專利名稱：一種藍(lán)寶石晶體生長的稱重裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及ー種藍(lán)寶石晶體生長的稱重裝置。
背景技術(shù)：
目前在晶體生長的稱重結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)中，有兩種結(jié)構(gòu)，一是傳感器、旋轉(zhuǎn)電機(jī)內(nèi)置的形式，另ー是傳感器、旋傳電機(jī)都外置的結(jié)構(gòu)。前者，電機(jī)內(nèi)置真空室，容易產(chǎn)生籽晶桿的振動(dòng)，也易受真空室內(nèi)溫度的影響，故障率較高，檢修也很不方便；后者，傳感器初期加載太大，需要較大的傳感器量程，從而，檢測分辨率降低，亦即降低了傳感器精度，對(duì)系統(tǒng)不利，同時(shí)，受外界環(huán)境、系統(tǒng)真空度等的影響，稱量誤差也大。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明為了解決上述背景技術(shù)中的不足之處，提供ー種藍(lán)寶石晶體生長的稱重裝置，可大大提高了稱量精度，晶體生長率誤差小，實(shí)際值與理論值接近，能夠很好地實(shí)現(xiàn)エ藝操作，提聞晶體的良品率。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案為ー種藍(lán)寶石晶體生長的稱重裝置，包括真空室、籽晶桿、軸承座、稱重傳感器、旋轉(zhuǎn)電機(jī)，其特征在干所述的稱重傳感器設(shè)置于真空室內(nèi)，旋轉(zhuǎn)電機(jī)通過電機(jī)支座設(shè)置于真空室上。所述的旋轉(zhuǎn)電機(jī)通過聯(lián)軸器連接到主動(dòng)撥盤上。所述的稱重傳感器下端設(shè)置有軸承座。所述的真空室內(nèi)稱重傳感器的下部設(shè)置有冷卻水管。所述的聯(lián)軸器為弾性連軸器。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有的優(yōu)點(diǎn)和效果如下本發(fā)明傳感器內(nèi)置、旋轉(zhuǎn)電機(jī)外置，大大提高了稱量精度，晶體生長率誤差小，實(shí)際值與理論值接近，能夠很好地實(shí)現(xiàn)エ藝操作，提聞晶體的良品率。


圖I是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中，I-旋轉(zhuǎn)電機(jī),2-電機(jī)支座,3-聯(lián)軸器,4-旋轉(zhuǎn)密封件,5-主動(dòng)撥盤,6-從動(dòng)撥盤，7-軸承座，8-籽晶桿，9-波紋管，10-冷卻水管，11-稱重傳感器，12-真空室。
具體實(shí)施例方式參見圖I :本發(fā)明包括真空室12、籽晶桿8、軸承座7、稱重傳感器11、旋轉(zhuǎn)電機(jī)I、波紋管9，真空室12為空心腔體，真空室12通過波紋管9與主爐室相通，從動(dòng)撥盤6、籽晶 桿8通過軸承座7與固定在真空室12內(nèi)的稱重傳感器11連接，軸承座7設(shè)置于稱重傳感器11左部的下端，旋轉(zhuǎn)電機(jī)I經(jīng)電機(jī)支座2安裝于真空室12上，旋轉(zhuǎn)電機(jī)I通過彈性聯(lián)軸器3連接到主動(dòng)撥盤5上，主動(dòng)撥盤5通過旋轉(zhuǎn)密封件4與真空室12相連；稱重傳感器11的下部靠近真空室12的下壁上設(shè)置有冷卻水管10。本發(fā)明專門用于藍(lán)寶石晶體生長稱重控徑，通過傳感器內(nèi)置、旋轉(zhuǎn)電機(jī)外置的方法，很好地解決了晶體生長過程稱量的精確性，由于只有籽晶桿及其軸承座的重量添加到傳感器上，這部分重量是固定值 ，在整個(gè)晶體生長過程中，傳感器只獲取晶體的重量，改變了以往旋轉(zhuǎn)電機(jī)、波紋管及真空負(fù)壓、冷卻水壓變化等對(duì)稱重?cái)?shù)值的影響，可以獲取精確的生長率數(shù)據(jù)，實(shí)現(xiàn)晶體生長的等徑控制。