壓力傳感器以及壓力傳感器的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種壓力傳感器，其無需復(fù)雜的結(jié)構(gòu)，部件數(shù)少，組裝上不需要時間和勞力，還能夠減低成本，不會因水分從外部進入而產(chǎn)生絕緣不良、給壓力檢測元件帶來腐蝕等影響，壓力檢測元件不會因封入樹脂的熱應(yīng)力而破損，進行準確的壓力檢測。壓力傳感器具備：形成有流路（12）的接頭部件（14）；以與接頭部件的流路對置的方式配置的壓力檢測元件（16）；與壓力檢測元件鄰接配置的端子臺（38）；以與端子臺一起形成覆蓋壓力檢測元件的空間的方式與端子臺鄰接配置的蓋部件（54）；從接頭部件側(cè)裝配且一方開口、另一方側(cè)的基端部與接頭部件抵接的罩部件（66）；以及填充在罩部件的內(nèi)部形成的間隙中且構(gòu)成粘接劑的封入樹脂部（68）。
【專利說明】壓力傳感器以及壓力傳感器的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及液封式的壓力傳感器以及壓力傳感器的制造方法。
【背景技術(shù)】
[0002]一直以來，作為流體壓力檢測用的壓力傳感器，已知有專利文獻1(專利第4908411號公報)、專利文獻2(國際公開W02009 / 087767)等所公開的那樣的液封式的壓力傳感器。
[0003]圖14是表示這種液封式的壓力傳感器100的縱剖視圖。
[0004]如圖14所示，液封式的壓力傳感器100由壓力檢測元件102、接頭部件104和罩部件106的結(jié)合體構(gòu)成。
[0005]壓力檢測元件102具備金屬制的元件主體108，在形成于該元件主體108的中央開口 110內(nèi)，以嵌入方式緊固有密封玻璃112。
[0006]另外，壓力檢測元件102的元件主體108、金屬制的膜片114、形成有連通孔116的膜片保護罩118在它們的外周緣部通過焊接而被一體地緊固。
[0007]并且，通過該結(jié)構(gòu)，在元件主體108的中央開口 110的部分，在密封玻璃112與膜片114之間形成封入油的液封室120。
[0008]另一方面，如圖14所示，在密封玻璃112的液封室120側(cè)的面部，利用粘接劑固定有單片結(jié)構(gòu)的傳感器片124。
[0009]該傳感器片124配設(shè)在液封室120內(nèi)，作為檢測壓力的壓力元件、以及對該壓力檢測元件的輸出信號進行處理的集成化的電路形成為一體的壓力傳感器片而構(gòu)成。
[0010]另外，在密封玻璃112上分別以貫通狀態(tài)利用密封處理固定有用于進行對傳感器片124的信號輸入輸出的多個引線腳126和油填充用管130。
[0011]如圖14所示，引線腳126通過金制或鋁制的金屬線128而與傳感器片124導(dǎo)通連接，構(gòu)成傳感器片124的外部輸出端子、外部輸入端子。例如FPC (柔性印刷電路)134的一端與引線腳126導(dǎo)通連接，F(xiàn)PC134的另一端與接觸引線腳131的一端導(dǎo)通連接。并且，接觸引線腳131的另一端通過例如、軟釬焊、熔敷等而與外部引線132導(dǎo)通連接。
[0012]此外，在這種液封式的壓力傳感器100中，為了在壓力傳感器100的液封室120中填充油而設(shè)有油填充用管130。經(jīng)由該油填充用管130將油填充到液封室120中之后，通過焊接等對作為油導(dǎo)入開口的油填充用管130的前端136進行封固。
[0013]并且，如圖14所示，設(shè)有樹脂制的蓋部138，以覆蓋壓力檢測元件102。并且，通過對圓筒形狀的鉚接板140進行鉚接加工，從而壓力檢測元件102、接頭部件104和罩部件106被一體固定,構(gòu)成壓力傳感器100。
[0014]另外，罩部件106利用例如環(huán)氧樹脂或硅樹脂等封固材料(模制樹脂)150模制而成。
[0015]此外，樹脂制的蓋部138與壓力檢測元件102之間由例如0型密封圈等密封材料142密封。
[0016]并且，從通路146傳遞到壓力室148內(nèi)的流體壓力通過膜片保護罩118的連通孔116按壓膜片114的表面，并利用液封室120內(nèi)的傳感器片124探測該押壓力。
[0017]現(xiàn)有技術(shù)文獻
[0018]專利文獻1:日本特許第4908411號公報
[0019]專利文獻2:國際公開W02009 / 087767
[0020]專利文獻3:日本特開2012 — 68105號公報

【發(fā)明內(nèi)容】

[0021]然而，在這種現(xiàn)有的專利文獻1、專利文獻2所記載的液封式的壓力傳感器100中，如圖14所示，需要罩部件106、圓筒形狀的鉚接板140、密封材料142等復(fù)雜的結(jié)構(gòu)，部件件數(shù)也多，需要鉚接加工等,組裝上也需要時間和勞力,成本也隨之變高。
[0022]另外，在水分進入了間隙144的情況下，由于凍結(jié)解凍而存在損壞，并導(dǎo)致氣密性受損。因此，水分如圖14的箭頭G所示那樣從外部進入，產(chǎn)生絕緣不良并導(dǎo)致傳感器不起作用，無法進行準確的壓力檢測。
[0023]因此，在專利文獻3 (日本特開2012 — 68105號公報)中公開了為了不使水分從外部進入而做成沒有間隙的結(jié)構(gòu)的液封式的壓力傳感器200。
[0024]如圖15所示，該壓力傳感器200由壓力檢測元件202、接頭部件204和罩部件206的結(jié)合體構(gòu)成。
[0025]并且，在壓力檢測元件202的一方端面(下底面)，通過焊接氣密地緊固有金屬制膜片208的外周緣部。在設(shè)置于壓力檢測元件202的下表面的傳感器片210上經(jīng)由引線接合212連接著引線腳214。
[0026]并且，如圖15所示，該引線腳214與基板216連接，且與外部引線218連接。并且，罩220內(nèi)的空間封入有由粘接劑構(gòu)成的封入樹脂222，并且，在罩220與接頭部件204之間的空間也封入有由粘接劑構(gòu)成的封入樹脂224。由此，消除了間隙，阻止了水分等液體進入內(nèi)部。
[0027]然而，在該專利文獻3的壓力傳感器200中，封入樹脂222、224因熱而膨脹，壓力檢測元件202有時因該熱應(yīng)力而破損損傷，存在無法進行準確的壓力檢測的情況。
[0028]另外，填充封入樹脂224這一操作本身花費時間和勞力，并且必需在上下填充封入樹脂222、224，工序變得復(fù)雜，成本也隨之變高。
