本發(fā)明涉及振動片、傳感器單元及電子設(shè)備。

背景技術(shù)：
廣泛利用了作為角速度傳感器的振動陀螺儀傳感器（以下稱作振動陀螺儀），該角速度傳感器充實(shí)車輛中的車體控制、汽車導(dǎo)航系統(tǒng)的自身車輛位置檢測以及數(shù)字照相機(jī)和數(shù)字?jǐn)z像機(jī)等的振動控制校正功能（所謂的手抖校正）等。振動陀螺儀利用由作為高彈性材料的石英等壓電性單晶物構(gòu)成的陀螺儀振動片，檢測由于物體的擺動和旋轉(zhuǎn)等的振動而在陀螺儀振動片的一部分中產(chǎn)生的電信號作為角速度，并通過計算旋轉(zhuǎn)角求出物體的位移。作為用于陀螺儀傳感器的振動片，一直以來廣泛采用了由石英等壓電體材料形成的壓電振動片（振動陀螺儀元件）（例如，參照專利文獻(xiàn)1）。專利文獻(xiàn)1所記載的振動片是所謂的音叉型的壓電振動片，其包含由石英構(gòu)成的基部、和從基部的一端部起并行延伸的一對振動臂。在各振動臂的主面（第1表面）上設(shè)置有提供激勵振動臂的驅(qū)動電壓的驅(qū)動電極（激勵電極），在與第1表面垂直的側(cè)面上設(shè)置有檢測電極。并且，能夠通過向驅(qū)動電極施加驅(qū)動信號（激勵信號）而使振動臂振動。此處，在向該振動片施加驅(qū)動信號來使振動臂在沿著第1表面的方向上振動（面內(nèi)振動）時，如果是以振動臂的延伸方向的軸（例如在以石英Z板為基材的振動陀螺儀元件的情況下，為Y軸）為檢測軸進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，則振動臂由于哥氏力而在與第1表面垂直的方向上振動（面外振動）。由于該面外振動的振幅與振動片的旋轉(zhuǎn)速度成比例，因此能夠檢測為角速度。上述那樣的振動陀螺儀元件的基部和振動臂能夠通過使用光刻對壓電體材料、例如石英進(jìn)行蝕刻加工而一體形成。原本將振動臂的截面形狀設(shè)計成矩形，但由于石英的蝕刻各向異性和加工工藝的偏差等，不成為矩形，而呈現(xiàn)平行四邊形、菱形或更復(fù)雜的不規(guī)則形狀。此時，在振動臂的截面形狀與原本設(shè)計的矩形偏離較大時，振動臂的振動方向與設(shè)計值偏離，產(chǎn)生所謂的泄漏輸出那樣的不希望的振動泄漏，從而成為使振動陀螺儀元件的檢測靈敏度劣化的主要原因。與此相對，在專利文獻(xiàn)2中，提出了如下的振動片：使用形狀簡單且容易獲得加工精度的棒狀的振動片，由連結(jié)驅(qū)動部（振動臂）和檢測部（檢測臂）后的各個振動片構(gòu)成振動片，由此盡量抑制檢測部的泄漏輸出。此外，在專利文獻(xiàn)3中提出了如下技術(shù)：利用激光對設(shè)置于從基部延伸的振動臂的與基部連接的根部附近的切削部進(jìn)行加工，通過改變質(zhì)量分布抑制泄漏輸出（傾斜振動）?！緦＠墨I(xiàn)1】日本特開平5-256723號公報【專利文獻(xiàn)2】日本特開2010-32482號公報【專利文獻(xiàn)3】日本特開2008-209215號公報但是，在專利文獻(xiàn)2中，對于由連結(jié)驅(qū)動部和檢測部后的各個振動片構(gòu)成振動片后的進(jìn)一步的泄漏輸出的抑制方法（具體而言，由于棒狀的振動片的加工精度引起的泄漏輸出的進(jìn)一步的抑制方法等），沒有進(jìn)行任何具體的提案。此外，在專利文獻(xiàn)3記載的振動片中，為了進(jìn)行用于抑制泄漏輸出的精細(xì)調(diào)整，需要設(shè)置極其細(xì)微的切削部，近年來，伴隨振動陀螺儀的日益小型化而振動片被細(xì)微化，因此存在切削部的形成變得更困難，并且振動片的機(jī)械強(qiáng)度由于切削部的形成而變?nèi)醯膯栴}。因此，在構(gòu)成為將振動臂和檢測臂連結(jié)到基部后的各個振動部后，與這些振動部獨(dú)立地在基部上進(jìn)一步安裝用于抑制泄漏輸出的調(diào)整臂，并進(jìn)行調(diào)整，由此能夠抑制泄漏輸出。具體而言，利用激光等改變安裝于基部的調(diào)整臂的質(zhì)量分布，由此抑制了泄漏輸出的產(chǎn)生。其結(jié)果，能夠在不降低振動臂和檢測臂等的振動片的機(jī)械強(qiáng)度的情況下抑制泄漏輸出。但是，由于對基部新附加這種調(diào)整臂，而存在作為振動陀螺儀傳感器的檢測靈敏度降低的問題。具體而言，能夠通過使振動臂和檢測臂的固有振動頻率一致而進(jìn)行諧振，提高檢測的靈敏度，與此相對，由于新附加調(diào)整臂而在振動臂與檢測臂的諧振中產(chǎn)生偏差，從而存在檢測靈敏度降低的問題。該檢測靈敏度降低的問題不限于為了抑制泄漏輸出而附加的調(diào)整臂，是在基部上安裝了附加物（突狀部）時產(chǎn)生的問題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
本發(fā)明正是為了解決上述課題中的至少一部分而完成的，可作為以下應(yīng)用例或方式來實(shí)現(xiàn)。[應(yīng)用例1]本應(yīng)用例的振動片的特征在于，具有：振動體，其具有基部、從所述基部的一端延伸出的第1振動臂、和從所述基部的與所述一端相反側(cè)的另一端延伸出的第2振動臂；以及突狀部，其從所述振動體起沿著所述第2振動臂延伸出的方向進(jìn)行設(shè)置，所述第1振動臂和所述第2振動臂中的一方是驅(qū)動用振動臂，另一方是檢測用振動臂，所述驅(qū)動用振動臂被驅(qū)動成在預(yù)定的面內(nèi)進(jìn)行彎曲振動，在設(shè)所述基部的厚度為t，所述第2振動臂延伸出的方向上的所述基部的長度為L，所述第1振動臂的與所述預(yù)定的面交叉的方向上的固有振動頻率為f1，所述第2振動臂的與所述預(yù)定的面交叉的方向上的固有振動頻率為f2，所述突狀部的與所述預(yù)定的面交叉的方向上的固有振動頻率為f3時，滿足如下關(guān)系（1）和（2）：（1）f3＞f2（2）0.964×（1-0.321(1+L/t)）≦f2/f1≦0.995。