液位監(jiān)視裝置及液槽的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種液位監(jiān)視裝置及液槽，其中液位監(jiān)視裝置包括：液位監(jiān)視管和傳感器，液位監(jiān)視管的上端設(shè)置有防進液管，防進液管通過第一連接管與液位監(jiān)視管連通，防進液管穿過待監(jiān)視容器的側(cè)壁并延伸至待監(jiān)視容器內(nèi)部，液位監(jiān)視管的下端通過第二連接管與待監(jiān)視容器的底部連通，液位監(jiān)視管內(nèi)設(shè)置有至少一個傳感器。防進液管進入待監(jiān)視容器并延伸后采用逐漸變小的設(shè)計或者出口端向下彎折，使得彎折后的防進液管的出口高度不低于液位監(jiān)視管中傳感器，有效防止液滴流到液位監(jiān)視管中，解決由于液滴進入到液位監(jiān)視管中，造成傳感器產(chǎn)生誤報警的問題。
【專利說明】液位監(jiān)視裝置及液槽【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及液體監(jiān)測【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及液位監(jiān)視裝置及液槽。
【背景技術(shù)】
[0002]在工業(yè)生產(chǎn)中，往往需要使用槽體或者罐體結(jié)構(gòu)的容器來盛裝液體，為了安全一般在槽體或者罐體的上表面加設(shè)蓋子，但是給觀察容器內(nèi)液面的高度帶來了很大的困難，尤其是有些容器的體積非常大，更不利于對容器內(nèi)液面高度的監(jiān)測，因此需要采用特殊的方法實現(xiàn)對容器內(nèi)液面高度的監(jiān)測。
[0003]一般為了能夠?qū)崟r監(jiān)測液槽內(nèi)液體的液面高度，在盛裝液體的罐體外側(cè)都會設(shè)置一條液位監(jiān)視管，通過在液位監(jiān)視管中不同高度的位置處設(shè)置傳感器來監(jiān)視液面的高度，當感應到液面高度超過警戒高度時會發(fā)出報警。為了實現(xiàn)液位監(jiān)測的自動化，在液位監(jiān)視管中添加了液位傳感器，但是往往會由于容器頂部或側(cè)壁上流下的液滴從液位監(jiān)視管的上端進入液位監(jiān)視管，引發(fā)最上端的傳感器報警，而此時的實際液位并未達到最上端傳感器的高度，導致誤報警，進而對液面高度的監(jiān)視缺乏可靠性。
實用新型內(nèi)容
[0004](一)要解決的技術(shù)問題
[0005]針對上述缺陷，本實用新型要解決的技術(shù)問題是如何防止液滴從液位監(jiān)視管的上端進入，進而減少液面自動監(jiān)測過程中液位傳感器誤報警的發(fā)生。
[0006](二)技術(shù)方案
[0007]為解決上述問題，本實用新型提供了一種液位監(jiān)視裝置，用于監(jiān)視容器內(nèi)液體的液位高度，包括:液位監(jiān)視管和傳感器，所述液位監(jiān)視管的上端設(shè)置有防進液管，所述防進液管通過第一連接管與所述液位監(jiān)視管連通，所述防進液管穿過待監(jiān)視容器的側(cè)壁并延伸至所述待監(jiān)視容器內(nèi)部，所述液位監(jiān)視管的下端通過第二連接管與所述待監(jiān)視容器的底部連通，所述液位監(jiān)視管內(nèi)設(shè)置有至少一個所述傳感器。
[0008]進一步地，所述防進液管延伸后的口徑逐漸變小。
[0009]進一步地，所述防進液管延伸后的出口端向下彎折。
[0010]進一步地，所述向下彎折的角度為直角、鈍角或銳角。
[0011]進一步地，所述出口端的高度不低于所述液位監(jiān)視管中所述傳感器的高度。
[0012]進一步地，所述防進液管還包括濾網(wǎng)，所述濾網(wǎng)安裝在所述防進液管的出口端。
