同軸探針的制作方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明公開(kāi)一種可提高耐久性和生產(chǎn)率的同軸探針。所公開(kāi)的同軸探針的特征在于包括：內(nèi)部導(dǎo)體，其包括上部接觸器、下部接觸器和內(nèi)部彈性構(gòu)件，所述上部接觸器可與半導(dǎo)體裝置接觸，所述下部接觸器可與用以對(duì)所述半導(dǎo)體裝置進(jìn)行測(cè)試的測(cè)試器接觸，所述內(nèi)部彈性構(gòu)件使所述上部接觸器和所述下部接觸器中的至少一個(gè)彈性偏移；外部導(dǎo)體，其包圍所述內(nèi)部導(dǎo)體；多個(gè)間隙構(gòu)件，其分別插入至所述內(nèi)部導(dǎo)體與所述外部導(dǎo)體之間的兩端；和至少一個(gè)外部彈性構(gòu)件，其插入于所述外部導(dǎo)體的外周面，從而在遠(yuǎn)離外部導(dǎo)體的方向彈性偏移半導(dǎo)體裝置和測(cè)試器的至少一個(gè)。
【專(zhuān)利說(shuō)明】同軸探針
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種同軸探針，并且更具體地，涉及一種本軒為提高耐久性和生產(chǎn)率的同軸探針。
【背景技術(shù)】
[0002]諸如半導(dǎo)體芯片或晶片的半導(dǎo)體裝置經(jīng)過(guò)用以判別是否為良品的預(yù)定測(cè)試過(guò)程。
[0003]如果半導(dǎo)體裝置在高頻環(huán)境下使用，其經(jīng)過(guò)高頻測(cè)試。對(duì)于高頻測(cè)試，多個(gè)同軸探針布置在對(duì)應(yīng)于半導(dǎo)體裝置的各自的墊的位置，以將來(lái)自測(cè)試器的高頻信號(hào)施加至半導(dǎo)體裝置。
[0004]此種同軸探針要求可耐受頻繁重復(fù)測(cè)試并且能夠穩(wěn)定連接半導(dǎo)體裝置和測(cè)試器。
[0005]另外，要求努力提高對(duì)應(yīng)于高集成半導(dǎo)體裝置的小型化同軸探針的生產(chǎn)率和組裝容易性。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006][發(fā)明所要解決的問(wèn)題]
[0007]本發(fā)明的目的在于解決上述問(wèn)題，其一方面是提供一種同軸探針，配置為提高其耐久性。
[0008]本發(fā)明之另一目的在于提供一種同軸探針，配置為提高生產(chǎn)率。
[0009][解決問(wèn)題的技術(shù)手段]
[0010]根據(jù)一個(gè)示例實(shí)施例的方面，提供一種同軸探針，包括:內(nèi)部導(dǎo)體，包括上部接觸器、下部接觸器和內(nèi)部彈性構(gòu)件，所述上部接觸器配置為與半導(dǎo)體裝置接觸，所述下部接觸器配置為接觸用于測(cè)試所述半導(dǎo)體裝置的測(cè)試器，所述內(nèi)部彈性構(gòu)件配置為彈性偏移所述上部接觸器和所述下部接觸器的至少一個(gè)，以使所述上部接觸器和所述下部接觸器彼此遠(yuǎn)離；外部導(dǎo)體，配置為包圍所述內(nèi)部導(dǎo)體；多個(gè)間隙構(gòu)件，分別地插入在所述內(nèi)部導(dǎo)體與所述外部導(dǎo)體之間的相對(duì)兩端，以使在所述內(nèi)部導(dǎo)體與所述外部導(dǎo)體之間產(chǎn)生預(yù)定空隙；和至少一個(gè)外部彈性構(gòu)件，插入于所述外部導(dǎo)體的外周面，以彈性偏移所述半導(dǎo)體裝置和所述測(cè)試器的至少一個(gè)到使所述半導(dǎo)體裝置或所述測(cè)試器遠(yuǎn)離所述外部導(dǎo)體的方向。
[0011]內(nèi)部彈性構(gòu)件可以包括:第一內(nèi)部彈性構(gòu)件，配置為朝向所述半導(dǎo)體裝置彈性偏移所述上部接觸器；和第二內(nèi)部彈性構(gòu)件，配置為朝向所述測(cè)試器彈性偏移所述下部接觸器。
[0012]內(nèi)部導(dǎo)體還包括:第一機(jī)筒，配置為在其中容納所述上部接觸器和所述第一內(nèi)部彈性構(gòu)件；和第二機(jī)筒，配置為在其中容納所述下部接觸器和所述第二內(nèi)部彈性構(gòu)件，并且電連接到所述第一機(jī)筒。
[0013]同軸探針還包括間隙維持構(gòu)件，配置為包圍所述第一機(jī)筒和所述第二機(jī)筒之間的待被安裝在所述外部導(dǎo)體的內(nèi)周面中的接觸區(qū)域，以使所述第一機(jī)筒和所述第二機(jī)筒彼此電接觸，并且維持所述預(yù)定空隙。[0014]內(nèi)部導(dǎo)體還包括機(jī)筒，所述機(jī)筒配置為在其中容納所述上部接觸器、所述下部接觸器和所述內(nèi)部彈性構(gòu)件。
[0015]多個(gè)間隙構(gòu)件可以包括分開(kāi)防止部，配置為防止所述內(nèi)部導(dǎo)體從所述外部導(dǎo)體分開(kāi)。
[0016][發(fā)明效果]
[0017]根據(jù)如上所述構(gòu)成的同軸探針，具有如下效果。
[0018]第一，對(duì)于半導(dǎo)體裝置進(jìn)行向下加壓的情形，為了緩沖自半導(dǎo)體裝置受到的沖擊，除內(nèi)部彈性構(gòu)件以外還另外配置外部彈性構(gòu)件，藉此可增加緩沖力。藉此，即使反復(fù)沖擊負(fù)重，也可以提供充分的緩沖力，藉此可提高同軸探針的壽命和耐久性。特別是，在因半導(dǎo)體裝置的高積體化的影響而同軸探針之尺寸變小時(shí)，僅靠?jī)?nèi)部導(dǎo)體的自身彈力并不充分，因此可藉由附加外部彈性構(gòu)件而顯著地提高壽命。
[0019]第二，只要準(zhǔn)備內(nèi)部導(dǎo)體、間隙構(gòu)件、外部導(dǎo)體和外部彈性構(gòu)件并依次組裝，即可生產(chǎn)同軸探針，因此可提高組裝性和生產(chǎn)率。
[0020]第三，只要準(zhǔn)備內(nèi)部導(dǎo)體、電介質(zhì)、外部導(dǎo)體、外部彈性構(gòu)件或內(nèi)部導(dǎo)體-電介質(zhì)-導(dǎo)電彈性構(gòu)件并依次組裝，即可生產(chǎn)同軸探針，因此可提高組裝性和生產(chǎn)率。
【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0021]圖1是根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例的同軸探針的概略縱向剖面圖。
[0022]圖2是根據(jù)本發(fā)明的第二實(shí)施例的同軸探針的概略縱向剖面圖。
[0023]圖3是根據(jù)本發(fā)明的第三實(shí)施例的同軸探針的概略縱向剖面圖。
[0024]圖4是根據(jù)本發(fā)明的第四實(shí)施例的同軸探針的概略縱向剖面圖。
[0025]圖5是根據(jù)本發(fā)明的第五實(shí)施例的同軸探針的概略縱向剖面圖。
[0026]圓6是根據(jù)本發(fā)明的第六實(shí)施例的同軸探針的概略縱向剖面圖。
