專利名稱：一種大行程運(yùn)動(dòng)臺(tái)位移測(cè)量方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種測(cè)量方案，且特別涉及ー種位置敏感探測(cè)器陣列大行程位移測(cè)量裝置。
背景技術(shù)：
位置敏感探測(cè)器(PSD :Position Sensitive Detector)是一種對(duì)入射到光敏面光點(diǎn)位置敏感的PIN型光電ニ極管，通過(guò)平面擴(kuò)散制造エ藝，由P、I、N三層構(gòu)成，它可在垂直探測(cè)器平面的兩個(gè)方向上對(duì)入射光敏感。其以分辨率高、實(shí)用性強(qiáng)、響應(yīng)速度快、后續(xù)處理電路結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單等優(yōu)點(diǎn)，廣泛地應(yīng)用于非接觸激光位移檢測(cè)系統(tǒng)中。在測(cè)量精度要求為微米級(jí)的運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)中，PSD和CCD得到了廣泛的應(yīng)用，均可以通過(guò)多個(gè)測(cè)量值解算得到運(yùn)動(dòng)臺(tái)的六自由度位移。二者優(yōu)劣各異，相對(duì)而言，PSD的優(yōu)勢(shì)在于分辨率高、后處理電路簡(jiǎn)單、響應(yīng)速度快以及無(wú)“盲區(qū)”，PSD的劣勢(shì)在于其線性度差、測(cè)量范圍有限。以準(zhǔn)確性、實(shí)時(shí)性作為系統(tǒng)評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)，PSD具有更大的應(yīng)用前景。由于PSD的測(cè)量范圍有限，導(dǎo)致運(yùn)動(dòng)臺(tái)的行程受限。在大行程運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)中，為了能提高PSD測(cè)量系統(tǒng)的測(cè)量范圍，増加運(yùn)動(dòng)臺(tái)運(yùn)動(dòng)行程，一般采取結(jié)合其他位移傳感器(電渦流、光柵尺等)的方式進(jìn)行測(cè)量，而不同種類的測(cè)量元件，會(huì)増大信號(hào)通訊及處理的難度。

發(fā)明內(nèi)容
為了克服現(xiàn)有應(yīng)用中運(yùn)動(dòng)臺(tái)行程受限于PSD測(cè)量范圍的問(wèn)題，本發(fā)明提供ー種能夠測(cè)量大行程運(yùn)動(dòng)臺(tái)位移的PSD陣列測(cè)量方案。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的方案如下—種大行程運(yùn)動(dòng)臺(tái)位移測(cè)量方法，特征在于該方法包括將光路分配裝置固定于運(yùn)動(dòng)臺(tái)上，所述光路分配裝置生成多束相互平行的第一測(cè)量光，所述第一測(cè)量光與水平面平行；將多個(gè)位置敏感探測(cè)器組成線性陣列，固定于基臺(tái)上，所述位置敏感探測(cè)器的工作面和所述基臺(tái)的水平面垂直。所述多束第一測(cè)量光與所述位置敏感探測(cè)器線性陣列按照一定的方式排布，使得所述運(yùn)動(dòng)臺(tái)在運(yùn)動(dòng)區(qū)域內(nèi)至少有一束第一測(cè)量光被所述位置敏感探測(cè)器線性陣列檢測(cè)到，所述排布方式按照如下公式計(jì)算k>^-
d當(dāng)?shù)谝粶y(cè)量光不等間距，位置敏感探測(cè)器等間距排布吋，設(shè)相鄰位置敏感探測(cè)器的間距為τρ，有m束第一測(cè)量光，位置敏感探測(cè)器的測(cè)量范圍為d，則滿足m>—。
