專(zhuān)利名稱(chēng)：晶面定向檢測(cè)粘接臺(tái)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于晶棒加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種晶面定向檢測(cè)粘接臺(tái)。
背景技術(shù)：
晶棒在加工呈標(biāo)準(zhǔn)尺寸的圓柱體后，需要在圓柱的側(cè)面加工一道與晶棒結(jié)晶體的結(jié)晶面平行的晶面，在加工晶面前需要在晶棒的側(cè)面進(jìn)行晶面的準(zhǔn)確定位，并將晶棒粘牢在V形基座上，最后將V形基座送到磨面機(jī)上，在晶棒的定位點(diǎn)處加工出晶面。由于缺少專(zhuān)用的晶面檢測(cè)和粘結(jié)設(shè)備，晶棒的結(jié)晶面尋找和固定工作較困難
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中晶棒的結(jié)晶面難于尋找和固定的問(wèn)題，提供一種晶面定向檢測(cè)粘接臺(tái)，其技術(shù)方案是一種晶面定向檢測(cè)粘接臺(tái)，主要由工作臺(tái)，工作臺(tái)周邊安裝的圍板組成，該工作臺(tái)安裝有電源、檢測(cè)粘接裝置和信號(hào)顯示屏，檢測(cè)粘接裝置安裝在工作臺(tái)臺(tái)面的一端，信號(hào)顯示屏安裝在工作臺(tái)臺(tái)面的另一端，檢測(cè)粘接裝置由檢測(cè)裝置和粘接裝置兩部分組成，粘接裝置包括支架、固定條、固定座和V形基座，支架固定在工作臺(tái)臺(tái)面上，支架上端面中部安裝固定座，固定座的兩端用固定條固定，V形基座安裝在固定座上,兩端用固定條固定，晶棒安裝在V形基座的V形槽內(nèi)，檢測(cè)裝置安裝在支架后端的固定板上，由X射線(xiàn)管、定位針和射線(xiàn)信號(hào)接收器組成，定位針安裝在固定板的中部，定位針下方正對(duì)晶棒側(cè)面上方，固定板的一端安裝X射線(xiàn)管，X射線(xiàn)管發(fā)出的射線(xiàn)指向定位針正下方晶棒的側(cè)面，射線(xiàn)信號(hào)接收器安裝在固定板的另一端、X射線(xiàn)被晶棒反射的反射線(xiàn)上，射線(xiàn)信號(hào)接收器與信號(hào)顯示屏連接，電源分別與X射線(xiàn)管、射線(xiàn)信號(hào)接收器和信號(hào)顯示屏連接。采用上述技術(shù)方案檢測(cè)和固定晶棒的晶面時(shí)，先將晶棒放置在V形基座上，將V形基座放置在定位針下固定，定位針正對(duì)晶棒側(cè)面上點(diǎn)，打開(kāi)X射線(xiàn)管、射線(xiàn)信號(hào)接收器和信號(hào)顯示屏，轉(zhuǎn)動(dòng)晶棒，使晶棒的反射信號(hào)達(dá)到最大值，此時(shí)定位針?biāo)傅狞c(diǎn)下方的平面即為晶棒的晶面，此時(shí)在晶棒與V形基座的接觸面上涂膠，將晶棒固定在膠面上，微微轉(zhuǎn)動(dòng)晶棒保持晶面垂直定位針，將晶棒粘緊在V形基座上，晶面的檢測(cè)和粘接工作即完成。本技術(shù)方案具有簡(jiǎn)便、快速和準(zhǔn)確的優(yōu)點(diǎn)。


圖I為本發(fā)明結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式實(shí)施例一種晶面定向檢測(cè)粘接臺(tái)，主要由工作臺(tái)1，工作臺(tái)I周邊安裝的圍板3組成，該工作臺(tái)I上安裝有電源6、檢測(cè)粘接裝置和信號(hào)顯示屏7，檢測(cè)粘接裝置安裝在工作臺(tái)I臺(tái)面的一端，信號(hào)顯示屏7安裝在工作臺(tái)臺(tái)面的另一端，檢測(cè)粘接裝置由檢測(cè)裝置和粘接裝置兩部分組成，粘接裝置包括支架2、固定條11、固定座13和V形基座12，支架2固定在工作臺(tái)I臺(tái)面上，支架上端面中部安裝固定座13,固定座13的兩端用固定條11固定，V形基座12安裝在固定座13上，兩端用固定條11固定，晶棒10安裝在V形基座12的V形槽內(nèi)，檢測(cè)裝置安裝在支架2后端的固定板4上，由X射線(xiàn)管5、定位針9和射線(xiàn)信號(hào)接收器8組成，定位針9安裝在固定板4的中部，定位針下方正對(duì)晶棒10側(cè)面上方，固定板4的一 