專利名稱：振動噪聲校正用缺陷檢查裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及缺陷檢查技術(shù)，更詳細(xì)而言，涉及能防止因振動噪聲導(dǎo)致的誤檢并能提高缺陷檢出能力的振動噪聲校正用缺陷檢查裝置。
背景技術(shù)：
缺陷檢查系統(tǒng)是指，例如用照相機對印制電路板、偏振片、光學(xué)膜、相位差膜、離型膜等各種片狀產(chǎn)品的外觀進(jìn)行拍攝，根據(jù)拍攝的圖片對該產(chǎn)品是否有缺陷、灰塵、異物以及不均等不良情況進(jìn)行檢出的系統(tǒng)。片狀產(chǎn)品一般通過卷對卷(Rol 1-to-RolI)工序進(jìn)行移動，但此時，因電機、片狀產(chǎn)品所產(chǎn)生的張力、以及外部撞擊等而有可能產(chǎn)生振動。在該情況下，由于振動噪聲而在缺陷檢查系統(tǒng)中產(chǎn)生誤檢。例如在偏振片的情況下，在制造過程中因染料的不均勻染色或粘接不良等而沿偏振片的延伸方向有時會產(chǎn)生條狀的不均，當(dāng)用光學(xué)照相機對產(chǎn)生了不均的偏振片進(jìn)行拍攝時，則在拍攝圖片中產(chǎn)生了不均的部分會出現(xiàn)亮度偏差。可是，即使在光學(xué)檢查過程中產(chǎn)生振動噪聲的情況下，在拍攝圖片中也會出現(xiàn)亮度偏差。即、如圖1所示，可以確認(rèn)如下情況:當(dāng)在偏振片的移動中產(chǎn)生振動噪聲時，則在拍攝圖片中產(chǎn)生振動噪聲的部分會顯示出亮度偏差。在此，Μ/D方向表示偏振片的移動方向。在該情況下，由于難以判斷亮度偏差是因不均而產(chǎn)生的、或者是因振動噪聲而產(chǎn)生的，因而存在產(chǎn)生誤檢的問題。因此，就需要有一種在檢查過程中產(chǎn)生了振動噪聲時，能夠防止因振動噪聲而導(dǎo)致誤檢的裝置。另一方面，在偏振片上產(chǎn)生如不均那樣的缺陷的情況下，由于因不均導(dǎo)致的缺陷與其他種類的缺陷不同，其視覺辨認(rèn)性較差，因而存在相對于單位面積(即、用照相機拍攝一次時的偏振片的面積)的檢出能力下降的問題。但是，因不均導(dǎo)致的缺陷是造成事故的缺陷，由于其在偏振片的全部面積上連續(xù)產(chǎn)生，因而成為品質(zhì)不良的較大問題。因此，就需要有一種能夠早期檢出因不均導(dǎo)致的缺陷、并采取措施的裝置。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種振動噪聲校正用缺陷檢查裝置，其能夠降低因振動而導(dǎo)致的振動噪聲，并能夠提高因?qū)嶋H缺陷而導(dǎo)致的缺陷信號的識別性。本發(fā)明的目的在于，提供一種即使對于視覺辨認(rèn)性較差的不均缺陷，也能夠提高缺陷檢出能力的振動噪聲校正用缺陷檢查裝置。1.根據(jù)本發(fā)明一個實施方式的振動噪聲校正用缺陷檢查裝置包括:圖像獲取部，其獲取沿固定方向移送的片狀產(chǎn)品的圖像；以及圖像擴展部，其將由所述圖像獲取部獲取的圖像沿所述片狀產(chǎn)品的長度方向進(jìn)行擴展。2.在上述技術(shù)方案I中，所述圖像擴展部將由所述圖像獲取部獲取的圖像分割成多個區(qū)域，然后將分割成的各區(qū)域的水平長度擴展至所述獲取的圖像的水平長度。
3.在上述技術(shù)方案2中，所述圖像擴展部將所述獲取的圖像分割成多個區(qū)域，以使所述各區(qū)域的水平長度與振動噪聲信號的水平長度相同。4.在上述技術(shù)方案I中，所述振動噪聲校正用缺陷檢查裝置還包括:圖像重疊部，其用于重疊由所述圖像擴展部進(jìn)行擴展的圖像；缺陷檢出部，其用于從由所述圖像重疊部進(jìn)行重疊的圖像中檢出缺陷位置；以及監(jiān)控部，其將由所述缺陷檢出部檢出的缺陷位置顯示在畫面上。5.在上述技術(shù)方案4中，所述圖像重疊部按所述擴展圖像的各像素，對同一位置的像素亮度進(jìn)行累積。