根據(jù)本應(yīng)用例，振動片為經(jīng)由基部分別連續(xù)地設(shè)置有驅(qū)動用振動臂和檢測用振動臂。例如，在這樣分別構(gòu)成了驅(qū)動用振動臂和檢測用振動臂的振動陀螺儀的情況下，重要的是從設(shè)計階段調(diào)整各自的固有振動頻率，以提高角速度的檢測靈敏度。具體而言，振動陀螺儀的檢測靈敏度被如下效率所左右，所述效率是指在對預(yù)定面內(nèi)進(jìn)行彎曲振動（以下稱作面內(nèi)振動）的驅(qū)動用振動臂施加了角速度時在驅(qū)動用振動臂中產(chǎn)生的面外振動（與面內(nèi)振動交叉的方向上的振動）傳遞為通過基部連結(jié)的檢測用振動臂的面外振動的效率。在驅(qū)動用振動臂的面外振動和檢測用振動臂的面外振動進(jìn)行諧振的情況下能夠提高該傳遞效率。另一方面，本應(yīng)用例的振動片不是由僅單純連結(jié)了驅(qū)動用振動臂和檢測用振動臂的結(jié)構(gòu)的振動體構(gòu)成，而成為在該振動體上進(jìn)一步設(shè)置有突狀部的結(jié)構(gòu)。作為突狀部，例如在振動陀螺儀的情況下，用于抑制泄漏輸出的調(diào)整用振動臂等與其對應(yīng)。針對這種結(jié)構(gòu)，需要包含突狀部的影響進(jìn)行振動頻率的調(diào)整，本申請發(fā)明人發(fā)現(xiàn)能夠通過設(shè)為滿足上述關(guān)系（1）和（2）的振動頻率，提高從驅(qū)動用振動臂向檢測用振動臂的振動傳遞效率。因此，例如在振動陀螺儀等上述那樣的結(jié)構(gòu)（即，在振動體上進(jìn)一步設(shè)置有突狀部的結(jié)構(gòu)）的振動片的情況下，能夠通過進(jìn)行滿足上述關(guān)系（1）和（2）的設(shè)計，得到高檢測靈敏度的振動片。[應(yīng)用例2]在上述應(yīng)用例的振動片中，其特征在于，滿足如下關(guān)系（3）：（3）f2/f1=0.976×（1-0.237(1+L/t)）。本申請發(fā)明人發(fā)現(xiàn)能夠通過設(shè)為滿足上述關(guān)系（3）的振動頻率，進(jìn)一步提高從驅(qū)動用振動臂向檢測用振動臂的振動傳遞效率。因此，進(jìn)一步優(yōu)選如本應(yīng)用例那樣滿足關(guān)系（3）。能夠通過設(shè)為這種振動片，提供檢測靈敏度更高的振動片。另外，滿足關(guān)系（3）是指設(shè)計并制造管理成滿足關(guān)系（3）。[應(yīng)用例3]在上述應(yīng)用例的振動片中，其特征在于，所述振動體還具有支撐所述基部的支撐部、以及連結(jié)所述基部和所述支撐部的連結(jié)臂，所述突狀部從所述支撐部或所述連結(jié)臂起沿著所述第2振動臂延伸出的方向進(jìn)行設(shè)置。根據(jù)本應(yīng)用例，振動片還具有支撐部、以及連結(jié)基部和支撐部的連結(jié)臂，突狀部從支撐部或連結(jié)臂起沿著第2振動臂延伸出的方向進(jìn)行設(shè)置。在這種結(jié)構(gòu)的振動片中，在滿足上述關(guān)系的情況下，能夠提供檢測靈敏度高的振動片。因此，根據(jù)本應(yīng)用例，能夠提供還具有支撐部的檢測靈敏度高的振動片。[應(yīng)用例4]本應(yīng)用例的傳感器單元的特征在于，具有：上述應(yīng)用例所述的振動片；以及電子部件，其包含激勵所述驅(qū)動用振動臂的驅(qū)動電路、和檢測在所述檢測用振動臂中產(chǎn)生的檢測信號的檢測電路。根據(jù)本應(yīng)用例的傳感器單元，具備激勵驅(qū)動用振動臂的驅(qū)動電路、檢測在檢測用振動臂產(chǎn)生的檢測信號的檢測電路、以及能夠進(jìn)行更高靈敏度的檢測的振動片，因此能夠提供具有穩(wěn)定特性的傳感器單元。[應(yīng)用例5]本應(yīng)用例的電子設(shè)備的特征在于，該電子設(shè)備具有上述應(yīng)用例所述的振動片。根據(jù)本應(yīng)用例的電子設(shè)備，由于具備能夠進(jìn)行更高靈敏度的檢測的振動片，因此能夠提供具有穩(wěn)定特性的電子設(shè)備。附圖說明圖1是示出作為振動片的振動陀螺儀元件的示意性俯視圖。圖2是從一個主面?zhèn)攘Ⅲw示出振動陀螺儀元件的電極配置的示意性立體圖。圖3是從另一個主面?zhèn)攘Ⅲw示出振動陀螺儀元件的電極配置的示意性立體圖。圖4是示出振動陀螺儀元件的振動的示意性立體圖。圖5的（a）～（e）是針對基部的不同長度L評價了改變頻率比（f2/f1）時的靈敏度的轉(zhuǎn)變的曲線圖。圖6是示出能夠得到最大靈敏度的70%以上的頻率比（f2/f1）的區(qū)域與R之間的關(guān)系的曲線圖。圖7的（a）是搭載了振動陀螺儀元件的陀螺儀傳感器的概略俯視圖，（b）是（a）的A－A線剖視圖。圖8的（a）是作為電子設(shè)備的一個實(shí)施方式的數(shù)字?jǐn)z像機(jī)的立體圖，（b）是移動電話機(jī)的立體圖，（c）是便攜式信息終端（PDA）的立體圖。圖9的（a）～（d）是示出振動陀螺儀元件的變形例的示意性俯視圖。標(biāo)號說明1：振動陀螺儀元件；21：基部；22a、22b：驅(qū)動用振動臂；23a、23b：檢測用振動臂；24a、24b：連結(jié)臂；25a、25b：調(diào)整用振動臂；49：接合線；50：陀螺儀傳感器；59：接合部件；60：封裝；61：第1層基板；62：第2層基板；63：第3層基板；64：第4層基板；65：沖模墊；66：IC連接端子；67：振動片連接端子；68：外部安裝端子；69：密封圈；70：蓋；80：中繼基板；82：開口部；85：電極引線；86：連接電極；90：IC芯片；99：晶粒安裝材料。