專(zhuān)利名稱(chēng)：針卡及多管芯晶圓測(cè)試系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
針卡及多管芯晶圓測(cè)試系統(tǒng)
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體器件測(cè)試領(lǐng)域，特別是涉及一種多管芯晶圓測(cè)試系統(tǒng)，還涉及一種針卡(Prober Card)。
背景技術(shù)：
在集成電路圓片測(cè)試(Wafer Chip Prober，簡(jiǎn)稱(chēng)CP)過(guò)程中，為提高生產(chǎn)效率，大部分采用多管芯(die)測(cè)試方式，即多顆管芯同時(shí)測(cè)試，也叫并測(cè)。一種傳統(tǒng)的方案是將測(cè)試機(jī)資源分配到負(fù)載板(Load Board)的多個(gè)插座上，再將負(fù)載板的插座用電纜一一對(duì)應(yīng)連 接到針卡(Prober Card)的多個(gè)插座上，每顆管芯對(duì)應(yīng)一根電纜，參見(jiàn)圖I。這些電纜是同一種型號(hào)的，正常測(cè)試時(shí)要求電纜的兩頭一一對(duì)應(yīng)。測(cè)試時(shí)，測(cè)試機(jī)將管芯I的測(cè)試資源分配給負(fù)載板插座I (及其通過(guò)電纜連接的針卡插座I對(duì)應(yīng)的管芯I)，將管芯2的測(cè)試資源分配給負(fù)載板插座2。這樣做的好處是每個(gè)管芯的測(cè)試結(jié)構(gòu)相同，能夠減小測(cè)試的差異性，同時(shí)也可以做交叉驗(yàn)證。但上述傳統(tǒng)的方案但存在一個(gè)風(fēng)險(xiǎn)如果在轉(zhuǎn)機(jī)或調(diào)試過(guò)程中由于人為原因電纜的順序插錯(cuò)了，就會(huì)造成測(cè)試數(shù)據(jù)錯(cuò)位，造成測(cè)量質(zhì)量事故。參見(jiàn)圖2，由于電纜連接錯(cuò)誤，測(cè)試機(jī)將管芯I的測(cè)試資源分配給了針卡插座2對(duì)應(yīng)的管芯2，將管芯2的測(cè)試資源分配給了針卡插座I對(duì)應(yīng)的管芯I。同時(shí)測(cè)試機(jī)會(huì)將管芯2誤認(rèn)為管芯1，將管芯I誤認(rèn)為管芯2。

實(shí)用新型內(nèi)容基于此，有必要提供一種不會(huì)因?yàn)榻渝e(cuò)電纜而造成測(cè)試錯(cuò)誤的多管芯晶圓測(cè)試系統(tǒng)。一種多管芯晶圓測(cè)試系統(tǒng)，包括通過(guò)電纜連接的測(cè)試機(jī)和針卡，所述測(cè)試機(jī)包括多個(gè)負(fù)載板插座，所述針卡包括多個(gè)針卡插座，所述針卡包括與所述多個(gè)針卡插座電連接的編碼裝置，所述編碼裝置用于給每個(gè)所述針卡插座提供一個(gè)代表單個(gè)管芯的編號(hào)的編碼；所述測(cè)試機(jī)包括解碼裝置，所述解碼裝置通過(guò)所述電纜獲取編碼并解碼得到所述管芯的位置編碼，所述測(cè)試機(jī)根據(jù)所述位置編碼將測(cè)試資源對(duì)應(yīng)分配給所述管芯。優(yōu)選的，所述編碼裝置是生成TTL電平作為編碼信號(hào)的裝置。還有必要提供一種不會(huì)因?yàn)榻渝e(cuò)電纜而造成測(cè)試錯(cuò)誤的針卡。一種針卡,包括多個(gè)針卡插座,所述針卡包括與所述多個(gè)針卡插座電連接的編碼裝置，所述編碼裝置用于給每個(gè)所述針卡插座提供一個(gè)代表單個(gè)管芯的編號(hào)的編碼。優(yōu)選的，所述編碼裝置是生成TTL電平作為編碼信號(hào)的裝置。上述多管芯晶圓測(cè)試系統(tǒng)，由于測(cè)試機(jī)能夠獲取每個(gè)管芯的位置編碼，因此無(wú)論電纜連接如何改變，測(cè)試機(jī)都能正確識(shí)別管芯的位置編號(hào)，并且將每個(gè)管芯的測(cè)試結(jié)果正確匹配至相應(yīng)的管芯，達(dá)到自動(dòng)識(shí)別及區(qū)分管芯的效果，從而實(shí)現(xiàn)自動(dòng)防錯(cuò)位功能。同時(shí)上述多管芯晶圓測(cè)試系統(tǒng)保留了傳統(tǒng)方案的多管芯一致性和交叉驗(yàn)證的方便性，具有很高的實(shí)用價(jià)值。