6.在上述技術(shù)方案4中，所述缺陷檢出部在確認(rèn)所述重疊圖像的亮度拐點之后，在所述亮度拐點超過已設(shè)定的臨界值時，檢出該拐點所示的位置即缺陷位置。7.根據(jù)本發(fā)明另一個實施方式的振動噪聲校正用缺陷檢查裝置包括:將沿固定方向移送的片狀產(chǎn)品的單位面積分割成多個區(qū)域并進(jìn)行高速拍攝的圖像獲取部，所述圖像獲取部以所述片狀產(chǎn)品圖像的水平分辨率高于垂直分辨率的方式進(jìn)行拍攝，并獲取所述片狀產(chǎn)品的圖像。8.在上述技術(shù)方案7中，所述圖像獲取部將所述片狀產(chǎn)品分割成多個區(qū)域，以使所述各區(qū)域的長度與振動噪聲信號的長度相同。9.所述振動噪聲校正用缺陷檢查裝置還包括:圖像重疊部，其用于重疊由所述圖像獲取部獲取的圖像；缺陷檢出部，其用于從由所述圖像重疊部進(jìn)行重疊的圖像中檢出缺陷位置；以及監(jiān)控部，其將由所述缺陷檢出部檢出的缺陷位置顯示在畫面上。10.在上述技術(shù)方案9中，所述圖像重疊部按所述擴展圖像的各像素，對同一位置的像素亮度進(jìn)行累積。11.在上述技術(shù)方案9中，所述缺陷檢出部在確認(rèn)所述重疊圖像的亮度拐點之后，在所述亮度拐點超過已設(shè)定的臨界值時，檢出該拐點所示的位置即缺陷位置。根據(jù)本發(fā)明的實施方式，能夠使片狀產(chǎn)品圖像中的振動噪聲信號減小的同時原樣地維持缺陷信號，并能夠提高缺陷信號的識別性。另外，由于通過對片狀產(chǎn)品的擴展圖像進(jìn)行重疊并放大缺陷信號，即使對于視覺辨認(rèn)性較差的缺陷，也能夠提高缺陷檢出能力，并能夠早期檢出不均等缺陷，因而能夠迅速地采取措施。


圖1是表不因振動噪聲/[目號而導(dǎo)致売度偏差的圖。圖2是表示本發(fā)明一個實施方式的振動噪聲校正用缺陷檢查裝置的結(jié)構(gòu)圖。圖3是表示本發(fā)明一個實施方式的圖像獲取部獲取連續(xù)移送的片狀產(chǎn)品的圖像的狀態(tài)圖。圖4是表示本發(fā)明一個實施方式的圖像擴展部對獲取圖像進(jìn)行擴展的狀態(tài)圖。圖5是表示片狀產(chǎn)品的獲取圖像的照片。圖6是表示片狀產(chǎn)品的擴展圖像的照片。圖7是表示本發(fā)明另一個實施方式的振動噪聲校正用缺陷檢查裝置的結(jié)構(gòu)圖。圖8是表示對通過一般的照相機獲取片狀產(chǎn)品的圖像的情況、與通過高速以及高分辨率照相機獲取片狀產(chǎn)品的圖像的情況進(jìn)行比較的圖。
附圖標(biāo)記說明102:圖像獲取部104:圖像擴展部106:圖像重疊部108:缺陷檢出部110:監(jiān)控部
具體實施例方式下面參照圖2至圖8，來說明本發(fā)明的振動噪聲校正用缺陷檢查裝置的具體實施方式
。但是，這只不過是舉例表示了實施方式，本發(fā)明并不受此限制。當(dāng)判斷出在本發(fā)明的說明中、與本發(fā)明的公知技術(shù)相關(guān)的具體說明反而有可能使本發(fā)明的要旨不明確時，則省略其詳細(xì)說明。而且，后述的術(shù)語是考慮到本發(fā)明的功能而進(jìn)行定義的術(shù)語，這可以根據(jù)用戶、操作員的意圖或慣例等進(jìn)行改變。因此，應(yīng)該基于整個說明書所記載的內(nèi)容而進(jìn)行該定義。本發(fā)明的技術(shù)思想由權(quán)利要求書的記載進(jìn)行確定，以下的實施方式，只不過是本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域的具有普通知識的技術(shù)人員用于有效說明具備創(chuàng)造性的本發(fā)明技術(shù)思想的一個手段。圖2是表示本發(fā)明一個實施方式的振動噪聲校正用缺陷檢查裝置的結(jié)構(gòu)圖。參照圖2，缺陷檢查裝置100包括:圖像獲取部102、圖像擴展部104、圖像重疊部106、缺陷檢出部108以及監(jiān)控部110。