a將多對(duì)探測(cè)頭組成的線性陣列固定于基臺(tái)上，所述多對(duì)探測(cè)頭發(fā)射多束相互平行的第二測(cè)量光，所述探測(cè)頭組成的線性陣列用于檢測(cè)所述第二測(cè)量光是否被所述運(yùn)動(dòng)臺(tái)遮擋，根據(jù)分布于所述運(yùn)動(dòng)臺(tái)運(yùn)動(dòng)區(qū)域內(nèi)的所述第二測(cè)量光的遮擋情況，得到所述運(yùn)動(dòng)臺(tái)大致位置。沿同一方向同時(shí)布置所述位移敏感探測(cè)器陣列以及所述探測(cè)頭線性陣列，根據(jù)所述位置敏感探測(cè)器的測(cè)量結(jié)果以及探測(cè)頭得到的所述運(yùn)動(dòng)臺(tái)大致位置，解算出所述運(yùn)動(dòng)臺(tái)在所述方向的長(zhǎng)行程位移量，解算方法按如下公式解算設(shè)所述運(yùn)動(dòng)臺(tái)沿y方向做直線運(yùn)動(dòng)，此時(shí)位置敏感探測(cè)器陣列中第η個(gè)位置敏感探測(cè)器檢測(cè)到第一測(cè)量光，第η個(gè)位置敏感探測(cè)器的測(cè)量原點(diǎn)相對(duì)于基臺(tái)坐標(biāo)系的坐標(biāo)為( , y。，Ztl),所被檢測(cè)的第一測(cè)量光相對(duì)于第η個(gè)位置敏感探測(cè)器測(cè)量原點(diǎn)的坐標(biāo)為(0，yi，Zl)，所述相鄰探測(cè)頭的間距為τ ω， 探測(cè)頭陣列有ω束光被遮擋，此ω對(duì)探測(cè)頭y方向的中心坐標(biāo)為，運(yùn)動(dòng)臺(tái)質(zhì)心位于形心處，其長(zhǎng)度為1，則探測(cè)頭所測(cè)量的運(yùn)動(dòng)臺(tái)質(zhì)心位
置誤差為±^^，且運(yùn)動(dòng)臺(tái)上發(fā)射被檢測(cè)的第一測(cè)量光位置與運(yùn)動(dòng)臺(tái)質(zhì)心在y方向的
相對(duì)位置為，其誤差為±^^，結(jié)合光路分配裝置的安裝位置，可確定被檢測(cè)
到的第一測(cè)量光以及其相對(duì)于運(yùn)動(dòng)臺(tái)質(zhì)心的精確位置，設(shè)相對(duì)于質(zhì)心的位置為(も，yr, Zr)，故運(yùn)動(dòng)臺(tái)y方向位移為zyo+yry!·。ー種大行程運(yùn)動(dòng)臺(tái)多自由度位移測(cè)量方法，利用所述的運(yùn)動(dòng)臺(tái)單個(gè)直線位移測(cè)量方法，將所述的位置敏感探測(cè)器陣列和探測(cè)頭陣列組成的單個(gè)直線位移測(cè)量裝置分別布置于兩個(gè)方向，通過(guò)位置敏感探測(cè)器以及探測(cè)頭測(cè)量值解算出運(yùn)動(dòng)臺(tái)多個(gè)自由度位移量，按如下方式解算設(shè)所述的位置敏感探測(cè)器陣列和探測(cè)頭陣列組成的單個(gè)直線位移測(cè)量方案分別布置于X和y兩個(gè)方向，位于運(yùn)動(dòng)臺(tái)四周，根據(jù)所述的大行程位移測(cè)量方法，解算出運(yùn)動(dòng)臺(tái)χ和y方向的長(zhǎng)行程位移，由于單片位置敏感探測(cè)器屬于ニ維小平面測(cè)量，故能測(cè)量運(yùn)動(dòng)臺(tái)在z方向上的小位移，同時(shí)根據(jù)每組直線位移測(cè)量方案得到的χ或y以及z方向的位移量，解算運(yùn)動(dòng)臺(tái)三個(gè)轉(zhuǎn)角方向的位移量，實(shí)現(xiàn)多自由度測(cè)量。所述光路分配裝置的一種實(shí)施方案包括1個(gè)激光器，出射一束測(cè)量光；多塊分光鏡組成線性陣列，其按一定間距比例固定放置于所述運(yùn)動(dòng)臺(tái)表面，所述分光鏡工作面和水平面垂直，所述分光鏡相互平行，所述激光器發(fā)射的測(cè)量光通過(guò)所述分光鏡線性陣列生成多束所述第一測(cè)量光。所述光路分配裝置的另ー種實(shí)施方案采用光纖分光器，所述光纖分光器固定于所述運(yùn)動(dòng)臺(tái)上，所述光纖分光器可產(chǎn)生所述多束第一測(cè)量光。