[0027]圖7是根據(jù)本發(fā)明的第七實(shí)施例的同軸探針的概略縱向剖面圖。
[0028]圖8是根據(jù)本發(fā)明的第八實(shí)施例的同軸探針的概略縱向剖面圖。
【具體實(shí)施方式】
[0029]以下，參照附圖詳細(xì)地說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的同軸探針的較佳實(shí)施例。
[0030]如圖1所示，根據(jù)本發(fā)明的第I實(shí)施例的同軸探針100包括:內(nèi)部導(dǎo)體110，其用以將從測(cè)試器T輸出的高頻電信號(hào)傳送至半導(dǎo)體裝置D ;外部導(dǎo)體120，其為了減少信號(hào)干擾，包圍內(nèi)部導(dǎo)體110 ;多個(gè)間隙構(gòu)件130，其介于內(nèi)部導(dǎo)體110與外部導(dǎo)體120之間，以使于內(nèi)部導(dǎo)體110與外部導(dǎo)體120之間存在預(yù)定的空隙G ;和外部彈性構(gòu)件140和150，其使半導(dǎo)體裝置D和測(cè)試器T中的至少一個(gè)向遠(yuǎn)離外部導(dǎo)體120的方向彈性偏移。
[0031]內(nèi)部導(dǎo)體110包括:上部接觸器111，其可與半導(dǎo)體裝置D的墊Dl接觸；下部接觸器113，其可與用以對(duì)半導(dǎo)體裝置D進(jìn)行測(cè)試的測(cè)試器T的信號(hào)端子Tl接觸；和內(nèi)部彈性構(gòu)件115，其使上部接觸器111和下部接觸器113中的至少一個(gè)彈性偏移，以使上部接觸器111和下部接觸器113彼此遠(yuǎn)離。
[0032]上部接觸器111包括:尖端部111a，其與半導(dǎo)體裝置D的墊Dl接觸；主體部lllh，其自尖端部Illa向下部接觸器113方向延伸；和彈性構(gòu)件連接部111c，其自主體部Illh向下部接觸器113方向延伸，且與內(nèi)部彈性構(gòu)件115的一端連接。
[0033]如果墊Dl適于半導(dǎo)體裝置D的包裝類(lèi)型而成形為導(dǎo)線(xiàn)、墊或焊接球，
[0034]尖端部Illa可以根據(jù)墊Dl的形狀而形狀上適當(dāng)變化。例如，如果墊Dl成形為如圖所示的導(dǎo)線(xiàn)或墊形狀時(shí)，尖端部Illa能夠成型為字母A形狀，在頂部具有峰值中心。如果墊Dl成形為焊接球形狀，尖端部Illa可以成形為如圖1所示的皇冠形狀。由于尖端部Illa的形狀為任選，可以變形為其他形狀。
[0035]此處，主體部11 Ih具有大于尖端部Illa的直徑，從而可以保持到下文描述的機(jī)筒117和/或間隙構(gòu)件130中。然后，當(dāng)上部接觸器111的尖端部
[0036]11 Ia朝向半導(dǎo)體裝置D暴露到外部時(shí)，上部接觸器111不會(huì)從同軸探針100分開(kāi)。
[0037]下部接觸器113包括:尖端部113a，其與輸出測(cè)試器T的高頻測(cè)試信號(hào)的信號(hào)端子Tl接觸；主體部113b，其從尖端部113a向上部接觸器111延伸；和彈性構(gòu)件連接部113c，其從主體部113b向上部接觸器111延伸，并且連接到內(nèi)部彈性構(gòu)件115的另一端。
[0038]尖端部113a在形狀上可以對(duì)應(yīng)于測(cè)試器T的信號(hào)端子Tl的形狀而適當(dāng)?shù)刈兓?。在附圖中，尖端部113a的形狀像皇冠形狀，但不限于此。代替地，尖端部113a可以成形為像字母A或其他形狀。
[0039]主體部113b的直徑大于尖端部113a的直徑，從而可保持在下文描述的機(jī)筒117和/或間隙構(gòu)件130中。藉此，在下部接觸器111的尖端部113a朝向測(cè)試器T暴露到外部時(shí)，防止下部接觸器111從同軸探針100分開(kāi)。
[0040]內(nèi)部彈性構(gòu)件115可以是盤(pán)簧。根據(jù)情形，內(nèi)部彈性構(gòu)件115還可以是板簧或?qū)щ娤鹉z。能夠以多種形狀和材料設(shè)置內(nèi)部彈性構(gòu)件115，只要其能夠彈性偏移以使上部接觸器111和下部接觸器113彼此分開(kāi)。
[0041]內(nèi)部彈性構(gòu)件115能夠包括導(dǎo)電材料，以便將電信號(hào)從下部接觸器113傳送到上部接觸器111。例如，內(nèi)部彈性構(gòu)件115可以包括諸如Al、Cu、Be、Ni的導(dǎo)電金屬的一個(gè)或其合金。根據(jù)情形，內(nèi)部彈性構(gòu)件115可以設(shè)置為作為絕緣材料的導(dǎo)電橡膠，諸如硅橡膠，其中設(shè)置導(dǎo)電金屬粒子以傳送電信號(hào)。
[0042]如果下文將描述的機(jī)筒117可以傳送上部和下部接觸器111和113的信號(hào)，內(nèi)部彈性構(gòu)件115可以包括絕緣材料，例如，絕緣性橡膠或由絕緣材料涂敷的金屬?gòu)椈?。如果機(jī)筒117包括導(dǎo)電材料，內(nèi)部彈性構(gòu)件115可以還包括導(dǎo)電材料，以因而形成平行信號(hào)傳送路徑。
[0043]外部導(dǎo)體120可以連接到測(cè)試器T的接地端子T2。由于外部導(dǎo)體120接地，內(nèi)部導(dǎo)體110的高頻電信號(hào)被遮蔽，因而將可能由周?chē)哳l信號(hào)引起的信號(hào)干擾最小化。
[0044]外部導(dǎo)體120可以直接或間接地接觸諸如金屬塊(未示出)的接地介質(zhì)，其中容納同軸探針100而不直接接觸接地端子T2。根據(jù)情形，還可以直接或間接地與諸如接地線(xiàn)的接地介質(zhì)接觸。即，只要可以傳送接地信號(hào)，外部導(dǎo)體120能夠以多種方式接觸接觸介質(zhì)。
[0045]外部導(dǎo)體120包括:外部導(dǎo)體主體121 ;和外部彈性構(gòu)件支持部122、123，其形成在外部導(dǎo)體主體121中并且支持外部彈性構(gòu)件140和150。
[0046]如圖1所示，外部彈性構(gòu)件支持部122、123可以是從外部導(dǎo)體主體121向徑向方向延伸的突起。[0047]外部彈性構(gòu)件140和150分別地插入外部導(dǎo)體主體121的上端和下端，并且分別地保持到外部彈性構(gòu)件支持部122和123。
[0048]外部導(dǎo)體120還包括間隙構(gòu)件卡止部125和127，用于調(diào)整多個(gè)間隙構(gòu)件130的移動(dòng)。
[0049]外部導(dǎo)體120可以還包括與測(cè)試器T的接地端子T2接觸的接地端子接觸部129。
[0050]多個(gè)間隙構(gòu)件130從外部導(dǎo)體120的相對(duì)兩端插入外部導(dǎo)體120的內(nèi)部，并且被保持到形成在外部導(dǎo)體120中的間隙構(gòu)件卡止部125和127。
[0051]多個(gè)間隙構(gòu)件130可以被強(qiáng)制地安裝到外部導(dǎo)體120的內(nèi)周面。
