集成硅光學(xué)機(jī)械陀螺儀（omgs）的制作方法
【專利摘要】一種系統(tǒng)具有光學(xué)機(jī)械陀螺儀裝置。光學(xué)機(jī)械圓盤充當(dāng)光學(xué)環(huán)形諧振器和機(jī)械圓盤諧振器。驅(qū)動(dòng)激光器生成光學(xué)驅(qū)動(dòng)信號(hào)。驅(qū)動(dòng)通道充當(dāng)對(duì)于光學(xué)驅(qū)動(dòng)信號(hào)的波導(dǎo)并且包括關(guān)于光學(xué)機(jī)械圓盤位于第一鄰近處的驅(qū)動(dòng)電極。該驅(qū)動(dòng)電極通過(guò)漸逝耦合來(lái)激發(fā)環(huán)。驅(qū)動(dòng)光電檢測(cè)器配置成從驅(qū)動(dòng)通道接收輸出光學(xué)信號(hào)。感測(cè)激光器生成光學(xué)感測(cè)信號(hào)。感測(cè)通道充當(dāng)對(duì)于光學(xué)感測(cè)信號(hào)的波導(dǎo)并且包括關(guān)于光學(xué)機(jī)械圓盤位于第二鄰近處的感測(cè)電極。感測(cè)光電檢測(cè)器配置成從所述感測(cè)通道接收輸出光學(xué)信號(hào)。
【專利說(shuō)明】集成硅光學(xué)機(jī)械陀螺儀(OMGS)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明的實(shí)施例涉及光學(xué)機(jī)械裝置。更特定地，本發(fā)明的實(shí)施例涉及光學(xué)機(jī)械陀螺儀。
【背景技術(shù)】
[0002]陀螺儀是測(cè)量運(yùn)動(dòng)角速率的裝置，其對(duì)于許多應(yīng)用是有用的，包括動(dòng)態(tài)車輛控制、手勢(shì)識(shí)別和導(dǎo)航等?；谕勇輧x的系統(tǒng)當(dāng)前在許多領(lǐng)域中使用，包括航空導(dǎo)航、工業(yè)機(jī)器監(jiān)視、汽車電子穩(wěn)定性控制、手持裝置，等。
[0003]陀螺儀性能的關(guān)鍵度量是靈敏度、帶寬和穩(wěn)定性(或偏差漂移)。最高性能目前可花費(fèi)多達(dá)$1，000，000、頻繁地基于光學(xué)器件并且展現(xiàn)低至幾度/h或更好的漂移。在領(lǐng)域的另一端，消費(fèi)級(jí)陀螺儀目前大約每軸花費(fèi)$1、基于微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)并且經(jīng)受大得多的漂移，例如在50-100度/h的范圍內(nèi)。
[0004]對(duì)于個(gè)人導(dǎo)航，具有單一度/h范圍內(nèi)的漂移同時(shí)維持靈敏度和帶寬來(lái)涵蓋既慢又快的角旋轉(zhuǎn)的三軸陀螺儀是可取的。這在使用已知的靜電MEMS陀螺儀時(shí)基本上是不能獲得的。
【專利附圖】
【附圖說(shuō)明】
[0005]本發(fā)明的實(shí)施例通過(guò)示例而非限制的方式在附圖的圖中圖示，在圖中類似的標(biāo)號(hào)指示相似的元件。
[0006]圖1a是集成娃光學(xué)機(jī)械陀螺儀的一個(gè)實(shí)施例的頂視圖。
[0007]圖1b是集成硅光學(xué)機(jī)械陀螺儀的一個(gè)實(shí)施例的側(cè)視圖。
[0008]圖2a是MEMS釋放之前硅光子光學(xué)機(jī)械陀螺儀的一個(gè)實(shí)施例的橫截面。
