專利名稱：模塊以及電子設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及模塊以及電子設(shè)備。
背景技術(shù)：
例如，作為用于檢測物體的姿勢等的傳感器，公知有具有陀螺儀傳感器的姿勢角度檢測裝置(例如參照專利文獻I)。專利文獻I所記載的姿勢角度檢測裝置在撓性基板上配置3個振子(陀螺儀傳感器)，并且以使3個振子 的檢測軸相互垂直的方式彎折撓性基板來構(gòu)成。由此,能夠檢測相互垂直的3個軸的繞各軸的角速度。但是，在這種姿勢角度檢測裝置中，在軟質(zhì)且具有撓性的撓性基板上配置各振子，因此產(chǎn)生這些問題(1)振子的安裝比較困難；(2)難以使振子成為期望的姿勢，具體而言，難以成為振子的檢測軸相互垂直的狀態(tài)，并且難以維持該狀態(tài)。專利文獻I日本特開平11-211481號公報

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種傳感器元件的安裝簡單、并且能夠使傳感器元件成為期望的姿勢的模塊以及電子設(shè)備。利用下述的本發(fā)明來達成這種目的。本發(fā)明的模塊的特征在于，具有具有模擬電路的第I基板；具有數(shù)字電路的第2基板；具有第I傳感器元件的第3基板；第I連結(jié)部，其以電連接所述模擬電路與所述數(shù)字電路的方式連結(jié)所述第I基板與所述第2基板，并且具有撓性；以及第2連結(jié)部，其以電連接所述模擬電路與所述第I傳感器元件的方式連結(jié)所述第I基板與所述第3基板，并且具有撓性。由此，能夠得到傳感器元件的安裝簡單、且能夠使傳感器元件成為期望的姿勢的模塊。具體而言，能夠通過使第2連結(jié)部彎曲變形，簡單地改變傳感器元件相對于第I基板的姿勢，能夠簡單地恒定保持傳感器元件的姿勢。在本發(fā)明的模塊中，優(yōu)選具有具有第2傳感器元件的第4基板；以及第3連結(jié)部，其以電連接所述模擬電路與所述第2傳感器元件的方式連結(jié)所述第I基板與所述第4基板、或者所述第3基板與所述第4基板，所述第3連結(jié)部具有撓性。由此，能夠分別獨立改變第I傳感器元件和第2傳感器元件的姿勢。 在本發(fā)明的模塊中，優(yōu)選在所述第I基板上具有與所述模擬電路電連接的第3傳感器元件。由此，能夠分別獨立改變第I傳感器元件、第2傳感器元件和第3傳感器元件的姿勢。在本發(fā)明的模塊中，優(yōu)選所述第I基板、所述第3基板和所述第4基板配置為相互垂直。由此，能夠使第I傳感器元件、第2傳感器元件和第3傳感器元件成為相互垂直的姿勢。在本發(fā)明的模塊中，優(yōu)選所述第I傳感器元件、所述第2傳感器元件和所述第3傳感器元件分別為加速度傳感器或角速度傳感器。由此，能夠檢測角速度或加速度。在本發(fā)明的模塊中，優(yōu)選所述第I傳感器元件、所述第2傳感器元件和所述第3傳感器元件的檢測軸相互垂直。由此，能夠檢測相互垂直的3個軸的繞各軸的角速度。在本發(fā)明的模塊中，優(yōu)選所述第I基板與所述第2基板彼此彼此相對。由此，能夠更有效地抑制噪聲的產(chǎn)生。
在本發(fā)明的模塊中，優(yōu)選所述第3傳感器元件位于所述第I基板的與所述第2基板相反側(cè)的面上。由此，能夠抑制來自數(shù)字電路的噪聲給第3傳感器元件帶來不良影響。在本發(fā)明的模塊中，優(yōu)選具有具有接口用的連接器的第5基板；以及第4連結(jié)部，其以電連接所述數(shù)字電路與所述連接器的方式連結(jié)所述第2基板與所述第5基板。由此,信號的輸入、輸出變得容易。在本發(fā)明的模塊中，優(yōu)選所述第I基板和所述第2基板中的至少一方具有切口部，所述連結(jié)部從所述切口部延伸出。由此，能夠容易地使各連結(jié)部彎曲變形。在本發(fā)明的模塊中，優(yōu)選所述模擬電路包含電源電路、放大電路和模擬/數(shù)字轉(zhuǎn)換電路中的至少一個，所述數(shù)字電路包含微型控制器。由此，能夠簡單且正確地輸出用傳感器元件檢測到的信號。在本發(fā)明的模塊中，優(yōu)選該模塊具有具備多個固定面的支承部件，所述第I基板、所述第2基板和所述第3基板分別沿著所述固定面進行配置。由此，能夠簡單地維持傳感器元件的姿態(tài)。本發(fā)明的電子設(shè)備的特征在于，該電子設(shè)備具有本發(fā)明的模塊。由此，能夠得到可靠性優(yōu)異的電子設(shè)備。


圖I是示出本發(fā)明的模塊的第I實施方式的立體圖。圖2是圖I所示的模塊所具備的電路基板的展開圖。圖3是示出組裝圖2所示的電路基板后的狀態(tài)的立體圖。圖4是示出圖I所示的模塊所具備的角速度傳感器的一例的平面圖。圖5是示出圖I所示的模塊所具備的支承部件的立體圖。圖6是固定有電路基板的支承部件的橫剖視圖。圖7是固定有電路基板的支承部件的立體圖。圖8是圖I所示的模塊所具備的底座的立體圖。圖9是圖5所示的支承部件和圖8所示的底座的平面圖。圖10是本發(fā)明的第2實施方式的模塊具有的安裝基板的平面圖。圖11是示出搭載有本發(fā)明的模塊的電子設(shè)備的結(jié)構(gòu)的一例的圖。
標(biāo)號說明I :模塊;2、2A :安裝基板；21 :第I剛性基板；211 :正面?zhèn)劝惭b面；212 :背面?zhèn)劝惭b面;21a、21b :孔部;21c、21d、21e :切口部；22 :第2剛性基板；221 :正面?zhèn)劝惭b面；222 背面?zhèn)劝惭b面；22a、22b :孔部；22c、22d :切口部；23 第3剛性基板；231 :正面?zhèn)劝惭b面；23a、23b :孔部；24 :第4剛性基板；241 :正面?zhèn)劝惭b面；24a、24b :孔部；25 :第5剛性基板；251 :正面?zhèn)劝惭b面；252 :背面?zhèn)劝惭b面；25a、25b :孔部;26、26A :撓性基板；261 :第I連結(jié)部；262 第2連結(jié)部；263、263A 第3連結(jié)部；264 第4連結(jié)部；3 :支承部件；31 :上表面；31a,31b :螺紋孔；32 :下表面;32a、32b :螺紋孔；33 :側(cè)面；331 :凹部；332、333 :凸起；34 側(cè)面；341 :凹部；342、343 :凸起；35 :側(cè)面；352、353 :凸起；36 :側(cè)面;37、381、382 :貫通孔；4 :電子部件；411、412、413 :角速度傳感器；42 :加速度傳感器；431 :第I電源電路；432 :第2電源電路；44 :放大電路；45 :模擬/數(shù)字轉(zhuǎn)換電路；46 :微型控制器；47 :非易失性存儲器；48 :方位傳感器；49 :連接器；5 :振動片；51 :基部；52、53 :檢測用振動臂；54、55 :連結(jié)臂；56、57、58、59 :驅(qū)動用振動臂；6 :殼體；7 :底座；711、712 :長孔；7c、7d :側(cè)面；72 :凹部；741、742、743、744 :定位部;741a、742a、743a、744a :載置面；751、752 :凹部;761、762 :螺紋孔;81、82、83、84、85、86 :螺釘；9 :填充劑；10 :蓋部件；101 :開口 ;500 :電子設(shè)備；510 傳 感器模塊；520 :處理部；530 :存儲器；540 :操作部；550 :顯示部；560 :總線；AU A2、A3 :檢測軸。