[0052]容納孔133形成在多個(gè)間隙構(gòu)件130中，以在其中容納上部接觸器111和下部接觸器113。上部和下部接觸器111和113的尖端部Illa和113a通過(guò)容納孔133暴露到外部。
[0053]多個(gè)間隙構(gòu)件130可以包括分開(kāi)防止部131，分開(kāi)防止部131通過(guò)使容納孔133的內(nèi)徑相對(duì)較小因而防止上部和下部接觸器111和113從容納孔133分開(kāi)而形成。更具體地，容納孔133可以具有在其端部較小的內(nèi)徑，使得上部和下部接觸器111和113的主體部Illh和113b不會(huì)從容納孔133分開(kāi)。
[0054]多個(gè)間隙構(gòu)件130可以包括Teflon。多個(gè)間隙構(gòu)件130可以包括固相Teflon或者涂敷有Teflon的絕緣塑料。除此之外，多個(gè)間隙構(gòu)件130可以包括具有絕緣材料的電介質(zhì)。
[0055]如圖1所示，外部彈性構(gòu)件140和150可以設(shè)置在外部導(dǎo)體120的外周面的兩端。如果需要，僅外部彈性構(gòu)件140和150中的一個(gè)可以設(shè)置在外部導(dǎo)體120的外周面的第一端部中。
[0056]外部彈性構(gòu)件140包括支持部145，其由外部導(dǎo)體120的外部彈性構(gòu)件支持部122支持；從支持部145向半導(dǎo)體裝置D延伸的延伸部143 ;和接觸部141，其接觸并加壓半導(dǎo)體
裝置D。
[0057]支持部145可以加壓外部導(dǎo)體120的外周面，以防止外部彈性構(gòu)件140的向上分開(kāi)。支持部145可以是其中彈性線(xiàn)圈相對(duì)致密的區(qū)域；并且延伸部143可以是彈性線(xiàn)圈相對(duì)稀疏的區(qū)域；并且接觸部141可以是其中彈性線(xiàn)圈再次致密的區(qū)域。即，支持部145、延伸部143和接觸部141可以是其中彈性線(xiàn)圈分別地致密、稀疏、再次致密的區(qū)域。
[0058]外部彈性構(gòu)件150包括:支持部155，其由外部導(dǎo)體120的外部彈性構(gòu)件支持部123支持；延伸部153，其從支持部155向測(cè)試器T延伸；和接觸部151，其接觸并加壓測(cè)試器T。
[0059]支持部155可以加壓外部導(dǎo)體120的外周面，以便防止外部彈性構(gòu)件150的向上分開(kāi)。支持部155可以是其中彈性線(xiàn)圈相對(duì)致密的區(qū)域；和延伸部153可以是其中彈性線(xiàn)圈相對(duì)稀疏的區(qū)域；和接觸部151可以是彈性線(xiàn)圈再次致密的區(qū)域。即，支持部155、延伸部153和接觸部151可以分別是其中彈性線(xiàn)圈致密、稀疏和再次致密的區(qū)域。
[0060]內(nèi)部導(dǎo)體110可以還包括其中容納上部和下部接觸器111和113以及內(nèi)部彈性構(gòu)件115的機(jī)筒117。
[0061]機(jī)筒117可以包括:上部卡止部117b，以防止上部接觸器111的向上分開(kāi)；和下部卡止部117d，以防止下部接觸器111的向下分開(kāi)。[0062]上部和下部卡止部117b和117d能夠?qū)?yīng)于上部和下部接觸器111和113的形狀
向徑向方向彎曲。
[0063]為了防止機(jī)筒117從間隙構(gòu)件130分開(kāi)，機(jī)筒117可以還包括形成在其外周面中的突起117a和117c。
[0064]如果機(jī)筒117的上部和下部卡止部117b和117d被保持到多個(gè)間隙構(gòu)件130的分開(kāi)防止部131并且防止機(jī)筒117從間隙構(gòu)件130分開(kāi)，可以省略突起117a和117c。
[0065]機(jī)筒117能夠包括導(dǎo)電金屬材料。機(jī)筒117能夠包括Cu、Al、Be、Ni的一個(gè)或其合金備。例如，機(jī)筒117可以由BeCu制造。包括諸如Au、Ag、N1、Cu、Al等的導(dǎo)電金屬的鍍敷層可能形成在機(jī)筒117的外周面上。
[0066]以下簡(jiǎn)略地說(shuō)明同軸探針100的制造方法。首先，設(shè)置內(nèi)部導(dǎo)體110、外部導(dǎo)體120、多個(gè)間隙構(gòu)件130和外部彈性構(gòu)件140，150。
[0067]內(nèi)部導(dǎo)體110可以藉由如下方式組裝:向機(jī)筒117內(nèi)依次插入上部接觸器111、內(nèi)部彈性構(gòu)件115和下部接觸器113后，將機(jī)筒117的相反兩端向內(nèi)側(cè)彎曲以形成上部和卡止部117b和下部卡止部117d。
[0068]然后，將間隙構(gòu)件130插入以上設(shè)置的外部導(dǎo)體120的第一端部。
[0069]為了將上部接觸器111或下部接觸器113的尖端部Illa或113a插入通過(guò)形成在所插入的間隙構(gòu)件130中的容納孔133，以上設(shè)置的內(nèi)部導(dǎo)體110被插入外部導(dǎo)體120。
[0070]當(dāng)機(jī)筒117卡合到間隙構(gòu)件130時(shí)，插入的內(nèi)部導(dǎo)體110不能從內(nèi)部導(dǎo)體110的插入方向分開(kāi)。
[0071]然后，其它間隙構(gòu)件130被插入內(nèi)部導(dǎo)體110已經(jīng)插入的外部導(dǎo)體120的第二端部。此時(shí)，間隙構(gòu)件130被插入外部導(dǎo)體120的第二端部，使得已經(jīng)插入間隙構(gòu)件130的容納孔133的內(nèi)部導(dǎo)體110的尖端部Illa和113a被暴露出。
[0072]外部彈性構(gòu)件140和150在外部導(dǎo)體120的相對(duì)兩端中被插入外周面。
[0073]結(jié)果，可以沒(méi)有困難地組裝具有形成在內(nèi)部導(dǎo)體110和外部導(dǎo)體120之間的空隙G的同軸探針100。
[0074]由于簡(jiǎn)單地設(shè)置和組裝內(nèi)部導(dǎo)體110、外部導(dǎo)體120、間隙構(gòu)件130和外部彈性構(gòu)件140和150，可以明顯地提高同軸探針100的產(chǎn)量。
[0075]如圖2所示，根據(jù)本發(fā)明的第二實(shí)施例的同軸探針I(yè)OOa包括:內(nèi)部導(dǎo)體IlOa ;夕卜部導(dǎo)體120a ;多個(gè)間隙構(gòu)件130 ;至少一個(gè)外部彈性構(gòu)件140和150 ;和間隙維持構(gòu)件170。
[0076]內(nèi)部導(dǎo)體IlOa包括:上部接觸器111 ;下部接觸器113 ;第一內(nèi)部彈性構(gòu)件115a ；第二內(nèi)部彈性構(gòu)件115h ;第一機(jī)筒118，其容納上部接觸器111和第一內(nèi)部彈性構(gòu)件115a ；和第二機(jī)筒119，其中容納下部接觸器113和第二內(nèi)部彈性構(gòu)件115h，并且電連接到第一機(jī)筒 118。
