技術(shù)編號:5946064
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及ー種藍寶石晶體生長的稱重裝置。背景技術(shù)目前在晶體生長的稱重結(jié)構(gòu)設(shè)計中,有兩種結(jié)構(gòu),一是傳感器、旋轉(zhuǎn)電機內(nèi)置的形式,另ー是傳感器、旋傳電機都外置的結(jié)構(gòu)。前者,電機內(nèi)置真空室,容易產(chǎn)生籽晶桿的振動,也易受真空室內(nèi)溫度的影響,故障率較高,檢修也很不方便;后者,傳感器初期加載太大,需要較大的傳感器量程,從而,檢測分辨率降低,亦即降低了傳感器精度,對系統(tǒng)不利,同時,受外界環(huán)境、系統(tǒng)真空度等的影響,稱量誤差也大。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明為了解決上述背景技術(shù)中的不足之處...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。