具體實施例方式下面，根據(jù)附圖所示的優(yōu)選實施方式，對本發(fā)明的模塊和電子設(shè)備進行詳細(xì)說明。I.模塊《第I實施方式》首先，說明本發(fā)明的模塊的第I實施方式。圖I是示出本發(fā)明的模塊的第I實施方式的立體圖，圖2是圖I所示的模塊所具備的電路基板的展開圖，圖3是示出組裝圖2所示的電路基板后的狀態(tài)的立體圖，圖4是示出圖I所示的模塊所具備的角速度傳感器的一例的平面圖，圖5是示出圖I所示的模塊所具備的支承部件的立體圖，圖6是固定有電路基板的支承部件的橫剖視圖，圖7是固定有電路基板的支承部件的立體圖，圖8是圖I所示的模塊所具備的底座的立體圖，圖9是圖5所示的支承部件和圖8所示的底座的平面圖。此外，以下，為了方便說明，將圖I中的附圖上側(cè)設(shè)為“上”、附圖下側(cè)設(shè)為“下”來進行說明。此外，如圖I所示，將相互垂直的3個軸設(shè)為“X軸”、“y軸”和“z軸”。z軸是與底座7的法線方向平行的軸，X軸是在底座7的平面視圖中與底座7的相對的I組邊的延伸方向平行的軸，I軸是與底座7的相對的另I組邊的延伸方向平行的軸。圖I所示的模塊I是具有角速度傳感器411 413，并能夠檢測繞相互垂直的x軸、y軸、z軸的角速度的3軸陀螺儀傳感器模塊。這樣的模塊I在便利性方面良好，例如適合應(yīng)用于運動搜索、運動跟蹤、運動控制、PDR (步行者位置方位計測)等。如圖I (a)、(b)所示，模塊I具有電子部件4、安裝電子部件4的安裝基板2、支承并固定安裝基板2的支承部件3以及保持支承部件3的殼體6。另外，圖I (b)是省略該圖(a)所示的模塊I的蓋部件10的圖示后的圖。
下面對這各個部件依次進行說明。<安裝基板2>安裝基板2是由硬質(zhì)而難以變形的剛性基板和軟質(zhì)而容易變形的撓性基板組合而成的剛性撓性基板。作為這樣的安裝基板2，可采用公知的剛性撓性基板，例如在撓性基板兩側(cè)粘貼玻璃環(huán)氧基板等硬質(zhì)層并將該部分用作剛性基板的基板等。圖2 Ca)是從一面?zhèn)扔^察展開后的狀態(tài)的安裝基板2的平面圖，圖2 (b)是從與圖2 (a)相反一面?zhèn)扔^察展開后的狀態(tài)的安裝基板2的平面圖。如圖2所示，安裝基板2由相互隔開配置的第I剛性基板(第I基板)21、第2剛性基板(第2基板)22、第3剛性基板(第3基板)23、第4剛性基板(第4基板)24、第5剛性基板(第5基板)25以及對它們進行連結(jié)的撓性基板26構(gòu)成。撓性基板26具有連結(jié)第I剛性基板21和第2剛性基板22的第I連結(jié)部261、連 結(jié)第I剛性基板21和第3剛性基板23的第2連結(jié)部262、連結(jié)第I剛性基板21和第4剛性基板24的第3連結(jié)部263以及連結(jié)第2剛性基板22和第5剛性基板25的第4連結(jié)部264。第I連結(jié)部261、第2連結(jié)部262、第3連結(jié)部263和第4連結(jié)部264分別具有撓性，且能夠容易地進行朝面方向的彎曲變形。另外，在第I剛性基板21的兩端部形成有孔部21a、21b，在第2剛性基板22的兩端部形成有孔部22a、22b，在第3剛性基板23的兩端部(處于對角關(guān)系的兩個角部)形成有孔部23a、23b，在第4剛性基板24的兩端部(處于對角關(guān)系的兩個角部)形成有孔部24a、24b，在第5剛性基板25的兩端部形成有孔部25a、25b。這些孔部21a 25b用于將第I 第5剛性基板21 25固定到支承部件3。另外，所謂孔部，包含從一個面貫通到另一個面的結(jié)構(gòu)、和在一個面上具有開口而不貫通到另一個面的結(jié)構(gòu)這兩個結(jié)構(gòu)。這種安裝基板2能夠通過使撓性基板26的各連結(jié)部261 264彎折(彎曲)而變形為圖3所示的長方體形狀。具體地說，可通過以使各剛性基板21 25的正面?zhèn)劝惭b面211 251朝向內(nèi)側(cè)的方式彎折連結(jié)部261 264，來變形為相鄰的剛性基板彼此垂直的長方體形狀。在該狀態(tài)下，第I剛性基板21構(gòu)成下表面，第2剛性基板22構(gòu)成上表面，第3、第4、第5剛性基板23、24、25構(gòu)成側(cè)面。如圖I所示，安裝基板2在這樣變形后的狀態(tài)下被支承部件3支承、固定。換言之，安裝基板2被設(shè)計成能夠變形為與支承部件3對應(yīng)的形狀。這樣利用剛性撓性基板構(gòu)成安裝基板2，由此能夠使安裝基板2容易地變形，因此能夠簡單地將安裝基板2固定到支承部件3上。此外，因為通過連結(jié)部261 264將各剛性基板21 25連結(jié)為一體，所以從這一點講，也能夠簡單且順利地將安裝基板2固定到支撐部件3上。此外，通過具有多個剛性基板，電子部件4的配置自由度得以提高。另外，通過在硬質(zhì)的剛性基板上安裝電子部件4，可抑制電子部件4 (特別是角速度傳感器411 413)的不必要的振動，模塊I的檢測精度得到提高。此外，容易在安裝基板2上安裝電子部件4。此外，容易獲取電子部件4的平行度，特別是能夠簡單地使角速度傳感器411 413成為期望的姿勢，并且維持該姿勢。此外，通過在剛性基板上安裝電子部件4，還能夠?qū)﹄娮硬考?進行高密度安裝。尤其是，在本實施方式中，第I剛性基板21具有在其緣部(外周)開放的第I切口部21c、第2切口部21d、第3切口部21e。第I切口部21c是對第I剛性基板21的圖2(a)中的右側(cè)的邊附加臺階而形成的，第I連結(jié)部261從該第I切口部21c延伸出。同樣，第2切口部21d是對第I剛性基板21的圖2 (a)中的上側(cè)的邊附加臺階而形成的，第2連結(jié)部262從該第2切口部21d延伸出。此外，第3切口部21e是對第I剛性基板21的圖2 (a)中的左側(cè)的邊附加臺階而形成的，第3連結(jié)部263從該第3切口部21e延伸出。