[0077]第一內(nèi)部彈性構(gòu)件115a朝向半導(dǎo)體裝置D(參照?qǐng)D1)彈性偏移上部接觸器111。
[0078]第二內(nèi)部彈性構(gòu)件115h朝向測(cè)試器T(參照?qǐng)D1)彈性偏移下部接觸器113。
[0079]如圖2所示，第一機(jī)筒118和第二機(jī)筒119各自地包括彼此電接觸的接觸部118a和 119a。
[0080]間隙維持構(gòu)件170包圍第一機(jī)筒118和第二機(jī)筒119的接觸部118a和119a，以使第一機(jī)筒118和第二機(jī)筒119彼此電接觸，并且維持預(yù)定空隙G。[0081]間隙維持構(gòu)件170設(shè)置在外部導(dǎo)體120a的內(nèi)周面中。
[0082]與根據(jù)第一實(shí)施例的外部導(dǎo)體120相比，根據(jù)第二實(shí)施例的外部導(dǎo)體120a還包括支持間隙維持構(gòu)件170的間隙維持構(gòu)件支持槽128。除了間隙維持支持構(gòu)件支持槽128之夕卜，外部導(dǎo)體120a與根據(jù)第一實(shí)施例的外部導(dǎo)體120相同。
[0083]間隙維持構(gòu)件170被插入間隙維持構(gòu)件支持槽128并且因而調(diào)節(jié)其垂直移動(dòng)。
[0084]間隙維持構(gòu)件170可以包括與多個(gè)間隙構(gòu)件130相同的材料。例如，間隙維持構(gòu)件170能夠包括Teflon電介質(zhì)。根據(jù)情形，間隙維持構(gòu)件170可以包括具有其他材料的絕緣性電介質(zhì)。
[0085]雖然根據(jù)第一實(shí)施例的內(nèi)部導(dǎo)體110的機(jī)筒117和內(nèi)部彈性構(gòu)件115是單個(gè)主體，根據(jù)第二實(shí)施例的機(jī)筒118和119以及內(nèi)部彈性構(gòu)件115a和115h在相對(duì)較短的長(zhǎng)度上成對(duì)分開(kāi)設(shè)置。藉此，可節(jié)省制造成本。
[0086]更具體地，長(zhǎng)度上相對(duì)較短的機(jī)筒118和119以及彈性構(gòu)件115a和115h以低成本制造并且保證相同的電特性和效果，因而節(jié)省制造費(fèi)用。
[0087]如圖3所示，根據(jù)第三實(shí)施例的同軸探針I(yè)OOb包括:內(nèi)部導(dǎo)體210;外部導(dǎo)體120a ;多個(gè)間隙構(gòu)件160 ;至少一個(gè)外部彈性構(gòu)件140和150 ;和間隙維持構(gòu)件170。
[0088]內(nèi)部導(dǎo)體210包括:上部接觸器211 ;下部接觸器213 ;第一內(nèi)部彈性構(gòu)件215a ;第二內(nèi)部彈性構(gòu)件215h ;第一機(jī)筒216，其中容納上部接觸器211和第一內(nèi)部彈性構(gòu)件215a ；和第二機(jī)筒217，其中容納下部接觸器213和第二內(nèi)部彈性構(gòu)件215b，并且電連接到第一機(jī)筒 216。
[0089]上部接觸器211包括:尖端部211a，能夠與半導(dǎo)體裝置D接觸(參照?qǐng)D1);接觸部211c，與第一內(nèi)部彈性構(gòu)件215a的一端部接觸，并且與第一機(jī)筒216的內(nèi)周面接觸；和連接部211b，其連接尖端部211a和接觸部211c。
[0090]接觸部211c的外徑大于連接部211b的外徑。
[0091]接觸部211c保持到下文描述的第一機(jī)筒216的向內(nèi)突起216b。藉此，上部接觸器211由第一機(jī)筒216限制并且防止上部接觸器211的向上分開(kāi)。
[0092]為允許連接部211b通過(guò)向內(nèi)突起216h并且垂直移動(dòng)，連接部21 Ib的外徑比向內(nèi)突起216b的內(nèi)徑更小。
[0093]可以通過(guò)計(jì)算當(dāng)半導(dǎo)體裝置D(參照?qǐng)D1)被向下加壓并且半導(dǎo)體裝置D的墊Dl (參照?qǐng)D1)接觸上部接觸器211時(shí)上部接觸器211的垂直移動(dòng)距離，合適地確定連接部211b的長(zhǎng)度。
[0094]下部接觸器213包括:尖端部213a，其能夠接觸測(cè)試器T(參照?qǐng)D1)的信號(hào)端子Tl (參照?qǐng)D1);接觸部213c，其接觸第二內(nèi)部彈性構(gòu)件215b的第一端部，并且接觸第二機(jī)筒217的內(nèi)周面；和連接部213b，其連接尖端部213a和接觸部213c。
[0095]接觸部213c的外徑比連接部213b的外徑更大。
[0096]接觸部213c被保持到下文描述的第二機(jī)筒217的向內(nèi)突起217b。因此，下部接觸器213由第二機(jī)筒217限制并且防止下部接觸器213的向上分開(kāi)。
[0097]也可以通過(guò)考慮下部接觸器213的垂直移動(dòng)距離適當(dāng)?shù)卮_定連接部213b的長(zhǎng)度。
[0098]第一內(nèi)部彈性構(gòu)件215a朝向半導(dǎo)體裝置D彈性偏移上部接觸器211。
[0099]第二內(nèi)部彈性構(gòu)件215h朝向測(cè)試器T彈性偏移下部接觸器213。[0100]多個(gè)間隙構(gòu)件160被插入外部導(dǎo)體120a的上下端部。多個(gè)間隙構(gòu)件160可以被強(qiáng)制安裝到外部導(dǎo)體120a的內(nèi)部。
[0101]第一機(jī)筒216包括:向外突起216 a，其在徑向方向上向外突出以被保持到間隙構(gòu)件160 ;和向內(nèi)突起216h，其在徑向方向上向內(nèi)突出以保持到上部接觸器211的接觸部211c。
[0102]第二機(jī)筒217包括:向外突起217a，其在徑向方向上向外突出以被保持到間隙構(gòu)件160 ;和向內(nèi)突起217b，其在徑向方向上向內(nèi)突出以被保持到下部接觸器213的接觸部213c。
[0103]如圖2所示，第一機(jī)筒216和第二機(jī)筒217分別地包括彼此電接觸的接觸部216c和 217c。
[0104]間隙維持構(gòu)件170包圍第一機(jī)筒216和第二機(jī)筒217的接觸部216c和217c，以使第一機(jī)筒216和第二機(jī)筒217彼此電接觸，并且維持預(yù)定空隙G。
[0105]如圖4所示，根據(jù)本發(fā)明的第四實(shí)施例的同軸探針I(yè)OOc包括內(nèi)部導(dǎo)體210a。與如圖3所示的第三實(shí)施例的同軸探針I(yè)OOb相比，根據(jù)第四實(shí)施例的同軸探針I(yè)OOc包括如圖4中顯示的內(nèi)部導(dǎo)體210a，并且省略圖3中所示的間隙維持構(gòu)件170。