[0029]本發(fā)明鑒于這種現(xiàn)狀，目的在于提供一種壓力傳感器以及壓力傳感器的制造方法，該壓力傳感器不需要復(fù)雜的結(jié)構(gòu)，部件件數(shù)也減少，組裝上不需要時間和勞力，還能夠減低成本，而且，不會因水分從外部進入而產(chǎn)生絕緣不良、或給壓力檢測元件帶來腐蝕等的影響，另外，壓力檢測元件不會因封入樹脂的熱應(yīng)力而破損損傷，能夠進行準確的壓力檢測。
[0030]本發(fā)明是為了實現(xiàn)上述那樣的現(xiàn)有技術(shù)的課題及目的而提出的發(fā)明，本發(fā)明的壓力傳感器的特征在于，具備:形成有流路的接頭部件；為了檢測上述流路內(nèi)的流體壓力而緊固在上述接頭部件上，且以與接頭部件的流路對置的方式配置的壓力檢測元件；以及從上述接頭部件一側(cè)裝配，且一方開口、另一方側(cè)的基端部與接頭部件抵接的罩部件。
[0031]另外，本發(fā)明的壓力傳感器的制造方法的特征在于，具備:為了檢測形成于接頭部件上的流路內(nèi)的流體壓力，而將壓力檢測元件以與形成于接頭部件上的流路對置的方式緊固在接頭部件上的工序；以及
[0032]從上述接頭部件一側(cè)裝配一方開口、另一方側(cè)的基端部與接頭部件抵接的罩部件的工序。
[0033]通過這樣構(gòu)成，僅從上述接頭部件側(cè)裝配一方開口、另一方側(cè)的基端部與接頭部件抵接的罩部件即可，因此不需要復(fù)雜的結(jié)構(gòu)。
[0034]另外，也不需要如專利文獻3那樣，在上下填充封入樹脂222、224，工序變得簡單、還能夠降低成本，能夠做成僅從一個方向填充封入樹脂而沒有間隙的結(jié)構(gòu)。
[0035]并且，由于從接頭部件一側(cè)裝配一方開口、另一方側(cè)的基端部與接頭部件抵接的罩部件，因此即使在對外部引線施加了拉力的情況下，罩部件的基端部也與接頭部件抵接被勾掛住。
[0036]由此，即使對封入樹脂施加力，封入樹脂也不會產(chǎn)生裂紋等，不會因水分從外部進入而產(chǎn)生絕緣不良、或給壓力檢測元件帶來腐蝕等的影響，進行準確的壓力檢測。
[0037]另外，本發(fā)明的壓力傳感器的特征在于，具備:以形成覆蓋上述壓力檢測元件的空間的方式配置的空間形成部件；以及在上述空間形成部件的外側(cè)填充在上述罩部件的內(nèi)部形成的間隙中，且構(gòu)成粘接劑的封入樹脂部。
[0038]另外，本發(fā)明的壓力傳感器的制造方法的特征在于，具備:以形成覆蓋上述壓力檢測元件的空間的方式配置空間形成部件的工序；以及在上述空間形成部件的外側(cè)，在形成于上述罩部件的內(nèi)部的間隙填充構(gòu)成粘接劑的封入樹脂并形成封入樹脂部的工序。
[0039]另外，本發(fā)明的壓力傳感器的特征在于，上述壓力檢測元件的引線腳和與外部引線連接的端子的連接部以位于下述空間的方式構(gòu)成，上述空間由上述空間形成部件形成，且未填充封入樹脂。
[0040]另外，本發(fā)明的壓力傳感器的制造方法的特征在于，具備上述壓力檢測元件的引線腳、和與外部引線連接的端子的連接部以位于下述空間的方式進行配置的工序，上述空間由上述空間形成部件形成，且未填充封入樹脂。
[0041]通過這樣構(gòu)成，僅在以與接頭部件的流路對置的方式配置的壓力檢測元件上，與壓力檢測元件鄰接地配置空間形成部件，便能利用空間形成部件形成覆蓋壓力檢測元件的空間。
[0042]并且，從接頭部件一側(cè)裝配一方開口、另一方側(cè)的基端部與接頭部件抵接的罩部件，接著，在空間形成部件的外側(cè)，在罩部件的內(nèi)部形成的間隙中填充構(gòu)成粘接劑的封入樹脂并形成封入樹脂部。
[0043]并且，在該狀態(tài)下，壓力檢測元件的引線腳和與外部引線連接的端子的連接部以位于下述空間的方式配置，上述空間由空間形成部件形成，且未填充封入樹脂。
[0044]該狀態(tài)是壓力檢測元件的引線腳和與外部引線連接的端子的連接部位于空間的狀態(tài)，不是如以往那樣由封入樹脂覆蓋的狀態(tài)。因此，即使在壓力傳感器反復(fù)受熱或被冷卻的情況下，也不會產(chǎn)生熱應(yīng)力，針對熱沖擊實驗變得有力，不會產(chǎn)生絕緣不良或短路等，不會給壓力檢測元件帶來影響，進行準確的壓力檢測。
[0045]另外，接頭部件、壓力檢測元件、壓力檢測元件的引線腳和與外部引線連接的端子、以及空間形成部件被一體化且被密封。
[0046]因此，不需要如以往的壓力傳感器那樣復(fù)雜的結(jié)構(gòu)，部件件數(shù)也減少，組裝上不需要時間和勞力，還能夠降低成本，能夠做成僅從一個方向填充封入樹脂而沒有間隙的結(jié)構(gòu)。
[0047]另外，通過構(gòu)成粘接劑的封入樹脂，接頭部件、壓力檢測元件、壓力檢測元件的引線腳和與外部引線連接的端子、以及空間形成部件被一體化且被密封，因此不會因水分從外部進入而產(chǎn)生絕緣不良、或給壓力檢測元件帶來腐蝕等的影響，進行準確的壓力檢測。
[0048]而且，由于利用空間形成部件形成覆蓋壓力檢測元件的空間，因此封入樹脂不會進入內(nèi)部而與壓力檢測元件接觸，壓力檢測元件不會因封入樹脂的熱應(yīng)力而破損損傷，進行準確的壓力檢測。
[0049]另外，本發(fā)明的特征在于，上述空間形成部件包括:第一空間形成部件；以及配置在上述第一空間形成部材的上方的第二空間形成部件。
[0050]通過這樣構(gòu)成，僅配置第一空間形成部件和上述第一空間形成部件的上方的第二空間形成部件，便能夠利用空間形成部件形成覆蓋壓力檢測元件的空間。
[0051]另外，本發(fā)明的壓力傳感器的特征在于，具備第一空間形成部件和第二空間形成部件，該第一空間形成部件為了支撐上述壓力檢測元件的引線腳和與外部引線連接的端子，而與壓力檢測元件鄰接地配置，該第二空間形成部件以與上述第一空間形成部件一起形成覆蓋壓力檢測元件的空間的方式，與第一空間形成部件鄰接地配置。
[0052]另外，本發(fā)明的壓力傳感器的制造方法的特征在于，具備:具備:為了支撐上述壓力檢測元件的引線腳和與外部引線連接的端子，而與壓力檢測元件鄰接地配置第一空間形成部件的工序；以及以與上述第一空間形成部件一起形成覆蓋壓力檢測元件的空間的方式，與第一空間形成部件鄰接地配置第二空間形成部件的工序。
[0053]通過這樣構(gòu)成，僅在以與接頭部件的流路對置的方式配置的壓力檢測元件上，與壓力檢測元件鄰接地配置第一空間形成部件，并與第一空間形成部件鄰接地配置第二空間形成部件，便能利用第二空間形成部件和第一空間形成部件形成覆蓋壓力檢測元件的空間。
[0054]并且，從接頭部件一側(cè)裝配一方開口、另一方側(cè)的基端部與接頭部件抵接的罩部件。接著，在形成于罩部件的內(nèi)部的間隙中填充構(gòu)成粘接劑的封入樹脂并形成封入樹脂部。
