專利名稱：紅外顯微系統(tǒng)的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種紅外顯微系統(tǒng)。
背景技術：
紅外成像在半導體功率器件的設計、集成電路的可靠性檢測、激光二極管的實效分析、MEMS器件的熱分布分析、材料熱性能的分析以及生物標本溫度分析等微觀領域具有相當廣泛的應用，因此紅外顯微鏡系統(tǒng)應運而生。但是由于紅外熱像儀通常只對單一波長或某個特定波段敏感， 比如7-14 ii m波段、3-5ii m波段等，導致其對場景的亮度變化不敏感，成像清晰度低，對圖像的細節(jié)捕捉遠沒有可見光豐富。而可見光成像顯微鏡敏感于目標物體的反射，與熱對比度無關，能夠獲取高清晰度的圖像，并能夠提供目標物體的細節(jié)信息，但無法提供目標物體的熱譜信息，因此，在諸多需要熱譜分析的檢測應用中受到限制。
發(fā)明內容為了克服上述缺陷，本實用新型提供了一種紅外顯微系統(tǒng)，可同時滿足微器件及微結構的清晰成像及細節(jié)分析需求，又能夠實現(xiàn)紅外熱分布的成像。本實用新型為了解決其技術問題所采用的技術方案是一種紅外顯微系統(tǒng)，包括支架、載物臺、目標物、可見顯微相機和紅外顯微相機，所述目標物置于所述載物臺上；所述可見顯微相機和紅外顯微相機分別置于所述支架上并位于所述載物臺上方，所述可見顯微相機和紅外顯微相機的光軸相互平行且垂直于所述載物臺上側面，所述可見顯微相機和紅外顯微相機能夠同時相對所述載物臺沿所述支架上下移動并定位，且所述可見顯微相機和紅外顯微相機能夠分別沿其所在的水平面內左右移動并使其鏡頭正對置于所述載物臺上的目標物。作為本實用新型的進一步改進，所述可見顯微相機和紅外顯微相機能夠同時相對所述載物臺沿所述支架上下移動并定位，且所述可見顯微相機和紅外顯微相機能夠分別沿其所在的水平內左右移動并使其鏡頭正對置于所述載物臺上的目標物的結構為在所述載物臺正上方設置Z向導桿，另設有橫向支架，所述橫向支架通過螺紋嚙合于所述Z向導桿上，且所述橫向支架可沿Z向導桿上下移動并定位；所述可見顯微相機和紅外顯微相機分別滑動定位于所述橫向支架上，且所述可見顯微相機和紅外顯微相機能夠分別相對所述橫向支架左右移動并定位。本實用新型的有益效果是該系統(tǒng)能夠同時將目標物體的可見光與紅外靜態(tài)或動態(tài)圖像信息提供給使用者，既滿足了微器件及微結構的清晰成像及細節(jié)分析需求，又能夠實現(xiàn)紅外熱分布的成像，從而實現(xiàn)結構特征與性能特征的同時采集，有利于同時分析其性能及效能。

圖I為本實用新型所述紅外顯微系統(tǒng)結構示意圖。[0008]結合附圖，作以下說明7——橫向支架2——載物臺3——目標物4——可見顯微相機5-紅外顯微相機 6-Z向導桿
具體實施方式
一種紅外顯微系統(tǒng)，包括支 架I、載物臺2、目標物3、可見顯微相機4和紅外顯微相機5，所述目標物置于所述載物臺上；所述可見顯微相機和紅外顯微相機分別置于所述支架上并位于所述載物臺上方，所述可見顯微相機和紅外顯微相機的光軸相互平行且垂直于所述載物臺上側面，所述可見顯微相機和紅外顯微相機能夠同時相對所述載物臺沿所述支架上下移動并定位，且所述可見顯微相機和紅外顯微相機能夠分別沿其所在的水平面內左右移動并使其鏡頭正對置于所述載物臺上的目標物。優(yōu)選的，上述可見顯微相機和紅外顯微相機能夠同時相對所述載物臺沿所述支架上下移動并定位，且所述可見顯微相機和紅外顯微相機能夠分別沿其所在的水平內左右移動并使其鏡頭正對置于所述載物臺上的目標物的結構為在所述載物臺正上方設置Z向導桿6,另設有橫向支架7,所述橫向支架通過螺紋哨合于所述Z向導桿上,且所述橫向支架可沿Z向導桿上下移動并定位；所述可見顯微相機和紅外顯微相機分別滑動定位于所述橫向支架上，且所述可見顯微相機和紅外顯微相機能夠分別相對所述橫向支架左右移動并定位。
權利要求1.一種紅外顯微系統(tǒng)，其特征在于其包括支架(I)、載物臺(2)、目標物(3)、可見顯微相機(4)和紅外顯微相機(5)，所述目標物置于所述載物臺上；所述可見顯微相機和紅外顯微相機分別置于所述支架上并位于所述載物臺上方，所述可見顯微相機和紅外顯微相機的光軸相互平行且垂直于所述載物臺上側面，所述可見顯微相機和紅外顯微相機能夠同時相對所述載物臺沿所述支架上下移動并定位，且所述可見顯微相機和紅外顯微相機能夠分別沿其所在的水平面內左右移動并使其鏡頭正對置于所述載物臺上的目標物。
2.根據(jù)權利要求I所述的紅外顯微系統(tǒng)，其特征在于所述可見顯微相機和紅外顯微相機能夠同時相對所述載物臺沿所述支架上下移動并定位，且所述可見顯微相機和紅外顯微相機能夠分別沿其所在的水平內左右移動并使其鏡頭正對置于所述載物臺上的目標物的結構為在所述載物臺正上方設置Z向導桿(6)，另設有橫向支架(7)，所述橫向支架通過螺紋嚙合于所述Z向導桿上，且所述橫向支架可沿Z向導桿上下移動并定位；所述可見顯微相機和紅外顯微相機分別滑動定位于所述橫向支架上，且所述可見顯微相機和紅外顯微相機能夠分別相對所述橫向支架左右移動并定位。
專利摘要本實用新型公開了一種紅外顯微系統(tǒng)，包括支架、載物臺、目標物、可見顯微相機和紅外顯微相機，所述目標物置于所述載物臺上；所述可見顯微相機和紅外顯微相機分別置于所述支架上并位于所述載物臺上方，所述可見顯微相機和紅外顯微相機的光軸相互平行且垂直于所述載物臺上側面，所述可見顯微相機和紅外顯微相機能夠同時相對所述載物臺沿所述支架上下移動并定位，且所述可見顯微相機和紅外相機能夠分別沿其所在的水平面內左右移動并使其鏡頭正對置于所述載物臺上的目標物。可同時滿足微器件及微結構的清晰成像及細節(jié)分析需求，又能夠實現(xiàn)紅外熱分布的成像。
文檔編號G01J5/00GK202442791SQ201220024869
公開日2012年9月19日 申請日期2012年1月19日 優(yōu)先權日2012年1月19日
發(fā)明者吳健雄, 孔延梅, 李慶, 焦斌斌, 程騰, 高杰 申請人:昆山光微電子有限公司