專利名稱：晶體微缺陷掃描儀的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種檢測(cè)設(shè)備，具體涉及一種晶體微缺陷掃描儀。
技術(shù)背景在現(xiàn)代節(jié)能照明(LED)、太陽(yáng)能發(fā)電和平板顯示工業(yè)中，一般是將集成電路級(jí)別的發(fā)光、發(fā)電、顯示電路單元刻蝕或生長(zhǎng)在紅寶石、藍(lán)寶石、玻璃等晶體結(jié)晶制成的基板上，再經(jīng)過(guò)切割、封裝等工藝制成模組，故晶體基板本身在拋光、鍍膜過(guò)程中所產(chǎn)生的劃痕、鍍膜缺陷等不良，會(huì)對(duì)終端制成品的良率有極大的影響?，F(xiàn)有的檢測(cè)技術(shù)主要是采用在顯微鏡協(xié)助下進(jìn)行人工目測(cè)的方式，對(duì)基板進(jìn)行缺陷檢查及標(biāo)注。此類方法的核心缺點(diǎn)如下I、由于微細(xì)劃痕和鍍膜缺陷不易辨認(rèn)，采用人工目測(cè)的方法，在大批量的生產(chǎn)過(guò)程中，極易產(chǎn)生視疲勞，由此引起大量的誤檢及漏檢，產(chǎn)成品良率難以保證。2、人工目測(cè)的方法，效率極其低下，例如檢測(cè)一塊直徑為3英寸(約75毫米)的LED外延片，熟練培訓(xùn)的操作工也需要至少10分鐘的時(shí)間；3、人工目測(cè)的方法，對(duì)于檢出的缺陷無(wú)法快速標(biāo)注，且不能留下圖像性的記錄，當(dāng)產(chǎn)成品出廠后遇到退貨時(shí)，無(wú)法準(zhǔn)確定位產(chǎn)生不良的工序，也給廠家和用戶之間的責(zé)任認(rèn)定帶來(lái)困難，對(duì)生產(chǎn)廠家不利
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的是提供晶體微缺陷掃描儀，它能實(shí)現(xiàn)對(duì)晶體類產(chǎn)品如LED外延片、薄膜太陽(yáng)能電池基板、液晶面板等在拋光及鍍膜工藝過(guò)程中所產(chǎn)生的微細(xì)缺陷進(jìn)行快速全自動(dòng)掃描分析的能力；最精細(xì)級(jí)別的缺陷分辨率可達(dá)2微米。為了解決背景技術(shù)所存在的問(wèn)題，本實(shí)用新型是采用以下技術(shù)方案它包含激光發(fā)生器I、散射信號(hào)收集器2、立柱3、雙軸自控臺(tái)4、底座5、大理石平臺(tái)6、隔震調(diào)平系統(tǒng)7、柜架8、配電箱9、主機(jī)10、懸臂11、電腦顯示器12、輸入設(shè)備13 ;激光發(fā)生器I通過(guò)螺紋連接固定于立柱3上，散射信號(hào)收集器2通過(guò)螺紋連接固定于激光掃描系統(tǒng)I下部，雙軸自控臺(tái)4通過(guò)螺紋連接固定在底座5上，立柱3與底座5均通過(guò)螺紋連接固定于大理石平臺(tái)6上，大理石平臺(tái)6與柜架8之間裝設(shè)有隔震調(diào)平系統(tǒng)7，配電箱9與電腦主機(jī)10放置于柜架8內(nèi)，懸臂11通過(guò)螺紋連接固定于柜架8側(cè)面，電腦顯示器12通過(guò)螺紋連接固定于懸臂11上，輸入設(shè)備13安裝于懸臂11板上。本實(shí)用新型采用全自動(dòng)掃描的方式實(shí)現(xiàn)對(duì)小至2微米的缺陷進(jìn)行辨識(shí)和分析，可確保無(wú)誤檢、無(wú)漏檢，不依賴于操作工的個(gè)人經(jīng)驗(yàn)，保障了產(chǎn)成品的良率；同時(shí)采用激光掃描的方式，對(duì)散射信號(hào)進(jìn)行快速的收集和分析，準(zhǔn)確定位缺陷產(chǎn)生的位置，極大的提升了檢測(cè)效率，例如檢測(cè)一塊直徑為3英寸(約75毫米)的LED外延片，整個(gè)掃描及分析的流程只需要20秒鐘的時(shí)間；采用自動(dòng)化的分析和記錄系統(tǒng)，為每一片產(chǎn)品留有完整的圖像記錄，使任何不良品的產(chǎn)生，都具備工藝追查的可溯源性。[0010]本實(shí)用新型具有以下有益效果能實(shí)現(xiàn)對(duì)晶體類產(chǎn)品如LED外延片、薄膜太陽(yáng)能電池基板、液晶面板等在拋光及鍍膜工藝過(guò)程中所產(chǎn)生的微細(xì)缺陷進(jìn)行快速全自動(dòng)掃描分析的能力；最精細(xì)級(jí)別的缺陷分辨率可達(dá)2微米。

圖I是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是圖I的主視圖；圖3是圖I的俯視圖。