所述探測(cè)頭陣列最小間距按照如下公式計(jì)算設(shè)t為相鄰所述探測(cè)頭陣列最小間距，P為所述第一測(cè)量光最小間距，則滿足t ( P。本發(fā)明的技術(shù)效果是實(shí)現(xiàn)了エ業(yè)精密運(yùn)動(dòng)領(lǐng)域中位置敏感探測(cè)器測(cè)量對(duì)運(yùn)動(dòng)臺(tái)長(zhǎng)行程位移量的無(wú)接觸測(cè)量，適合運(yùn)用于精密測(cè)量運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)，降低了信號(hào)通訊以及處理的難度。


圖I是本發(fā)明位置敏感探測(cè)器陣列工作原理示意圖；圖2是本發(fā)明探測(cè)頭陣列工作原理示意圖；圖3a是本發(fā)明大行程運(yùn)動(dòng)臺(tái)位移測(cè)量示意圖；圖3b是本發(fā)明運(yùn)動(dòng)臺(tái)多自由度測(cè)量示意圖4是本發(fā)明位置敏感傳感器陣列ー種布置方法示意圖；圖中，101-運(yùn)動(dòng)臺(tái)；102-基臺(tái)；201-光路分配裝置；202_分光鏡；203_激光器；204_第一測(cè)量光；301-位置敏感探測(cè)器； 401-探測(cè)頭；402-第二測(cè)量光。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明實(shí)施方式作進(jìn)ー步地詳細(xì)描述。大行程運(yùn)動(dòng)臺(tái)位移測(cè)量方法，所述測(cè)量方法主要包括光路分配裝置201、PSD301線性陣列和探測(cè)頭401陣列。如圖I所示，將光路分配裝置201固定于運(yùn)動(dòng)臺(tái)101上，所述光路分配裝置20)生成多束相互平行的第一測(cè)量光204，所述第一測(cè)量光204與水平面平行；將多個(gè)位置敏感探測(cè)器301組成線性陣列，固定于基臺(tái)102上，所述位置敏感探測(cè)器301的工作面和所述基臺(tái)102的水平面垂直；所述多束第一測(cè)量光204與所述位置敏感探測(cè)器301線性陣列按照ー定的方式排布，使得所述運(yùn)動(dòng)臺(tái)101在運(yùn)動(dòng)區(qū)域內(nèi)至少有I束第一測(cè)量光204被所述位置敏感探測(cè)器301線性陣列檢測(cè)到，所述排布方式按照如下公式計(jì)算當(dāng)所述第一測(cè)量光204等間距，所述位置敏感探測(cè)器301周期排布吋，設(shè)相鄰第一測(cè)量光204間距為Td，有m束第一測(cè)量光204，每個(gè)周期內(nèi)位置敏感探測(cè)器301的數(shù)量為k個(gè)，位置敏感探測(cè)器301的測(cè)量范圍為d，則滿足k>-j-
a當(dāng)所述第一測(cè)量光204不等間距，所述位置敏感探測(cè)器301等間距排布吋，設(shè)相鄰位置敏感探測(cè)器301的間距為τρ，有m束第一測(cè)量光204，位置敏感探測(cè)器301的測(cè)量范圍為山則滿足m>—。
d如圖2所示，所述探測(cè)頭401陣列，其固定放置于所述基臺(tái)102上，當(dāng)不能保證所述PSD301陣列在所述運(yùn)動(dòng)臺(tái)101運(yùn)動(dòng)區(qū)域內(nèi)任意位置均能檢測(cè)到至少2束所述第一測(cè)量光204時(shí)，此時(shí)僅依靠I束所述第一測(cè)量光204不能解算出所述運(yùn)動(dòng)臺(tái)101的位移量，為了解決此問(wèn)題，可以采用如圖2所示的探測(cè)頭401陣列。所述探測(cè)頭401陣列可發(fā)射第二測(cè)量光402，并且所述探測(cè)頭401陣列可以檢測(cè)到所述第二測(cè)量光402是否被遮擋。所述第ニ測(cè)量光分布于所述運(yùn)動(dòng)臺(tái)101運(yùn)動(dòng)空間內(nèi)，可以根據(jù)所述探測(cè)頭401陣列的測(cè)量值得到所述運(yùn)動(dòng)臺(tái)101的大致位置。