì)導(dǎo)致存在于所述的電極之間的空氣的部分的減少。從而，當(dāng)介于所述的電極之間的距離變化時(shí)，介于被所述的第一電介質(zhì)42占據(jù)的電極之間的體積的部分與所述的被空氣占據(jù)的部分的比率改變。由于橡膠以及各個(gè)第一電介質(zhì)比空氣具有相當(dāng)大的相對(duì)介電常數(shù)，在介于所述的電極之間的距離變化的情況下的電容容量的改變因此會(huì)比如果介于不同位置的電極之間的電介質(zhì)始終如一的大。因此，實(shí)現(xiàn)了電容的簡(jiǎn)單的可探測(cè)的，其也是可靠的變化。
[0044]圖2展現(xiàn)了一可代替的典型的實(shí)施例，在其中本發(fā)明的電容傳感器設(shè)備被應(yīng)用至其中所述的操作按鍵被設(shè)計(jì)為按壓按鍵的情況中。就根據(jù)圖1中對(duì)應(yīng)于在圖2(即結(jié)構(gòu)上相同或者功能上類似)中的這些元件而言，他們?cè)趫D2中用與圖1中相同的參考數(shù)字標(biāo)記。因此，正如在根據(jù)圖1的所述的典型的實(shí)施例中，在所述的按鍵被啟動(dòng)后以及所述的在所述的按鍵上的力的實(shí)施已經(jīng)結(jié)束，根據(jù)圖2中的所述的彈性第一電介質(zhì)42也可以用于所述的操作按鍵18的自動(dòng)復(fù)位。
【權(quán)利要求】
1.一種用于探測(cè)目標(biāo)的運(yùn)動(dòng)的電容傳感器，尤其是用于探測(cè)操作單元的按鍵的動(dòng)作，包括: 一第一電極(30 ；32), 一提供連接或機(jī)械耦合至，或者設(shè)置于所述的目標(biāo)上的第二電極(34 ；36)，當(dāng)所述的目標(biāo)運(yùn)動(dòng)時(shí)，所述的第二電極與所述的第一電極(30;32)的距離改變， 一所述的兩個(gè)電極(30，34 ;32，36)與介于所述的電極(30，34 ;32，36)之間的體積(40)形成第一電容器(26 ;28)，當(dāng)所述的目標(biāo)運(yùn)動(dòng)時(shí)，其的大小改變，以及 一估算單元(38)，連接至所述的兩個(gè)電極(30，34;32，36)，且運(yùn)行以確定由于他們間距和體積的變化所導(dǎo)致的介于所述的兩個(gè)電極(30，34 ;32，36)之間的電容容量的變化， 其特征在于， 一可變形的、非氣態(tài)的第一電介質(zhì)(42)設(shè)置于所述的兩個(gè)電極(30，34;32，36)之間， 一所述的第一電介質(zhì)(42)定義了至少一個(gè)氣體體積(44)或者，與所述的兩個(gè)電極(30,34 ;32，36)中至少一個(gè)一起定義了一個(gè)氣體體積(44)，所述的氣體體積(44)被氣態(tài)第二電介質(zhì)填充， 一當(dāng)所述的兩個(gè)電極(30，34;32，36)彼此接近時(shí)，所述的第二電介質(zhì)的至少一部分從所述的氣體體積(44)以及從介于所述的兩個(gè)電極之間的所述的體積(40)中溢出，以及， 一當(dāng)所述的兩個(gè)電極(30，34 ;32，36)彼此接近時(shí)，介于所述的兩個(gè)電極(30，34 ;32，36)之間的所述的體積(40)的被所述的第一電介質(zhì)(42)占據(jù)的部分增加，且介于所述的兩個(gè)電極(30，34 ;32，36)之間的所述的體積(40)的被所述的第二電介質(zhì)占據(jù)的部分減少。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電容傳感器，其特征在于，所述的第一電介質(zhì)(42)包括一開孔材料。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2任一項(xiàng)所述的電容傳感器，其特征在于，所述的至少一個(gè)氣體體積(44)由在所述的第一電介質(zhì)(42)中朝向介于所述的電極(30,34 ；32, 36)之間的體積(40)的外部開設(shè)的凹槽，或者所述的第一電介質(zhì)(42)的類似的表面輪廓形成。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3任一項(xiàng)所述的電容傳感器，其特征在于，所述的第一電介質(zhì)(42)是有彈性的。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4任一項(xiàng)所述的電容傳感器，其特征在于，所述的第一電介質(zhì)(42)是以棱鏡的方式形成的形狀體，且具有兩個(gè)面向所述的電極(30，34;32，36)的外側(cè)面，以及所述的氣體體積(44)是介于所述的外側(cè)面和所述的電極(30，34;32，36)之間形成。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5任一項(xiàng)所述的電容傳感器，其特征在于，所述的第一電介質(zhì)(42)是彈性體，尤其是橡膠。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至6任一項(xiàng)所述的電容傳感器，其特征在于，所述的第一電介質(zhì)(42)比第二電介質(zhì)具有較大的電介質(zhì)常數(shù)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至7任一項(xiàng)所述的電容傳感器，其特征在于，其包括第一電極(30；32)以及提供連接或機(jī)械耦合至，或者設(shè)置于所述的目標(biāo)上的第二電極(34;36)的第二電容器(26 ;28)，在其中，在所述的目標(biāo)運(yùn)動(dòng)的情況下，所述的兩個(gè)電容器(26 ；28)的介于所述的電極(30，34 ;32，36)之間的距離會(huì)以相反的方向改變，在其中兩個(gè)電容器(26 ；28)都包括介于他們之間的一非氣態(tài)第一和氣態(tài)第二電介質(zhì)，以及在其中，兩個(gè)電容器(26 ；28) 的電極(30，34 ;32，36)都連接至所述的估算單元(38)。
【文檔編號(hào)】G01D5/241GK104412069SQ201380032121
【公開日】2015年3月11日 申請(qǐng)日期:2013年6月12日 優(yōu)先權(quán)日:2012年6月19日
【發(fā)明者】卡斯滕·馬夸斯, 米夏埃爾·施泰因坎普, 迪爾克·施呂特 申請(qǐng)人:貝爾-赫拉恒溫控制有限公司