圖I是一種傳統(tǒng)的晶圓測(cè)試系統(tǒng)在電纜正確連接的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是圖I所示晶圓測(cè)試系統(tǒng)在電纜錯(cuò)誤連接的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是一實(shí)施例中多管芯晶圓測(cè)試系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)不意圖；圖4是一種傳統(tǒng)的多管芯晶圓測(cè)試方案的流程圖；圖5是一實(shí)施例中采用多管芯晶圓測(cè)試系統(tǒng)進(jìn)行測(cè)試的流程圖。
具體實(shí)施方式為使本實(shí)用新型的目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更為明顯易懂，
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
做詳細(xì)的說(shuō)明。圖3是一實(shí)施例中多管芯晶圓測(cè)試系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)不意圖，多管芯晶圓測(cè)試系統(tǒng)包括通過(guò)電纜連接的測(cè)試機(jī)10和針卡20。測(cè)試機(jī)10包括負(fù)載板，負(fù)載板上設(shè)有多個(gè)負(fù)載板插座，具體地，在圖3所示實(shí)施例中為4個(gè)負(fù)載板插座。針卡20包括多個(gè)針卡插座,具體地，在圖3所示實(shí)施例中為4個(gè)針卡插座。針卡20包括與每個(gè)針卡插座均電連接的編碼裝置22。編碼裝置22用于給每個(gè)針卡插座提供一個(gè)代表單個(gè)管芯(die)的編號(hào)的編碼。測(cè)試機(jī)10包括解碼裝置12。解碼裝置12通過(guò)電纜獲取代表每個(gè)管芯的編碼，并解碼得到管芯的位置編碼。測(cè)試機(jī)10根據(jù)位置編碼將測(cè)試資源對(duì)應(yīng)分配給每個(gè)管芯。上述多管芯晶圓測(cè)試系統(tǒng)，由于測(cè)試機(jī)10能夠獲取每個(gè)管芯的位置編碼，因此無(wú)論電纜連接如何改變，測(cè)試機(jī)10都能正確識(shí)別管芯的位置編號(hào)，并且將每個(gè)管芯的測(cè)試結(jié)果正確匹配至相應(yīng)的管芯，達(dá)到自動(dòng)識(shí)別及區(qū)分管芯的效果，從而實(shí)現(xiàn)自動(dòng)防錯(cuò)位功能。同時(shí)上述多管芯晶圓測(cè)試系統(tǒng)保留了傳統(tǒng)方案的多管芯一致性和交叉驗(yàn)證的方便性，具有很高的實(shí)用價(jià)值。編碼裝置22提供的編碼可以是電壓信號(hào)、電流信號(hào)、脈沖信號(hào)、TTL (Transistor-Transistor Logic,邏輯門(mén)電路)電平信號(hào)等電信號(hào)。在優(yōu)選的實(shí)施例中，編碼裝置22是生成TTL電平作為編碼信號(hào)的裝置，即編碼裝置22生成的編碼是TTL電平信號(hào)。為便于理解，下面再以流程圖的方式將本實(shí)用新型的技術(shù)方案與傳統(tǒng)方案做一個(gè)比較。圖4是一種傳統(tǒng)的多管芯晶圓測(cè)試方案的流程圖，圖5是一實(shí)施例中采用多管芯晶圓測(cè)試系統(tǒng)進(jìn)行測(cè)試的流程圖。圖5所示測(cè)試流程包括下列步驟步驟一編碼裝置22給每個(gè)針卡插座提供一個(gè)代表單個(gè)管芯的編號(hào)的編碼。在該實(shí)施例中，編碼為T(mén)TL電平信號(hào)。以四個(gè)針卡插座(對(duì)應(yīng)測(cè)試四個(gè)die)為例，編碼裝置22生成00、01、10、11四個(gè)TTL電平信號(hào)，分別對(duì)應(yīng)diel、die2、die3、die4。其中00提供給針卡插座1，01提供給針卡插座2，10提供給針卡插座3，11提供給針卡插座4。步驟二 解碼裝置12通過(guò)電纜獲取編碼并解碼得到管芯的位置編碼。解碼裝置12將TTL電平信號(hào)解碼得到測(cè)試機(jī)10能夠識(shí)別的位置編碼信號(hào)。其中電纜的接法如圖3的實(shí)施例所示。[0027]步驟三測(cè)試機(jī)10根據(jù)位置編碼將測(cè)試資源對(duì)應(yīng)分配給管芯。