透射式THz逐點(diǎn)掃描成像裝置制造方法
【專利摘要】一種透射式THz逐點(diǎn)掃描成像裝置，包括激光光源，以及與激光光源對(duì)應(yīng)的光成像系統(tǒng)，其特征在于：所述激光光源是一臺(tái)自鎖模鈦，包括飛秒激光器，其采用<100>-ZnTe電光探測(cè)晶體作為激光光源的發(fā)射端口。本發(fā)明采用CCD器件作為探測(cè)器實(shí)現(xiàn)同時(shí)對(duì)整個(gè)物體的時(shí)域波形進(jìn)行掃描，提高了數(shù)據(jù)獲取時(shí)間。
【專利說明】透射式THz逐點(diǎn)掃描成像裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種掃描成像裝置，具體涉及一種透射式THz逐點(diǎn)掃描成像裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]太赫茲(THz)輻射是從0.1到10 THz電磁輻射(I THz所對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)為0.3毫米)，位于電磁波譜中微波與紅外波段之間，太赫茲成像技術(shù)是太赫茲科學(xué)和技術(shù)中最具應(yīng)用發(fā)
展前景之一。
[0003]目前的逐點(diǎn)掃描成像裝置普遍存在數(shù)據(jù)獲取時(shí)間較長(zhǎng)的技術(shù)問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明提供一種透射式THz逐點(diǎn)掃描成像裝置，其采用CXD器件作為探測(cè)器實(shí)現(xiàn)同時(shí)對(duì)整個(gè)物體的時(shí)域波形進(jìn)行掃描，提高了數(shù)據(jù)獲取時(shí)間。
[0005]本發(fā)明的技術(shù)解決方案是:
一種透射式THz逐點(diǎn)掃描成像裝置，包括激光光源，以及與激光光源對(duì)應(yīng)的光成像系統(tǒng)，其特殊之處在于:所述激光光源是一臺(tái)自鎖模鈦，包括飛秒激光器，其采用<100>-ZnTe電光探測(cè)晶體作為激光光源的發(fā)射端口。
[0006]本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是:采用<100>-ZnTe電光探測(cè)晶體作為激光光源的發(fā)射端口。窄帶半導(dǎo)體晶體InAs中由于丹倍電場(chǎng)產(chǎn)生的THz輻射強(qiáng)度比相同條件下GaAs晶體產(chǎn)生的THz輻射強(qiáng)很多，為THz成像提供了較高功率的輻射源，成像更清晰。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0007]圖1為本發(fā)明成像原理圖。
【具體實(shí)施方式】
[0008]參見圖1，一種透射式THz逐點(diǎn)掃描成像裝置，包括激光光源，以及與激光光源對(duì)應(yīng)的光成像系統(tǒng)，激光光源是一臺(tái)自鎖模鈦，包括飛秒激光器，其采用<100>-ZnTe電光探測(cè)晶體作為激光光源的發(fā)射端口。
[0009]激光光源是一臺(tái)自鎖模鈦:藍(lán)寶石飛秒激光器，脈沖寬度為100飛秒，中心波長(zhǎng)選擇在810納米，重復(fù)頻率為80MHz.飛秒脈沖被分光棱鏡分為激發(fā)光和探測(cè)光兩部分。激發(fā)光通過一時(shí)間延遲臺(tái)后被聚焦，并以45度角照射在〈100〉取向的InAs晶體上，產(chǎn)生光生載流子，由于光激發(fā)的電子和空穴在濃度梯度下擴(kuò)散速度不同，在晶體表面引發(fā)超快光致丹倍(Dember)電場(chǎng),從而加速載流子運(yùn)動(dòng)并產(chǎn)生THz福射.窄帶半導(dǎo)體晶體InAs中由于丹倍電場(chǎng)產(chǎn)生的THz輻射強(qiáng)度比相同條件下GAAS晶體產(chǎn)生的THz輻射強(qiáng)很多，為THz成像提供了較高功率的輻射源。產(chǎn)生的THz輻射經(jīng)兩對(duì)離軸拋物面鏡(PM)準(zhǔn)直和聚焦，最后透過一個(gè)Imm厚的高阻娃薄片,匯聚在〈110〉一 znTe電光探測(cè)晶體上。THz電場(chǎng)調(diào)制電光晶體的折射率橢球，也就是發(fā)生了電光效應(yīng)。另一方面，對(duì)于同時(shí)到達(dá)探測(cè)晶體的探測(cè)光，由于探測(cè)晶體的折射率橢球隨著THz電場(chǎng)的變化而變化，使得透射的探測(cè)光的偏振特性隨之變化。被調(diào)制的探測(cè)光經(jīng)過四分之一波片(QWP)和渥拉斯頓棱鏡(PBS)后，被一對(duì)光電二極管探測(cè)，得到的差分信號(hào)經(jīng)過鎖相放大器放大和計(jì)算機(jī)同步采集，得到THz輻射信號(hào)。
【權(quán)利要求】
1.一種透射式THz逐點(diǎn)掃描成像裝置，包括激光光源，以及與激光光源對(duì)應(yīng)的光成像系統(tǒng)，其特征在于:所述激光光源是一臺(tái)自鎖模鈦，包括飛秒激光器，其采用<100>-ZnTe電光探測(cè)晶體作為激光光源的發(fā)射端口。
【文檔編號(hào)】G01J3/28GK103528687SQ201310515043
【公開日】2014年1月22日 申請(qǐng)日期:2013年10月28日 優(yōu)先權(quán)日:2013年10月28日
【發(fā)明者】王耀斌 申請(qǐng)人:陜西高新實(shí)業(yè)有限公司