具體實(shí)施方式下面，參照附圖來說明使本發(fā)明具體化的實(shí)施方式。以下是本發(fā)明的一個實(shí)施方式，不對本發(fā)明進(jìn)行限定。另外，在下面的各圖中，為了容易理解說明，有時以與實(shí)際不同的尺寸進(jìn)行了記載。（第1實(shí)施方式）[振動陀螺儀元件]首先，說明將本發(fā)明的振動片具體化為振動陀螺儀元件的實(shí)施方式。圖1是示出作為振動片的振動陀螺儀元件的一個實(shí)施方式的示意性俯視圖。如圖1所示，作為振動片的振動陀螺儀元件1具有通過對基材（構(gòu)成主要部分的材料）進(jìn)行加工而一體形成的基部21、作為第2振動臂的驅(qū)動用振動臂22a、22b和作為第1振動臂的檢測用振動臂23a、23b、以及作為突狀部的調(diào)整用振動臂25a、25b。關(guān)于本實(shí)施方式的振動陀螺儀元件1，說明使用了作為壓電體材料的石英作為基材的例子。石英具有被稱作電軸的X軸、被稱作機(jī)械軸的Y軸和被稱作光軸的Z軸。在本實(shí)施方式中，說明使用所謂的石英Z板作為基材的例子，該石英Z板沿著由石英晶軸中垂直的X軸和Y軸規(guī)定的平面被切割從而被加工為平板狀，并在與平面垂直的Z軸方向上具有預(yù)定的厚度。另外，此處所說的預(yù)定厚度根據(jù)振蕩頻率（諧振頻率）、外形尺寸、加工性等適當(dāng)設(shè)定。此外，形成振動陀螺儀元件1的平板能夠分別關(guān)于X軸、Y軸和Z軸，在一定范圍內(nèi)允許石英的切割角度的誤差。例如，能夠使用以X軸為中心在0度至2度的范圍內(nèi)旋轉(zhuǎn)切割后的平板。關(guān)于Y軸和Z軸也同樣如此。振動陀螺儀元件1具有：位于中心部分的大致矩形的基部21；從基部21的Y軸方向的端部中的一個端部（圖中+Y方向）起沿Y軸并行延伸的一對作為第2振動臂的驅(qū)動用振動臂22a、22b；以及從基部21的另一個端部（圖中－Y方向）起沿Y軸并行延伸的一對作為第1振動臂的檢測用振動臂23a、23b。由此，從基部21的兩端部起，一對驅(qū)動用振動臂22a、22b和一對檢測用振動臂23a、23b分別沿同軸方向延伸，由于這種形狀，有時將振動陀螺儀元件1稱作H型振動片（H型振動陀螺儀元件）。H型的陀螺儀元件1的驅(qū)動用振動臂22a、22b和檢測用振動臂23a、23b分別從基部21的同一軸方向的兩端部起延伸，因此分離了驅(qū)動系統(tǒng)和檢測系統(tǒng)，所以具有如下特征：減少了驅(qū)動系統(tǒng)和檢測系統(tǒng)的電極間或布線間的靜電耦合，檢測靈敏度穩(wěn)定。此外，振動陀螺儀元件1具有在與石英的X晶軸（電軸）交叉的方向上延伸出的一對作為突狀部的調(diào)整用振動臂25a、25b。在本實(shí)施方式的振動陀螺儀元件1中，調(diào)整用振動臂25a、25b從一對連結(jié)臂24a、24b的末端部起與驅(qū)動用振動臂22a、22b并行設(shè)置，所述一對連結(jié)臂24a、24b從基部21的與驅(qū)動用振動臂22a、22b和檢測用振動臂23a、23b垂直的方向（X軸方向）的兩端部起沿X軸分別延伸。即，調(diào)整用振動臂25a、25b從連結(jié)臂24a、24b的末端部起沿Y軸（+Y方向）延伸。作為突狀部的調(diào)整用振動臂25a、25b形成為全長比作為第2振動臂的驅(qū)動用振動臂22a、22b和作為第1振動臂的檢測用振動臂23a、23b小。由此，用于調(diào)整泄漏輸出的調(diào)整用振動臂25a、25b的振動不會阻礙基于第2振動臂和第1振動臂（驅(qū)動用振動臂和檢測用振動臂）的振動陀螺儀元件1的主要振動，因此振動陀螺儀元件1的振動特性穩(wěn)定，并且還有利于振動陀螺儀元件1的小型化?；?1的中央可以是作為振動陀螺儀元件1的重心位置的重心。X軸、Y軸和Z軸相互垂直且通過重心。振動陀螺儀元件1的外形可關(guān)于通過重心的Y軸方向的虛擬中心線軸對稱。由此，振動陀螺儀元件1的外形的平衡良好，從而振動陀螺儀元件的特性穩(wěn)定且檢測靈敏度提高，因此優(yōu)選。這種振動陀螺儀元件1的外形形狀可通過使用了光刻技術(shù)的蝕刻（濕蝕刻或干蝕刻）形成。另外，振動陀螺儀元件1能夠從1塊石英晶片得到多個。接著，參照附圖對振動陀螺儀元件1的電極配置的一個實(shí)施方式進(jìn)行說明。圖2是從一個主面?zhèn)攘Ⅲw示出振動陀螺儀元件1的電極配置的示意性立體圖，圖3是從另一個主面?zhèn)攘Ⅲw示出振動陀螺儀元件1的電極配置的示意性立體圖。另外，在圖2和圖3中，主要說明了在本實(shí)施方式的電極配置中特征性的檢測用振動臂23a、23b與調(diào)整用振動臂25a、25b的電極的連接關(guān)系，設(shè)置于驅(qū)動用振動臂22a、22b的驅(qū)動系統(tǒng)的電極（驅(qū)動電極）的連接關(guān)系與以往的振動陀螺儀元件的驅(qū)動系統(tǒng)的電極的連接關(guān)系相同，因此省略圖示。首先，對設(shè)置于驅(qū)動用振動臂22a、22b的電極進(jìn)行說明。在圖2中，在從振動陀螺儀元件1的基部21的一端部起并行延伸的一對驅(qū)動用振動臂22a、22b的兩主面中的一個主面上，設(shè)置有用于施加驅(qū)動電壓的驅(qū)動用的電極即驅(qū)動電極32a、33a。此外，在各驅(qū)動用振動臂22a、22b的兩側(cè)面中的一個側(cè)面上，分別設(shè)置有驅(qū)動電極34b、35b。此外，如圖3所示，在各驅(qū)動用振動臂22a、22b的與上述一個主面相對的另一個主面上，分別設(shè)置有驅(qū)動電極32b、33b。此外，在各驅(qū)動用振動臂22a、22b的與上述一個側(cè)面相對的另一個側(cè)面上，分別設(shè)置有驅(qū)動電極34a、35a。