通過在第I剛性基板21上形成第I切口部21c，能夠使第I連結(jié)部261在與第I剛性基板21間的連接部附近(更靠近第I剛性基板21的一側(cè))簡單地彎曲變形，并且，能夠?qū)澢冃魏蟮那拾霃奖３值幂^大。此外，能夠抑制彎折部分的、從第I剛性基板21的外周的過度突出，從而實現(xiàn)模塊I的小型化。另外，關(guān)于第2切口部21d和第3切口部21e也能夠得到同樣的效果。此外，在本實施方式中，第2剛性基板22具有在其緣部(外周)開放的第4切口部22c和第5切口部22d。第4切口部22c是對第2剛性基板22的圖2 (a)中的左側(cè)的邊附加臺階而形成的，第I連結(jié)部261從該第4切口部22c延伸出。同樣，第5切口部22d是對第2剛性基板22的圖2 (a)中的下側(cè)的邊附加臺階而形成的，第4連結(jié)部264從該第5切 口部22d延伸出。通過在第2剛性基板22上形成第4切口部22c，能夠使第I連結(jié)部261在與第2剛性基板22的連接部附近(更靠近第2剛性基板22的一側(cè))簡單地彎曲變形，并且，能夠?qū)澢冃魏蟮那拾霃奖３值幂^大。此外，能夠抑制彎折部分的從第2剛性基板22的外周的過度突出，從而實現(xiàn)模塊I的小型化。另外，關(guān)于第5切口部22d也能夠得到同樣的效
果O以上說明了安裝基板2。另外，在安裝基板2的各剛性基板21 25和撓性基板26上形成有未圖示的導(dǎo)體圖案，多個電子部件4經(jīng)由該導(dǎo)體圖案而適當(dāng)?shù)仉娺B接。以下，為了便于說明，將各剛性基板21 25的在圖2 (a)中圖示的面稱作“正面?zhèn)劝惭b面”，將在圖2(b)中圖示的面稱作“背面?zhèn)劝惭b面”。此外，在安裝基板2上形成有未圖示的接地層，該接地層發(fā)揮阻斷外部磁場的功能。因此，可以在圖3所示的狀態(tài)下，對于處于安裝基板2內(nèi)側(cè)的電子部件4(即，安裝在正面?zhèn)劝惭b面211 251上的電子部件4)，能夠排除來自模塊I外部的外部磁場(外來噪聲)造成的影響。<電子部件4>如圖2 (a)、(b)所示，在安裝基板2上安裝有多個電子部件4。另外，在安裝基板2上安裝有如下部件作為電子部件4:單軸檢測型的三個角速度傳感器411 413 ;3軸檢測型的加速度傳感器42 ;用于驅(qū)動各種電子部件的第I電源電路431和第2電源電路432 ;對來自傳感器(411 413、42)的輸出信號進行放大的放大電路44 ;將由放大電路44放大后的模擬信號轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號的模擬/數(shù)字轉(zhuǎn)換電路45 ;進行期望的控制的微型控制器46 ；EEPROM等非易失性存儲器47 ;檢測方位的方位傳感器(磁傳感器)48 ;以及接口用的連接器49。另外，此處，加速度傳感器42采用以I個元件進行3軸檢測的結(jié)構(gòu)，但是也可以與角速度傳感器同樣地采用3個單軸檢測的加速度傳感器。以下，對這些電子部件4的配置進行詳細(xì)說明。(第I剛性基板21)在第I剛性基板21的正面?zhèn)劝惭b面211上安裝有第I電源電路431、放大電路44和模擬/數(shù)字轉(zhuǎn)換電路45，在背面?zhèn)劝惭b面212上安裝有檢測繞z軸的角速度的角速度傳感器(第I傳感器元件)411和加速度傳感器42。另外，也可以在正面?zhèn)劝惭b面211安裝角速度傳感器411和加速度傳感器42，在背面?zhèn)劝惭b面212安裝第I電源電路431、放大電路44和模擬/數(shù)字轉(zhuǎn)換電路45。模擬/數(shù)字轉(zhuǎn)換電路45相對于安裝在正面?zhèn)劝惭b面211上的其它電子部件4(第I電源電路431和放大電路44)尺寸較大。因此，優(yōu)選將模擬/數(shù)字轉(zhuǎn)換電路45配置在正面?zhèn)劝惭b面211的中央部。由此，能夠?qū)⒛M/數(shù)字轉(zhuǎn)換電路45有效地用作增強第I剛性基板21的強度的增強部件。因此，可抑制第I剛性基板21的撓曲變形所引起的不希望的振動，不會向角速度傳感器411 413傳遞不必要的振動，從而使角速度傳感器411 413(特別是安裝在第I剛性基板21上的角速度傳感器411)的角速度的檢測精度提高。此外，優(yōu)選將角速度傳感器411和加速度傳感器42配置在背面?zhèn)劝惭b面212的緣部(尤其是孔部21a、21b中的任意一方的附近)。如后所述，第I剛性基板21借助孔部21a、21b通過螺釘緊固方式固定于支承部件3。因此，孔部21a、21b的附近(第3剛性基板23的緣部)不容易變形，不容易產(chǎn)生不必要的振動。由此，通過在這樣的場所配置角速度傳感 器411以及加速度傳感器42，能夠以更高的精度檢測角速度以及加速度。此外，通過將角速度傳感器411和加速度傳感器42安裝到背面?zhèn)劝惭b面212，能夠進一步增大在安裝基板2被固定于支承部件3的狀態(tài)下與微控制器46之間的距離。并且，可使第I剛性基板21的接地層位于角速度傳感器411以及加速度傳感器42與微控制器46之間。因此，能夠防止從微控制器46產(chǎn)生的輻射噪聲給角速度傳感器411以及加速度傳感器42帶來不良影響，能夠提高角速度傳感器411以及加速度傳感器42的檢測精度。(第2剛性基板22)在第2剛性基板22的正面?zhèn)劝惭b面221上安裝有微型控制器46，在背面?zhèn)劝惭b面222上安裝有啟動微型控制器46的第2電源電路432、保存數(shù)據(jù)的非易失性存儲器47和方位傳感器48。微型控制器46相對于安裝在第2剛性基板22上的其它電子部件(非易失性存儲器47和方位傳感器48)尺寸較大。因此，優(yōu)選將微型控制器46配置在正面?zhèn)劝惭b面221的中央部。由此，能夠?qū)⑽⑿涂刂破?6有效地用作增強第2剛性基板22的強度的增強部件。因此，可抑制第2剛性基板22的撓曲變形引起的不必要的振動，不會向角速度傳感器411 413傳遞不必要的振動，從而使角速度傳感器411 413的角速度的檢測精度提高。此外，可利用第2剛性基板22的所述接地層阻斷從微型控制器46產(chǎn)生的輻射噪聲，因此可通過將方位傳感器48安裝到與微型控制器46相反的安裝面上，有效地防止輻射噪聲(磁場)到達方位傳感器48而給方位傳感器48帶來不良影響。因此，能夠提高方位傳感器48的檢測精度。(第3剛性基板23)在第3剛性基板23的正面?zhèn)劝惭b面231上安裝有檢測繞x軸的角速度的角速度傳感器(第2傳感器元件)412。(第4剛性基板24)在第4剛性基板24的正面?zhèn)劝惭b面241上安裝有檢測繞y軸的角速度的角速度傳感器(第3傳感器元件)413。