圖像獲取部102在沿固定方向移送的片狀產(chǎn)品150的上部對片狀產(chǎn)品150進(jìn)行拍攝，并獲取片狀產(chǎn)品150的圖像。作為片狀產(chǎn)品150，例如有偏振片、光學(xué)膜、相位差膜、離型膜等，但并不限于這些產(chǎn)品，還有除此以外的多種產(chǎn)品。圖像獲取部102包括:例如如數(shù)碼相機那樣的圖像拍攝裝置。圖像獲取部102能夠以已設(shè)定的拍攝速度對連續(xù)移送的片狀產(chǎn)品150進(jìn)行拍攝，并獲取片狀產(chǎn)品150的圖像。圖3是表示本發(fā)明一個實施方式的圖像獲取部獲取連續(xù)移送的片狀產(chǎn)品的圖像的狀態(tài)圖。參照圖3，通過沿固定方向移送片狀產(chǎn)品150，位于片狀產(chǎn)品150上部的圖像獲取部102首先獲取A-1地點處的片狀產(chǎn)品的圖像，之后，連續(xù)地依次獲取A-2、A-3、…、A_n地點處的片狀產(chǎn)品的圖像。圖像擴展部104將由圖像獲取部102所獲取的圖像(以下稱為“獲取圖像”)，沿片狀產(chǎn)品150的長度方向進(jìn)行擴展(Stretching)，并使振動噪聲信號降低(或者消除)。圖4是表示本發(fā)明一個實施方式的圖像擴展部對獲取圖像進(jìn)行擴展的狀態(tài)圖。參照圖4，獲取圖像160具有相當(dāng)于水平長度X垂直長度的大小。在此，水平長度表示:獲取圖像160中的朝向片狀產(chǎn)品150方向的長度；垂直長度表示:獲取圖像160中的朝向片狀產(chǎn)品150的寬度方向的長度。圖像擴展部104將獲取圖像160分割成多個區(qū)域a、b、C，然后將分割成的各區(qū)域
a、b、c的水平長度擴展至獲取圖像160的水平長度。于是，相對于一個獲取圖像160，能夠獲得多個擴展圖像160’。此時，各擴展圖像160’的大小與獲取圖像160相同。在該情況下，能夠使各擴展圖像160’中的振動噪聲信號降低的同時原樣地維持缺陷信號。
具體而言，在檢查片狀產(chǎn)品150的缺陷的過程中產(chǎn)生振動的情況下，由于振動使片狀產(chǎn)品150上下移動，因而振動噪聲信號就由片狀產(chǎn)品150的寬度方向所表示。但是，由于在制造片狀產(chǎn)品150的過程中產(chǎn)生的不均缺陷會連續(xù)出現(xiàn)在片狀產(chǎn)品150的特定位置處，因而基于不均的缺陷信號就由片狀產(chǎn)品150的長度方向(即移送方向)所表示。因此，如果通過圖像擴展部104，將獲取圖像沿片狀產(chǎn)品150的長度方向進(jìn)行擴展，就能夠降低(或者消除)沿片狀產(chǎn)品150的寬度方向所示的振動噪聲信號，同時能夠原樣地維持沿片狀產(chǎn)品150的長度方向(即移送方向)所示的缺陷信號。由此，擴展圖像160’表示:可提高因?qū)嶋H缺陷而導(dǎo)致的缺陷信號的識別性。當(dāng)圖像擴展部104將獲取圖像160分割成多個區(qū)域a、b、c時，各區(qū)域a、b、c的水平長度就能夠成為獲取圖像160中的振動噪聲信號所占的水平長度(S卩、沿片狀產(chǎn)品150的寬度方向所示的振動噪聲信號的寬度)。例如，獲取圖像160的水平長度是1000像素，在獲取圖像160中的振動噪聲信號所占的水平長度是100像素的情況下，圖像擴展部104能夠以水平長度100像素為單位將獲取圖像160分割成十個區(qū)域。在該情況下，如果將各區(qū)域a、b、c的水平長度擴展至獲取圖像160的水平長度，則由于在包含振動噪聲的擴展圖像160’中遍及全部該擴展圖像160’而顯示出振動噪聲，因而該擴展圖像160’沒有顯示出因振動噪聲而導(dǎo)致的亮度偏差，從而能夠消除振動噪聲。圖5是表示片狀產(chǎn)品的獲取圖像的照片。圖6是表示片狀產(chǎn)品的擴展圖像的照片。