[0013]進一步地，所述液位監(jiān)視管為透明管。
[0014]為解決上述技術(shù)問題，本實用新型還提供了一種液槽，包括:液位監(jiān)視裝置和槽體，其中所述液位監(jiān)視裝置為以上所述的液位監(jiān)視裝置，所述液位監(jiān)視管與所述槽體相連，所述液位監(jiān)視管通過所述第一連接管和所述第二連接管連接與所述槽體連通，所述防進液管穿過所述槽體的側(cè)壁并延伸至所述槽體的內(nèi)部。
[0015]進一步地,所述液槽還包括排液管、進液管和供給管,所述排液管包括上排管和下排管，所述上排管與所述槽體側(cè)壁的上端連通，所述下排管與所述槽體的底部連通，且所述上排管的出口與所述下排管連通，所述進液管與所述槽體的頂部連通，所述供給管與所述槽體的底部連通。
[0016]進一步地，所述排液管、所述進液管和所述供給管上均設(shè)置有閥門。
[0017](三)有益效果
[0018]本實用新型提供了一種液位監(jiān)視裝置及具有該液位監(jiān)視裝置的液槽，其中液位監(jiān)視裝置包括:液位監(jiān)視管和傳感器，液位監(jiān)視管的上端設(shè)置有防進液管，防進液管通過第一連接管與液位監(jiān)視管連通，防進液管穿過待監(jiān)視容器的側(cè)壁并延伸至所述待監(jiān)視容器內(nèi)部，液位監(jiān)視管的下端通過第二連接管與待監(jiān)視容器的底部連通，液位監(jiān)視管內(nèi)設(shè)置有至少一個傳感器。通過在液位監(jiān)視管的上端設(shè)置防進液管，能夠防止槽體內(nèi)壁的液滴沿著槽體內(nèi)壁流到液位監(jiān)視管中，當液滴下落滴在液面上發(fā)生迸濺時，也能防止迸濺的液滴流進液位監(jiān)視管內(nèi)，減少誤報警的發(fā)生，保證液位監(jiān)控的可靠性。進一步地，防進液管進入待監(jiān)視容器并延伸后采用逐漸變小的設(shè)計或者出口端向下彎折，使得彎折后的防進液管的出口高度不低于液位監(jiān)視管中最上端的傳感器，有效防止液滴流到液位監(jiān)視管中，從而減少液面自動監(jiān)測過程中液位傳感器誤報警的發(fā)生。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0019]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中液位監(jiān)視裝置的示意圖；
[0020]圖2為本實用新型提供的一種液位監(jiān)視裝置的組成示意圖；
[0021]圖3為本實用新型提供的一種液位監(jiān)視裝置的第一種結(jié)構(gòu)示意圖；
[0022]圖4為本實用新型提供的一種液位監(jiān)視裝置的第一種防進液管的局部放大圖；
[0023]圖5為本實用新型提供的一種液位監(jiān)視裝置的第二種結(jié)構(gòu)示意圖；
[0024]圖6為本實用新型提供的一種液位監(jiān)視裝置的第二種防進液管的局部放大圖；
[0025]圖7為本實用新型提供的一種液位監(jiān)視裝置的第二種防進液管的第一種變形結(jié)構(gòu)局部放大圖；
[0026]圖8為本實用新型提供的一種液位監(jiān)視裝置的第二種防進液管的第二種變形結(jié)構(gòu)局部放大圖；
[0027]圖9為本實用新型提供的一種液位監(jiān)視裝置的第一種防進液管添加濾網(wǎng)的局部放大圖；
[0028]圖10為本實用新型提供的一種液位監(jiān)視裝置的第二種防進液管添加濾網(wǎng)的局部放大圖；
[0029]圖11為本實用新型提供的具有第一種液位監(jiān)視裝置的液槽組成示意圖；
[0030]圖12為本實用新型提供的具有第二種液位監(jiān)視裝置的液槽組成示意圖。
【具體實施方式】
[0031]下面結(jié)合附圖和實施例，對本實用新型的【具體實施方式】作進一步詳細描述。以下實施例用于說明本實用新型，但不用來限制本實用新型的范圍。