[0055]由此，接頭部件、壓力檢測元件、支撐壓力檢測元件的引線腳和與外部引線連接的端子的第一空間形成部件、第二空間形成部材被一體化且被密封。
[0056]因此，不需要如以往的壓力傳感器那樣復(fù)雜的結(jié)構(gòu)，部件件數(shù)也減少，組裝上不需要時間和勞力，還能夠降低成本，能夠做成僅從一個方向填充封入樹脂而沒有間隙的結(jié)構(gòu)。
[0057]另外，通過構(gòu)成粘接劑的封入樹脂，接頭部件、壓力檢測元件、支撐壓力檢測元件的引線腳和與外部引線連接的端子的第一空間形成部件、第二空間形成部件被一體化且被密封，不會因水分從外部進入而產(chǎn)生絕緣不良、或給壓力檢測元件帶來腐蝕等的影響，進行準確的壓力檢測。
[0058]而且，由于利用第一空間形成部件和第二空間形成部件形成覆蓋壓力檢測元件的空間，封入樹脂不會進入內(nèi)部而與壓力檢測元件接觸，壓力檢測元件不會因封入樹脂的熱應(yīng)力而破損損傷，進行準確的壓力檢測。
[0059]另外，本發(fā)明的特征在于，上述封入樹脂部與第一空間形成部件之間的粘接強度比上述封入樹脂部與壓力檢測元件之間的粘接強度小。
[0060]通過這樣構(gòu)成，在低溫下使用的情況下，即使封入樹脂部因熱應(yīng)力而收縮了時，也由于封入樹脂部與第一空間形成部件之間的粘接強度小，而在封入樹脂部與第一空間形成部件之間進行剝離。
[0061]因此，在與防水性向光的、S卩、在形成密封部的封入樹脂部與壓力檢測元件之間維持密封性，由此，不會因水分從外部進入而產(chǎn)生絕緣不良、或給壓力檢測元件帶來腐蝕等的影響，進行準確的壓力檢測。
[0062]另外，本發(fā)明的特征在于，上述封入樹脂部與第一空間形成部件之間的粘接強度比上述封入樹脂部與第二空間形成部件之間的粘接強度小。
[0063]通過這樣構(gòu)成，在低溫下使用的情況下，即使封入樹脂部因熱應(yīng)力而收縮了時，也由于封入樹脂部與第一空間形成部件之間的粘接強度小，而在封入樹脂部與第一空間形成部件之間進行剝離。
[0064]因此，在與防水性相關(guān)的、S卩、在形成密封部的封入樹脂部與第二空間形成部件之間維持密封性，由此，不會因水分從外部進入而產(chǎn)生絕緣不良、或給壓力檢測元件帶來腐蝕等的影響，進行準確的壓力檢測。
[0065]另外，本發(fā)明的特征在于，在上述壓力檢測元件的側(cè)部與罩部件的內(nèi)壁之間形成空間，在上述空間內(nèi)形成供封入樹脂部流入的封入樹脂部。
[0066]通過這樣構(gòu)成，如表示圖9的在100°C至一 40°C之間變化時的應(yīng)力解析的圖所示，在該封入樹脂部成為壓縮應(yīng)力狀態(tài)。即、在封入樹脂部成為壓縮狀態(tài)是，封入樹脂部在與壓力檢測元件的側(cè)部之間、以及與罩部件的內(nèi)壁之間為向不易剝離的方向施加力的狀態(tài)。由此，不會因水分從外部進入而產(chǎn)生絕緣不良、或給壓力檢測元件帶來腐蝕等的影響，進行準確的壓力檢測。
[0067]另外，本發(fā)明的特征在于，在上述第二空間形成部件的側(cè)壁沿外周方向以突出設(shè)置的方式形成裂紋防止突出設(shè)置部。
[0068]通過這樣構(gòu)成，由于在第二空間形成部件的側(cè)壁沿外周方向以突出設(shè)置的方式形成裂紋防止突出設(shè)置部，因此，例如在100°C至一 40°C的范圍反復(fù)受到熱應(yīng)力的情況下，也能抑制從在封入樹脂部與第一空間形成部件之間剝離的部分的上端附近朝向上方沿外周方向產(chǎn)生的裂紋K的發(fā)生。
[0069]另外，即使產(chǎn)生裂紋K，裂紋K也與裂紋防止突出設(shè)置部抵接，裂紋K不會行進到其以上。
[0070]由此，不會因水分經(jīng)由裂紋K、封入樹脂部與第一空間形成部件之間的剝離部分從外部進入而產(chǎn)生絕緣不良、或給壓力檢測元件帶來腐蝕等的影響，進行準確的壓力檢測。
[0071]本發(fā)明的效果如下。
[0072]根據(jù)本發(fā)明，由于僅從上述接頭部件一側(cè)裝配一方開口、另一方側(cè)的基端部與接頭部件抵接的罩部件即可，因此不需要復(fù)雜的結(jié)構(gòu)。另外，不需要如專利文獻3那樣，在上下填充封入樹脂222、224，工序變得簡單、還能夠降低成本，能夠做成僅從一個方向填充封入樹脂而沒有間隙的結(jié)構(gòu)。
[0073]再有，由于從接頭部件一側(cè)裝配一方開口、另一方側(cè)的基端部與接頭部件抵接的罩部件，因此，即使在對外部引線施加了拉力的情況下，罩部件的基端部也與接頭部件抵接而勾掛住。
[0074]由此，即使對封入樹脂施加力，封入樹脂上也不會產(chǎn)生裂紋等，不會因水分從外部進入而產(chǎn)生絕緣不良、或給壓力檢測元件16帶來腐蝕等的影響，進行準確的壓力檢測。
[0075]另外，根據(jù)本發(fā)明，僅在以與接頭部件的流路對置的方式配置的壓力檢測元件上，與壓力檢測元件鄰接地配置空間形成部件，便能利用空間形成部件形成覆蓋壓力檢測元件的空間。
[0076]并且，從接頭部件一側(cè)裝配一方開口、另一方側(cè)的基端部與接頭部件抵接的罩部件。接著，在空間形成部件的外側(cè)，在罩部件的內(nèi)部形成的間隙中填充構(gòu)成粘接劑的封入樹脂并形成封入樹脂部。
[0077]并且，在該狀態(tài)下，壓力檢測元件的引線腳和與外部引線連接的端子的連接部成為以位于下述空間的方式配置的狀態(tài)，上述空間由空間形成部件形成，且未填充封入樹脂。
[0078]該狀態(tài)是，壓力檢測元件的引線腳和與外部引線連接的端子的連接部位于空間的狀態(tài)，而不是如以往那樣由封入樹脂覆蓋的狀態(tài)。因此，即使在壓力傳感器反復(fù)受熱或被冷卻的情況下，也不會產(chǎn)生熱應(yīng)力，針對熱沖擊實驗變得有力，不會產(chǎn)生絕緣不良或短路，不會給壓力檢測元件帶來影響，進行準確的壓力檢測。
[0079]另外，接頭部件、壓力檢測元件、壓力檢測元件的引線腳和與外部引線連接的端子、以及空間形成部件被一體化且被密封。
[0080]因此，不需要如以往的壓力傳感器那樣復(fù)雜的結(jié)構(gòu)，部件件數(shù)也減少，組裝上不需要時間和勞力、還能降低成本，能夠做成僅從一個方向填充封入樹脂而沒有間隙的結(jié)構(gòu)。
[0081]另有，利用構(gòu)成粘接劑的封入樹脂，接頭部件、壓力檢測元件、壓力檢測元件的引線腳和與外部引線連接的端子、以及空間形成部件被一體化且被密封，因此不會因水分從外部進入而產(chǎn)生絕緣不良、或給壓力檢測元件帶來腐蝕等的影響，進行準確的壓力檢測。