在此，圖6表示將片狀產(chǎn)品的獲取圖像分割成十個區(qū)域之后，將分割成的各區(qū)域的水平長度擴展至獲取圖像的水平長度的照片。參照圖5可以明確:片狀產(chǎn)品150的獲取圖像表示沿片狀產(chǎn)品150的寬度方向的多個振動噪聲信號。對此，參照圖6可以明確:片狀產(chǎn)品150的擴展圖像表示降低(或者消除)了沿片狀產(chǎn)品150的寬度方向所示的振動噪聲信號，并原樣地維持了沿片狀產(chǎn)品150的長度方向所示的缺陷信號，從而提高了缺陷信號的識別性。圖像重疊部106用于重疊由圖像擴展部104進(jìn)行擴展的圖像、即擴展圖像。例如，圖像重疊部106按各像素對兩個以上擴展圖像的亮度進(jìn)行累積，而生成一個重疊后的圖像。即、圖像重疊部106通過按擴展圖像的各像素，對同一位置的像素亮度進(jìn)行累積，而重疊擴展圖像。只要按擴展圖像的各像素對同一位置的像素亮度進(jìn)行累積，就能累積因不均那樣的缺陷而導(dǎo)致的亮度差并進(jìn)行表示。如上所述，不均等缺陷具有沿片狀產(chǎn)品150的長度方向在特定位置處會連續(xù)顯示的特點。此時，由于不均等缺陷的視覺辨認(rèn)性較差，因而在對單位面積(即、能夠利用如照相機那樣的拍攝裝置而拍攝一次時的面積)進(jìn)行檢查時，缺陷檢出能力就會下降。對此，在本發(fā)明的實施方式中，通過將擴展圖像進(jìn)行重疊，利用重疊圖像能夠在視覺上強調(diào)因缺陷而導(dǎo)致的亮度差，所述擴展圖像能使振動噪聲信號減小并提高缺陷信號的識別性，由此，即使對于單位面積的視覺辨認(rèn)性較差的缺陷，也能夠提高檢出能力。缺陷檢出部108用于分析由圖像重疊部106進(jìn)行重疊的圖像(以下稱為“重疊圖像”)，并從重疊圖像中檢出基于不均的缺陷位置。例如，缺陷檢出部108能夠在通過重疊圖像的各像素的微分值或標(biāo)準(zhǔn)偏差來確認(rèn)亮度的拐點之后，當(dāng)該拐點超過已設(shè)定的臨界值時，檢出該拐點所示的位置即缺陷位置。
監(jiān)控部110能夠?qū)⑷毕輽z出部108檢出的缺陷位置顯示在畫面上并由管理員進(jìn)行確認(rèn)。此時，監(jiān)控部Iio能夠在畫面上的缺陷位置處顯示出標(biāo)記。此外，在片狀產(chǎn)品150上產(chǎn)生了缺陷的情況下，監(jiān)控部110能夠發(fā)出報警聲。在該情況下，管理員能夠迅速地采取措施，即停止片狀產(chǎn)品150的制造，確認(rèn)缺陷的產(chǎn)生原因等。根據(jù)本發(fā)明的實施方式，能夠使片狀產(chǎn)品150的圖像中的振動噪聲信號減小，同時能夠原樣地維持缺陷信號，并能夠提高缺陷信號的識別性。另外，通過對片狀產(chǎn)品150的擴展圖像進(jìn)行重疊并放大缺陷信號，由此，即使對于視覺辨認(rèn)性較差的缺陷也能夠提高缺陷檢出能力，由于能夠早期檢出不均等缺陷，因而能夠迅速地采取措施。圖7是表示本發(fā)明另一個實施方式的振動噪聲校正用缺陷檢查裝置的結(jié)構(gòu)圖。參照圖7，缺陷檢查裝置200包括圖像獲取部202、圖像重疊部204、缺陷檢出部206以及監(jiān)控部208。在此，由于缺陷檢出部206以及監(jiān)控部208的結(jié)構(gòu)與圖2所示的缺陷檢出部108以及監(jiān)控部110相同，因而省略與此相關(guān)的說明。圖像獲取部202在沿固定方向移送的片狀產(chǎn)品250的上部對片狀產(chǎn)品250進(jìn)行拍攝，并獲取片狀產(chǎn)品250的圖像。此時，圖像獲取部202通過如高速以及高分辨率照相機那樣的圖像拍攝裝置而獲取片狀產(chǎn)品250的圖像。圖8是表示對通過一般的照相機獲取片狀產(chǎn)品圖像的情況、與通過高速以及高分辨率照相機獲取片狀產(chǎn)品圖像的情況進(jìn)行比較的圖。參照圖8，如果使用一般的照相機來拍攝片狀產(chǎn)品250的單位面積S，則會獲取相對于單位面積S而具有一定大小的圖像A。