[0032]目前在LTPS (Low Temperature Poly一silicon,低溫多晶娃技術(shù))和 TFT (ThinFilm Transistor,薄膜場效應晶體管)行業(yè)里，蝕刻機、剝離機、清洗機臺在水洗單元都采用水洗槽裝置，對水洗槽的液位控制均通過傳感器感應的方式，透明的液位監(jiān)視管上面連接有L、M、H、HH這幾個傳感器，從而對水洗槽的液位進行感應和監(jiān)測，以便及時對水洗槽的水進行補給和置換。但是在實際生產(chǎn)環(huán)境下，水洗槽的用于感應液位的傳感器經(jīng)常發(fā)生因液滴從液位監(jiān)視管的上端進入造成的傳感器誤報警問題，還會由于傳感器的誤報警直接導致水泵停止工作，傳送停止。而TFT和LTPS的制備過程中如果蝕刻、剝離、清洗設(shè)備停止傳送會直接導致產(chǎn)品的返工和報廢，給生產(chǎn)帶來巨大的經(jīng)濟損失。圖1為現(xiàn)有技術(shù)中用于水洗槽液面監(jiān)視的結(jié)構(gòu)示意圖，包括:槽體001、液位監(jiān)視管002和傳感器003，在液位監(jiān)視管002中分布著四個用于感應液面高度的傳感器L、M、H和HH按照從低到高的順序排列，分別對應低、中、高和報警的位置，當槽體001內(nèi)的液面逐漸上升時，液位監(jiān)視管002中液面高度也逐漸上升，傳感器L、M、H依次感應到液面，并對液面高度進行顯示和提示，當液面高度達到HH的位置時，說明槽體001內(nèi)液面高度已經(jīng)達到限定高度，發(fā)出報警。但是，從圖1中的結(jié)構(gòu)可以看出，沿著槽體001內(nèi)壁會有液滴004流進液位監(jiān)視管002中，并沿著液位監(jiān)視管002流到傳感器HH的位置，傳感器HH是一種用于感應液位的傳感器，所以當有液滴004流至丨J傳感器HH上時，傳感器做出傳感反應，認為液面已經(jīng)達到HH的位置，發(fā)出報警。但是由圖1中可以看出，槽體001中實際的液面并沒有達到HH的位置，而是在H位置與HH位置之間，因此造成誤報警。誤報警產(chǎn)生的后果是水泵停止工作，傳送停止，刻蝕、剝離、清洗設(shè)備也停止，進一步導致產(chǎn)品報廢，給生產(chǎn)帶來損失。
[0033]本實用新型提供了一種液位監(jiān)視裝置，組成示意圖如圖2所示，包括:液位監(jiān)視管01和傳感器02，液位監(jiān)視管01的上端設(shè)置有防進液管03，防進液管03與通過第一連接管04與液位監(jiān)視管01連通，防進液管03穿過待監(jiān)視容器00的側(cè)壁并延伸至所述待監(jiān)視容器00內(nèi)部，液位監(jiān)視管01的下端通過第二連接管05與待監(jiān)視容器00的底部連通。
[0034]本實用新型通過在液位監(jiān)視管的上端設(shè)置防進液管，能夠防止槽體內(nèi)壁的液滴沿著槽體內(nèi)壁流到液位監(jiān)視管中，當液滴下落滴在液面上發(fā)生迸濺時，也能防止迸濺的液滴流進液位監(jiān)視管內(nèi)，減少誤報警的發(fā)生，保證液位監(jiān)控的可靠性。
[0035]防進液管的功能為防止槽體內(nèi)壁的液滴沿著槽體內(nèi)壁流到液位監(jiān)視管中，造成誤報警；當液滴下落滴在液面上發(fā)生迸濺時，也能防止迸濺的液滴流進液位監(jiān)視管內(nèi)，因此防進液管的第一種實現(xiàn)方式為防進液管延伸后的口徑逐漸變小，如圖3所示。防進液管03伸入到待監(jiān)視容器00中并進一步延伸，可以防止沿著待監(jiān)視容器00內(nèi)壁流下的液滴004通過第一連接管04進入到液位監(jiān)視管01中。進一步將延伸后的防進液管03的口徑做成逐漸變小的形式，對防進液管03的局部放大圖為圖4所示，由于口徑變小，可以防止液滴004滴落在待監(jiān)視容器00中液面上導致迸濺產(chǎn)生的液滴004通過第一連接管04進入到液位監(jiān)視管01中，避免產(chǎn)生誤報警。