具體實(shí)施方式
參看圖1-3，本具體實(shí)施方式
采用以下技術(shù)方案它包含激光發(fā)生器I、散射信號(hào)收集器2、立柱3、雙軸自控臺(tái)4、底座5、大理石平臺(tái)6、隔震調(diào)平系統(tǒng)7、柜架8、配電箱9、主 機(jī)10、懸臂11、電腦顯示器12、輸入設(shè)備13 ;激光發(fā)生器I通過(guò)螺紋連接固定于立柱3上，散射信號(hào)收集器2通過(guò)螺紋連接固定于激光掃描系統(tǒng)I下部，雙軸自控臺(tái)4通過(guò)螺紋連接固定在底座5上，立柱3與底座5均通過(guò)螺紋連接固定于大理石平臺(tái)6上，大理石平臺(tái)6與柜架8之間裝設(shè)有隔震調(diào)平系統(tǒng)7，配電箱9與電腦主機(jī)10放置于柜架8內(nèi)，懸臂11通過(guò)螺紋連接固定于柜架8側(cè)面，電腦顯示器12通過(guò)螺紋連接固定于懸臂11上，輸入設(shè)備13安裝于懸臂11板上。本具體實(shí)施方式
采用全自動(dòng)掃描的方式實(shí)現(xiàn)對(duì)小至2微米的缺陷進(jìn)行辨識(shí)和分析，可確保無(wú)誤檢、無(wú)漏檢，不依賴于操作工的個(gè)人經(jīng)驗(yàn)，保障了產(chǎn)成品的良率；同時(shí)采用激光掃描的方式，對(duì)散射信號(hào)進(jìn)行快速的收集和分析，準(zhǔn)確定位缺陷產(chǎn)生的位置，極大的提升了檢測(cè)效率，例如檢測(cè)一塊直徑為3英寸(約75毫米)的LED外延片，整個(gè)掃描及分析的流程只需要20秒鐘的時(shí)間；采用自動(dòng)化的分析和記錄系統(tǒng)，為每一片產(chǎn)品留有完整的圖像記錄，使任何不良品的產(chǎn)生，都具備工藝追查的可溯源性。本具體實(shí)施方式
能實(shí)現(xiàn)對(duì)晶體類產(chǎn)品如LED外延片、薄膜太陽(yáng)能電池基板、液晶面板等在拋光及鍍膜工藝過(guò)程中所產(chǎn)生的微細(xì)缺陷進(jìn)行快速全自動(dòng)掃描分析的能力；最精細(xì)級(jí)別的缺陷分辨率可達(dá)2微米。
權(quán)利要求1.晶體微缺陷掃描儀，其特征在于它包含激光發(fā)生器(I)、散射信號(hào)收集器(2)、立柱(3)、雙軸自控臺(tái)(4)、底座(5)、大理石平臺(tái)(6)、隔震調(diào)平系統(tǒng)(7)、柜架(8)、配電箱(9)、主機(jī)(10)、懸臂(11)、電腦顯示器(12)、輸入設(shè)備(13);激光發(fā)生器(I)通過(guò)螺紋連接固定于立柱(3)上，散射信號(hào)收集器(2)通過(guò)螺紋連接固定于激光掃描系統(tǒng)(I)下部，雙軸自控臺(tái)(4)通過(guò)螺紋連接固定在底座(5)上，立柱(3)與底座(5)均通過(guò)螺紋連接固定于大理石平臺(tái)(6)上，大理石平臺(tái)(6)與柜架(8)之間裝設(shè)有隔震調(diào)平系統(tǒng)(7)，配電箱(9)與電腦主機(jī)(10)放置于柜架(8)內(nèi)，懸臂(11)通過(guò)螺紋連接固定于柜架(8)側(cè)面，電腦顯示器(12)通過(guò)螺紋連接固定于懸臂(11)上，輸入設(shè)備(13)安裝于懸臂(11)板上。
專利摘要晶體微缺陷掃描儀，它涉及一種檢測(cè)設(shè)備。激光發(fā)生器通過(guò)螺紋連接固定于立柱上，散射信號(hào)收集器通過(guò)螺紋連接固定于激光掃描系統(tǒng)下部，雙軸自控臺(tái)通過(guò)螺紋連接固定在底座上，立柱與底座均通過(guò)螺紋連接固定于大理石平臺(tái)上，大理石平臺(tái)與柜架之間裝設(shè)有隔震調(diào)平系統(tǒng)，配電箱與電腦主機(jī)放置于柜架內(nèi)，懸臂通過(guò)螺紋連接固定于柜架側(cè)面，電腦顯示器通過(guò)螺紋連接固定于懸臂上，輸入設(shè)備安裝于懸臂板上；本實(shí)用新型能實(shí)現(xiàn)對(duì)晶體類產(chǎn)品如LED外延片、薄膜太陽(yáng)能電池基板、液晶面板等在拋光及鍍膜工藝過(guò)程中所產(chǎn)生的微細(xì)缺陷進(jìn)行快速全自動(dòng)掃描分析的能力；最精細(xì)級(jí)別的缺陷分辨率可達(dá)2微米。
文檔編號(hào)G01N21/88GK202583078SQ20122016130
公開(kāi)日2012年12月5日 申請(qǐng)日期2012年4月17日 優(yōu)先權(quán)日2012年4月17日
發(fā)明者謝歷銘 申請(qǐng)人:宜興愛(ài)特盟光電科技有限公司