在此，如果將一般的照相機對片狀產(chǎn)品250拍攝一次而獲取相對于單位面積S的圖像的時間作為單位時間，則一般的照相機在單位時間內(nèi)就會獲取一個圖像A。另一方面，則形成圖像A的水平分辨率以及垂直分辨率均相同。例如，圖像A的各像素的水平長度以及垂直長度均能夠表示實際的片狀產(chǎn)品250的100 μ m的長度。對此，圖像獲取部202通過高速以及高分辨率照相機來獲取片狀產(chǎn)品250的圖像。例如，當(dāng)圖像獲取部202通過高速以及高分辨率照相機，將片狀產(chǎn)品250的單位面積沿片狀產(chǎn)品250的長度方向分割成多個區(qū)域S-l、S-2、S-3時，對分割成的每個區(qū)域S-l、S-2、S-3進(jìn)行拍攝。此時，圖像獲取部202通過高速拍攝，在單位時間內(nèi)拍攝了所有的被分割的各區(qū)域S-l、S-2、S-3。于是，圖像獲取部202在單位時間內(nèi)就會獲取多個圖像B-1、B-2、B-3。此外，當(dāng)圖像獲取部202通過高速以及高分辨率照相機來拍攝片狀產(chǎn)品250時，以各圖像Β-1、Β-2、Β-3的水平分辨率高于垂直分辨率的方式進(jìn)行拍攝。例如，將圖像獲取部202設(shè)為，各圖像B-1、B-2、B-3的各像素的水平長度就表示實際的片狀產(chǎn)品250的10 μ m的長度，各像素的垂直長度就表示實際的片狀產(chǎn)品250的100 μ m的長度。在該情況下，表示各圖像Β-1、Β-2、Β-3的水平分辨率比垂直分辨率高10倍。于是，如果將片狀產(chǎn)品250的單位面積分割成多個而進(jìn)行高速拍攝，同時以水平分辨率高于垂直分辨率的方式進(jìn)行拍攝，則由圖像獲取部202獲取的圖像，由于沿片狀產(chǎn)品250的長度方向顯示出非常細(xì)密的部分，因而，就能夠降低(或者消除)沿片狀產(chǎn)品250的寬度方向所不的振動噪聲信號。當(dāng)圖像獲取部202將片狀產(chǎn)品250分割成多個區(qū)域進(jìn)行拍攝時，能夠以各區(qū)域S-l、S-2、S-3的長度為振動噪聲信號的長度(即、沿片狀產(chǎn)品250的寬度方向所示的振動噪聲信號的寬度)的方式來分割片狀產(chǎn)品250，并進(jìn)行拍攝。在該情況下，由于在包含振動噪聲的圖像中遍及全部該圖像而顯示振動噪聲，因而該圖像不會顯示因振動噪聲而導(dǎo)致的亮度偏差，從而能夠消除振動噪聲。圖像重疊部204對圖像獲取部202所獲取的圖像進(jìn)行重疊。S卩、圖像重疊部204按各像素對兩個以上擴展圖像的亮度進(jìn)行累積，并生成一個重疊后的圖像。以上通過有代表性的實施方式，對本發(fā)明進(jìn)行了詳細(xì)說明，但本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域的具有普通知識的技術(shù)人員均了解如下情況:在不脫離本發(fā)明范疇的范圍內(nèi)能夠?qū)ι鲜鰧嵤┓绞竭M(jìn)行多種變形。因此，本發(fā)明的權(quán)利要求的范圍，不會由所說明的實施方式進(jìn)行限制并確定，該權(quán)利要求的范圍不僅必須由權(quán)利要求書進(jìn)行確定，而且必須由與該權(quán)利要求書相等的來確定。
權(quán)利要求
1.一種振動噪聲校正用缺陷檢查裝置，包括: 圖像獲取部，其獲取沿固定方向移送的片狀產(chǎn)品的圖像； 圖像擴展部，其將由所述圖像獲取部獲取的圖像沿所述片狀產(chǎn)品的長度方向進(jìn)行擴展。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的振動噪聲校正用缺陷檢查裝置，其中， 所述圖像擴展部將由所述圖像獲取部獲取的圖像分割成多個區(qū)域后，將分割成的各區(qū)域的水平長度擴展至所述獲取的圖像的水平長度。