端安裝X射線(xiàn)管5，X射線(xiàn)管發(fā)出的射線(xiàn)指向定位針下方晶棒的側(cè)面，射線(xiàn)信號(hào)接收器8安裝在固定板4的另一端、X射線(xiàn)被晶棒反射的反射線(xiàn)上，射線(xiàn)信號(hào)接收器8與信號(hào)顯示屏7連接，電源6分別與X射線(xiàn)管5、射線(xiàn)信號(hào)接收器8和信號(hào)顯示屏7連接。
權(quán)利要求
1.晶面定向檢測(cè)粘接臺(tái)，主要由工作臺(tái)(1)，工作臺(tái)周邊安裝的圍板(3)組成，其特征在于該工作臺(tái)還包括有工作臺(tái)上安裝有電源(6)、檢測(cè)粘接裝置和信號(hào)顯示屏(7)，檢測(cè)粘接裝置安裝在工作臺(tái)(I)臺(tái)面的一端，信號(hào)顯示屏(7)安裝在工作臺(tái)臺(tái)面的另一端，檢測(cè)粘接裝置由檢測(cè)裝置和粘接裝置兩部分組成，粘接裝置包括支架(2)、固定條(11)、固定座(13)和V形基座(12)，支架(2)固定在工作臺(tái)(I)臺(tái)面上支架上端面中部安裝固定座(13),固定座的兩端用固定條(11)固定，V形基座(12)安裝在固定座(13)上,兩端用固定條(11)固定，晶棒(10)安裝在V形基座(12)的V形槽內(nèi)，檢測(cè)裝置安裝在支架(2)后端的固定板(4)上，由X射線(xiàn)管(5)、定位針(9)和射線(xiàn)信號(hào)接收器(8)組成，定位針(9)安裝固定板(4)的中部，定位針下方正對(duì)晶棒(10)側(cè)面上方，固定板(4)的一端安裝X射線(xiàn)管(5)，X射線(xiàn)管發(fā)出的射線(xiàn)指向定位針下方晶棒的側(cè)面，射線(xiàn)信號(hào)接收器(8)安裝在固定板(4)的另一端、X射線(xiàn)被晶棒反射的反射線(xiàn)上，射線(xiàn)信號(hào)接收器(8)與信號(hào)顯示屏(7)連接，電源(6)分別與X射線(xiàn)管(5)、射線(xiàn)信號(hào)接收器(8)和信號(hào)顯示屏(7)連接。
全文摘要
晶面定向檢測(cè)粘接臺(tái)，主要由工作臺(tái)，工作臺(tái)周邊安裝的圍板，工作臺(tái)上安裝有電源、檢測(cè)粘接裝置和信號(hào)顯示屏組成，檢測(cè)粘接裝置由檢測(cè)裝置和粘接裝置兩部分組成，粘接裝置包括支架、固定條、固定座和V形基座，檢測(cè)裝置安裝在支架后端的固定板上，由X射線(xiàn)管、定位針和射線(xiàn)信號(hào)接收器組成，射線(xiàn)信號(hào)接收器安裝在固定板的另一端、X射線(xiàn)被晶棒反射的反射線(xiàn)上。使用時(shí)，先將晶棒放置在V形基座上，將V形基座定位在固定座上，定位針正對(duì)晶棒側(cè)面上點(diǎn)，打開(kāi)X射線(xiàn)管，轉(zhuǎn)動(dòng)晶棒，使晶棒的反射信號(hào)達(dá)到最大值，此時(shí)在晶棒與V形基座的接觸面上涂膠，將晶棒壓緊在膠面上，晶面的檢測(cè)和粘接工作即完成。
文檔編號(hào)G01N23/20GK102642254SQ201210147978
公開(kāi)日2012年8月22日 申請(qǐng)日期2012年5月14日 優(yōu)先權(quán)日2012年5月14日
發(fā)明者吳康, 王紹鴻, 白連偉 申請(qǐng)人:云南藍(lán)晶科技股份有限公司