[0036]為保證上述防進液的功能，防進液管還有第二種實現(xiàn)方式為防進液管延伸后的出口端向下彎折，如圖5所示。防進液管03伸入到待監(jiān)視容器00中并進一步延伸，可以防止沿著待監(jiān)視容器00內(nèi)壁流下的液滴004通過第一連接管04進入到液位監(jiān)視管01中。進一步將延伸后的防進液管03的出口端向下彎折，由于出口端向下彎折，即使液滴004滴落產(chǎn)生迸濺，迸濺的液滴004只能進入到彎折的下端，因為受重力作用而沿著管流出，不會進入到第一連接管04中，更不會進入到液位監(jiān)視管01中，因此可以防止液滴004滴落在待監(jiān)視容器00中的液面上導致迸濺產(chǎn)生的液滴004進入到液位監(jiān)視管01中，避免產(chǎn)生誤報警，對防進液管03的局部放大圖如圖6所示。
[0037]上述防進液管的出口端向下彎折的角度為直角、鈍角或銳角，圖5和圖6中為直角，圖7和圖8中分別為鈍角和銳角的形式，并且角度還可以根據(jù)需要設(shè)置成不同的大小，例如:在較細長的容器中可以把彎折角度設(shè)置為直角或鈍角，以免出口端接觸到容器壁；在較粗大的容器中，對于彎折角度的要求并不嚴格，可以任意設(shè)置。
[0038]還需說明的是，防進液管的出口端的高度不低于液位監(jiān)視管01中傳感器HH的高度。
[0039]在上述兩種改進結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上，所述防進液管03還包括濾網(wǎng)06，濾網(wǎng)06安裝在防進液管03的出口端，分別安裝在上述第一種和第二種防進液管的效果如圖9和10所示。通過在防進液管03的出口端設(shè)置濾網(wǎng)06，能夠進一步將迸濺的液滴004阻隔在防進液管03之外，對于防止液滴迸濺導致誤報警的效果更好。
[0040]優(yōu)選地，本實施例中的液位監(jiān)視管01為透明管，這樣可以方便人用肉眼去觀察；傳感器02的個數(shù)根據(jù)液位監(jiān)視的需要進行設(shè)定，本實施例中只是為了說明將傳感器的個數(shù)限定為4個，并從下到上依次命名為L、M、H、HH，在其它實施例中傳感器的個數(shù)也可以不為4。
[0041]需要說明的是，本實施例中的待監(jiān)視容器優(yōu)選為具有槽體結(jié)構(gòu)的容器。
[0042]基于上述液位監(jiān)視管裝置，本實施例還提供了一種液槽，組成結(jié)構(gòu)如圖11所示，包括:液位監(jiān)視裝置10和槽體11，其中液位監(jiān)視裝置10為上述液位監(jiān)視裝置，液位監(jiān)視管01設(shè)置于槽體11的外側(cè)面，液位監(jiān)視管01通過第一連接管04和第二連接管05與槽體11連通，防進液管03穿過槽體11的側(cè)壁并延伸至槽體11的內(nèi)部。
[0043]關(guān)于液位監(jiān)視管與槽體的位置關(guān)系，優(yōu)選地，液位監(jiān)視管設(shè)置于槽體的外側(cè)面；另夕卜，也可以將液位監(jiān)視管內(nèi)嵌在槽體的側(cè)壁中，此處并不對此作限定，只要可以實現(xiàn)液位監(jiān)視的效果即可。
[0044]上述液槽還包括排液管14、進液管12和供給管13,排液管14包括上排管141和下排管142，上排管141與槽體11側(cè)壁的上端連通，下排管142與槽體11的底部連通，且上排管141的出口與下排管142連通，進液管12與槽體11的頂部連通，供給管13與槽體11的底部連通。供給管13包括外接管131和內(nèi)接管132，外接管131上設(shè)置有水泵15。內(nèi)接管132與其它液槽的內(nèi)接管連接，因為一般是幾個液槽一起工作。在進液管12、排液管14和供給管13上均設(shè)置有閥門，圖11中未顯示，以實現(xiàn)對各個管的工作開啟與關(guān)閉進行控制。
