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振動(dòng)片、傳感器單元及電子設(shè)備的制作方法與工藝

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振動(dòng)片、傳感器單元及電子設(shè)備的制作方法與工藝

技術(shù)特征:
1.一種振動(dòng)片,其特征在于,該振動(dòng)片具有:振動(dòng)體,其具有基部、從所述基部的一端延伸出的第1振動(dòng)臂、和從所述基部的與所述一端相反側(cè)的另一端延伸出的第2振動(dòng)臂;以及突狀部,其從所述振動(dòng)體起沿著所述第2振動(dòng)臂延伸的方向設(shè)置,所述振動(dòng)體和所述突狀部形成于基板,所述第1振動(dòng)臂和所述第2振動(dòng)臂中的一方是驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂,另一方是檢測(cè)用振動(dòng)臂,所述驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂被驅(qū)動(dòng)成在預(yù)定的面內(nèi)進(jìn)行彎曲振動(dòng),所述預(yù)定的面是與所述基板的主面平行的面,在設(shè)所述基部的厚度為t,所述第2振動(dòng)臂延伸的方向上的所述基部的長(zhǎng)度為L(zhǎng),所述第1振動(dòng)臂的與所述預(yù)定的面交叉的方向上的固有振動(dòng)頻率為f1,所述第2振動(dòng)臂的與所述預(yù)定的面交叉的方向上的固有振動(dòng)頻率為f2,所述突狀部的與所述預(yù)定的面交叉的方向上的固有振動(dòng)頻率為f3時(shí),滿足如下關(guān)系(1)和(2):(1)f3>f2(2)0.964×(1-0.321(1+L/t))≦f2/f1≦0.995。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的振動(dòng)片,其特征在于,該振動(dòng)片滿足如下關(guān)系(3):(3)f2/f1=0.976×(1-0.237(1+L/t))。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的振動(dòng)片,其特征在于,所述振動(dòng)體還具有支撐所述基部的支撐部、以及連結(jié)所述基部和所述支撐部的連結(jié)臂,所述突狀部從所述支撐部或所述連結(jié)臂起沿著所述第2振動(dòng)臂延伸的方向設(shè)置。4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的振動(dòng)片,其特征在于,所述振動(dòng)體還具有支撐所述基部的支撐部、以及連結(jié)所述基部和所述支撐部的連結(jié)臂,所述突狀部從所述支撐部或所述連結(jié)臂起沿著所述第2振動(dòng)臂延伸的方向設(shè)置。5.一種傳感器單元,其特征在于,該傳感器單元具有:權(quán)利要求1~4中的任意一項(xiàng)所述的振動(dòng)片;以及電子部件,其包含激勵(lì)所述驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂的驅(qū)動(dòng)電路、和檢測(cè)在所述檢測(cè)用振動(dòng)臂中產(chǎn)生的檢測(cè)信號(hào)的檢測(cè)電路。6.一種電子設(shè)備,其特征在于,該電子設(shè)備具有權(quán)利要求1~4中的任意一項(xiàng)所述的振動(dòng)片。
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