設(shè)置于各驅(qū)動用振動臂22a、22b的兩主面和兩側(cè)面的驅(qū)動電極32a、32b、33a、33b以及驅(qū)動電極34a、34b、35a、35b中對應(yīng)的電極彼此利用未圖示的連接布線來連接，以使相對的兩主面（表面和背面）以及連接這兩主面而相對的兩側(cè)面（內(nèi)側(cè)面和外側(cè)面）分別成為相同電位。在本實(shí)施方式中，在一個驅(qū)動用振動臂22a中，設(shè)置于兩主面的驅(qū)動電極32a和驅(qū)動電極32b為相同電位的電極，設(shè)置于兩側(cè)面的驅(qū)動電極34a和驅(qū)動電極34b為相同電位的電極，并且在另一個驅(qū)動用振動臂22b中，設(shè)置于兩主面的驅(qū)動電極33a和驅(qū)動電極33b為相同電位的電極，設(shè)置于兩側(cè)面的驅(qū)動電極35a和驅(qū)動電極35b為相同電位的電極。此處，在各驅(qū)動用振動臂22a、22b中為相同電位的相對的驅(qū)動電極中的一方，例如設(shè)置于驅(qū)動用振動臂22a的兩主面的驅(qū)動電極32a、32b和設(shè)置于驅(qū)動用振動臂22b的兩側(cè)面的驅(qū)動電極35a、35b為接地電極。接著，對設(shè)置于檢測用振動臂23a、23b的電極進(jìn)行說明。在圖2中，在從振動陀螺儀元件1的基部21的另一端部起并行延伸的一對檢測用振動臂23a、23b的兩側(cè)面中的一個側(cè)面上，設(shè)置有用于檢測由于振動而產(chǎn)生的基材（石英）變形的檢測用的電極即檢測電極36a、38a以及檢測電極37a、39a。具體而言，在一對檢測用振動臂23a、23b中的檢測用振動臂23a的兩側(cè)面中的一個側(cè)面上，在沿著檢測用振動臂23a的延伸方向的兩端部附近，設(shè)置有電位相互不同的一對檢測電極36a、38a，在檢測用振動臂23b的一個側(cè)面上，在沿著檢測用振動臂23b的延伸方向的兩端部附近，設(shè)置有電位相互不同的一對檢測電極37a、39a。此外，如圖3所示，在各檢測用振動臂23a、23b的與上述一個側(cè)面相對的另一個側(cè)面上，設(shè)置有檢測電極37b、39b以及檢測電極36b、38b。具體而言，在一對檢測用振動臂23a、23b中的檢測用振動臂23a的另一個側(cè)面上，在沿著檢測用振動臂23a的延伸方向的兩端部附近，設(shè)置有電位相互不同的一對檢測電極36b、38b，在檢測用振動臂23b的另一個側(cè)面上，在沿著檢測用振動臂23b的延伸方向的兩端部附近，設(shè)置有電位相互不同的一對檢測電極37b、39b。此外，在各檢測用振動臂23a、23b的兩側(cè)面，相對的檢測電極彼此為相同電位。即，在檢測用振動臂23a的兩側(cè)面，相對的檢測電極36a和檢測電極36b為相同電位，并且相對的檢測電極38a和檢測電極38b為相同電位，而且在檢測用振動臂23b的兩側(cè)面，相對的檢測電極37a和37b為相同電位，并且相對的檢測電極39a和檢測電極39b為相同電位。此處，在各檢測用振動臂23a、23b中為相同電位的相對的檢測電極中的一方，例如在檢測用振動臂23a的兩側(cè)面相對設(shè)置的檢測電極38a、38b和在檢測用振動臂23b的兩側(cè)面相對設(shè)置的檢測電極39a、39b為接地電極。接著，對設(shè)置于調(diào)整用振動臂25a、25b的作為調(diào)整部的電極（膜體）進(jìn)行說明。在圖2中，從一對連結(jié)臂24a、24b的末端起與驅(qū)動用振動臂22a、22b并行延伸的一對調(diào)整用振動臂25a、25b的兩主面中的一個主面上，分別設(shè)置有作為調(diào)整部的調(diào)整用電極45a、46a，一對連結(jié)臂24a、24b從與振動陀螺儀元件1的基部21的一端部和另一端部垂直的方向的兩端部起分別延伸。此外，在各調(diào)整用振動臂25a、25b的兩側(cè)面中的一個側(cè)面上，分別設(shè)置有作為調(diào)整部的調(diào)整用電極47a、48a。此外，如圖3所示，在各調(diào)整用振動臂25a、25b的與上述一個主面相對的另一個主面上，分別設(shè)置有作為調(diào)整部的調(diào)整用電極45b、46b。此外，在各調(diào)整用振動臂25a、25b的與上述一個側(cè)面相對的另一個側(cè)面上，分別設(shè)置有作為調(diào)整部的調(diào)整用電極47b、48b。在本實(shí)施方式中，檢測用振動臂23a、23b的檢測電極與調(diào)整用振動臂25a、25b的對應(yīng)的調(diào)整用電極電連接。具體而言，如圖2和圖3所示，經(jīng)由電極間布線41a連接檢測用振動臂23a的檢測電極36a與調(diào)整用振動臂25a的調(diào)整用電極45a，經(jīng)由電極間布線43a連接檢測電極38a與調(diào)整用電極47a，經(jīng)由電極間布線41b連接檢測電極36b與調(diào)整用電極45b，經(jīng)由電極間布線43b連接檢測電極38b與調(diào)整用電極47b。此外，經(jīng)由電極間布線42a連接檢測用振動臂23b的檢測電極37a與調(diào)整用振動臂25b的調(diào)整用電極46a，經(jīng)由電極間布線44a連接檢測電極39a與調(diào)整用電極48a，經(jīng)由電極間布線42b連接檢測電極37b與調(diào)整用電極46b，經(jīng)由電極間布線44b連接檢測電極39b與調(diào)整用電極48b。