本發(fā)明所描述的裝置，選高精度傳感器分辨率1/50000，現(xiàn)有裝置籽晶桿、旋轉(zhuǎn)電機(jī)、軸承座等自重大約15Kg，抽取真空后，波紋管施加給傳感器的負(fù)載大約為20Kg，再加上測量晶體的重量為35Kg，因此，傳感器的量程要選取得較大為lOOKg，這樣，稱重系統(tǒng)的最小感量100X1000g/50000 = 2g，這個(gè)值精度較低，同時(shí)，容易受籽晶桿水冷壓カ波動(dòng)、真空度波動(dòng)、旋轉(zhuǎn)電機(jī)振動(dòng)等因素的影響，致使測量的晶體重量產(chǎn)生隨機(jī)誤差；本裝置，傳感器只承擔(dān)了籽晶桿的重量2Kg、及被測晶體的重量35Kg，可選較低量程的傳感器50Kg，這樣，稱重系統(tǒng)的最小感量50xl000g/50000 = lg，大大提高了稱重的分辨率，同時(shí)，這個(gè)值不受外界因素的影響，能夠很好地滿足晶體生長エ藝要求。很明顯，以上是對(duì)本發(fā)明具體實(shí)施例的詳細(xì)描述，并不代表保護(hù)范圍局限于此，在本發(fā)明構(gòu)思下所做的任何改變都將落入本發(fā)明保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.ー種藍(lán)寶石晶體生長的稱重裝置，包括真空室(12)、籽晶桿(8)、軸承座(7)、稱重傳感器(11)、旋轉(zhuǎn)電機(jī)(I)，其特征在于所述的稱重傳感器(11)設(shè)置于真空室(12)內(nèi)，旋轉(zhuǎn)電機(jī)(I)通過電機(jī)支座⑵設(shè)置于真空室(12)上。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的ー種藍(lán)寶石晶體生長的稱重裝置，其特征在于所述的旋轉(zhuǎn)電機(jī)(I)通過聯(lián)軸器(3)連接到主動(dòng)撥盤(5)上。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的ー種藍(lán)寶石晶體生長的稱重裝置，其特征在于所述的稱重傳感器(11)下端設(shè)置有軸承座(7)。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的ー種藍(lán)寶石晶體生長的稱重裝置，其特征在于所述的真空室(12)內(nèi)稱重傳感器(11)的下部設(shè)置有冷卻水管(10)。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的ー種藍(lán)寶石晶體生長的稱重裝置，其特征在于所述的聯(lián)軸器(3)為彈性連軸器。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種藍(lán)寶石晶體生長的稱重裝置。目前在晶體生長的稱重結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)中，有兩種結(jié)構(gòu)，一是傳感器、旋轉(zhuǎn)電機(jī)內(nèi)置的形式，另一是傳感器、旋轉(zhuǎn)電機(jī)都外置的結(jié)構(gòu)。前者，容易產(chǎn)生籽晶桿的振動(dòng)，也易受真空室內(nèi)溫度的影響，故障率較高，檢修很不方便；后者，傳感器初期加載太大，檢測分辨率降低，稱量誤差也大。一種藍(lán)寶石晶體生長的稱重裝置，包括真空室、籽晶桿、軸承座、稱重傳感器、旋轉(zhuǎn)電機(jī)，所述的稱重傳感器設(shè)置于真空室內(nèi)，旋轉(zhuǎn)電機(jī)通過電機(jī)支座設(shè)置于真空室上。本發(fā)明傳感器內(nèi)置、旋轉(zhuǎn)電機(jī)外置，大大提高了稱量精度，晶體生長率誤差小，實(shí)際值與理論值接近，能夠很好地實(shí)現(xiàn)工藝操作，提高晶體的良品率。
文檔編號(hào)G01G17/00GK102645259SQ201210107669
公開日2012年8月22日 申請(qǐng)日期2012年4月13日 優(yōu)先權(quán)日2012年4月13日
發(fā)明者楊軍良 申請(qǐng)人:西安藍(lán)晶機(jī)械科技有限公司