(第5剛性基板25)在第5剛性基板25的背面?zhèn)劝惭b面252上安裝有接口用的連接器49。由此，能夠簡單地進行信號的輸出、和溫度校正系數(shù)等信號的輸入。以上，對電子部件4的配置進行了詳細(xì)說明。在安裝基板2中，在第I剛性基板21上形成有包含第I電源電路431、放大電路44和模擬/數(shù)字轉(zhuǎn)換電路45的模擬電路，在第2剛性基板22上形成有包含微型控制器46的數(shù)字電路。這樣，通過在不同的基板上形成模擬電路和數(shù)字電路，能夠抑制從數(shù)字電路產(chǎn)生的高頻噪聲傳播到模擬電路，能夠發(fā)揮優(yōu)異的可靠性和檢測精度。此外，在本實施方式中，分別準(zhǔn)備了模擬電路用的電源和數(shù)字電路用的電源。即，作為模擬電路用電源而具有第I電源電路431，作為數(shù)字電路用電源而具有第2電源電路432。此外，關(guān)于所述接地層，也分別準(zhǔn)備了模擬電路用的接地層和數(shù)字電路用的接地層。通 過采用這種結(jié)構(gòu)，能夠更有效地抑制噪聲的產(chǎn)生，從而模塊I的檢測精度進一步提高。作為角速度傳感器411 413，只要能夠檢測角速度則沒有特別限定，可使用公知的單軸檢測型的角速度傳感器。作為這種角速度傳感器411 413，例如可使用具有圖4所示的振動片5的傳感器。振動片5由石英(壓電材料)構(gòu)成。此外，振動片5具有基部51 ;從基部51的兩側(cè)向紙面縱向延伸的一對檢測用振動臂52、53 ;從基部51的兩側(cè)向紙面橫向延伸的一對連結(jié)臂54、55 ;以及從各連結(jié)臂54、55前端部的兩側(cè)向紙面縱向延伸的各一對驅(qū)動用振動臂56、57、58、59。另外，在各檢測用振動臂52、53的表面上形成有檢測用電極(未圖示)，在驅(qū)動用振動臂56、57、58、59的表面上形成有驅(qū)動用電極(未圖示)。在這種振動片5中，對驅(qū)動用電極施加電壓，由此在使驅(qū)動用振動臂56、58和驅(qū)動用振動臂57、59以彼此反復(fù)接近/分離的方式進行振動的狀態(tài)下，施加振動片5的繞法線A的角速度ω時，哥氏力被施加給振動片5，由此激勵出檢測用振動臂52、53的振動。然后，利用檢測用電極來檢測由于檢測用振動臂52、53的振動而產(chǎn)生的檢測用振動臂52、53的變形，由此能夠求出施加到振動片5的角速度。[支承部件]如圖5和圖6所示，支承部件3呈大致長方體形狀，具有相對配置的上表面31和下表面32、以及對它們進行連接的4個側(cè)面33、34、35、36。在這種支承部件3中，至少相鄰的兩個側(cè)面與上表面31或下表面32以相互垂直的方式高精度地形成。另外，在本實施方式中，相鄰的面全部以相互垂直的方式高精度地形成。如后所述，下表面32、側(cè)面33以及側(cè)面34是對安裝有角速度傳感器411 413的第I、第3、第4剛性基板21、23、24進行固定的面。因此，通過相互垂直地形成這3個面，能夠以檢測軸Al A3相互垂直的姿勢正確地配置角速度傳感器411 413。因此，根據(jù)模塊I，可高精度地檢測繞各軸(X軸、y軸和z軸)的角速度。(側(cè)面33)側(cè)面33構(gòu)成對第3剛性基板23進行固定的固定面。第3剛性基板23在其正面?zhèn)劝惭b面231朝向支承部件3側(cè)(內(nèi)側(cè))的狀態(tài)下固定于側(cè)面33。具體地說，支承部件3具有從側(cè)面33的兩端部突出兩個凸起332、333，在第3剛性基板23上形成的孔部23a、23b與該凸起332、333卡合。由此，如圖7所示，第3剛性基板23固定于側(cè)面33。
這樣通過采用2個凸起332、333，可進行第3剛性基板23相對于側(cè)面33的定位，同時將第3剛性基板23固定于側(cè)面33。尤其是，通過在側(cè)面33的兩端部形成凸起332、333，使凸起332、333的間隔距離變長，由此能夠更高精度地進行第3剛性基板23的定位。第3剛性基板23在側(cè)面33上的固定進一步優(yōu)選同時使用基于粘接劑的粘接。由此，能夠?qū)⒌?剛性基板23更牢固地固定于側(cè)面33。該情況對于后述的其它剛性基板21、22、24、25也同樣如此。此外，支承部件3在側(cè)面33具有開放的凹部331。該凹部331是與角速度傳感器412的位置以及外形對應(yīng)地形成的，在將第3剛性基板23固定到側(cè)面33的狀態(tài)下，角速度傳感器412被收容到凹部331內(nèi)。即，凹部331構(gòu)成了用于防止支承部件3與角速度傳感器411之間的接觸的避讓部。通過形成這樣的凹部331，能夠有效利用支承部件3的內(nèi)部空間，實現(xiàn)模塊I的小型化。另外，也可以利用粘接劑等將角速度傳感器412的頂面(與安裝于第I剛性基板21上的面相反側(cè)的面)與支承部件的凹部331的表面接合。通過采用這樣的結(jié)構(gòu)，能夠加 強傳感器元件與支承部件的接合。(側(cè)面34)側(cè)面34構(gòu)成對第4剛性基板24進行固定的固定面。第4剛性基板24以其正面?zhèn)劝惭b面241朝向支承部件3側(cè)(內(nèi)側(cè))的狀態(tài)固定于側(cè)面34。具體地說，支承部件3具有從側(cè)面34的兩端部凸出的2個凸起342、343，在第4剛性基板24上形成的孔部24a、24b與該凸起342、343卡合。由此，如圖7所示，將第4剛性基板24固定于側(cè)面34。另外，支承部件3在側(cè)面34具有開放的凹部341。該凹部341是與角速度傳感器413的位置以及外形對應(yīng)地形成的，在將第4剛性基板24固定到側(cè)面34的狀態(tài)下，角速度傳感器413被收容到凹部341內(nèi)。S卩，凹部341構(gòu)成了用于防止支承部件3與角速度傳感器413的接觸的避讓部。通過形成這樣的凹部341，能夠有效利用支承部件3的內(nèi)部空間，能夠?qū)崿F(xiàn)模塊I的小型化。另外，也可以利用粘接劑等將角速度傳感器413的頂面(與安裝于第2剛性基板22上的面相反側(cè)的面)與支承部件的凹部341的表面接合。通過構(gòu)成這樣的結(jié)構(gòu)，能夠加強傳感器元件與支承部件的接合。(側(cè)面35)側(cè)面35構(gòu)成對第5剛性基板25進行固定的固定面。第5剛性基板25在其正面?zhèn)劝惭b面251朝向支承部件3側(cè)(內(nèi)側(cè))的狀態(tài)下被固定到側(cè)面35。即，在使連接器49露出到模塊I的外側(cè)的狀態(tài)下，第5剛性基板25固定到側(cè)面35。具體地說，支承部件3具有從側(cè)面35的兩端部突出的兩個凸起352、353，在第5剛性基板25上形成的孔部25a、25b與該凸起352、353卡合。由此，如圖7所示，第5剛性基板25固定到側(cè)面35。