測(cè)試機(jī)10讀取到負(fù)載板插座I獲取的位置編碼為01 (對(duì)應(yīng)die2)，將測(cè)試資源I對(duì)應(yīng)分配給die2 ;負(fù)載板插座2獲取的位置編碼為10 (對(duì)應(yīng)die3)，將測(cè)試資源2對(duì)應(yīng)分配給die3 ;負(fù)載板插座3獲取的位置編碼為00(對(duì)應(yīng)diel)，將測(cè)試資源3對(duì)應(yīng)分配給diel ；負(fù)載板插座4獲取的位置編碼為11 (對(duì)應(yīng)die4)，將測(cè)試資源4對(duì)應(yīng)分配給die4。步驟四進(jìn)行多管芯晶圓測(cè)試。步驟五返回測(cè)試結(jié)果。由于測(cè)試機(jī)10已將測(cè)試資源通過(guò)位置編碼與具體的die匹配，因此每個(gè)die的測(cè)試結(jié)果也能夠正確匹配至相應(yīng)的die。以上所述實(shí)施例僅表達(dá)了本實(shí)用新型的幾種實(shí)施方式，其描述較為具體和詳細(xì)，但并不能因此而理解為對(duì)本實(shí)用新型專(zhuān)利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本實(shí)用新型構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬 于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。因此，本實(shí)用新型專(zhuān)利的保護(hù)范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準(zhǔn)。
權(quán)利要求1.一種多管芯晶圓測(cè)試系統(tǒng)，包括通過(guò)電纜連接的測(cè)試機(jī)和針卡，所述測(cè)試機(jī)包括多個(gè)負(fù)載板插座，所述針卡包括多個(gè)針卡插座，其特征在于， 所述針卡包括與所述多個(gè)針卡插座電連接的編碼裝置，所述編碼裝置用于給每個(gè)所述針卡插座提供一個(gè)代表單個(gè)管芯的編號(hào)的編碼； 所述測(cè)試機(jī)包括解碼裝置，所述解碼裝置通過(guò)所述電纜獲取編碼并解碼得到所述管芯的位置編碼，所述測(cè)試機(jī)根據(jù)所述位置編碼將測(cè)試資源對(duì)應(yīng)分配給所述管芯。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的多管芯晶圓測(cè)試 統(tǒng)，其特征在于，所述編碼裝置是生成TTL電平作為編碼信號(hào)的裝置。
3.一種針卡,包括多個(gè)針卡插座,其特征在于,所述針卡包括與所述多個(gè)針卡插座電連接的編碼裝置，所述編碼裝置用于給每個(gè)所述針卡插座提供一個(gè)代表單個(gè)管芯的編號(hào)的編碼。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的針卡，其特征在于，所述編碼裝置是生成TTL電平作為編碼信號(hào)的裝置。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型涉及一種多管芯晶圓測(cè)試系統(tǒng)，包括通過(guò)電纜連接的測(cè)試機(jī)和針卡，測(cè)試機(jī)包括多個(gè)負(fù)載板插座，針卡包括多個(gè)針卡插座及與多個(gè)針卡插座電連接的編碼裝置，編碼裝置用于給每個(gè)針卡插座提供一個(gè)代表單個(gè)管芯的編號(hào)的編碼；測(cè)試機(jī)包括解碼裝置，解碼裝置通過(guò)電纜獲取編碼并解碼得到管芯的位置編碼，測(cè)試機(jī)根據(jù)位置編碼將測(cè)試資源對(duì)應(yīng)分配給管芯。本實(shí)用新型還涉及一種針卡。上述多管芯晶圓測(cè)試系統(tǒng)，由于測(cè)試機(jī)能夠獲取每個(gè)管芯的位置編碼，因此無(wú)論電纜連接如何改變，測(cè)試機(jī)都能正確識(shí)別管芯的位置編號(hào)，并且將每個(gè)管芯的測(cè)試結(jié)果正確匹配至相應(yīng)的管芯，達(dá)到自動(dòng)識(shí)別及區(qū)分管芯的效果，從而實(shí)現(xiàn)自動(dòng)防錯(cuò)位功能。
文檔編號(hào)G01R31/26GK202494755SQ201220040439
公開(kāi)日2012年10月17日 申請(qǐng)日期2012年2月8日 優(yōu)先權(quán)日2012年2月8日
發(fā)明者顧漢玉 申請(qǐng)人:華潤(rùn)賽美科微電子(深圳)有限公司