[0045]其中圖12中是根據(jù)上述實施例中第一種實現(xiàn)方式的液位監(jiān)視裝置得到的液槽結(jié)構(gòu)，另給出根據(jù)上述實施例中第二種實現(xiàn)方式的液位監(jiān)視裝置得到的液槽結(jié)構(gòu)。
[0046]本實施中以水洗槽對上述液槽結(jié)構(gòu)進行說明，上述結(jié)構(gòu)對于盛裝其他液體的液槽也適用。
[0047]上述液槽通過將進入液槽的防進液管進行延伸，且延伸后采用逐漸變小的設(shè)計或者出口端向下彎折，使得彎折后的防進液管的出口高度不低于液位監(jiān)視管中最上端的傳感器，有效防止液滴流到液位監(jiān)視管中，避免誤報警，保證液位監(jiān)視的可靠性。
[0048]以上實施方式僅用于說明本實用新型，而并非對本實用新型的限制，有關(guān)【技術(shù)領(lǐng)域】的普通技術(shù)人員，在不脫離本實用新型的精神和范圍的情況下，還可以做出各種變化和變型，因此所有等同的技術(shù)方案也屬于本實用新型的范疇，本實用新型的專利保護范圍應由權(quán)利要求限定。
【權(quán)利要求】
1.一種液位監(jiān)視裝置，用于監(jiān)視容器內(nèi)液體的液位高度，其特征在于，包括:液位監(jiān)視管和傳感器，所述液位監(jiān)視管的上端設(shè)置有防進液管，所述防進液管通過第一連接管與所述液位監(jiān)視管連通，所述防進液管穿過待監(jiān)視容器的側(cè)壁并延伸至所述待監(jiān)視容器內(nèi)部，所述液位監(jiān)視管的下端通過第二連接管與所述待監(jiān)視容器的底部連通，所述液位監(jiān)視管內(nèi)設(shè)置有至少一個所述傳感器。
2.如權(quán)利要求1所述的液位監(jiān)視裝置，其特征在于，所述防進液管延伸后的口徑逐漸變小。
3.如權(quán)利要求1所述的液位監(jiān)視裝置，其特征在于，所述防進液管延伸后的出口端向下彎折。
4.如權(quán)利要求3所述的液位監(jiān)視裝置，其特征在于，所述向下彎折的角度為直角、鈍角或銳角。
5.如權(quán)利要求3所述的液位監(jiān)視裝置，其特征在于，所述出口端的高度不低于所述液位監(jiān)視管中所述傳感器的高度。
6.如權(quán)利要求1-5中任一項所述的液位監(jiān)視裝置，其特征在于，所述防進液管還包括濾網(wǎng)，所述濾網(wǎng)安裝在所述防進液管的出口端。
7.如權(quán)利要求1-5中任一項所述的液位監(jiān)視裝置，其特征在于，所述液位監(jiān)視管為透明管。
8.一種液槽，其特征在于，包括:液位監(jiān)視裝置和槽體，其中所述液位監(jiān)視裝置為權(quán)利要求1-7中任一項所述的液位監(jiān)視裝置，所述液位監(jiān)視管與所述槽體相連，所述液位監(jiān)視管通過所述第一連接管和所述第二連接管與所述槽體連通，所述防進液管穿過所述槽體的側(cè)壁并延伸至所述槽體的內(nèi)部。
9.如權(quán)利要求8所述的液槽，其特征在于，所述液槽還包括排液管、進液管和供給管，所述排液管包括上排管和下排管，所述上排管與所述槽體側(cè)壁的上端連通，所述下排管與所述槽體的底部連通，且所述上排管的出口與所述下排管連通，所述進液管與所述槽體的頂部連通，所述供給管與所述槽體的底部連通。
10.如權(quán)利要求9所述的液槽，其特征在于，所述排液管、所述進液管和所述供給管上均設(shè)置有閥門。
【文檔編號】G01F23/22GK203432645SQ201320526103
【公開日】2014年2月12日 申請日期:2013年8月27日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月27日
【發(fā)明者】劉政, 任章淳 申請人:京東方科技集團股份有限公司