(下表面32)下表面32構(gòu)成對第I剛性基板21進行固定的固定面。第I剛性基板21在其正面?zhèn)劝惭b面211朝向支承部件3側(cè)(內(nèi)側(cè))的狀態(tài)下被固定到下表面32。具體地說，支承部件3具有在下表面32的處于對角關(guān)系的兩個角部形成的兩個螺紋孔32a、32b。將在第I剛性基板21上形成的孔部21a、21b對準(zhǔn)于該螺紋孔32a、32b，并利用螺釘81、82進行螺釘緊固，由此,如圖7所示，第I剛性基板21固定于下表面32。另外，也可以替代螺紋孔32a、32b設(shè)置凸起部，并對該凸起部與孔部21a、21b卡合來進行固定。另外，支承部件3具有貫通上表面31與下表面32的貫通孔37。在將第I剛性基板21固定到下表面32的狀態(tài)下，在貫通孔37內(nèi)收納有安裝在正面?zhèn)劝惭b面211的第I電源電路431、放大電路44和模擬/數(shù)字轉(zhuǎn)換電路45。S卩，貫通孔37成為角速度傳感器413和加速度傳感器42的收納空間，從而有助于模塊的小型化、薄型化。此外，貫通孔37構(gòu)成了用于防止支承部件3與第I電源電路431、放大電路44以及模擬/數(shù)字轉(zhuǎn)換電路45的接觸的避讓部。通過形成這種貫通孔37，能夠有效地應(yīng)用支承部件3的內(nèi)部空間，能夠?qū)崿F(xiàn)模塊I的小型化(薄型化)。(上表面31)上表面31構(gòu)成對第2剛性基板22進行固定的固定面。第2剛性基板22在其正面?zhèn)劝惭b面221朝向支承部件3側(cè)(內(nèi)側(cè))的狀態(tài)下被固定到上表面31。具體地說，支承部件3具有在上表面31的處于對角關(guān)系的兩個角部形成的兩個螺紋孔31a、31b。這些螺紋孔3la、3Ib與形成在下表面32上的螺紋孔32a、32b相對形成。將在第2剛性基板22上形 成的孔部22a、22b對準(zhǔn)于該螺紋孔31a、31b，并利用螺釘83、84進行螺釘緊固，由此，如圖7所示，第2剛性基板22固定到上表面31。此外，如上所述，支承部件3具有貫通孔37。在將第2剛性基板22固定到上表面31的狀態(tài)下，在貫通孔37內(nèi)收納有安裝在正面?zhèn)劝惭b面221上的微型控制器46。S卩，貫通孔37構(gòu)成了用于防止支承部件3與微型控制器46的接觸的避讓部。通過形成這種貫通孔37，能夠有效地應(yīng)用支承部件3的內(nèi)部空間，能夠?qū)崿F(xiàn)模塊I的小型化(薄型化)。此外，在支承部件3上，形成有在上表面31和下表面32的緣部對這兩個面進行貫通的兩個貫通孔381、382。這2個貫通孔381、382形成為貫通上表面31的處于對角關(guān)系的2個角部即未形成螺紋孔31a、31b的2個角部、以及與這2個角部對應(yīng)的下表面32的角部。如后所述，這樣的貫通孔381、382是通過螺釘緊固方式將支撐部件3固定于底座7時用于插入螺釘?shù)穆菁y孔。此外，作為支承部件3的構(gòu)成材料，沒有特別限定，但例如優(yōu)選是硬質(zhì)的材料，以在從外部施加壓力時防止變形。由此，能夠更可靠地維持下表面32、側(cè)面33和側(cè)面34相互垂直的狀態(tài)，能夠較高地維持模塊I的檢測精度。對這樣的材料沒有特別限定，例如可舉出鐵、鎳、銅、鋁等各種金屬、或者包含它們中的至少I種的合金或金屬間化合物、以及這些金屬的氧化物等。其中，作為合金，例如可舉出不銹鋼、鉻鎳鐵合金(inconel)以及其它合金，例如硬鋁合金等各種鋁系列合金。這樣，通過用金屬材料構(gòu)成支承部件3，能夠發(fā)揮如下的效果。即，當(dāng)用金屬材料那樣的具有高導(dǎo)電率的材料構(gòu)成支承部件3時，可利用支承部件3阻斷從微型控制器46等產(chǎn)生的輻射噪聲。因此，能夠防止這種輻射噪聲到達凹部331、341內(nèi)的角速度傳感器412、413而對這些傳感器帶來不良影響。其結(jié)果，可利用角速度傳感器412、413高精度地檢測角速度。另外，作為上述硬質(zhì)材料，除了上述金屬材料之外，例如還可以舉出聚乙烯、聚丙烯、乙烯-丙烯共聚物等聚烯烴、聚氯乙烯、聚苯乙烯、聚酰胺、聚酰亞胺、聚碳酸酯、聚(4-甲基戊烯-I)、離聚物、丙烯酸類樹脂、聚甲基丙烯酸甲酯、丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物(ABS樹脂)、丙烯腈-苯乙烯共聚物(AS樹脂)、丁二烯-苯乙烯共聚物、聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚對苯二甲酸丁二醇酯(PBT)等聚酯、聚醚、聚醚酮(PEK)、聚醚醚酮(PEEK)、聚醚酰亞胺、聚縮醛(POM)、聚苯醚、聚砜、聚醚砜、聚苯硫醚、聚芳酯、芳香族聚酯(液晶聚合物)、聚四氟乙烯、聚偏二氟乙烯、其他氟類樹脂、環(huán)氧樹脂、酚樹脂、尿素樹脂、三聚氰胺樹脂、硅樹脂、聚氨酯等、或者以這些材料為主的共聚物、混合體、聚合物合金等，還可以組合這些材料中的I種或2種以上進行使用。另外，作為支承部件3的構(gòu)成材料，優(yōu)選的是能夠發(fā)揮吸收不必要振動的防振、隔振功能的彈性材料。作為這樣的材料，例如可以舉出天然橡膠、異戊二烯橡膠、丁二烯橡膠、丁苯橡膠、丁腈橡膠、氯丁橡膠、丁基橡膠、丙烯酸類橡膠、乙烯-丙烯橡膠、硅橡膠、氟橡膠這樣的各種橡膠材料(特別是經(jīng)硫化處理的橡膠材料)、或者苯乙烯類、聚烯烴類、聚氯乙烯類、聚氨酯類、聚酯類、聚酰胺類、聚丁二烯類、反式聚異戊二烯類、氟橡膠類、氯化聚乙烯類等各種熱塑性彈性體，還可以混合這些材料中的I種或2種以上進行使用。另外，作為支承部件3的構(gòu)成材料，為了同時實現(xiàn)不易變形和防振、隔振功能，優(yōu)選采用隔振鋼。 這樣的支承部件3具有相互垂直的3個面即下表面32、側(cè)面33以及側(cè)面34，所以，只需在下表面32上固定安裝有角速度傳感器411的第I剛性基板21、在側(cè)面33上固定安裝有角速度傳感器412的第3剛性基板23、在側(cè)面34上固定安裝有角速度傳感器413的第4剛性基板24，即可簡單且可靠地相互垂直地配置3個角速度傳感器411 413。S卩，能夠?qū)⒔撬俣葌鞲衅?11的檢測軸Al、角速度傳感器412的檢測軸A2和角速度傳感器413的檢測軸A3配置成相互垂直。因此，能夠簡單地提高模塊I的角速度的檢測精度。另外，角速度傳感器412、413比安裝基板2更靠支承部件3側(cè)。因此，利用第3剛性基板23防止角速度傳感器412露出于模塊I的外部，利用第4剛性基板24防止角速度傳感器413露出于模塊I的外部。根據(jù)這樣的配置，例如在模塊I的制造時或?qū)⒛KI組裝于其它電子設(shè)備時，角速度傳感器412、413不會與作業(yè)人員或制造設(shè)備等接觸，能夠有效防止這些傳感器類部件的損壞。