根據(jù)上述第1實(shí)施方式的振動陀螺儀元件1，除了使一對驅(qū)動用振動臂22a、22b和一對檢測用振動臂23a、23b從基部21的Y軸方向的兩端部起在沿著Y軸的方向上并行延伸的H型振動片的結(jié)構(gòu)以外，還設(shè)置有從一對連結(jié)臂24a、24b各自的末端起在與X晶軸交叉的方向（在本實(shí)施方式中為沿著Y軸方向的方向）上延伸的作為突狀部的調(diào)整用振動臂25a、25b，所述一對連結(jié)臂24a、24b從基部21的X軸方向的兩端部起沿X軸方向延伸。并且，在調(diào)整用振動臂25a、25b的兩主面和兩側(cè)面上，設(shè)置了與設(shè)置于檢測用振動臂23a、23b的對應(yīng)的檢測電極電連接的作為膜體的調(diào)整用電極45a、45b、46a、46b、47a、47b、48a、48b。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)的振動陀螺儀元件1，在對驅(qū)動用振動臂22a、22b施加預(yù)定的激勵信號而使驅(qū)動用振動臂22a、22b振動的狀態(tài)下，向振動陀螺儀元件1施加角速度時，檢測用振動臂23a、23b呈現(xiàn)基于哥氏力的振動，伴隨該振動激勵調(diào)整用振動臂25a、25b，使設(shè)置于該調(diào)整用振動臂25a、25b的膜體（在本實(shí)施方式中為調(diào)整用電極）的重量增減，并且使作為膜體的調(diào)整用電極的體積增減來改變電荷量，由此能夠抑制檢測用振動臂23a、23b的不期望的泄漏輸出。因此，能夠抑制泄漏輸出引起的檢測靈敏度的降低，因此能夠提供作為靈敏度高的振動片的振動陀螺儀元件，所述泄漏輸出例如可能由于作為振動陀螺儀元件1的基材的石英的蝕刻各向異性和制造偏差等，在驅(qū)動用振動臂22a、22b和檢測用振動臂23a、23b的截面形狀沒有成為期望的形狀時產(chǎn)生。圖4是示出振動陀螺儀元件1的振動的示意性立體圖。在圖4中，實(shí)線箭頭表示面內(nèi)振動，虛線箭頭表示面外振動。面內(nèi)振動是指通過對驅(qū)動用振動臂22a、22b施加預(yù)定的激勵信號而在作為預(yù)定面的XY平面內(nèi)產(chǎn)生的驅(qū)動用振動臂22a、22b的彎曲振動。面外振動是指受到哥氏力而產(chǎn)生的與預(yù)定面交叉的方向的振動。在如振動陀螺儀元件1那樣分別構(gòu)成了驅(qū)動用振動臂和檢測用振動臂的振動陀螺儀元件的情況下，重要的是各自的振動頻率的調(diào)整，以提高角速度的檢測靈敏度。具體而言，振動陀螺儀元件1的檢測靈敏度被驅(qū)動用振動臂22a、22b的振動傳遞到檢測用振動臂23a、23b的效率所左右。振動的傳遞效率在諧振的情況下較高，因此一般優(yōu)選將檢測用振動臂23a、23b的固有振動的頻率對準(zhǔn)到驅(qū)動用振動臂22a、22b的面外振動的頻率。另一方面，振動陀螺儀元件1不是由僅單純連結(jié)了一對驅(qū)動用振動臂22a、22b和一對檢測用振動臂23a、23b的結(jié)構(gòu)的振動體構(gòu)成，而成為經(jīng)由連結(jié)臂24a、24b在該振動體上進(jìn)一步設(shè)置有作為突狀部的調(diào)整用振動臂25a、25b的結(jié)構(gòu)。針對這種結(jié)構(gòu)，需要包含調(diào)整用振動臂25a、25b的影響進(jìn)行振動頻率的調(diào)整，因此如下構(gòu)成驅(qū)動用振動臂22a、22b、檢測用振動臂23a、23b以及調(diào)整用振動臂25a、25b。設(shè)定為在設(shè)檢測用振動臂23a、23b的面外振動中的固有振動的頻率為f1、驅(qū)動用振動臂22a、22b的面外振動中的固有振動的頻率為f2、作為突狀部的調(diào)整用振動臂25a、25b的面外振動中的固有振動的頻率為f3、基部21的Y方向的長度L與振動陀螺儀元件1的厚度t的比為R（=L/t）時，滿足以下關(guān)系（1）和（2）。（1）f3＞f2（2）0.964×（1-0.321(1+R)）≦f2/f1≦0.995此處，0.321(1+R)表示0.321的（1+R）次方。本申請發(fā)明人發(fā)現(xiàn)能夠通過設(shè)為滿足上述關(guān)系（1）和（2）的振動頻率，提高從驅(qū)動用振動臂22a、22b向檢測用振動臂23a、23b的振動傳遞效率。此外，本申請發(fā)明人發(fā)現(xiàn)能夠通過設(shè)為滿足以下關(guān)系（3）的振動頻率，進(jìn)一步提高振動傳遞效率。因此，進(jìn)一步優(yōu)選設(shè)計并制造管理成滿足以下關(guān)系（3）。（3）f2/f1=0.976×（1-0.237(1+R)）以下具體說明上述關(guān)系（1）～（3）。首先，關(guān)于關(guān)系（1），是指將調(diào)整用振動臂25a、25b的面外振動中的固有振動的頻率（f3）設(shè)定得比驅(qū)動用振動臂22a、22b的面外振動中的固有振動的頻率（f2）大。由此能夠減少用于調(diào)整泄漏輸出的調(diào)整用振動臂25a、25b的振動阻礙基于驅(qū)動用振動臂22a、22b和檢測用振動臂23a、23b的振動陀螺儀元件1的主要振動的情況。由此，能夠使振動陀螺儀元件1的振動特性穩(wěn)定。接著，參照圖5的（a）～（e）、圖6說明關(guān)系（2）和（3）。圖5的（a）～（e）是針對基部21的不同長度L評價了改變頻率比（f2/f1）時的靈敏度的轉(zhuǎn)變的曲線圖。具體而言，在5個曲線圖中示出了曲線圖橫軸取頻率比（f2/f1）、縱軸取靈敏度、從1.7到3.7以0.5為一級改變R=（L/t）時的靈敏度特性。另外，靈敏度表示設(shè)最大靈敏度為1.0時的比。在曲線圖中，虛線表示最大靈敏度的70%的位置（70%線）。此外，P1、P3表示該70%線與靈敏度特性線的交點(diǎn)，P2表示峰值靈敏度的位置。從這些曲線圖可知，靈敏度的峰值（P2）處于偏離f1和f2為相同值的點(diǎn)（f2/f1=1.0）的區(qū)域。