[0106]如圖4所示，第四實(shí)施例的內(nèi)部導(dǎo)體210a包括:上部接觸器211 ;下部接觸器213 ；第一內(nèi)部彈性構(gòu)件215a ;第二內(nèi)部彈性構(gòu)件215b ;第一機(jī)筒218，其中容納上部接觸器211和第一內(nèi)部彈性構(gòu)件215a ;第二機(jī)筒219，其中容納下部接觸器213和第二內(nèi)部彈性構(gòu)件215b，并且與第一機(jī)筒218電連接；和外部機(jī)筒212，其中容納第一機(jī)筒218和第二機(jī)筒219。
[0107]第一機(jī)筒218包括向內(nèi)突起218a，其在徑向方向上向內(nèi)突出以被保持到上部接觸器211的接觸部211c。
[0108]第二機(jī)筒219包括向內(nèi)突起219a，其在徑向方向上向內(nèi)突出以被保持到下部接觸器213的接觸部213c。
[0109]外部機(jī)筒212包括多個(gè)外部機(jī)筒向外突起212a和212b，其在徑向方向上向外突出，以便被分別地保持到設(shè)置在外部導(dǎo)體120a(參照?qǐng)D3)的上下端部中內(nèi)周面中的多個(gè)間隙構(gòu)件160 ;和多個(gè)外部機(jī)筒向內(nèi)突起212c和212d，其形成在第一和第二機(jī)筒218和219的向內(nèi)突起218a和219a的相應(yīng)位置中，并且在徑向方向上向內(nèi)突出以調(diào)節(jié)第一和第二機(jī)筒218和219的移動(dòng)。
[0110]第一機(jī)筒218和第二機(jī)筒219還包括分別地彼此電接觸的接觸部218h和219b。
[0111]在第四實(shí)施例中，增加接觸第一和第二機(jī)筒218和219的外部機(jī)筒212，并且因此第一和第二機(jī)筒218和219可以更穩(wěn)定地彼此電連接。更具體地，具有第一信號(hào)傳送路徑，其中輸入到下部接觸器213的高頻信號(hào)被傳送到接觸部213c，到第二機(jī)筒219，到外部機(jī)筒212，到第一機(jī)筒218的向內(nèi)突起218a，到上部接觸器211的接觸部211c，到上部接觸器211的尖纟而部211a。
[0112]與第一信號(hào)傳送路徑平行地，具有第二信號(hào)傳送路徑，其中高頻信號(hào)被傳送到下部接觸器213的接觸部213c，到第二機(jī)筒219的向內(nèi)突起219a，到第二機(jī)筒219的接觸部219b，到第一機(jī)筒218的接觸部218b，到第一機(jī)筒218的內(nèi)向突起218a，到上部接觸器211的接觸部211c，到上部接觸器211的尖端部211a。[0113]如上所述，另外的信號(hào)傳送路徑由外部機(jī)筒212形成并且可以更穩(wěn)定地傳送信號(hào)。
[0114]如圖5所示，根據(jù)本發(fā)明的第五實(shí)施例的同軸探針I(yè)OOc包括固定在圖5中顯示的外部彈性構(gòu)件140和150的緊固部126。緊固部126可以形成為在外部導(dǎo)體120的外表面中的螺釘槽。外部彈性構(gòu)件140和150可以被結(jié)合到緊固部126，緊固部126成形為螺釘槽被牢固地結(jié)合到其中。因此，外部彈性構(gòu)件140和150可以容易和便利地結(jié)合到外部導(dǎo)體120，而且沒(méi)有困難地牢固結(jié)合到外部導(dǎo)體120。
[0115]如圖6中所示，根據(jù)本發(fā)明的第六實(shí)施例的同軸探針I(yè)OOa包括:內(nèi)部導(dǎo)體110a，其從測(cè)試器T到半導(dǎo)體裝置D傳送高頻電信號(hào)；外部導(dǎo)體120，其包圍內(nèi)部導(dǎo)體I IOa以減少信號(hào)干擾；電介質(zhì)180，其絕緣內(nèi)部導(dǎo)體IlOa和外部導(dǎo)體120 ;和外部彈性構(gòu)件140和150，以彈性偏移半導(dǎo)體裝置D和測(cè)試器T的至少一個(gè)到遠(yuǎn)離外部導(dǎo)體120的方向。
[0116]內(nèi)部導(dǎo)體IlOa包括:上部接觸器111，其能夠與半導(dǎo)體裝置D的墊Dl接觸；下部接觸器113，其能夠與用于測(cè)試半導(dǎo)體裝置D的測(cè)試器T的信號(hào)端子Tl接觸；和內(nèi)部彈性構(gòu)件115，彈性偏移上部接觸器111和下部接觸器113的至少一個(gè)，以使上部接觸器111和下部接觸器113彼此遠(yuǎn)離。
[0117]上部接觸器111包括:尖端部111a，其與半導(dǎo)體裝置D的墊Dl接觸；主體部lllh，其從尖端部Illa朝向下部接觸器113延伸；和彈性構(gòu)件連接部111c，其從主體部Illh朝向下部接觸器113延伸并且連接到內(nèi)部彈性構(gòu)件115的一個(gè)端部。
[0118]如果墊Dl成形為適于半導(dǎo)體裝置D的包裝類(lèi)型的導(dǎo)線(xiàn)、墊或焊接球，尖端部Illa在形狀上可以根據(jù)墊Dl的形狀合適地變化。例如，如果墊Dl成形為如圖中所示的導(dǎo)線(xiàn)或墊，尖端部Illa可以成形為在其上端部上具有峰值中心的字母A。如果墊Dl成形為焊接球，尖端部Illa可以成形為如圖1所示的皇冠形狀。由于頂部的形狀可選，形狀可以變化包括前述的形狀。
[0119]主體部Illh的直徑大于頂部Illa的直徑并且可以保持到電介質(zhì)180。為此，分開(kāi)防止部131可以設(shè)置在電介質(zhì)180的第一端部。分開(kāi)防止部131可以成形為像從電介質(zhì)180延伸的突起，或可以與另外構(gòu)件連接以防止分開(kāi)。因此，防止上部接觸器111從同軸探針I(yè)OOa分開(kāi)，同時(shí)上部接觸器111的尖端部Illa朝向半導(dǎo)體裝置D暴露到外部。
[0120]下部接觸器113包括:頂部113a，其接觸信號(hào)端子Tl，測(cè)試器T的高頻測(cè)試信號(hào)通過(guò)所述接觸信號(hào)端子Tl輸出；主體部113b，從頂部113a向上部接觸器111延伸；和彈性構(gòu)件連接部113c，從主體部113b向上部接觸器111延伸并且連接到內(nèi)部彈性構(gòu)件115的第二端部。
[0121]尖端部113a在形狀上可以對(duì)應(yīng)于測(cè)試器T的信號(hào)端子Tl的形狀而合適地變化。在附圖中，尖端部113a形狀像皇冠，但不限于此。代替地，尖端部113a可以成形如同字母A或其他形狀。
[0122]主體部113b具有比尖端部113a大的直徑并且因而可以保持到電介質(zhì)180。為此，分開(kāi)防止部132可以設(shè)置在電介質(zhì)180的第二端部中。分開(kāi)防止部132可以成形如同從電介質(zhì)180延伸的突起，或者可以與另外的構(gòu)件連接以防止分開(kāi)。因此，下部接觸器111從同軸探針I(yè)OOa分開(kāi)，同時(shí)下部接觸器111的尖端部113a朝向測(cè)試器T暴露到外部。
[0123]內(nèi)部彈性構(gòu)件115可以是盤(pán)簧。根據(jù)情形，內(nèi)部彈性構(gòu)件115可以是板簧或?qū)щ娤鹉z。內(nèi)部彈性構(gòu)件115可以設(shè)置為其它各種形狀和材料，只要其能夠施加彈性偏移，以使上部接觸器111和下部接觸器113彼此分開(kāi)。