另外，如上所述，可利用安裝基板2所具有的接地層來阻斷外部磁場，所以角速度傳感器412、413不會受到上述磁場的影響，能夠利用這些傳感器類部件高精度地檢測角速度。[殼體]如圖I所示，殼體(保持部件)6具有固定支承部件3的底座7、和覆蓋固定在底座7上的支承部件3的蓋部件(蓋)10。以下，依次說明底座7和蓋部件10。(底座7)如圖8所示，底座7呈板狀并具有大致矩形的平面視圖形狀。這樣，使底座7成為大致矩形的平面視圖形狀，由此容易從模塊I的外部確認(rèn)X軸、y軸、z軸(角速度傳感器411 413的檢測軸Al A3)的各軸，并在將模塊I搭載到未圖示的對象物(例如電子設(shè)備側(cè)的電路基板)等上時，容易進行其搭載(定位)。此外，底座7的下表面與xy平面(由X軸和y軸形成的平面)平行。由此，在將模塊I安裝到對象物上時，對象物的安裝面與xy平面平行。因此例如，在后述的電子設(shè)備500等中，能夠簡單地進行對象物的配設(shè)，能夠利用模塊I更正確地檢測繞各軸的角速度。此外，在位于底座7的對角上的2個角部中分別形成有朝外周(外緣)開放的長孔711、712。這些長孔711、712相互朝相同的方向延伸。這種長孔711、712是用于將模塊I固定到所述對象物的螺紋孔。即，長孔711、712構(gòu)成用于將模塊I固定到對象物的固定部。通過采用該長孔711、712利用螺釘將模塊I緊固于對象物，能夠簡單且可靠地將模塊I固定于對象物。這里，在利用螺釘將長孔711、712中的一方臨時固定于對象物的狀態(tài)下，能夠以該螺釘為轉(zhuǎn)動中心，使模塊I在對象物上繞z軸轉(zhuǎn)動。因此，首先利用一個長孔來臨時固定(螺釘緊固)模塊1，然后進行模塊I的繞Z軸的定位，接著對另一個長孔進行螺釘緊固，最后正式擰緊兩個螺釘，由此能夠使模塊I在繞Z軸進行高精度定位后的狀態(tài)下固定到對象物上。另外，在利用各個長孔711、712將模塊I臨時固定于對象物的狀態(tài)下，能夠使模塊I相對于對象物在長孔711、712的延伸方向上滑動。因此，能夠微細(xì)地調(diào)整模塊I相對于對象物在X軸方向以及I軸方向上的位置。由此，能夠更高精度地進行模塊I相對于對象物
的定位。另外，在底座7上形成有將上表面的緣部排除在外而在中央部開放的凹部72。凹部72作為收納部發(fā)揮功能，在將支承部件3固定于底座7上的狀態(tài)下，該收納部收納第I剛性基板21的背面?zhèn)劝惭b面212上安裝的角速度傳感器411以及加速度傳感器42。換言之，凹部72構(gòu)成了用于防止底座7與角速度傳感器411以及加速度傳感器42的接觸的避讓部。通過形成這樣的凹部72，能夠有效利用底座7的空間，能夠?qū)崿F(xiàn)模塊I的小型化(薄型化)。另外，在底座7上形成有4個定位部741、742、743、744。這些定位部741 744具有進行支承部件3在底座7上的繞X軸、y軸以及z軸這各個軸的定位的功能。具體地說，定位部741 744具有如下功能將支承部件3相對于底座7定位成，由角速度傳感器412的檢測軸A2和角速度傳感器413的檢測軸A3形成的平面、與xy平面平行，而且角速度傳感器411的檢測軸Al與z軸平行。這4個定位部741 744設(shè)置在凹部72的4個角部，并從凹部72的底面突出形成。此外，定位部741、742、743、744具有由與xy平面平行的平面構(gòu)成的載置面741a、742a、743a、744a，這4個載置面741a 744a位于與xy平面相互平行的同一平面上。因此，當(dāng)在這些載置面741a 744a上以支承部件3的下表面32與載置面相對的方式載置支承部件3時，角速度傳感器411的檢測軸Al與z軸平行。這樣，僅通過在4個定位部741 744上載置支承部件3，就能夠簡單且高精度地進行角速度傳感器411相對于底座7的繞X軸和y軸的定位。尤其是，如本實施方式那樣，能夠通過在凹部72的各角部設(shè)置4個定位部741 744，即通過在凹部72的緣部隔開間隔設(shè)置4個定位部741 744，使這些定位部741 744相互隔開較大距離，從而能夠?qū)⒅С胁考?更穩(wěn)定地載置到定位部741 744。這種定位部741 744中的處于對角關(guān)系的2個定位部742、744具有螺紋孔761、762。螺紋孔761、762是用于將載置到在底座7 (載置面741a 744a)的支承部件3固定到底座7的螺紋孔。即，螺紋孔761、762構(gòu)成用于將支承部件3固定到底座7的固定部。螺紋孔761形成為朝載置面742a開放，同樣，螺紋孔762形成為朝載置面744a開放。此外，如圖9所示，在xy平面視圖中，螺紋孔761、762的中心間距離D與支承部件3的貫通孔381、382的中心間距離D’大體一致。此外，連接螺紋孔761、762的中心彼此的直線L與X軸所成的角Θ1大致等于連接貫通孔381、382的中心(中心軸)彼此的直線L’與平行于側(cè)面34的面所成的角Θ 1’，直線1^與7軸所成的角Θ 2大致等于直線L’與平行于側(cè)面33的面所成的角Θ 2’。因此，在以螺紋孔761與貫通孔381相對(連通)、并且螺紋孔762與貫通孔382相對(連通)的方式，將支承部件3載置于底座7 (載置面741a 744a)時，固定于支承部件3的側(cè)面33的角速度傳感器412的檢測軸A2與x軸大致平行，并且，固定于側(cè)面34的角速度傳感器413的檢測軸A3與y軸大致平行。并且，使螺釘85，86經(jīng)由貫通孔381、382緊固于螺紋孔761,762,由此，在保持角速度傳感器411、412、413的檢測軸Al、A2、A3與z軸、X軸、y軸平行的狀態(tài)下，支承部件3完全固定于保持部件7 (參照圖I (b))。這樣，根據(jù)底座7，只需進行貫通孔381、382與螺紋孔761、762的對位并進行固定就能夠簡單且高精度地進行支承部件3相對于底座7的繞z軸的定位。換言之，如果未處于角速度傳感器411、412、413的檢測軸Al、A2、A3與z軸、X軸、y軸平行的狀態(tài)，則無法將支承部件3固定到底座7上，所以，能夠更可靠地進行支承部件3相對于底座7的定位。這樣，把螺紋孔761、762用作將支承部件3固定于底座7的固定部，并且用作進行支承部件3 的繞z軸的定位的定位部，由此能夠更準(zhǔn)確地進行支承部件3相對于底座7的定位。此外，關(guān)于支承部件3在底座7上的固定，也可以與螺釘緊固一起，同時利用粘接劑進行接合。由此，因為在底座7與支承部件3之間夾有粘接劑層，所以能夠抑制支承部件3的不必要振動。結(jié)果，角速度傳感器411 413等的檢測精度提高。此外，定位部741 744中的處于對角關(guān)系的2個定位部741、743具有凹部751、752。