專利名稱：一種三軸電容式加速度傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種加速度傳感器，尤其是指一種電容式加速度傳感器。
背景技術(shù)：
加速度傳感器是將加速度、震動、沖擊等物理現(xiàn)象所產(chǎn)生的壓力轉(zhuǎn)變成便于測量的電信號的測試儀器。電容式加速度傳感器是將被測量的加速度變化轉(zhuǎn)換為電容變化量的一類傳感器，因?yàn)榫哂袦y量精度高，輸出穩(wěn)定，溫度漂移小等優(yōu)點(diǎn)而得到廣泛應(yīng)用。通常，大多數(shù)的電容式加速度計只能檢測一個或兩個軸向的加速度，而在很多應(yīng)用中需要檢測加速度矢量。目前有采用在同一襯底上制作三軸電容式加速度傳感器，如果芯片內(nèi)部采用一個慣性質(zhì)量，通常具有較高的偏軸靈敏度及沿不同軸向的靈敏度差別較大；如果芯片內(nèi)部采用三個慣性質(zhì)量，為了克服芯片內(nèi)部結(jié)構(gòu)在制作和實(shí)用中產(chǎn)生的粘附效應(yīng)而采用的工藝也使得器件的制作較為復(fù)雜。另外，同一襯底上的三軸電容式加速度傳感器，一旦傳感器只要在某一軸向出現(xiàn)檢測失效，整個傳感器就無法使用。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型解決了上述技術(shù)問題，提供一種三軸電容式加速度傳感器。為了解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型的技術(shù)方案為:一種三軸電容式加速度傳感器，其特征在于:包括上蓋、底座、傳感芯片，所述的底座由三個面組成，底座的內(nèi)部設(shè)有架子，所述的傳感芯片有三個，分別安裝在底座內(nèi)的架子上，所述的三個傳感芯片之間相互垂 直。進(jìn)一步的，所述的一種三軸電容式加速度傳感器還包括一串口插座，所述的串口插座固定在底座的側(cè)面上，并與傳感芯片連接。進(jìn)一步的，所述的上蓋由三個面組成，固定在底座上。采用本實(shí)用新型的方案的有益效果:1、把三塊單軸電容式加速度傳感器芯片安裝在同一底座的三個互相垂直面上；可檢測加速度矢量，有效抑制偏軸靈敏度，控制不同軸向靈敏度的一致性；單軸傳感器芯片制作，無需太復(fù)雜的工藝，即可克服粘附效應(yīng)，提高產(chǎn)品可靠性；各軸向傳感器芯片可靈活使用，一旦出現(xiàn)問題，只需更換相應(yīng)芯片；2、采用串口插座，代替定制的連接器，提高接口通用性。
以下結(jié)合附圖對本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。

圖1是本實(shí)用新型的立體結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本實(shí)用新型的串口插座示意圖；圖3是本實(shí)用新型的底座結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式
，對本實(shí)用新型做進(jìn)一步說明。圖1、圖2、圖3所示一種三軸電容式加速度傳感器，包括上蓋1、底座3、傳感芯片4和串口插座2，底座3由三個面組成，底座3的內(nèi)部設(shè)有架子，傳感芯片4有三個，分別安裝在底座3的架子上，三個傳感芯片4之間相互垂直，串口插座2固定在底座3的側(cè)面上，并與傳感芯片4連接，上蓋I由三個面組成，固定在底座3上，傳感器安裝在待測物體上，待測物體產(chǎn)生加速度，各軸向傳感芯片感測到加速度，并把加速度轉(zhuǎn)化成相應(yīng)的電信號，采用串口插座向外輸出。盡管結(jié)合優(yōu)選實(shí)施方案具體展示和介紹了本實(shí)用新型，但所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)該明白，在不脫離所附權(quán)利要求書所限定的本實(shí)用新型的精神和范圍內(nèi)，在形式上和細(xì)節(jié)上對本實(shí)用新型做出各 種變化，均為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1.一種三軸電容式加速度傳感器，其特征在于:包括上蓋、底座、傳感芯片，所述的底座由三個面組成，底座的內(nèi)部設(shè)有架子，所述的傳感芯片有三個，分別安裝在底座內(nèi)的架子上，所述的三個傳感芯片之間相互垂直。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種三軸電容式加速度傳感器，其特征在于:所述的一種三軸電容式加速度傳感器還包括一串口插座，所述的串口插座固定在底座的側(cè)面上，并與傳感芯片連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種三軸電容式加速度傳感器，其特征在于:所述的上蓋由三個面組 成。
專利摘要一種三軸電容式加速度傳感器，包括上蓋、底座、傳感芯片和串口插座，所述的底座由三個面組成，底座的內(nèi)部設(shè)有架子，所述的傳感芯片有三個，分別安裝在底座內(nèi)的架子上，所述的三個傳感芯片之間相互垂直，所述的串口插座固定在底座的側(cè)面上，并與傳感芯片連接，上蓋由三個相互垂直的面組成，固定在底座上。采用本實(shí)用新型的方案，可檢測加速度矢量，有效抑制偏軸靈敏度，控制不同軸向靈敏度的一致性；單軸傳感器芯片制作，無需太復(fù)雜的工藝，即可克服粘附效應(yīng)，提高產(chǎn)品可靠性；各軸向傳感器芯片可靈活使用，一旦出現(xiàn)問題，只需更換相應(yīng)芯片。
文檔編號G01P15/125GK203133113SQ20132019334
公開日2013年8月14日 申請日期2013年4月12日 優(yōu)先權(quán)日2013年4月12日
發(fā)明者崔賀偉, 陳強(qiáng)中 申請人:廈門乃爾電子有限公司