[0124]內(nèi)部彈性構(gòu)件115可以設(shè)置為導(dǎo)電材料，以便從下部接觸器113傳送電信號(hào)到上部接觸器111。例如，內(nèi)部彈性構(gòu)件115可以包括諸如Al、Cu、Be、Ni等的導(dǎo)電金屬的一個(gè)或其合金。根據(jù)情形，內(nèi)部彈性構(gòu)件115可以設(shè)置為諸如硅橡膠的絕緣材料的導(dǎo)電橡膠，其中設(shè)置導(dǎo)電金屬粒子以傳送電信號(hào)。
[0125]如果將稍后描述的機(jī)筒117可以傳送上部和下部接觸器111和113的信號(hào)，內(nèi)部彈性構(gòu)件115設(shè)置為絕緣材料，例如，絕緣性橡膠或涂敷有絕緣材料的金屬?gòu)椈傻?。即使將機(jī)筒配置為導(dǎo)電材料，內(nèi)部彈性構(gòu)件115還可以配置為導(dǎo)電材料，以因而形成平行信號(hào)傳送路徑。
[0126]內(nèi)部導(dǎo)體IlOa可以還包括機(jī)筒(未圖示)，以在其中容納上部和下部接觸器111和113和內(nèi)部彈性構(gòu)件115。
[0127]機(jī)筒可以包括:上部卡止部(未圖示)，以防止上部接觸器111的向上分開(kāi)；和下部卡止部(未圖示)，以防止下部接觸器111的向下分開(kāi)。
[0128]上部和下部卡止部能夠?qū)?yīng)于上部和下部接觸器111和113的形狀彎曲到徑向方向。
[0129]機(jī)筒可以還包括突起(未圖示)，其形成在機(jī)筒的外周面中，以防止通過(guò)電介質(zhì)180分開(kāi)。
[0130]如果機(jī)筒的上部和下部卡止部被保持到電介質(zhì)180的分開(kāi)防止部131，以防止機(jī)筒分開(kāi)，可以省略突起。
[0131]機(jī)筒可以包括導(dǎo)電金屬材料。機(jī)筒可以包括Cu、Al、Be和Ni的一個(gè)或其合金。例如，機(jī)筒可以由BeCu制造。包括諸如Au、Ag、N1、Cu、Al的導(dǎo)電金屬的鍍敷層可以形成在機(jī)筒的外周面。
[0132]外部導(dǎo)體120可以連接到測(cè)試器T的接地端子T2。由于外部導(dǎo)體120接地，內(nèi)部導(dǎo)體IlOa的高頻電信號(hào)被遮蔽，因而最小化周?chē)哳l信號(hào)引起的信號(hào)干擾。
[0133]外部導(dǎo)體120可以直接或間接地接觸諸如金屬塊(未示出)的接地介質(zhì)，其中容納同軸探針100a，而不是直接與接地端子T2接觸。根據(jù)情形，外部導(dǎo)體120可以直接或間接地與諸如接地線(xiàn)的接地介質(zhì)接觸。即，只要接地信號(hào)可以被傳送，外部導(dǎo)體120能夠以各種方式與接觸介質(zhì)接觸。
[0134]外部導(dǎo)體120包括:外部導(dǎo)體主體121 ;和外部彈性構(gòu)件支持部122和123，其形成在外部導(dǎo)體主體121中并且支持外部彈性構(gòu)件140和150。
[0135]外部彈性構(gòu)件支持部122和123可以是從外部導(dǎo)體主體121延伸到如圖1所示的徑向方向的突起。
[0136]外部彈性構(gòu)件140和150分別地插入外部導(dǎo)體主體121的第一和第二端，并且分別地保持到外部彈性構(gòu)件支持部122和123。
[0137]外部導(dǎo)體120可以還包括接觸測(cè)試器T的接地端子T2的接地端子接觸部129。
[0138]如圖1所示，外部彈性構(gòu)件140和150可以設(shè)置在外部導(dǎo)體120的外周面的相對(duì)的兩端中。如果需要，僅僅外部彈性構(gòu)件140和150的一個(gè)可以設(shè)置在外部導(dǎo)體120的外
周面的第一端部中。[0139]外部彈性構(gòu)件140包括:支持部145，其由外部導(dǎo)體120的外部彈性構(gòu)件支持部122支持；延伸部143，其從支持部145延伸到半導(dǎo)體裝置D ;和接觸部141，其接觸和加壓半
導(dǎo)體裝置D。
[0140]支持部145可以加壓外部導(dǎo)體120的外周面，以便防止外部彈性構(gòu)件140的向上分開(kāi)。支持部145可以是其中彈性線(xiàn)圈相對(duì)致密的區(qū)域；并且延伸部143可以是彈性線(xiàn)圈相對(duì)稀疏的區(qū)域；并且接觸部141可以是彈性線(xiàn)圈致密的區(qū)域。即，支持部145、延伸部143和接觸部141可以分別是其中彈性線(xiàn)圈致密、稀疏和再致密的區(qū)域。
[0141]外部彈性構(gòu)件150包括:支持部155，其由外部導(dǎo)體120的外部彈性構(gòu)件支持部123支持；延伸部153，其從支持部155延伸到測(cè)試器T ;和接觸部151，其接觸和加壓測(cè)試器T。
[0142]支持部155可以加壓外部導(dǎo)體120的外周面，以防止外部彈性構(gòu)件150的向上分開(kāi)。支持部155可以是其中彈性線(xiàn)圈相對(duì)較致密的區(qū)域；并且延伸部153可以是其中彈性線(xiàn)圈相對(duì)較稀疏的區(qū)域；和接觸部151可以是彈性線(xiàn)圈再次致密的區(qū)域。即，支持部155、延伸部153和接觸部151可以分別是其中彈性線(xiàn)圈致密、稀疏和再次致密的區(qū)域。
[0143]如圖7所示，根據(jù)本發(fā)明的第七實(shí)施例的同軸探針I(yè)OOb包括:內(nèi)部導(dǎo)體IlOb ;夕卜部導(dǎo)體120 ;電介質(zhì)80 ;和至少一個(gè)外部彈性構(gòu)件140和150。
[0144]內(nèi)部導(dǎo)體IlOb包括:第一機(jī)筒118，其中容納上部接觸器111和第一內(nèi)部彈性構(gòu)件115a ;和第二機(jī)筒118，其中容納下部接觸器113和第二內(nèi)部彈性構(gòu)件115h，并且與第一機(jī)筒118電連接。
[0145]第一內(nèi)部彈性構(gòu)件115a朝向半導(dǎo)體裝置D(參見(jiàn)圖1)彈性偏移上部接觸器111。
[0146]第二內(nèi)部彈性構(gòu)件115h朝向測(cè)試器T(參見(jiàn)圖1)彈性偏移下部接觸器113。
[0147]如圖2所示，第一機(jī)筒118和第二機(jī)筒119包括彼此電接觸的接觸部118a和119a。
[0148]外部導(dǎo)體120和外部彈性構(gòu)件140和150與根據(jù)以上解釋的第六實(shí)施例的外部導(dǎo)體120和外部彈性構(gòu)件140和150相同。
[0149]雖然根據(jù)第六實(shí)施例的內(nèi)部導(dǎo)體IlOa的內(nèi)部彈性構(gòu)件115和可以進(jìn)一步包括在內(nèi)部導(dǎo)體IlOa中機(jī)筒(未圖示)是單個(gè)主體，根據(jù)第七實(shí)施例的機(jī)筒118和119以及內(nèi)部彈性構(gòu)件115a和115h在相對(duì)短的長(zhǎng)度上成對(duì)設(shè)置。因此，可節(jié)省制造成本。