凹部751形成為朝載置面741a開放，同樣，凹部752形成為朝載置面743a開放。這些凹部751、752構(gòu)成避讓部(收納部)，該避讓部用于在將支承部件3固定到底座7時防止底座7與螺釘82、81的頭部(頭)的接觸。因此，凹部751、752具有可收納螺釘82、81的頭部的形狀和大小。能夠通過設(shè)置這種凹部751、752，防止支承部件3、底座7的損壞和支承部件3的變形等，從而模塊I的可靠性提高。此外，這種凹部751、752還作為進行支承部件3相對于底座7的繞z軸的定位的臨時定位部發(fā)揮功能。即，能夠通過以在凹部751、752中收納螺釘82、81的頭部的方式將支承部件3載置到底座7，粗略地進行支承部件3相對于底座7的繞z軸的定位。此外，在此狀態(tài)下，限制了支承部件3的繞z軸的過度轉(zhuǎn)動，因此能夠簡單地進行螺紋孔761、762與貫通孔381、382的對位。為了更有效地發(fā)揮作為臨時定位部的功能，凹部751優(yōu)選設(shè)為可在該凹部751內(nèi)限制螺釘81的頭部在xy平面方向上移動的形狀。關(guān)于凹部752也同樣如此。由此，能夠在凹部751、752內(nèi)收納有螺釘81、82的頭部的狀態(tài)下，進一步抑制支承部件3的晃動(繞z軸的轉(zhuǎn)動)，能夠更有效地進行上述支承部件3的臨時定位。對底座7的構(gòu)成材料沒有特別限定，但優(yōu)選為具有減振特性的材料。由此，可抑制支承部件3的不必要的振動，從而角速度傳感器411 413等的檢測精度提高。作為這種材料例如可舉出鎂合金、鐵系合金、銅合金、猛合金、Ni-Ti系合金等各種減振合金。以上，對底座7的結(jié)構(gòu)進行了詳細(xì)說明。根據(jù)這種底座7，能夠簡單地固定支承部件3，并且能夠簡單且高精度地進行支承部件3相對于底座7的繞X軸、y軸、z軸的各軸的定位。因此，可獲得能夠發(fā)揮優(yōu)異的檢測精度的模塊I。此外，如上所述，在將模塊I安裝到對象物的情況下，以底座7的垂直的2個側(cè)面7c、7d為基準(zhǔn)，進行相對于對象物的繞z軸的定位，由此能夠簡單地使角速度傳感器412、413的檢測軸A2、A3朝向期望的方向。具體地說，側(cè)面7c是與檢測軸A3平行的面，側(cè)面7d是與檢測軸A2平行的面。因此，能夠通過以這些側(cè)面7c、7d為基準(zhǔn)進行定位，簡單地使角速度傳感器412、413的檢測軸A2、A3朝向期望的方向。此外，在這些側(cè)面7c、7d之間沒有形成有長孔711、712，而彼此相交，因此通過以這些側(cè)面7c、7d的連接部附近為基準(zhǔn)進行定位，能夠更簡單且正確地進行如上所述的定位。(蓋部件)
蓋部件10以覆蓋支承部件3的方式固定在底座7上。由此，能夠保護電子部件4。此外，在蓋部件10的側(cè)面上形成有開口 101，在底座7上固定有蓋部件10的狀態(tài)下，連接器49從該開口 101露出到外部。由此，能夠容易地進行外部設(shè)備與連接器49的電連接。對底座7與蓋部件10的固定方法沒有特別限定，可使用嵌合、旋合、利用粘接劑的接合。此外，蓋部件10以在xy平面視圖中不與形成在底座7上的長孔711、712重疊的方式切出了兩個角部。由此，能夠容易地將模塊I固定到對象物(對象物)上。作為這種蓋部件10的構(gòu)成材料，沒有特別限定，例如可以舉出聚乙烯、聚丙烯、乙烯-丙烯共聚物等聚烯烴、聚氯乙烯、聚苯乙烯、聚酰胺、聚酰亞胺、聚碳酸酯、聚(4-甲基戊烯-I)、離聚物、丙烯酸系樹脂、聚甲基丙烯酸甲酯、丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物(ABS樹脂)、丙烯腈-苯乙烯共聚物(AS樹脂)、丁二烯-苯乙烯共聚物、聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚對苯二甲酸丁二醇酯(PBT)等聚酯、聚醚、聚醚酮(PEK)、聚醚醚酮(PEEK)、聚醚酰亞胺、聚縮醛(Ρ0Μ)、聚苯醚、聚砜、聚醚砜、聚苯硫醚、聚芳酯、芳香族聚酯(液晶聚合物)、聚四氟乙烯、聚偏二氟乙烯、其它氟類樹脂、環(huán)氧樹脂、酚樹脂、尿素樹脂、三聚氰胺樹脂、硅樹月旨、聚氨酯等、或者以上述材料為主的共聚物、混合體、聚合物合金等，還可以組合這些材料中的I種或2種以上進行使用。以上說明了殼體6。在模塊I中，在底座7的凹部72內(nèi)填充有未圖示的填充劑(模塑材料)，并利用填充劑填埋凹部72與第I剛性基板21之間的間隙。利用這種填充劑固定第I剛性基板21的背面?zhèn)劝惭b面212 (角速度傳感器411、加速度傳感器42)及從第I剛性基板21延伸出的連結(jié)部261、262、263，由此能夠有效地防止在第I剛性基板21上產(chǎn)生不必要的振動，因此角速度傳感器411 413和加速度傳感器42的檢測精度提高。作為填充劑的構(gòu)成材料，優(yōu)選具有絕緣性。作為這種材料，沒有特別限定，例如可以舉出聚乙烯、聚丙烯、乙烯-丙烯共聚物等聚烯烴、聚氯乙烯、聚苯乙烯、聚酰胺、聚酰亞胺、聚碳酸酯、聚(4-甲基戊烯-I)、離聚物、丙烯酸系樹脂、聚甲基丙烯酸甲酯、丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物(ABS樹脂)、丙烯腈-苯乙烯共聚物(AS樹脂)、丁二烯-苯乙烯共聚物、聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚對苯二甲酸丁二醇酯(PBT)等聚酯、聚醚、聚醚酮(PEK)、聚醚醚酮(PEEK)、聚醚酰亞胺、聚縮醛(Ρ0Μ)、聚苯醚、聚砜、聚醚砜、聚苯硫醚、聚芳酯、芳香族聚酯(液晶聚合物)、聚四氟乙烯、聚偏二氟乙烯、其它氟類樹脂、環(huán)氧樹脂、酚樹脂、尿素樹脂、三聚氰胺樹脂、硅樹脂、聚氨酯等、或者以上述材料為主的共聚物、混合體、聚合物合金等，還可以組合這些材料中的I種或2種以上進行使用。