在僅有一束所述第一測(cè)量光204被所述PSD301陣列檢測(cè)的情況下，可以根據(jù)所述探測(cè)頭401陣列得到的所述運(yùn)動(dòng)臺(tái)101大致位置推算出所測(cè)量的所述第一測(cè)量光204與所述運(yùn)動(dòng)臺(tái)101的對(duì)應(yīng)位置，進(jìn)而解算出所述運(yùn)動(dòng)臺(tái)101的精確位移。所述探測(cè)頭401陣列最小間距按照如下公式計(jì)算設(shè)t為每對(duì)所述探測(cè)頭401最小間距，P為所述第一測(cè)量光204最小間距，則滿足t彡p。如圖3a所示，沿同一方向同時(shí)布置所述位移敏感探測(cè)器301陣列以及所述探測(cè)頭401線性陣列，根據(jù)所述位置敏感探測(cè)器301的測(cè)量結(jié)果以及探測(cè)頭401得到的所述運(yùn)動(dòng)臺(tái)101大致位置，解算出所述運(yùn)動(dòng)臺(tái)101在所述方向的長(zhǎng)行程位移量，按如下公式解算設(shè)所述運(yùn)動(dòng)臺(tái)101沿y方向做直線運(yùn)動(dòng)，此時(shí)位置敏感探測(cè)器301陣列中第η個(gè)位置敏感探測(cè)器檢測(cè)到第一測(cè)量光204，第η個(gè)位置敏感探測(cè)器的測(cè)量原點(diǎn)相對(duì)于基臺(tái)102坐標(biāo)系的坐標(biāo)為( , y。，Ztl)，所被檢測(cè)的第一測(cè)量光204相對(duì)于第η個(gè)位置敏感探測(cè)器測(cè)量原點(diǎn)的坐標(biāo)為(0，y1； Z1),所述相鄰探測(cè)頭401的間距為τ ω，探測(cè)頭401陣列有ω束光被遮擋，此ω對(duì)探測(cè)頭y方向的中心坐標(biāo)為，運(yùn)動(dòng)臺(tái)101質(zhì)心位于形心處，其長(zhǎng)度為1，則探測(cè)頭401
所測(cè)量的運(yùn)動(dòng)臺(tái)101質(zhì)心位置誤差為±^^，且運(yùn)動(dòng)臺(tái)101上發(fā)射被檢測(cè)的第一測(cè)量
2
光204位置與運(yùn)動(dòng)臺(tái)101質(zhì)心在y方向的相對(duì)位置為Jjy1Im，其誤差為-土レ'、，結(jié)合
光路分配裝置201的安裝位置，可確定被檢測(cè)到的第一測(cè)量光204以及其相對(duì)于運(yùn)動(dòng)臺(tái)101質(zhì)心的精確位置，設(shè)相對(duì)于質(zhì)心的位置為(Xy yy zj ,故運(yùn)動(dòng)臺(tái)IOly方向位移為w+yii。 如圖3b所示，利用所述的運(yùn)動(dòng)臺(tái)單個(gè)直線位移測(cè)量方法，將所述的位置敏感探測(cè)器301陣列和探測(cè)頭401陣列組成的單個(gè)直線位移測(cè)量裝置分別布置于兩個(gè)方向，通過(guò)位置敏感探測(cè)器301以及探測(cè)頭測(cè)量值解算出運(yùn)動(dòng)臺(tái)101多個(gè)自由度位移量，按如下方式解算設(shè)所述的位置敏感探測(cè)器301陣列和探測(cè)頭401陣列組成的單個(gè)直線位移測(cè)量方案分別布置于χ和y兩個(gè)方向，位于運(yùn)動(dòng)臺(tái)101四周，根據(jù)所述的大行程位移測(cè)量方法，解算出運(yùn)動(dòng)臺(tái)χ和y方向的長(zhǎng)行程位移，由于單片位置敏感探測(cè)器屬于ニ維小平面測(cè)量，故能測(cè)量運(yùn)動(dòng)臺(tái)101在z方向上的小位移，同時(shí)根據(jù)每組直線位移測(cè)量方案得到的χ或y以及z方向的位移量，解算運(yùn)動(dòng)臺(tái)101三個(gè)轉(zhuǎn)角方向的位移量，實(shí)現(xiàn)多自由度測(cè)量。如圖4所示，給出了一種所述m個(gè)所述分光鏡202和所述η個(gè)PSD301的排布方式實(shí)施例，其中m = 6，且所述分光鏡202相互間距相等，PSD周期排布。取單個(gè)PSD的測(cè)量范圍d = 10mm,所述運(yùn)動(dòng)臺(tái)長(zhǎng)度為200mm,也即相鄰所述第一測(cè)量光的間距