[0150]更具體地，在長(zhǎng)度中相對(duì)較短的機(jī)筒118和119以及彈性構(gòu)件115a和115h以低成本制造，并且保證相同的電特性和效果，因而減少制造成本。
[0151]以下簡(jiǎn)要說(shuō)明同軸探針I(yè)OOb的制造方法。首先，準(zhǔn)備內(nèi)部導(dǎo)體110b、外部導(dǎo)體120、電介質(zhì)180和外部彈性構(gòu)件140和150。
[0152]內(nèi)部導(dǎo)體IlOb可以通過(guò)如下方式組裝:將第一內(nèi)部彈性構(gòu)件115a和上部接觸器111依次插入第一機(jī)筒118，并且然后，向內(nèi)彎曲第一機(jī)筒118的相對(duì)兩端以形成上部卡止部118h。同樣地，內(nèi)部導(dǎo)體IlOb可以通過(guò)如下方式組裝:將第二內(nèi)部彈性構(gòu)件115b和下部接觸器113依次插入第二機(jī)筒119，并且然后，將第二機(jī)筒119的相對(duì)兩端向內(nèi)彎曲以形成下部卡止部119h。
[0153]為了將上部接觸器111或下部接觸器113的尖端部11 Ia和113a插入通過(guò)形成在電介質(zhì)180中的容納孔，如上設(shè)置的內(nèi)部導(dǎo)體IlOb被插入電介質(zhì)180的內(nèi)部。
[0154]內(nèi)部導(dǎo)體I IOb被插入電介質(zhì)180，使得已經(jīng)插入通過(guò)容納孔的內(nèi)部導(dǎo)體IlOb的尖端部Illa和113a從電介質(zhì)180的內(nèi)部暴露。
[0155]當(dāng)?shù)谝缓偷诙C(jī)筒118和119被保持到電介質(zhì)180時(shí)，插入的內(nèi)部導(dǎo)體IlOb在內(nèi)部導(dǎo)體IlOb的插入方向上沒(méi)有分開(kāi)。
[0156]然后，電介質(zhì)180被插入外部導(dǎo)體120。
[0157]在電介質(zhì)180被首先插入外部導(dǎo)體120以后，內(nèi)部導(dǎo)體IlOb可以插入電介質(zhì)180。
[0158]然后，外部彈性構(gòu)件140和150被分別地插入外部導(dǎo)體120的相對(duì)兩端的外周面。
[0159]因而，具有形成在內(nèi)部導(dǎo)體IlOb和外部導(dǎo)體120之間的電介質(zhì)180的同軸探針I(yè)OOb可以沒(méi)有困難地被組裝。
[0160]由于可以通過(guò)簡(jiǎn)單地設(shè)置和組裝內(nèi)部導(dǎo)體110b、外部導(dǎo)體120、電介質(zhì)180、外部彈性構(gòu)件140和150生產(chǎn)同軸探針100b，因此可以明顯地提高同軸探針I(yè)OOb的生產(chǎn)率。
[0161]如圖3所示，根據(jù)本發(fā)明的第八實(shí)施例的同軸探針I(yè)OOc包括:內(nèi)部導(dǎo)體IlOb ;電介質(zhì)180和至少一個(gè)導(dǎo)電彈性構(gòu)件190。
[0162]內(nèi)部導(dǎo)體IlOb和電介質(zhì)180與根據(jù)上述的第七實(shí)施例的內(nèi)部導(dǎo)體和電介質(zhì)IlOb和180相同。
[0163]在第八實(shí)施例中，導(dǎo)電彈性構(gòu)件180代替根據(jù)第六和第七實(shí)施例的外部導(dǎo)體120和外部彈性構(gòu)件140和150，并且被插入電介質(zhì)的外周面。
[0164]導(dǎo)電彈性構(gòu)件190彈性偏移半導(dǎo)體裝置D和測(cè)試器T到使半導(dǎo)體裝置D和測(cè)試器T分開(kāi)的方向，并且包圍內(nèi)部導(dǎo)體IlOb和接地。
[0165]導(dǎo)電彈性構(gòu)件190包括:其由電介質(zhì)180支持的支持部193 ;和接觸部191，其能夠接觸并加壓半導(dǎo)體裝置D。
[0166]支持部193可以加壓電介質(zhì)180的外周面，以便防止導(dǎo)電彈性構(gòu)件190的分開(kāi)。支持部193可以是其中彈性線(xiàn)圈相對(duì)稀疏的區(qū)域；和接觸部191可以是其中彈性線(xiàn)圈相對(duì)致密的區(qū)域。
[0167]連接部191被連接到測(cè)試器T的接地端子T2。因而，在內(nèi)部導(dǎo)體IlOb中的高頻電信號(hào)被遮蔽，因而最小化環(huán)境高頻信號(hào)引起的信號(hào)干擾。
[0168]連接部191可以直接或間接地接觸諸如金屬塊(未示出)的接地介質(zhì)，其中容納同軸探針I(yè)OOc而不是直接接觸接地端子T2。根據(jù)情形，連接部191可以直接或間接地接觸諸如接地線(xiàn)的接地介質(zhì)。即，只要導(dǎo)電彈性構(gòu)件190的接地信號(hào)可以被傳送，連接部191能夠以各種方式與接觸介質(zhì)接觸。
[0169]導(dǎo)電彈性構(gòu)件190可以是盤(pán)簧。根據(jù)情形，導(dǎo)電彈性構(gòu)件190可以是板簧或?qū)щ娤鹉z。導(dǎo)電彈性構(gòu)件190可以以其它各種形狀和材料設(shè)置，只要其可以施加彈性偏移并且可以接地。
[0170]導(dǎo)電彈性構(gòu)件190可以包括諸如Al、Cu、Be和Ni的導(dǎo)電金屬的一個(gè)或其合金。根據(jù)情形，導(dǎo)電彈性構(gòu)件190可以包括諸如硅橡膠的絕緣材料的導(dǎo)電橡膠，其中設(shè)置導(dǎo)電金屬粒子以傳送電信號(hào)。
[0171]電介質(zhì)180包括:電介質(zhì)主體(未圖示)；和導(dǎo)電彈性構(gòu)件支持部(未圖示)，其形成在電介質(zhì)主體中并且支持導(dǎo)電彈性構(gòu)件190，其與根據(jù)第六和第七實(shí)施例的外部導(dǎo)體120相同或類(lèi)似。
[0172]如同根據(jù)第六和第七實(shí)施例的外部彈性構(gòu)件支持部122和123，導(dǎo)電彈性構(gòu)件支持部可以包括從電介質(zhì)主體180向徑向方向延伸的突起。
[0173]導(dǎo)電彈性構(gòu)件190可以多個(gè)地設(shè)置和布置在電介質(zhì)180的外周面的相對(duì)兩端中，如同根據(jù)第六和第七實(shí)施例的外部彈性構(gòu)件140和150。如需要，僅僅一個(gè)導(dǎo)電彈性構(gòu)件可以設(shè)置在電介質(zhì)180的外周面的第一端部中。
[0174]在根據(jù)第八實(shí)施例的同軸探針I(yè)OOc中，導(dǎo)電彈性構(gòu)件190可以同時(shí)地代替根據(jù)第六和第七實(shí)施例的外部導(dǎo)體120和外部彈性構(gòu)件140和150，并且因此可以提高同軸探針I(yè)OOc的組裝容易性和生產(chǎn)率。