此外，能夠得到最大靈敏度的70%以上的頻率比（f2/f1）的區(qū)域根據(jù)R發(fā)生變化。圖6是示出能夠得到最大靈敏度的70%以上的頻率比（f2/f1）的區(qū)域與R之間的關(guān)系的曲線圖。具體而言，曲線圖橫軸取R=（L/t）、縱軸取頻率比（f2/f1），繪制了在圖5的（a）～（e）中得到的P1～P3的各點(diǎn)。在示出該頻率比（f2/f1）與R之間的關(guān)系的曲線圖中，根據(jù)P1～P3的各點(diǎn)的繪制，得到以下的近似式。P1的近似式：f2/f1=0.964×（1-0.321(1+R)）P2的近似式：f2/f1=0.976×（1-0.237(1+R)）P3的近似式：f2/f1=0.995即，關(guān)系（2）是指能夠得到最大靈敏度的70%以上的頻率比（f2/f1）與R之間的關(guān)系區(qū)域，關(guān)系（3）表示能夠得到最大靈敏度的頻率比（f2/f1）與R之間的關(guān)系。如上所述，根據(jù)作為本實(shí)施方式的振動片的振動陀螺儀元件1，能夠得到以下的效果。通過滿足上述關(guān)系（2），驅(qū)動用振動臂22a、22b和檢測用振動臂23a、23b容易諧振，從而振動陀螺儀元件1的角速度檢測靈敏度提高。此外，通過滿足上述關(guān)系（3），驅(qū)動用振動臂22a、22b和檢測用振動臂23a、23b的諧振處于峰值或者接近峰值，從而振動陀螺儀元件1的角速度檢測靈敏度進(jìn)一步提高。因此，根據(jù)作為本實(shí)施方式的振動片的振動陀螺儀元件1，能夠得到較高檢測靈敏度的振動片。另外，在上述實(shí)施方式中，將驅(qū)動用振動臂22a、22b說明為第2振動臂，檢測用振動臂23a、23b說明為第1振動臂，但也可以是第2振動臂為檢測用振動臂23a、23b，第1振動臂為驅(qū)動用振動臂22a、22b。該情況下，作為突狀部的調(diào)整用振動臂25a、25b沿著作為第2振動臂的檢測用振動臂23a、23b延伸出的方向進(jìn)行設(shè)置。此外，作為第1振動臂的驅(qū)動用振動臂22a、22b的面外振動中的固有振動頻率為f1，作為第2振動臂的檢測用振動臂23a、23b的面外振動中的固有振動頻率為f2。（第2實(shí)施方式）[陀螺儀傳感器]接著，對作為第2實(shí)施方式的傳感器單元的陀螺儀傳感器50進(jìn)行說明。另外，在說明時，對與上述實(shí)施方式相同的結(jié)構(gòu)部位使用相同標(biāo)號并省略重復(fù)說明。圖7是說明陀螺儀傳感器50的圖，圖7的（a）是從上側(cè)觀察到的概略俯視圖，圖7的（b）是示出圖7（a）的A－A線截面的概略剖視圖。另外，在圖7的（a）中，為了方便說明陀螺儀傳感器50的內(nèi)部構(gòu)造，圖示了卸下設(shè)置于陀螺儀傳感器50上方的作為蓋體的蓋70后的狀態(tài)。此外，在本實(shí)施方式的陀螺儀傳感器50的結(jié)構(gòu)中，作為振動片，說明搭載有上述實(shí)施方式的振動陀螺儀元件1的例子。如圖7所示，陀螺儀傳感器50具有：具有凹部的封裝60；作為封閉該封裝60的開口部的蓋體的蓋70；經(jīng)由中繼基板80接合到封裝60內(nèi)的振動陀螺儀元件1、和作為電子部件的IC芯片90。封裝60例如通過在平板狀的第1層基板61上依次重疊設(shè)置開口部的大小不同的矩形環(huán)狀的第2層基板62、第3層基板63和第4層基板64而形成具有階差和突起部的凹部，能夠在該凹部內(nèi)收納振動陀螺儀元件1和IC芯片90。作為封裝60的材質(zhì)，例如可使用陶瓷、玻璃等。在作為封裝60的凹部的凹底部分的第1層基板61上，設(shè)置有配置了IC芯片90的沖模墊65。此外，在作為封裝60的外底面的第1層基板61的與設(shè)置有沖模墊65的面不同的面上，設(shè)置有供與外部基板進(jìn)行接合的外部安裝端子68。在封裝60的凹部中，在形成為通過第2層基板62圍起沖模墊65的階差上，設(shè)置有與設(shè)置于IC芯片90的有源面（在圖7（b）中為上方的面）的多個電極焊盤（未圖示）對應(yīng)接合的多個IC連接端子66。此外，在設(shè)置有多個IC連接端子66的第2層基板62上，在形成為通過第3層基板63圍起IC連接端子66的階差上，設(shè)置有經(jīng)由中繼基板80與振動陀螺儀元件1接合的振動片連接端子67。設(shè)置于封裝60的上述各種端子中對應(yīng)的端子彼此通過未圖示的引繞布線或通孔等層內(nèi)布線進(jìn)行連接。IC芯片90具有作為用于驅(qū)動振動陀螺儀元件1使其振動的激勵單元的驅(qū)動電路、和作為在施加角速度時對振動陀螺儀元件1上產(chǎn)生的檢測振動進(jìn)行檢測的檢測單元的檢測電路。具體而言，IC芯片90具有的驅(qū)動電路將驅(qū)動信號提供給分別形成于振動陀螺儀元件1的一對驅(qū)動用振動臂22a、22b的驅(qū)動電極33a、33b和驅(qū)動電極34a、34b（參照圖2、圖3）。此外，IC芯片90具有的檢測電路對分別形成于振動陀螺儀元件1的一對檢測用振動臂23a、23b的檢測電極36a、36b以及檢測電極37a、37b中產(chǎn)生的檢測信號進(jìn)行放大，來生成放大信號，并根據(jù)該放大信號檢測施加到陀螺儀傳感器50的旋轉(zhuǎn)角速度。利用晶粒安裝材料99（例如釬料）將IC芯片90粘接并固定到設(shè)置于封裝60的凹部的凹底部分的沖模墊65上。此外，在本實(shí)施方式中，使用引線鍵合法對IC芯片90和封裝60進(jìn)行電連接。即，設(shè)置于IC芯片90的多個電極焊盤與封裝60中對應(yīng)的IC連接端子66利用接合線49進(jìn)行連接。在封裝60的凹部內(nèi)，在IC芯片90的上方，經(jīng)由中繼基板80接合有振動陀螺儀元件1。