I 200τ < — =-= 33.3mm
m ο根據(jù)所述計(jì)算公式，可得到每個(gè)周期內(nèi)所述PSD數(shù)目為k> — = — = 3
d 10即所述PSD301線性陣列以每三個(gè)為周期進(jìn)行排布，此種排布方式能夠保證在所述運(yùn)動(dòng)臺(tái)101其運(yùn)動(dòng)區(qū)域內(nèi)的任意位置有I束所述第一測(cè)量光204被所述PSD301線性陣列檢測(cè)到。采用循環(huán)移位的方式，假設(shè)所述運(yùn)動(dòng)臺(tái)101向右運(yùn)動(dòng)，現(xiàn)從左至右分別對(duì)所述第一測(cè)量光204和所述PSD301進(jìn)行編號(hào)，所述第一測(cè)量光204 :ai、a2、a3、a4、a5、a6，所述PSD301
b2、b3、b4、b5、b6。當(dāng)所述運(yùn)動(dòng)臺(tái)101在向右運(yùn)動(dòng)時(shí),被檢測(cè)的所述第一測(cè)量光204和檢測(cè)到所述第一測(cè)量光204的所述PSD301對(duì)應(yīng)關(guān)系如下所示(apb) — (^a3> b2) — (a5> b3) — la6、b4) — (a2、b2) — (a4、b3) — (a5、b4)—(a^ b2) — (a3、b3) — (a4、b4) — (a6、b5) — (a2、b3) — (a3、b3) — (a5、b5)—(a^ b3) — (a2、b4) — (a4、b5) — (a6、b6) — (B1 > b4)......如此循環(huán)。在此基礎(chǔ)上，如需增加量程，則需增加PSD301的個(gè)數(shù)并按照所述的排列方式布置即可。雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例揭露如上，然其并非用以限定本發(fā)明。本發(fā)明的保護(hù)范圍當(dāng)視權(quán)利要求書所界定者為準(zhǔn)。權(quán)利要求
1.一種大行程運(yùn)動(dòng)臺(tái)直線位移測(cè)量方法，特征在于該方法包括 1)將光路分配裝置(201)固定于運(yùn)動(dòng)臺(tái)(101)上，所述光路分配裝置(201)生成多束相互平行的第一測(cè)量光(204)，所述第一測(cè)量光(204)與水平面平行； 2)將多個(gè)位置敏感探測(cè)器(301)組成線性陣列，固定于基臺(tái)(102)上，所述位置敏感探測(cè)器(301)的工作面和所述基臺(tái)(102)的水平面垂直； 3)所述多束第一測(cè)量光(204)與所述位置敏感探測(cè)器(301)線性陣列按照一定的方式排布，使得所述運(yùn)動(dòng)臺(tái)(101)在運(yùn)動(dòng)區(qū)域內(nèi)至少有I束第一測(cè)量光(204)被所述位置敏感探測(cè)器(301)線性陣列檢測(cè)到，所述排布方式按照如下公式計(jì)算 當(dāng)所述第一測(cè)量光(204)等間距，所述位置敏感探測(cè)器(301)周期排布時(shí)，設(shè)相鄰第一測(cè)量光(204)間距為Td，有m束第一測(cè)量光(204)，每個(gè)周期內(nèi)位置敏感探測(cè)器(301)的數(shù)量為k個(gè)，位置敏感探測(cè)器(301)的測(cè)量范圍為d，則滿足
