技術總結
一種MEMS陀螺儀，包括：測量體、與所述測量體相連接的上蓋板硅片以及下蓋板硅片；所述測量體包括外框架、位于所述外框架內(nèi)的內(nèi)框架以及質量塊；所述外框架與所述內(nèi)框架之間通過第一彈性梁相連接；所述質量塊與所述內(nèi)框架通過所述第二彈性梁相連接。所述質量塊和內(nèi)框架之間設置有四組相互對應的梳狀耦合結構。所述測量體的上下表面上均鍵合有帶電極的蓋板硅片。并與測量體之間形成一電容。本發(fā)明通過測量蓋板硅片與測量體之間的平板電容的變化來計算出旋轉的角速度。本發(fā)明具有檢測靈敏度、準確度高等特點。

技術研發(fā)人員：于連忠;孫晨
受保護的技術使用者：中國科學院地質與地球物理研究所
文檔號碼：201310221525
技術研發(fā)日：2013.06.05
技術公布日：2017.04.05