[0175]另一方面，上述實(shí)施例僅為示例，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以根據(jù)示例實(shí)現(xiàn)各種變形和等同的其他實(shí)施例。
[0176]因此，本發(fā)明的真正的技術(shù)保護(hù)范圍僅由下述權(quán)利要求記載的發(fā)明的技術(shù)思想規(guī)定。
[0177][產(chǎn)業(yè)上之可利用性]
[0178]本發(fā)明為了檢測(cè)在半導(dǎo)體制造中是否存在不良產(chǎn)品。
【權(quán)利要求】
1.一種同軸探針，包括: 內(nèi)部導(dǎo)體，包括上部接觸器、下部接觸器和內(nèi)部彈性構(gòu)件，所述上部接觸器配置為與半導(dǎo)體裝置接觸，所述下部接觸器配置為接觸用于測(cè)試所述半導(dǎo)體裝置的測(cè)試器，所述內(nèi)部彈性構(gòu)件配置為彈性偏移所述上部接觸器和所述下部接觸器的至少一個(gè)，以使所述上部接觸器和所述下部接觸器彼此遠(yuǎn)離； 外部導(dǎo)體，配置為包圍所述內(nèi)部導(dǎo)體； 多個(gè)間隙構(gòu)件，分別地插入在所述內(nèi)部導(dǎo)體與所述外部導(dǎo)體之間的相對(duì)兩端，以使在所述內(nèi)部導(dǎo)體與所述外部導(dǎo)體之間產(chǎn)生預(yù)定空隙；和 至少一個(gè)外部彈性構(gòu)件，插入所述外部導(dǎo)體的外周面，以彈性偏移所述半導(dǎo)體裝置和所述測(cè)試器的至少一個(gè)到使所述半導(dǎo)體裝置或所述測(cè)試器遠(yuǎn)離所述外部導(dǎo)體的方向。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的同軸探針，其中所述內(nèi)部彈性構(gòu)件包括: 第一內(nèi)部彈性構(gòu)件，配置為朝向所述半導(dǎo)體裝置彈性偏移所述上部接觸器；和 第二內(nèi)部彈性構(gòu)件，配置為朝向所述測(cè)試器彈性偏移所述下部接觸器。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的同軸探針，其中所述內(nèi)部導(dǎo)體還包括: 第一機(jī)筒，配置為在其中容納所述上部接觸器和所述第一內(nèi)部彈性構(gòu)件；和 第二機(jī)筒，配置為在其中容納所述下部接觸器和所述第二內(nèi)部彈性構(gòu)件，并且電連接到所述第一機(jī)筒。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的同軸探針，還包括間隙維持構(gòu)件，配置為包圍所述第一機(jī)筒和所述第二機(jī)筒之間的待被安裝在所述外部導(dǎo)體的內(nèi)周面中的接觸區(qū)域，以使所述第一機(jī)筒和所述第二機(jī)筒彼此電接觸，并且維持所述預(yù)定空隙。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的同軸探針，其中所述內(nèi)部導(dǎo)體還包括機(jī)筒，所述機(jī)筒配置為在其中容納所述上部接觸器、所述下部接觸器和所述內(nèi)部彈性構(gòu)件。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5任一項(xiàng)所述的同軸探針，其中所述多個(gè)間隙構(gòu)件分別包括分開(kāi)防止部，配置為防止所述內(nèi)部導(dǎo)體從所述外部導(dǎo)體分開(kāi)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至5任一項(xiàng)所述的同軸探針，其中所述外部導(dǎo)體的外表面還包括結(jié)合部，所述結(jié)合部的形狀如同螺紋槽，以與外部彈性構(gòu)件連接。
8.—種同軸探針,包括: 內(nèi)部導(dǎo)體，包括上部接觸器、下部接觸器和內(nèi)部彈性構(gòu)件，所述上部接觸器配置為與半導(dǎo)體裝置接觸，所述下部接觸器配置為接觸用于測(cè)試所述半導(dǎo)體裝置的測(cè)試器，所述內(nèi)部彈性構(gòu)件配置為彈性偏移所述上部接觸器和所述下部接觸器的至少一個(gè)，以使所述上部接觸器和所述下部接觸器彼此遠(yuǎn)離； 外部導(dǎo)體，配置為包圍所述內(nèi)部導(dǎo)體； 電介質(zhì)，設(shè)置在所述內(nèi)部導(dǎo)體和所述外部導(dǎo)體之間；和 至少一個(gè)外部彈性構(gòu)件，配置成插入于所述外部導(dǎo)體的外周面，以彈性偏移所述半導(dǎo)體裝置和所述測(cè)試器的至少一個(gè)到使所述半導(dǎo)體裝置或所述測(cè)試器遠(yuǎn)離所述外部導(dǎo)體的方向。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述之同軸探針，其中所述外部導(dǎo)體至少包圍所述電介質(zhì)的一部分，并且所述外部彈性構(gòu)件設(shè)置在所述外部導(dǎo)體的相對(duì)的兩端。
10.一種同軸探針，包括:內(nèi)部導(dǎo)體，包括上部接觸器、下部接觸器和內(nèi)部彈性構(gòu)件，所述上部接觸器配置為與半導(dǎo)體裝置接觸，所述下部接觸器配置為接觸用于測(cè)試所述半導(dǎo)體裝置的測(cè)試器，所述內(nèi)部彈性構(gòu)件配置為彈性偏移所述上部接觸器和所述下部接觸器的至少一個(gè)，以使所述上部接觸器和所述下部接觸器彼此遠(yuǎn)離； 導(dǎo)電彈性構(gòu)件，配置為使所述半導(dǎo)體裝置和所述測(cè)試器向遠(yuǎn)離的方向彈性偏移，并且包圍所述內(nèi)部導(dǎo)體并接地；和 電介質(zhì)，設(shè)置在所述內(nèi)部導(dǎo)體和所述導(dǎo)電彈性構(gòu)件之間。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的同軸探針，其中所述內(nèi)部彈性構(gòu)件包括: 第一內(nèi)部彈性構(gòu)件，配置為朝向所述半導(dǎo)體裝置彈性偏移所述上部接觸器；和 第二內(nèi)部彈性構(gòu)件，配置為朝向所述測(cè)試器彈性偏移所述下部接觸器。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的同軸探針,其中內(nèi)部導(dǎo)體還包括: 第一機(jī)筒，配置為在其中容納所述上部接觸器和所述第一內(nèi)部彈性構(gòu)件；和第二機(jī)筒，配 置為在其中容納所述下部接觸器和所述第二內(nèi)部彈性構(gòu)件，并且與所述第一機(jī)筒電連接。
【文檔編號(hào)】G01R1/067GK103765227SQ201280041462
【公開(kāi)日】2014年4月30日 申請(qǐng)日期:2012年8月29日 優(yōu)先權(quán)日:2011年8月30日
【發(fā)明者】李彩允 申請(qǐng)人:李諾工業(yè)股份有限公司