中繼基板80是如下的布線基板：其不形成將振動陀螺儀元件1支撐到封裝60的凹部內(nèi)的復(fù)雜的支撐構(gòu)造，而在使振動陀螺儀元件1具有預(yù)定的彈性的同時對其進(jìn)行支撐，并且用于對振動陀螺儀元件1與封裝60的電連接進(jìn)行中繼。本實(shí)施方式的中繼基板80具有：具有開口部（器件孔）82的絕緣性的基材，該開口部82設(shè)置于配置基部21的區(qū)域，在該基部21配置有振動陀螺儀元件1的支撐部分；設(shè)置于基材的一個主面的多個電極引線85；以及利用基材的層內(nèi)布線等與對應(yīng)的電極引線85電連接的連接電極86。多個電極引線85的一端側(cè)設(shè)置在基材上，另一端側(cè)朝向基材的開口部82的中央在被懸吊的狀態(tài)下延伸出。各電極引線85的在開口部82處被懸吊的部分在從基材上朝向開口部82的中央的中途暫時朝斜上方（蓋70側(cè)）彎曲后，再次朝向開口部82的中央水平彎折。該各電極引線85的另一端側(cè)（末端部）配置于與設(shè)置于振動陀螺儀元件1的基部21的外部連接端子（未圖示）對應(yīng)的位置處，供振動陀螺儀元件1的電連接以及機(jī)械接合。中繼基板80例如可使用以往公知的TAB（TapeAutomatedBonding：卷帶自動結(jié)合）安裝用的TAB基板。能夠通過使用在環(huán)狀的絕緣性基材上等間隔地形成有多個中繼基板80的TAB基板，連續(xù)且高效地進(jìn)行中繼基板80的制造到振動陀螺儀元件1的安裝。另外，中繼基板80不限于在本實(shí)施方式中說明的TAB基板，例如還能夠設(shè)為由引線框等形成的結(jié)構(gòu)。中繼基板80上的振動陀螺儀元件1的接合能夠通過如下方法進(jìn)行：在電極引線85的表面，例如通過鍍覆等預(yù)先形成錫（Sn）或金（Au）等的接合用的金屬層，并且在設(shè)置于振動陀螺儀元件1的基部21的未圖示的外部連接電極上也形成有接合用的金屬層，對準(zhǔn)這各個電極引線85和對應(yīng)的外部連接電極的位置，并通過加熱和加壓進(jìn)行金屬共晶或金屬接合。作為其他接合方法，可應(yīng)用經(jīng)由金屬凸塊或?qū)щ娦哉辰觿┑冉雍喜考M(jìn)行接合的方法（倒裝接合）等。在被懸吊于中繼基板80的開口部82的狀態(tài)下延伸出、且經(jīng)由多個電極引線85接合的振動陀螺儀元件1利用成形的電極引線85的彈性而被靈活地支撐。由此，在向陀螺儀傳感器50施加了下落等帶來的沖擊時，通過電極引線85緩和沖擊，從而能夠避免振動陀螺儀元件1破損等不良情況，因此起到提高陀螺儀傳感器50的耐沖擊性的效果。在封裝60的凹部內(nèi)，將接合有振動陀螺儀元件1的中繼基板80接合到IC芯片90的上方。具體而言，連接電極86與設(shè)置于通過封裝60的第3層基板63形成的階差上的振動片連接端子67對準(zhǔn)位置，并利用例如導(dǎo)電性粘接劑等接合部件59在實(shí)現(xiàn)電連接的同時進(jìn)行接合并固定，所述連接電極86與中繼基板80的連接到振動陀螺儀元件1的多個電極引線85電連接，并設(shè)置在中繼基板80的與接合有振動陀螺儀元件1的面不同的面上。另外，在本實(shí)施方式中，說明了經(jīng)由中繼基板80將振動陀螺儀元件1接合到封裝60內(nèi)的方式，但是不限于此，只要是不引起振動陀螺儀元件1的振動泄漏等的支撐構(gòu)造即可。例如，可以設(shè)為如下結(jié)構(gòu)：在封裝60的凹部內(nèi)，設(shè)置具有連接端子的支撐部，形成將振動陀螺儀元件1接合并支撐到該支撐部的支撐構(gòu)造。在接合有IC芯片90和振動陀螺儀元件1的封裝60上，配置有作為蓋體的蓋70，對封裝60的開口進(jìn)行了密封。作為蓋70的材質(zhì)，例如可使用42合金（在鐵中含有42%鎳的合金）或鐵鎳鈷合金（鐵、鎳和鈷的合金）等金屬、陶瓷或玻璃等。例如，由金屬構(gòu)成的蓋70通過經(jīng)由脫模為矩形環(huán)狀而形成的密封圈69對鐵鎳鈷合金等進(jìn)行縫焊而與封裝60接合。由封裝60和蓋70形成的凹部空間成為用于振動陀螺儀元件1進(jìn)行動作的空間。上述凹部空間可密閉/密封為減壓空間或惰性氣體環(huán)境。如上所述，根據(jù)作為本實(shí)施方式的傳感器單元的陀螺儀傳感器50，具備激勵驅(qū)動用振動臂的驅(qū)動電路、檢測在檢測用振動臂產(chǎn)生的檢測信號的檢測電路、以及能夠進(jìn)行更高靈敏度的檢測的振動片，因此能夠提供具有穩(wěn)定特性的傳感器單元。（第3實(shí)施方式）[電子設(shè)備]圖8（a）示出搭載了在上述實(shí)施方式中說明的振動陀螺儀元件1或作為具有振動陀螺儀元件1的傳感器單元的陀螺儀傳感器50的作為電子設(shè)備的數(shù)字?jǐn)z像機(jī)中的應(yīng)用例。數(shù)字?jǐn)z像機(jī)240具有顯像部241、操作部242、聲音輸入部243和顯示單元1001。這種數(shù)字?jǐn)z像機(jī)240能夠通過搭載上述實(shí)施方式的振動陀螺儀元件1和作為傳感器單元的陀螺儀傳感器50而具備所謂的手抖校正功能。此外，圖8的（b）示出在作為電子設(shè)備的移動電話機(jī)中的應(yīng)用例，圖8的（c）示出在便攜式信息終端（PDA：PersonalDigitalAssistants，個人數(shù)字助理）中的應(yīng)用例。首先，圖8的（b）所示的移動電話機(jī)3000具有多個操作按鈕3001和滾動按鈕3002、以及顯示單元1002。通過對滾動按鈕3002進(jìn)行操作，使顯示單元1002所顯示的畫面滾動。此外，圖8的（c）所示的PDA4000具有多個操作按鈕4001和電源開關(guān)4002、以及顯示單元1003。