[0082]而且，利用空間形成部件形成覆蓋壓力檢測元件的空間，因此封入樹脂不會進入內(nèi)部而與壓力檢測元件接觸，壓力檢測元件不會因封入樹脂的熱應(yīng)力而破損損傷，進行準確的壓力檢測。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0083]圖1是本發(fā)明的壓力傳感器的縱剖視圖。
[0084]圖2是本發(fā)明的壓力傳感器的俯視圖。
[0085]圖3是說明本發(fā)明的壓力傳感器的制造工序的概略的縱剖視圖。
[0086]圖4是說明本發(fā)明的壓力傳感器的制造工序的概略的縱剖視圖。
[0087]圖5是說明本發(fā)明的壓力傳感器的制造工序的概略的縱剖視圖。
[0088]圖6是說明本發(fā)明的壓力傳感器的制造工序的概略的縱剖視圖。
[0089]圖7是本發(fā)明的壓力傳感器的其他實施例的縱剖視圖。
[0090]圖8是圖7的局部放大剖視圖。
[0091]圖9是表不應(yīng)力解析的圖。
[0092]圖10是說明在圖1所示的本發(fā)明的壓力傳感器10中，在反復(fù)受到熱應(yīng)力的情況下，在封入樹脂部68產(chǎn)生裂紋K的狀態(tài)的壓力傳感器的縱剖視圖。
[0093]圖11是圖10的局部放大剖視圖。
[0094]圖12是本發(fā)明的壓力傳感器的其他實施例的縱剖視圖。
[0095]圖13是圖12的局部放大剖視圖。[0096]圖14是表示現(xiàn)有的液封式的壓力傳感器100的縱剖視圖。
[0097]圖15是表示現(xiàn)有的液封式的壓力傳感器200的縱剖視圖。
[0098]圖中:
[0099]10—壓力傳感器，12—流路，14 一接頭部件，14a—凸緣部，16—壓力檢測元件，18—元件主體，18a —側(cè)部，20 —中央開口，22—密封玻璃，24 —膜片，26—連通孔，28—膜片保護罩，30—液封室,32—傳感器片，34一引線腳，34a一如端,36—金屬線,38—端子臺，40一壓力室,42—端子固定用壁，42a—插通孔,44一下方側(cè)壁,46—上方側(cè)壁，48—端子，48a—外端部，50—嵌合用臺階部，52—連接部，54—蓋部件，54a—表面，56—上板部，58—側(cè)壁，58a一下端,60—引線卡定部,60a?60c—卡定切槽孔,60d一上表面,60e—下表面，62—外部引線，62a?62c—外部引線，64—連接部，66—罩部件，66a—基端部，66b—開口部，66c—內(nèi)壁，68—封入樹脂部，68a —上端，68b—封入樹脂部，70—裂紋防止突出設(shè)置部，100—壓力傳感器，102—壓力檢測元件，104—接頭部件，106—罩部件，108—元件主體，110—中央開口，112—密封玻璃，114一膜片，116—連通孔，118—膜片保護罩，120—液封室，124—傳感器片，126—引線腳，128—金屬線，130—油填充用管，131—接觸引腳，132—外部引線，134—FPC (柔性印刷電路)，136 —前端，138 —蓋部，140—鉚接板，142—密封材料，144一間隙，146—通路，148—壓力室，150—封固材(模制樹脂)，200—壓力傳感器，202—壓力檢測元件，204—接頭部件，206—罩部件，208—膜片，210—傳感器片，212—弓I線接合，214—引線腳，216—基板，218—外部引線，220—罩，222—封入樹脂，224—封入樹脂，K一裂紋，Pl—粘接強度，P2—粘接強度，P3—粘接強度，SI—第一空間，S2—第二空間，S3—間隙，S4一空間，T一間隙。
【具體實施方式】
[0100]以下基于附圖對本發(fā)明的實施方式(實施例)進行詳細說明。
[0101]實施例1
[0102]圖1是本發(fā)明的壓力傳感器的縱剖視圖，圖2是本發(fā)明的壓力傳感器的俯視圖，圖3?圖6是說明本發(fā)明的壓力傳感器的制造工序的概略的縱剖視圖。
[0103]在圖1?圖2中，符號10整體地表示本發(fā)明的壓力傳感器。
[0104]如圖1所示，本發(fā)明的壓力傳感器10是液封式的壓力傳感器，具備:形成有流路12的接頭部件14 ;以及檢測流路12內(nèi)的流體壓力的壓力檢測元件16。
[0105]并且，以與該接頭部件14的流路12對置的方式配置壓力檢測元件16，并在其周緣部與接頭部件14焊接緊固。
[0106]壓力檢測元件16具備例如不銹鋼、鋁等金屬制的元件主體18，在形成于該元件主體18的中央開口 20內(nèi)嵌入并緊固有密封玻璃22。
[0107]另外，如圖1所示，壓力檢測元件16的元件主體18、金屬制的膜片24、以及形成有連通孔26的膜片保護罩28在它們的外周緣部通過焊接而一體緊固。
[0108]并且，通過該結(jié)構(gòu)，在元件主體18的中央開口 20的部分，在密封玻璃22與膜片24之間形成有封入油的液封室30。
[0109]另一方面，如圖1所示，在密封玻璃22的液封室30側(cè)的面部，利用粘接劑固定有單片結(jié)構(gòu)的傳感器片32。[0110]該傳感器片32配設(shè)在液封室30內(nèi)，作為檢測壓力的壓力元件、和對該壓力檢測元件的輸出信號進行處理的集成化電路一體形成的壓力傳感器片而構(gòu)成。
[0111]另外，在密封玻璃22上分別以貫通狀態(tài)利用密封處理固定有多個引線腳34，該多個引線腳34用于進行針對傳感器片32的信號的輸入輸出。
[0112]在該實施例中，雖然未圖示，但引線腳34共設(shè)有八根。即、設(shè)有作為輸入輸出用端子的后述的外部引線62a (Vout),62b (Vcc),62c (GND)用的三根引線腳34、和作為傳感器片32的調(diào)整用的端子的五根引線腳34。
[0113]引線腳34由例如金制或鋁制的金屬線36與傳感器片32導(dǎo)通連接(引線接合)，構(gòu)成傳感器片32的外部輸出端子及外部輸入端子。
[0114]并且，從接頭部件14的流路12傳遞到壓力室40內(nèi)的流體壓力通過膜片保護罩28的連通孔26而按壓膜片24的表面，利用液封室30內(nèi)的傳感器片32來探測該押壓力。
[0115]另外，如圖1所示，在壓力檢測元件16的上部，構(gòu)成空間形成部件的第一空間形成部件的端子臺38與壓力檢測元件16的元件主體18的上方相鄰配置，并利用例如粘接劑固定在壓力檢測元件16的元件主體18上。
[0116]如圖1所示，該端子臺38為大致圓筒形狀，在其大致中央部形成有端子固定用壁42，該端子固定用壁42上形成有用于供引線腳34插通的插通孔42a。并且，該端子臺38形成有從該端子固定用壁42向下方延伸設(shè)置的下方側(cè)壁44、和從端子固定用壁42向上方延伸設(shè)置的上方側(cè)壁46。