2.一種大行程運(yùn)動(dòng)臺(tái)多自由度位移測(cè)量方法，特征在于該方法包括利用所述的運(yùn)動(dòng)臺(tái)單個(gè)直線位移測(cè)量方法，將所述的位置敏感探測(cè)器(301)陣列和探測(cè)頭(401)陣列組成的單個(gè)直線位移測(cè)量裝置分別布置于兩個(gè)方向，通過(guò)位置敏感探測(cè)器(301)以及探測(cè)頭測(cè)量值解算出運(yùn)動(dòng)臺(tái)(101)多個(gè)自由度位移量，按如下方式解算設(shè)所述的位置敏感探測(cè)器(301)陣列和探測(cè)頭(401)陣列組成的單個(gè)直線位移測(cè)量方案分別布置于X和y兩個(gè)方向，位于運(yùn)動(dòng)臺(tái)(101)四周，根據(jù)所述的大行程位移測(cè)量方法，解算出運(yùn)動(dòng)臺(tái)X和y方向的長(zhǎng)行程位移，由于單片位置敏感探測(cè)器屬于二維小平面測(cè)量，故能測(cè)量運(yùn)動(dòng)臺(tái)(101)在z方向上的小位移，同時(shí)根據(jù)每組直線位移測(cè)量方案得到的X或y以及z方向的位移量，解算運(yùn)動(dòng)臺(tái)(101)三個(gè)轉(zhuǎn)角方向的位移量，實(shí)現(xiàn)多自由度測(cè)量。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種大行程運(yùn)動(dòng)臺(tái)位移測(cè)量方法，其特征在于所述光路分配裝置(201)包括 1)一個(gè)激光器(203)，出射一束測(cè)量光； 2)多塊分光鏡(202)組成線性陣列，固定于所述運(yùn)動(dòng)臺(tái)(101)表面，所述分光鏡(202)工作面和水平面垂直，所述分光鏡(202)相互平行，所述激光器(203)發(fā)射的測(cè)量光通過(guò)所述分光鏡(202)組成的線性陣列生成多束所述第一測(cè)量光(204)。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種大行程運(yùn)動(dòng)臺(tái)位移測(cè)量方法，其特征在于所述光路分配裝置(201)采用光纖分光器，所述光纖分光器固定于所述運(yùn)動(dòng)臺(tái)(101)上，所述光纖分光器產(chǎn)生多束互平行的第一測(cè)量光(204)。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述一種大行程運(yùn)動(dòng)臺(tái)位移測(cè)量方法，其特征在于所述探測(cè)頭(401)陣列的最小間距按照如下公式計(jì)算設(shè)t為相鄰所述探測(cè)頭(401)陣列最小間距，p為所述第一測(cè)量光(204)最小間距，則滿足t ( p。全文摘要
一種大行程運(yùn)動(dòng)臺(tái)位移測(cè)量方法，該方法包括光路分配裝置，位置敏感探測(cè)器陣列以及探測(cè)頭陣列；所述光路分配裝置生成的多束第一測(cè)量光與所述位置敏感探測(cè)器陣列按照一定的方式排布，保證所述運(yùn)動(dòng)臺(tái)在運(yùn)動(dòng)區(qū)域內(nèi)任意位置均至少有1束第一測(cè)量光被位置敏感探測(cè)器陣列檢測(cè)到；能夠判斷光束是否被遮擋的所述探測(cè)頭陣列可用于所述運(yùn)動(dòng)臺(tái)位置的輔助測(cè)量；根據(jù)上述測(cè)量方案，可確定所述位置敏感探測(cè)器陣列所測(cè)的第一測(cè)量光對(duì)應(yīng)的運(yùn)動(dòng)臺(tái)位置，進(jìn)而解算所述運(yùn)動(dòng)臺(tái)位移量。本發(fā)明有效地?cái)U(kuò)大了位置敏感探測(cè)器測(cè)量范圍，實(shí)現(xiàn)了運(yùn)動(dòng)臺(tái)長(zhǎng)行程位移量的測(cè)量。
文檔編號(hào)G01B11/02GK102661709SQ20121012197
公開日2012年9月12日 申請(qǐng)日期2012年4月23日 優(yōu)先權(quán)日2012年4月23日
發(fā)明者劉召, 劉昊, 尹文生, 張鳴, 徐登峰, 朱煜, 楊開明, 穆海華, 胡金春, 蔣毅 申請(qǐng)人:清華大學(xué)