在對電源開關(guān)4002進(jìn)行操作時，在顯示單元1003上顯示通信簿或日程簿這樣的各種信息。這種移動電話機(jī)3000和PDA4000能夠通過搭載上述實(shí)施方式的振動陀螺儀元件1和作為傳感器單元的陀螺儀傳感器50，而被賦予各種各樣的功能。例如，在對圖8的（b）的移動電話機(jī)3000賦予了未圖示的照相機(jī)功能的情況下，能夠與上述數(shù)字?jǐn)z像機(jī)240同樣地進(jìn)行手抖校正。此外，在圖8的（b）的移動電話機(jī)3000、和圖8的（c）的PDA4000中具備作為GPS（GlobalPositioningSystem：全球定位系統(tǒng)）而公知的泛地球測位系統(tǒng)的情況下，能夠通過搭載上述實(shí)施方式的振動陀螺儀元件1和作為傳感器單元的陀螺儀傳感器50，在GPS中識別移動電話機(jī)3000和PDA4000的位置和姿勢。另外，不限于圖8所示的電子設(shè)備，作為可應(yīng)用具有本發(fā)明的振動片的傳感器單元（陀螺儀傳感器）的電子設(shè)備，可列舉移動型計算機(jī)、汽車導(dǎo)航裝置、電子記事本、計算器、工作站、視頻電話、POS終端、游戲機(jī)等。如上所述，根據(jù)本實(shí)施方式的電子設(shè)備，由于具備能夠進(jìn)行更高靈敏度的檢測的振動片，因此能夠提供具有穩(wěn)定特性的電子設(shè)備。另外，本發(fā)明不限于上述實(shí)施方式，能夠?qū)ι鲜鰧?shí)施方式施加各種變更和改良等。以下敘述變形例。此處，對與上述實(shí)施方式相同的結(jié)構(gòu)部位使用相同標(biāo)號并省略重復(fù)說明。（變形例）圖9的（a）～（d）是示出各種變形的例子作為振動陀螺儀元件的變形例的示意性俯視圖。在第1實(shí)施方式中，說明了對圖1或圖4所示的形狀的振動陀螺儀元件1設(shè)定滿足上述關(guān)系（1）～（3）的f1、f2、f3的情況，但振動陀螺儀元件的形狀不限于此。在圖9的（a）～（d）所例示的形狀的振動陀螺儀元件中，也能夠使用上述關(guān)系（1）～（3）同樣進(jìn)行設(shè)定。在圖9中，A1表示第1振動臂，A2表示第2振動臂，任意一方是驅(qū)動用振動臂，另一方是檢測用振動臂。此外，A3、A4是突狀部，作為其目標(biāo)功能的一例，有上述調(diào)整用振動臂25a、25b。M1是將振動陀螺儀元件裝配到封裝60的支撐部，支撐部M1中的裝配點(diǎn)M2通過粘接劑等粘接到封裝60。支撐部M1經(jīng)由連結(jié)臂24a、24b連結(jié)到基部21。具有支撐部M1的振動陀螺儀元件不經(jīng)由中繼基板80而將支撐部M1粘接到第3層基板63，從而能夠固定到封裝60。以下，具體說明各自的形狀。圖9的（a）所示的振動陀螺儀元件是使基部21延伸成包含振動陀螺儀元件1具有的連結(jié)臂24a、24b的部分的形狀，突狀部A3從基部21的兩端部的區(qū)域起在與第2振動臂A2相同的方向上沿著Y軸并行延伸。圖9的（b）所示的振動陀螺儀元件是在振動陀螺儀元件1具有的連結(jié)臂24a、24b各自的末端設(shè)置有支撐部M1的形狀，突狀部A3從支撐部M1起在與第2振動臂A2相同的方向上沿著Y軸并行延伸。圖9的（c）所示的振動陀螺儀元件是如下形狀：使圖9的（b）所示的振動陀螺儀元件的連結(jié)臂24a、24b的位置在Y軸方向上移動到基部21的+Y方向的端部，并且突狀部A3從連結(jié)臂24a、24b延伸出。圖9的（d）所示的振動陀螺儀元件是如下形狀：使圖9的（b）所示的振動陀螺儀元件的基部21在±X方向上較長地延伸，使突狀部A4從延伸的基部21的兩端部的區(qū)域起在與第2振動臂A2相同的方向上沿著Y軸并行延伸。此外，支撐部M1和裝配點(diǎn)M2向－Y方向移動。在針對圖9的（a）～（d）所例示的各個形狀的振動陀螺儀元件，設(shè)第1振動臂A1的面外振動中的固有振動頻率為f1、第2振動臂A2的面外振動中的固有振動頻率為f2、突狀部A3和A4的面外振動中的固有振動頻率為f3時，能夠使用關(guān)系（1）～（3）同樣地設(shè)定頻率f1和頻率f2。此外，將驅(qū)動用振動臂和檢測用振動臂設(shè)定為第1振動臂A1、和第2振動臂A2中的哪一個是任意的。另外，突狀部A3、A4的面外振動中的固有振動頻率f3可以是各自不同的頻率。如上所述，根據(jù)圖9的（a）～（d）所例示的變形例的振動陀螺儀元件，在不具有連結(jié)臂24a、24b而在基部21具有突狀部A3的情況，還具有通過連結(jié)臂24a、24b連結(jié)的支撐部M1的情況，還具有突狀部A4的情況，以及突狀部A3設(shè)置成從支撐部M1或連結(jié)臂延伸出的情況下等，都能夠通過使用關(guān)系（1）～（3）同樣地設(shè)定頻率f1和頻率f2，提供檢測靈敏度高的振動陀螺儀元件。（其他變形例）本發(fā)明能夠在不脫離其主旨的范圍內(nèi)進(jìn)行各種變更。例如，在上述實(shí)施方式和變形例中，對于作為振動片的振動陀螺儀元件形成材料，說明了使用石英的例子，但可以使用石英以外的壓電體材料。例如，可以使用氮化鋁（AlN）、鈮酸鋰（LiNbO3）、鉭酸鋰（LiTaO3）、鋯鈦酸鉛（PZT）、四硼酸鋰（Li2B4O7）、硅酸鎵鑭（La3Ga5SiO14）等的氧化物基板，在玻璃基板上層疊氮化鋁或五氧化二鉭（Ta2O5）等的壓電體材料而構(gòu)成的層疊壓電基板，或者壓電陶瓷等。此外，可以使用壓電體材料以外的材料形成振動片。例如，還可以使用硅半導(dǎo)體材料等形成振動片。此外，振動片的振動（驅(qū)動）方式不限于壓電驅(qū)動。除了使用壓電基板的壓電驅(qū)動型的振動片以外，在使用靜電力的靜電驅(qū)動型和利用磁力的勞倫茲驅(qū)動型等的振動片中，也能夠發(fā)揮本發(fā)明的結(jié)構(gòu)及其效果。