[0117]由此，如圖1所示，在壓力檢測元件16與端子臺38之間形成被端子固定用壁42和下方側(cè)壁44包圍的第一空間SI。
[0118]并且，壓力檢測元件16的引線腳34的前端34a插通在插通孔42a中，與以貫通端子臺38的上方側(cè)壁46的方式設(shè)置的端子48在連接部52利用例如焊接而電連接。
[0119]此外，在該實施例中，雖然未圖示，但如后述的圖2所示那樣，設(shè)有外部引線62a(Vout),62b (Vcc)、62c (GND)用的三個端子 48。
[0120]并且，如圖1、圖2所示，在端子臺38的上方側(cè)壁46形成有嵌合用臺階部50，構(gòu)成空間形成部件的第二空間形成部件的蓋部件54以與該嵌合用臺階部50嵌合的方式，與端子臺38相鄰配置。
[0121]S卩、蓋部件54為具備上板部56和側(cè)壁58的大致杯形狀，構(gòu)成為側(cè)壁58與形成于端子臺38的上方側(cè)壁46的嵌合用臺階部50嵌合。
[0122]由此，如圖1所示，在蓋部件54與端子臺38之間形成被端子臺38的端子固定用壁42、上方側(cè)壁46、蓋部件54的上板部56以及側(cè)壁58包圍的第二空間S2。
[0123]S卩、通過這樣構(gòu)成，如圖1所示，利用端子臺38和與端子臺38相鄰配置的蓋部件54，形成覆蓋壓力檢測元件16的、由上述的空間SI和空間S2構(gòu)成的較大的空間。
[0124]S卩、在端子臺38的端子固定用壁42，上述的空間S1、S2之間成為連通狀態(tài)，由此，利用端子臺38和蓋部件54形成覆蓋壓力檢測元件16的較大的空間。
[0125]并且，如圖1、圖2所示，在蓋部件54的側(cè)壁58形成有向外側(cè)突出設(shè)置的引線卡定部60。如圖2所示，該引線卡定部60為大致矩形形狀，與三根外部引線62、S卩、外部引線62a (Vout),62b (Vcc),62c (GND)對應(yīng)地分別形成有引線卡定部60的卡定切槽孔60a、60b、60co[0126]g卩、外部引線62a (Vout),62b (Vcc),62c (GND)如圖1、圖2的箭頭A所示，嵌入卡定切槽孔60a、60b、60c而固定。
[0127]另一方面，如圖1所示，外部引線62在連接部64通過例如軟釬焊、焊接等與以貫通端子臺38的上方側(cè)壁46的方式設(shè)置的端子48的外端部48a電連接。
[0128]另外，如圖1的箭頭B所示，罩部件66的開口部66b側(cè)從接頭部件14 一側(cè)插入，在罩部件66的內(nèi)側(cè)突出設(shè)置的凸緣形狀的基端部66a成為與接頭部件14的凸緣部14a抵接的狀態(tài)。
[0129]由此，如圖1所示，在罩部件66的內(nèi)部形成間隙S3，在該間隙S3中，從罩部件66的開口部66b側(cè)填充構(gòu)成粘接劑的封入樹脂，形成封入樹脂部68。
[0130]此外，在該情況下，如圖1所示，封入樹脂部68的上端68a希望為與蓋部件54的引線卡定部60的上表面60d的高度相同的平面以下的高度，優(yōu)選位于引線卡定部60的上表面60d與下表面60e之間。
[0131]這樣構(gòu)成的本發(fā)明的壓力傳感器10由圖3?圖6所示的工序來制造。
[0132]S卩、如圖3所示，準備預(yù)先一體地組裝的壓力檢測元件16，在該壓力檢測元件16上焊接接頭部件14。
[0133]接著，如圖4所示，在壓力檢測元件16的元件主體18的上部配置端子臺38的下方側(cè)壁44，利用例如粘接劑固定。在該狀態(tài)下，壓力檢測元件16的引線腳34的前端34a成為插通端子臺38的端子固定用壁42的插通孔42a的狀態(tài)。
[0134]在該狀態(tài)下，壓力檢測元件16的引線腳34的前端34a插通插通孔42a，在連接部52，利用例如焊接將引線腳34的前端34a與以貫通端子臺38的上方側(cè)壁46的方式設(shè)置的端子48電連接。
[0135]此外，在該狀態(tài)下，如圖4所示，在壓力檢測元件16與端子臺38之間形成被端子固定用壁42與下方側(cè)壁44包圍的第一空間SI。
[0136]并且，如圖5所示，在連接部64利用例如焊接、軟釬焊等將外部引線62與以貫通端子臺38的上方側(cè)壁46的方式設(shè)置的端子48的外端部48a電連接。
[0137]另外，以與形成于端子臺38的上方側(cè)壁46的嵌合用臺階部50嵌合的方式，與端子臺38相鄰地配置蓋部件54。
[0138]由此，如圖5所示，成為在蓋部件54與端子臺38之間形成被端子臺38的端子固定用壁42和上方側(cè)壁46、蓋部件54的上板部56和側(cè)壁58包圍的第二空間S2的狀態(tài)。
[0139]另外，如圖2、圖5的箭頭A所示，將外部引線62a (Vout),62b (Vcc),62c (GND)分別嵌入并固定在引線卡定部60的卡定切槽孔60a、60b、60c。
[0140]在該狀態(tài)下，如圖6所示，成為將罩部件66的開口部66b側(cè)從接頭部件14 一側(cè)插入，在罩部件66的內(nèi)側(cè)突出設(shè)置的凸緣形狀的基端部66a與接頭部件14的凸緣部14a抵接的狀態(tài)。另外，根據(jù)需要，利用例如焊接等對接頭部件14的凸緣部14a與罩部件66的基端部66a進行固定
[0141]最后，如圖1所示，在形成于罩部件66的內(nèi)部的間隙S3，從罩部件66的開口部66b側(cè)填充構(gòu)成粘接劑的封入樹脂，形成封入樹脂部68。
[0142]并且，在該狀態(tài)下，如圖1所示，壓力檢測元件16的引線腳34和與外部引線62連接的端子48的連接部52成為以位于如下空間方式配置的狀態(tài)，該空間由構(gòu)成空間形成部件的第一空間形成部件的端子臺38和構(gòu)成空間形成部件的第二空間形成部件的蓋部件54形成，且由未填充有封入樹脂的空間S1、S2構(gòu)成。
[0143]該狀態(tài)為壓力檢測元件16的引線腳34和與外部引線62連接的端子48的連接部52位于空間的狀態(tài)，而不是如以往那樣由封入樹脂覆蓋的狀態(tài)。因此，即使在壓力傳感器反復(fù)受熱或被冷卻的情況下，也不會產(chǎn)生熱應(yīng)力，變得耐受熱沖擊實驗，不會產(chǎn)生絕緣不良或短路，不會給壓力檢測元件帶來影響，能夠進行準確的壓力檢測。
[0144]根據(jù)這樣構(gòu)成的本發(fā)明的壓力傳感器10，僅在以與接頭部件14的流路12對置的方式配置的壓力檢測元件16上，與壓力檢測元件16相鄰地配置端子臺38，并與端子臺38相鄰地配置蓋部件54，便能利用蓋部件54和端子臺38形成覆蓋壓力檢測元件16的空間S1、S2。
