專利名稱：半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備冷卻管路的滴漏水監(jiān)測裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造裝備技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種生產(chǎn)設(shè)備冷卻管路的滴漏水監(jiān)測裝置。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,去離子水(deionized water)常用作各種生產(chǎn)設(shè)備的冷卻水。參見附圖I中去離子水的冷卻管路示例，圖中以實(shí)線表示正常的水流方向，去離子水由入水管路輸送至生產(chǎn)設(shè)備頂部的冷卻圓頂(I)，再由若干外部管道(2)輸送至水箱(3)。冷卻管路在長期使用之后，不可避免的會(huì)產(chǎn)生滴漏的問題，例如外部管道的底部以及各類接頭位置都是易發(fā)生腐蝕進(jìn)而產(chǎn)生滴漏現(xiàn)象的位置。為了對(duì)滴漏水進(jìn)行監(jiān)測，現(xiàn) 有方法是在生產(chǎn)設(shè)備的下方布置盛漏盤(5)，在生產(chǎn)設(shè)備的底部開設(shè)對(duì)準(zhǔn)盛漏盤(5)的漏液口，并且在漏液口位置布置滴漏水傳感器出)。參見附圖I中的虛線，表示滴漏水的水流方向，當(dāng)生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部發(fā)生去離子水滴漏時(shí)，一方面盛漏盤能夠收集滴漏的去離子水，另一方面?zhèn)鞲衅髂軌虮O(jiān)測到滴漏，并發(fā)出報(bào)警信號(hào)。然而，此方法具有一定的局限性，因其只能監(jiān)測到生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部的滴漏，當(dāng)生產(chǎn)設(shè)備以外的管路發(fā)生滴漏時(shí)，由于滴漏水不會(huì)流經(jīng)傳感器，因此不會(huì)觸發(fā)報(bào)警信號(hào)，進(jìn)而可能導(dǎo)致影響正常生產(chǎn)的不良因素不能被及時(shí)探知。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是對(duì)半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備冷卻管路的滴漏水做到全方位的監(jiān)測。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提出一種半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備冷卻管路的滴漏水監(jiān)測裝置，該冷卻管路包括位于生產(chǎn)設(shè)備頂部的且與入水管路連接的冷卻圓頂，與冷卻圓頂連接的外部管道，與外部管道連接的水箱，位于生產(chǎn)設(shè)備下方的盛漏盤，以及開設(shè)在生產(chǎn)設(shè)備底部并對(duì)準(zhǔn)盛漏盤的漏液口，尤其的，所述滴漏水監(jiān)測裝置包括設(shè)置在盛漏盤內(nèi)的滴漏水傳感器。本發(fā)明通過在盛漏盤內(nèi)設(shè)置滴漏水傳感器，能夠全面監(jiān)測各個(gè)位置的滴漏水，及時(shí)發(fā)出報(bào)警信號(hào)，避免危害的發(fā)生。


通過附圖中所示的本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例的更具體說明，本發(fā)明的上述及其它目的、特征和優(yōu)勢將更加清晰。在全部附圖中相同的附圖標(biāo)記指示相同的部分。并未刻意按實(shí)際尺寸等比例縮放繪制附圖，重點(diǎn)在于示出本發(fā)明的主旨。圖I是現(xiàn)有技術(shù)中生產(chǎn)設(shè)備的冷卻管路及滴漏水監(jiān)測裝置示意圖；圖2是本發(fā)明提出的冷卻管路及滴漏水監(jiān)測裝置示意圖。