《第2實施方式》接著，說明本發(fā)明的模塊的第2實施方式。圖10是本發(fā)明的第2實施方式的模塊具有的安裝基板的平面圖。以下，關(guān)于第2實施方式，以與上述實施方式的不同之處為中心進行說明，省略相同事項的說明。本申請發(fā)明的第2實施方式的模塊除了安裝基板的結(jié)構(gòu)不同以外，其它與上述第I實施方式相同。 如圖10所示，安裝基板2A由相互隔開配置的第I剛性基板21、第2剛性基板22、第3剛性基板23、第4剛性基板24、第5剛性基板25以及對它們進行連結(jié)的撓性基板26A構(gòu)成。此外，撓性基板26A具有連結(jié)第I剛性基板21和第2剛性基板22的第I連結(jié)部261、連結(jié)第I剛性基板21和第3剛性基板23的第2連結(jié)部262、連結(jié)第3剛性基板23和第4剛性基板24的第3連結(jié)部263A以及連結(jié)第2剛性基板22和第5剛性基板25的第4連結(jié)部264。第I連結(jié)部261、第2連結(jié)部262、第3連結(jié)部263A和第4連結(jié)部264分別具有撓性，且能夠容易地進行朝面方向的彎曲變形。這種結(jié)構(gòu)的安裝基板2也與上述第I實施方式所述那樣，以第I剛性基板21構(gòu)成下表面、第2剛性基板22構(gòu)成上表面、第3 第5剛性基板23 25構(gòu)成側(cè)面的方式，并且以相鄰的剛性基板彼此垂直的方式使安裝基板2變形為長方體形狀。利用這種第2實施方式，也能夠與第I實施方式起到同樣效果。2.電子設(shè)備以上這種模塊I可組裝到各種電子設(shè)備中。以下，對搭載有模塊I的本發(fā)明的電子設(shè)備進行說明。圖11是示出搭載有模塊I的電子設(shè)備500的結(jié)構(gòu)的一例的圖。對電子設(shè)備500沒有特別限定，例如可舉出數(shù)字照相機、攝像機、汽車導(dǎo)航系統(tǒng)、移動電話、移動PC、機器人、游戲機、游戲控制器等。圖11所不的電子設(shè)備500具有包含模塊I的傳感器模塊510、處理部520、存儲器530、操作部540和顯示部550。它們利用總線560進行連接。處理部(CPU、MPU等)520進行傳感器模塊510等的控制及電子設(shè)備500的整體控制。并且，處理部520根據(jù)由傳感器模塊510檢測到的角速度信息進行處理。例如，根據(jù)角速度信息進行手抖校正、姿勢控制、用于GPS自主導(dǎo)航等的處理。存儲器530存儲控制程序和各種數(shù)據(jù)，另外還作為工作區(qū)域和數(shù)據(jù)存儲區(qū)域發(fā)揮功能。操作部540是供用戶操作電子設(shè)備500的部件。顯示部550向用戶顯示各種信息。以上，根據(jù)圖示的實施方式對本發(fā)明的模塊以及電子設(shè)備進行了說明，但是，本發(fā)明不限于此，各個部分的結(jié)構(gòu)可置換為具有相同功能的任意結(jié)構(gòu)。此外，在上述實施方式中，對在安裝基板上安裝有3個角速度傳感器的結(jié)構(gòu)進行了說明，但是角速度傳感器的數(shù)量不限于此，可以是I個、也可以是2個。此外，剛性基板的數(shù)量也可以根據(jù)角速度傳感器的數(shù)量進行變更。此外，在上述實施方式中，針對使用剛性撓性基板作為安裝基板的結(jié)構(gòu)進行了說明，但是也可以使用撓性基板作為安裝基板。
權(quán)利要求
1.一種模塊，其特征在于，該模塊具有 具有模擬電路的第I基板； 具有數(shù)字電路的第2基板； 具有第I傳感器元件的第3基板； 第I連結(jié)部，其以電連接所述模擬電路與所述數(shù)字電路的方式連結(jié)所述第I基板與所述第2基板，并且具有撓性；以及 第2連結(jié)部，其以電連接所述模擬電路與所述第I傳感器元件的方式連結(jié)所述第I基板與所述第3基板，并且具有撓性。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的模塊，其中，該模塊具有 具有第2傳感器元件的第4基板；以及 第3連結(jié)部，其以電連接所述模擬電路與所述第2傳感器元件的方式連結(jié)所述第I基板與所述第4基板、或者所述第3基板與所述第4基板， 所述第3連結(jié)部具有撓性。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的模塊,其中， 在所述第I基板上具有與所述模擬電路電連接的第3傳感器元件。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的模塊，其中， 所述第I基板、所述第3基板和所述第4基板配置為相互垂直。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的模塊，其中， 所述第I傳感器元件、所述第2傳感器元件和所述第3傳感器元件分別為加速度傳感器或角速度傳感器。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的模塊，其中， 所述第I傳感器元件、所述第2傳感器元件和所述第3傳感器元件的檢測軸相互垂直。
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的模塊，其中， 所述第I基板與所述第2基板彼此相對。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的模塊，其中， 所述第3傳感器元件位于所述第I基板的與所述第2基板相反側(cè)的面上。
9.根據(jù)權(quán)利要求I所述的模塊，其中，該模塊具有 具有接口用的連接器的第5基板；以及 第4連結(jié)部，其以電連接所述數(shù)字電路與所述連接器的方式連結(jié)所述第2基板與所述第5基板。
10.根據(jù)權(quán)利要求I所述的模塊,其中， 所述第I基板和所述第2基板中的至少一方具有切口部， 所述連結(jié)部從所述切口部延伸出。
11.根據(jù)權(quán)利要求I所述的模塊，其中， 所述模擬電路包含電源電路、放大電路和模擬/數(shù)字轉(zhuǎn)換電路中的至少一個， 所述數(shù)字電路包含微型控制器。
12.根據(jù)權(quán)利要求I所述的模塊,其中， 該模塊具有具備多個固定面的支承部件， 所述第I基板、所述第2基板和所述第3基板分別沿著所述固定面進行配置。
13.一種電子設(shè)備，其特征在于，該電子設(shè)備具有權(quán)利要求I所述的模塊。
全文摘要
本發(fā)明提供模塊以及電子設(shè)備，通過抑制噪聲的產(chǎn)生而發(fā)揮優(yōu)異的可靠性，并且傳感器元件的配置自由度較高。模塊(1)具有具有模擬電路的第1剛性基板(21)；具有數(shù)字電路的第2剛性基板(22)；具有角速度傳感器(412)的第3剛性基板(23)；第1連結(jié)部(261)，其以電連接模擬電路與數(shù)字電路的方式連結(jié)第1剛性基板(21)與第2剛性基板(22)，并且具有撓性；以及第2連結(jié)部(262)，其以電連接模擬電路與角速度傳感器(412)的方式連結(jié)第1剛性基板(21)與第3剛性基板(23)，并且具有撓性。
文檔編號G01C19/5719GK102809373SQ201210175260
公開日2012年12月5日 申請日期2012年5月30日 優(yōu)先權(quán)日2011年5月31日
發(fā)明者佐久間正泰, 小林祥宏, 北村昇二郎, 茅野岳人, 小神通治 申請人:精工愛普生株式會社