[0145]并且，從接頭部件14 一側(cè)裝配一方開口且另一方側(cè)的基端部66a與接頭部件14抵接的罩部件66。接著，在形成于罩部件66的內(nèi)部的間隙S3填充構(gòu)成粘接劑的封入樹脂，形成封入樹脂部68。
[0146]由此，如圖1所示，接頭部件14、壓力檢測元件16、支撐壓力檢測元件16的引線腳34和與外部引線62連接的端子48的端子臺38、以及蓋部件54成為一體且被密封。
[0147]因此，不需要如現(xiàn)有的壓力傳感器那樣復(fù)雜的結(jié)構(gòu)，部品件數(shù)也減少，在組裝上不需要時間和勞力，還能夠降低成本。
[0148]另外，由于接頭部件14、壓力檢測元件16、支撐壓力檢測元件16的引線腳34和與外部引線62連接的端子48的端子臺38、以及蓋部件54利用構(gòu)成粘接劑的封入樹脂而成為一體且被密封，因此不會因水分從外部進入而產(chǎn)生絕緣不良，不會給壓力檢測元件16帶來腐蝕等影響，能夠進行準確的壓力檢測。
[0149]而且，如圖1所示，由于利用蓋部件54和端子臺38形成覆蓋壓力檢測元件16的空間S1、S2，因此封入樹脂不會進入內(nèi)部而與壓力檢測元件16接觸，壓力檢測元件16不會因封入樹脂的熱應(yīng)力而破損損傷，能夠進行準確的壓力檢測。
[0150]再有，由于從接頭部件14 一側(cè)裝配一方開口且另一方側(cè)的基端部66a與接頭部件14抵接的罩部件66，因此即使在對外部引線62施加了張緊力的情況下，罩部件66的基端部66a也會與接頭部件14抵接而被勾掛住。
[0151]由此，即使對封入樹脂施加力，封入樹脂上也不會產(chǎn)生裂紋等，不會因水分從外部進入而產(chǎn)生絕緣不良、或給壓力檢測元件16帶來腐蝕等的影響，能夠進行準確的壓力檢測。
[0152]再有，如圖1、圖2的箭頭A所示，外部引線62a (Vout),62b (Vcc),62c (GND)分別嵌入向外側(cè)突出設(shè)置在蓋部件54的側(cè)壁58上的引線卡定部60的卡定切槽孔60a、60b、60c而被固定。
[0153]因此，即使對外部引線62施加力，也由于外部引線62被固定而不會在柔軟的、由構(gòu)成粘接劑的封入樹脂構(gòu)成的封入樹脂部68產(chǎn)生裂紋等，不會因水分從外部進入而產(chǎn)生絕緣不良、或?qū)毫z測元件16帶來腐蝕等的影響，能夠進行準確的壓力檢測。
[0154]再有，外部引線62在引線卡定部60成為其上下分離的狀態(tài)。由此，能夠防止在使構(gòu)成粘接劑的封入樹脂固化時，構(gòu)成粘接劑的封入樹脂因表面張力而沿外部引線62向上方攀援上升，并從封入樹脂部68的上端68a突出而導(dǎo)致外觀等的品質(zhì)下降。[0155]另外，該情況下，如圖1所示，希望封入樹脂部68的上端68a為與蓋部件54的引線卡定部60的上表面60d的高度相同的平面以下的高度，優(yōu)選位于引線卡定部60的上表面60d與下表面60e之間。
[0156]實施例2
[0157]圖7是表示本發(fā)明的壓力傳感器的其他實施例的縱剖視圖，圖8是圖7的局部放大剖視圖，圖9是表示應(yīng)力解析的圖。
[0158]該實施例的壓力傳感器10是與圖1所示的壓力傳感器10基本上相同的結(jié)構(gòu)，對于相同的構(gòu)成部件附注相同的參照編號并省略其詳細的說明。
[0159]如圖7、圖8所示，在該實施例的壓力傳感器10中，構(gòu)成為封入樹脂部68與端子臺38之間的粘接強度Pl比封入樹脂部68與壓力檢測元件16的元件主體18之間的粘接強度P2小。
[0160]通過這樣構(gòu)成，如圖8的箭頭C所示，在低溫下使用的情況下，即使封入樹脂部68因熱應(yīng)力而收縮了時，也由于封入樹脂部68與端子臺38之間的粘接強度小，而如圖8的箭頭D所示，會在封入樹脂部68與端子臺38之間產(chǎn)生剝離。
[0161]因此，在與防水性相關(guān)的、S卩、如圖8的用橢圓形包圍的部分E所示，在形成密封部的封入樹脂部68與壓力檢測元件16的元件主體18之間維持密封性，由此，不會因水分從外部進入而產(chǎn)生絕緣不良、或?qū)毫z測元件16帶來腐蝕等的影響，能夠進行準確的壓力檢測。
[0162]另外，在該實施例的壓力傳感器10中，如圖7、圖8所示，構(gòu)成為封入樹脂部68與端子臺38之間的粘接強度Pl比封入樹脂部68與蓋部件54之間的粘接強度P3小。
[0163]通過這樣構(gòu)成，如圖8的箭頭C所示，在低溫下使用的情況下，即使封入樹脂部68因熱應(yīng)力而收縮了時，也由于封入樹脂部68與端子臺38之間的粘接強度小，而如圖8的箭頭D所示，會在封入樹脂部68與端子臺38之間產(chǎn)生剝離。
[0164]因此，在與防水性相關(guān)的、S卩、如圖8的用橢圓形包圍的部分F所示，在形成密封部的封入樹脂部68與蓋部件54之間維持密封性，由此，不會因水分從外部進入而產(chǎn)生絕緣不良、或?qū)毫z測元件16帶來腐蝕等影響，能夠進行準確的壓力檢測。
[0165]該情況下，如圖8所示，作為將封入樹脂部68與端子臺38之間的粘接強度Pl設(shè)定為比封入樹脂部68與壓力檢測元件16的元件主體18之間的粘接強度P2、封入樹脂部68與蓋部件54之間的粘接強度P3小的方法，沒有特別特限定。
[0166]另外，如圖8所示，作為將封入樹脂部68與蓋部件54之間的粘接強度P3設(shè)定得較大的方法，能夠采用如下方法，即、通過例如等離子洗凈處理、UV處理、利用了硅烷偶聯(lián)劑的底涂劑處理等，加大與蓋部件54的封入樹脂部68接觸的表面54a與封入樹脂部68的粘接性。
[0167]另外，例如，在構(gòu)成封入樹脂部68的粘接劑為聚氨酯樹脂的情況下，如圖8的用橢圓形包圍的部分E所示，由于元件主體18為金屬制，因此形成密封部的封入樹脂部68與壓力檢測元件16的元件主體18之間的粘接強度大。因此，作為將封入樹脂部68與端子臺38之間的粘接強度Pl設(shè)定得小的方法，只要利用對于構(gòu)成封入樹脂部68的聚氨酯樹脂的粘接強度較小的PPS (聚苯硫醚)樹脂制作端子臺38即可。
[0168]另外，如圖8所示，作為將封入樹脂部68與蓋部件54之間的粘接強度P3設(shè)定得比封入樹脂部68與端子臺38之間的粘接強度Pl大的方法，也可以將蓋部件54作為例如不銹鋼、鋁等金屬制部件，如圖8的用橢圓形包圍的部分E所示，加大形成密封部的封入樹脂部68與蓋部件54之間的粘接強度。