具體實(shí)施例方式參見圖2所示，本實(shí)施例提出一種半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備冷卻管路的滴漏水監(jiān)測裝置。該冷卻管路包括位于生產(chǎn)設(shè)備頂部的且與入水管路連接的冷卻圓頂1，與冷卻圓頂I連接的若干外部管道2，與外部管道2連接的水箱3，位于生產(chǎn)設(shè)備下方的盛漏盤5，以及開設(shè)在生產(chǎn)設(shè)備底部并對(duì)準(zhǔn)盛漏盤5的漏液口 6’。在某些場合中，水箱3固定在地面，且水箱3的外圍設(shè)置有外部盛漏箱4。尤其的，在所述盛漏盤5的內(nèi)設(shè)置有滴漏水傳感器7。當(dāng)生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部出現(xiàn)滴漏水時(shí)，滴漏水從漏液口 6’流入盛漏盤5 ;當(dāng)生產(chǎn)設(shè)備外圍的外部管2出現(xiàn)滴漏水時(shí)，滴漏水直接從流入盛漏盤5。無論水的來源如何，當(dāng)盛漏盤5內(nèi)出現(xiàn)積水時(shí)，滴漏水傳感器7均能監(jiān)測到，并且發(fā)出報(bào)警信號(hào)，必要時(shí)通知生產(chǎn)設(shè)備停機(jī)，因此能全方位的對(duì)任意位置的滴漏水進(jìn)行監(jiān)測。優(yōu)選的滴漏水傳感器7位于靠近漏液口 6’位置，因此能更快的對(duì)生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部的漏液做出響應(yīng)。另外，盛漏盤5通過管路8連接至盛漏箱4，能夠及時(shí)將盛漏盤5內(nèi)的積水引出，避免積水溢出污染周圍環(huán)境。本發(fā)明雖然以較佳實(shí)施例公開如上，但其并不是用來限定權(quán)利要求，任何本領(lǐng)域技術(shù)人員在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，都可以做出可能的變動(dòng)和修改，因此本發(fā)明的 保護(hù)范圍應(yīng)當(dāng)以本發(fā)明權(quán)利要求所界定的范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備冷卻管路的滴漏水監(jiān)測裝置，該冷卻管路包括位于生產(chǎn)設(shè)備頂部的且與入水管路連接的冷卻圓頂，與冷卻圓頂連接的外部管道，與外部管道連接的水箱，位于生產(chǎn)設(shè)備下方的盛漏盤，以及開設(shè)在生產(chǎn)設(shè)備底部并對(duì)準(zhǔn)盛漏盤的漏液口，其特征在于所述滴漏水監(jiān)測裝置包括設(shè)置在盛漏盤內(nèi)的滴漏水傳感器。
2.如權(quán)利要求I所述的滴漏水監(jiān)測裝置，其特征在于所述水箱固定在地面，水箱的外圍設(shè)置有外部盛漏箱。
3.如權(quán)利要求I所述的滴漏水監(jiān)測裝置，其特征在于所述滴漏水傳感器位于靠近漏液口的位置。
4.如權(quán)利要求2所述的滴漏水監(jiān)測裝置，其特征在于所述盛漏盤通過管路連接至盛漏箱。
全文摘要
本發(fā)明屬于半導(dǎo)體裝備技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種生產(chǎn)設(shè)備冷卻管路的滴漏水監(jiān)測裝置。該冷卻管路包括位于生產(chǎn)設(shè)備頂部的且與入水管路連接的冷卻圓頂，與冷卻圓頂連接的外部管道，與外部管道連接的水箱，位于生產(chǎn)設(shè)備下方的盛漏盤，以及開設(shè)在生產(chǎn)設(shè)備底部并對(duì)準(zhǔn)盛漏盤的漏液口，尤其的，所述滴漏水監(jiān)測裝置包括設(shè)置在盛漏盤內(nèi)的滴漏水傳感器。通過在盛漏盤內(nèi)設(shè)置滴漏水傳感器，能夠全面監(jiān)測各個(gè)位置的滴漏水，及時(shí)發(fā)出報(bào)警信號(hào)，避免危害的發(fā)生。
文檔編號(hào)G01M3/02GK102879152SQ20121036617
公開日2013年1月16日 申請(qǐng)日期2012年9月27日 優(yōu)先權(quán)日2012年9月27日
發(fā)明者代勇 申請(qǐng)人:上海宏力半導(dǎo)體制造有限公司