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的振動噪聲校正用缺陷檢查裝置，其中， 所述圖像擴展部將所述獲取的圖像分割成多個區(qū)域，以使所述各區(qū)域的水平長度與振動噪聲信號的水平長度相同。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的振動噪聲校正用缺陷檢查裝置，其中，還包括: 圖像重疊部，其用于重疊由所述圖像擴展部進(jìn)行擴展的圖像； 缺陷檢出部，其用于從由所述圖像重疊部進(jìn)行重疊的圖像中檢出缺陷位置； 監(jiān)控部，其將由所述缺陷檢出部檢出的缺陷位置顯示在畫面上。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的振動噪聲校正用缺陷檢查裝置，其中， 所述圖像重疊部按所述擴展圖像的各像素，對同一位置的像素亮度進(jìn)行累積。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的振動噪聲校正用缺陷檢查裝置，其中， 所述缺陷檢出部在確認(rèn)所述重疊圖像的亮度拐點之后，在所述亮度拐點超過已設(shè)定的臨界值時，檢出該拐點所示的位置即缺陷位置。
7.一種振動噪聲校正用缺陷檢查裝置，包括:將沿固定方向移送的片狀產(chǎn)品的單位面積分割成多個區(qū)域并進(jìn)行高速拍攝的圖像獲取部，其中， 所述圖像獲取部以所述片狀產(chǎn)品圖像的水平分辨率高于垂直分辨率的方式進(jìn)行拍攝，并獲取所述片狀產(chǎn)品的圖像。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的振動噪聲校正用缺陷檢查裝置，其中， 所述圖像獲取部將所述片狀產(chǎn)品分割成多個區(qū)域，以使所述各區(qū)域的長度與振動噪聲信號的長度相同。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的振動噪聲校正用缺陷檢查裝置，其中，還包括: 圖像重疊部，其用于重疊由所述圖像獲取部獲取的圖像； 缺陷檢出部，其用于從由所述圖像重疊部進(jìn)行重疊的圖像中檢出缺陷位置； 監(jiān)控部，其將由所述缺陷檢出部檢出的缺陷位置顯示在畫面上。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的振動噪聲校正用缺陷檢查裝置，其中， 所述圖像重疊部按所述擴展圖像的各像素，對同一位置的像素亮度進(jìn)行累積。
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的振動噪聲校正用缺陷檢查裝置，其中， 所述缺陷檢出部在確認(rèn)所述重疊圖像的亮度拐點之后，在所述亮度拐點超過已設(shè)定的臨界值時，檢出該拐點所示的位置即缺陷位置。
全文摘要
本發(fā)明涉及振動噪聲校正用缺陷檢查裝置。本發(fā)明的目的在于，提供一種能夠降低因振動而導(dǎo)致的振動噪聲，并能夠使因?qū)嶋H缺陷而導(dǎo)致的缺陷信號的識別性提高的振動噪聲校正用缺陷檢查裝置，并且，本發(fā)明的目的還在于，提供一種即使對于視覺辨認(rèn)性較差的不均缺陷，也能夠提高缺陷檢出能力的振動噪聲校正用缺陷檢查裝置。根據(jù)本發(fā)明一個實施方式的振動噪聲校正用缺陷檢查裝置，其包括圖像獲取部以及圖像擴展部，所述圖像獲取部用于獲取沿固定方向移送的片狀產(chǎn)品的圖像；所述圖像擴展部將由所述圖像獲取部獲取的圖像，沿所述片狀產(chǎn)品的長度方向進(jìn)行擴展。
文檔編號G01N21/88GK103163146SQ20121053895
公開日2013年6月19日 申請日期2012年12月13日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月13日
發(fā)明者樸宰賢, 樸一成, 尹永根 申請人:東友精細(xì)化工有限公司