[0169]并且，如圖8所示，作為將封入樹脂部68與蓋部件54之間的粘接強度P3設(shè)定得比封入樹脂部68與端子臺38之間的粘接強度Pl大的方法，例如在構(gòu)成封入樹脂部68的粘接劑為聚氨酯樹脂的情況下，只要利用相對于構(gòu)成封入樹脂部68的聚氨酯樹脂的粘接強度較大的、例如ABS樹脂、PBT (聚對苯二甲酸丁二醇酯)樹脂等制作蓋部件54的材質(zhì)即可。
[0170]圖9是表示在100°C至一 40°C之間變化時的應(yīng)力解析的圖，如圖9 (A)所示，在封入樹脂部68與端子臺38之間的粘接強度Pl大的情況下，應(yīng)力值在形成密封部的封入樹脂部68與壓力檢測元件16的元件主體18之間(D)、形成密封部的封入樹脂部68與蓋部件54之間(E)大到15MPa。
[0171]對此，如圖9(B)所示可知，在封入樹脂部68與端子臺38之間的粘接強度Pl小的情況下，應(yīng)力值在形成密封部的封入樹脂部68與壓力檢測元件16的元件主體18之間(D)、形成密封部的封入樹脂部68與蓋部件54之間(E)為6MPa，能夠降低大約1/3。
[0172]另外，如圖1、圖7、圖8所示，在本發(fā)明的壓力傳感器10中，在壓力檢測元件16的元件主體18的側(cè)部18a與罩部件66的內(nèi)壁66c之間形成空間S4。
[0173]并且，在該空間S4內(nèi)還形成供封入樹脂部流入的封入樹脂部68b。
[0174]因此，如圖9的表示在100°C至一 40°C之間變化時的應(yīng)力解析的圖所示的那樣，在該封入樹脂部68b成為壓縮應(yīng)力狀態(tài)。
[0175]S卩、在封入樹脂部68b成為壓縮狀態(tài)是，封入樹脂部68a在與壓力檢測元件16的元件主體18的側(cè)部18a之間、以及與罩部件66的內(nèi)壁66c之間向不易剝離的方向施加力的狀態(tài)。由此，不會因水分從外部進入而產(chǎn)生絕緣不良、或給壓力檢測元件16帶來腐蝕等影響，進行準確的壓力檢測。
[0176]實施例3
[0177]圖10是說明在圖1所示的本發(fā)明的壓力傳感器10中，在反復(fù)受到熱應(yīng)力的情況下，在封入樹脂部68產(chǎn)生裂紋K的狀態(tài)的壓力傳感器的縱剖視圖，圖11是圖10的局部放大剖視圖，圖12是本發(fā)明的壓力傳感器的其他實施例的縱剖視圖，圖13是圖12的局部放大剖視圖。
[0178]該實施例的壓力傳感器10是與圖7?圖8所示的實施例2的壓力傳感器10基本上相同的結(jié)構(gòu)，對于相同的構(gòu)成部件附注相同的參照編號并省略其詳細的說明。
[0179]如圖10?圖11所示，在圖7?圖8所示的實施例2中表示的本發(fā)明的壓力傳感器10中，例如在100°C至一 40°C的范圍反復(fù)受到熱應(yīng)力的情況下，有可能在封入樹脂部68產(chǎn)生裂紋K。
[0180]S卩、在圖11的放大圖中，如箭頭C所示，在低溫下使用的情況下，在封入樹脂部68因熱應(yīng)力而收縮的情況下，由于封入樹脂部68與端子臺38的側(cè)部之間的粘接強度小，因此如圖11的箭頭D所示，會在封入樹脂部68與端子臺38之間產(chǎn)生剝離。
[0181]并且，如圖11的放大圖所示，有可能產(chǎn)生裂紋K，該裂紋K從在封入樹脂部68與端子臺38之間剝離的部分的上端附近朝向上方沿外周方向到達封入樹脂部68的上端68a。[0182]由此，水分經(jīng)由裂紋K、封入樹脂部68與端子臺38之間的剝離部分從外部進入，產(chǎn)生絕緣不良、或給壓力檢測元件16帶來腐蝕等的影響，有可能無法進行準確的壓力檢測。
[0183]因此，在該實施例的壓力傳感器10中，如圖12?圖13所示，在蓋部件54的側(cè)壁58沿外周方向以突出設(shè)置的方式形成裂紋防止突出設(shè)置部70。
[0184]該實施例的情況下，該裂紋防止突出設(shè)置部70在蓋部件54的側(cè)壁58的下端58a形成于與端子臺38的上方側(cè)壁46抵接的部分。
[0185]通過這樣構(gòu)成，如圖12?圖13所示，由于在蓋部件54的側(cè)壁58沿外周方向以突出設(shè)置的方式形成裂紋防止突出設(shè)置部70，因此例如在100°C至一 40°C的范圍反復(fù)受到熱應(yīng)力的情況下，也能抑制從在封入樹脂部68與端子臺38之間剝離的部分的上端附近朝向上方沿外周方向產(chǎn)生的裂紋K的發(fā)生。
[0186]另外，即使產(chǎn)生裂紋K，裂紋K也與裂紋防止突出設(shè)置部70抵接，裂紋K不會行進到其以上。
[0187]由此，不會因水分經(jīng)由裂紋K、封入樹脂部68與端子臺38之間的剝離部分從外部進入而產(chǎn)生絕緣不良、或給壓力檢測元件16帶來腐蝕等的影響，能夠進行準確的壓力檢測。
[0188]此外，該裂紋防止突出設(shè)置部70的形狀、位置、個數(shù)在蓋部件54的側(cè)壁58能夠適當?shù)刈兏?br> [0189]另外，如圖12?圖13所示，如該實施例那樣，通過在蓋部件54的側(cè)壁58的下端58a形成與端子臺38的上方側(cè)壁46抵接的部分，能抑制從在封入樹脂部68與端子臺38之間剝離的部分的上端附近朝向上方沿外周方向產(chǎn)生的裂紋K的發(fā)生。
[0190]另外，即使產(chǎn)生裂紋K，也由于裂紋K與裂紋防止突出設(shè)置部70抵接而起到不會使裂紋K繼續(xù)行進的優(yōu)良效果，因而較為理想。
[0191]另外，如圖13所示，裂紋防止突出設(shè)置部70距離蓋部件54的側(cè)壁58的突出設(shè)置距離Tl沒有特別限定，只要考慮抑制產(chǎn)生上述裂紋的效果、防止裂紋行進的效果，而且考慮蓋部件54的側(cè)壁58與罩部件66的內(nèi)壁66a之間的距離，并考慮封入樹脂部68的封入難易度來適當變更即可。
[0192]并且，如圖13所示，裂紋防止突出設(shè)置部70的厚度T2沒有特別限定，只要考慮裂紋防止突出設(shè)置部70的強度、封入樹脂部68的封入量等來適當變更即可。
[0193]通過這樣構(gòu)成，由于在蓋部件54的側(cè)壁58沿外周方向以突出設(shè)置的方式形成裂紋防止突出設(shè)置部70，因此例如在100°C至一 40°C的范圍反復(fù)受到熱應(yīng)力的情況下，也抑制從在封入樹脂部68與端子臺38之間剝離的部分的上端附近朝向上方沿外周方向產(chǎn)生的裂紋K的發(fā)生，即使產(chǎn)生了裂紋K，裂紋K也與裂紋防止突出設(shè)置部70抵接而不會使裂紋K繼續(xù)行進。
[0194]此外，在該實施例中，在圖7?圖8所示的實施例2中表示的本發(fā)明的壓力傳感器10中，以突出設(shè)置的方式形成裂紋防止突出設(shè)置部70，當然在圖1?圖6所示的實施例1的壓力傳感器10中，也可以以突出設(shè)置的方式形成裂紋防止突出設(shè)置部70。
[0195]另外，在該實施例中，與圖1?圖8所示的本發(fā)明的壓力傳感器10同樣，也可以將該裂紋防止突出設(shè)置部70本身作為引線卡定部60而構(gòu)成。此外，當然，也可以將裂紋防止突出設(shè)置部70本身作為引線卡定部60而構(gòu)成，除此以外，也可以以向外側(cè)突出設(shè)置的方式另外在蓋部件54的側(cè)壁58形成引線卡定部60。
[0196]以上對本發(fā)明的優(yōu)選實施方式進行了說明，但本發(fā)明并不限定于此，例如在上述實施例中，端子臺38和蓋部件54為分開的部件，但端子臺38和蓋部件54也可以由一體的構(gòu)件構(gòu)成等，在不脫離本發(fā)明的目的的范圍內(nèi)能夠進行各種變更。
[0197]產(chǎn)業(yè)上的可利用性
[0198]本發(fā)明能夠應(yīng)用于液封式的壓力傳感器及壓力傳感器的制造方法。
【權(quán)利要求】
1.一種壓力傳感器，其特征在于，具備: 形成有流路的接頭部件； 為了檢測上述流路內(nèi)的流體壓力而緊固在上述接頭部件上，且以與接頭部件的流路對置的方式配置的壓力檢測元件；以及 從上述接頭部件一側(cè)裝配的、一方開口且另一方側(cè)的基端部與接頭部件抵接的罩部件。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力傳感器，其特征在于，具備: 以形成覆蓋上述壓力檢測元件的空間的方式配置的空間形成部件；以及在上述空間形成部件的外側(cè)填充至形成于上述罩部件的內(nèi)部的間隙中，且構(gòu)成粘接劑的封入樹脂部。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的壓力傳感器，其特征在于， 上述空間形成部件包括第一空間形成部件和配置在上述第一空間形成部件的上方的第二空間形成部件。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的壓力傳感器，其特征在于， 具備第一空間形成部件和第二空間形成部件， 該第一空間形成部件為了支撐上述壓力檢測元件的引線腳和與外部引線連接的端子，而與壓力檢測元件相鄰配置， 該第二空間形成部件以與上述第一空間形成部件一起形成覆蓋壓力檢測元件的空間的方式，與第一空間形成部件相鄰配置。
5.根據(jù)權(quán)利要求2~4任一項中所述的壓力傳感器，其特征在于， 上述壓力檢測元件的引線腳和與外部引線連接的端子的連接部以位于由上述空間形成部件形成且未填充封入樹脂的上述空間的方式構(gòu)成。
6.根據(jù)權(quán)利要求2~5任一項中所述的壓力傳感器，其特征在于， 上述封入樹脂部與第一空間形成部件之間的粘接強度比上述封入樹脂部與壓力檢測元件之間的粘接強度小。
7.根據(jù)權(quán)利要求2~6任一項中所述的壓力傳感器，其特征在于， 上述封入樹脂部與第一空間形成部件之間的粘接強度比上述封入樹脂部與第二空間形成部件之間的粘接強度小。
8.根據(jù)權(quán)利要求1~7任一項中所述的壓力傳感器，其特征在于， 在上述壓力檢測元件的側(cè)部與罩部件的內(nèi)壁之間形成有空間， 在上述空間內(nèi)形成有供封入樹脂流入的封入樹脂部。
9.根據(jù)權(quán)利要求1~8任一項中所述的壓力傳感器，其特征在于， 在上述第二空間形成部件的側(cè)壁沿外周方向以突出設(shè)置的方式形成裂紋防止突出設(shè)置部。
10.一種壓力傳感器的制造方法，其特征在于， 具備:為了檢測形成于接頭部件的流路內(nèi)的流體壓力，而將壓力檢測元件以與形成于接頭部件的流路對置的方式緊固在接頭部件上的工序；以及 從上述接頭部件一側(cè)裝配一方開口且另一方側(cè)的基端部與接頭部件抵接的罩部件的工序。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的壓力傳感器的制造方法，其特征在于， 具備:以形成覆蓋上述壓力檢測元件的空間的方式配置空間形成部件的工序；以及在上述空間形成部件的外側(cè)，向形成于上述罩部件的內(nèi)部的間隙填充構(gòu)成粘接劑的封入樹脂并形成封入樹脂部的工序。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的壓力傳感器的制造方法，其特征在于， 上述空間形成部件包括第一空間形成部件、和配置在上述第一空間形成部件的上方的第二空間形成部件。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的壓力傳感器的制造方法，其特征在于， 具備:為了支撐上述壓力檢測元件的引線腳和與外部引線連接的端子，而與壓力檢測元件相鄰配置第一空間形成部件的工序；以及 以與上述第一空間形成部件一起形成覆蓋壓力檢測元件的空間的方式，與第一空間形成部件相鄰配置第二空間形成部件的工序。
14.根據(jù)權(quán)利要求11~13任一項中所述的壓力傳感器的制造方法，其特征在于， 具備上述壓力檢測元件的引線腳和與外部引線連接的端子的連接部以位于由上述空間形成部件形成且未填充封入樹脂的上述空間的方式進行配置的工序。
15.根據(jù)權(quán)利要求12~14任一項中所述的壓力傳感器的制造方法，其特征在于， 上述封入樹脂部與第一空間形成部件之間的粘接強度比上述封入樹脂部和壓力檢測元件之間的粘接強度小。
16.根據(jù)權(quán)利要求12~15任一項中所述的壓力傳感器的制造方法，其特征在于， 上述封入樹脂部與第一空間形成部件之間的粘接強度比上述封入樹脂部與第二空間形成部件之間的粘接強度小。
17.根據(jù)權(quán)利要求10~16任一項中所述的壓力傳感器的制造方法，其特征在于， 在上述壓力檢測元件的側(cè)部與罩部件的內(nèi)壁之間形成有空間，在上述空間內(nèi)形成有供封入樹脂流入的封入樹脂部。
18.根據(jù)權(quán)利要求10~17任一項中所述的壓力傳感器的制造方法，其特征在于， 在上述第二空間形成部件的側(cè)壁沿外周方向以突出設(shè)置的方式形成有裂紋防止突出設(shè)置部。
【文檔編號】G01L19/00GK103487202SQ201310231206
【公開日】2014年1月1日 申請日期:2013年6月9日 優(yōu)先權(quán)日:2012年6月11日
【發(fā)明者】石川琢郎, 瀧本和哉, 石橋和德 申請人:株式會社鷺宮制作所