[0009]圖2b是MEMS釋放之后硅光子光學(xué)機(jī)械陀螺儀的一個(gè)實(shí)施例的橫截面。
[0010]圖2c是晶圓級(jí)封裝之后硅光子光學(xué)機(jī)械陀螺儀的一個(gè)實(shí)施例的橫截面。
[0011]圖3是用于利用光學(xué)機(jī)械陀螺儀的技術(shù)的一個(gè)實(shí)施例的流程圖。
[0012]圖4是電子系統(tǒng)的一個(gè)實(shí)施例的框圖。
【具體實(shí)施方式】
[0013]在下列描述中，闡述許多具體細(xì)節(jié)。然而，本發(fā)明的實(shí)施例可在沒有這些具體細(xì)節(jié)的情況下實(shí)踐。在其他實(shí)例中，未詳細(xì)示出眾所周知的電路、結(jié)構(gòu)和技術(shù)以便不混淆該描述的理解。
[0014]本文描述利用硅光子來(lái)實(shí)現(xiàn)具有高(例如，導(dǎo)航級(jí))性能和相對(duì)低成本的光學(xué)機(jī)械陀螺儀(OMG)的陀螺儀的實(shí)施例。該OMG利用光學(xué)機(jī)械在相對(duì)低成本的硅光子平臺(tái)中提供光學(xué)機(jī)械換能慣性傳感器(其包括陀螺儀和加速計(jì))。
[0015]在各種實(shí)施例中，娃光子OMG包括懸在中心點(diǎn)的環(huán)形諧振器(ring resonator)。在環(huán)中通過(guò)來(lái)自相鄰波導(dǎo)(驅(qū)動(dòng)通道)的漸逝耦合來(lái)激發(fā)光學(xué)諧振。通過(guò)以圓盤的機(jī)械諧振頻率對(duì)光調(diào)幅，由于光學(xué)機(jī)械力(輻射壓力或光學(xué)梯度力)而驅(qū)使圓盤振動(dòng)。典型的機(jī)械諧振頻率可在IOOkHz至IOMHz的范圍內(nèi)。
[0016]一旦圓盤機(jī)械地振動(dòng)，它的作用很像諧振MEMS傳感器。振動(dòng)模式與外部加速(在加速計(jì)的情況下)或旋轉(zhuǎn)(或科式加速度，在陀螺儀的情況下)成比例地受到擾動(dòng)。
[0017]圖1a是集成硅光學(xué)機(jī)械陀螺儀的一個(gè)實(shí)施例的頂視圖。圖1b是集成硅光學(xué)機(jī)械陀螺儀的一個(gè)實(shí)施例的側(cè)視圖。圖1a和Ib的部件可在襯底100上制造。在一個(gè)實(shí)施例中，電阻加熱器(未在圖中圖示)可添加到晶片(die)來(lái)維持裝置的恒定溫度以便有助于使機(jī)械和光學(xué)性質(zhì)保持穩(wěn)定。
[0018]驅(qū)動(dòng)激光器115和感測(cè)激光器150可以是混合激光器或分立(外部)激光器。這些激光器可以是本領(lǐng)域內(nèi)已知的任何類型的激光器。在一個(gè)實(shí)施例中，驅(qū)動(dòng)激光器115和感測(cè)激光器150兩者都可以光學(xué)機(jī)械圓盤140的機(jī)械諧振頻率來(lái)調(diào)制發(fā)出的光。在另一個(gè)實(shí)施例中，可選的調(diào)制器120可用于將來(lái)自驅(qū)動(dòng)激光器115的光調(diào)制到光學(xué)機(jī)械圓盤140的機(jī)械諧振頻率。
[0019]驅(qū)動(dòng)激光器115與驅(qū)動(dòng)通道110光學(xué)耦合，該驅(qū)動(dòng)通道110可包括波導(dǎo)。光電檢測(cè)器130也與驅(qū)動(dòng)通道110光學(xué)稱合來(lái)檢測(cè)來(lái)自驅(qū)動(dòng)激光器115的光。光電檢測(cè)器130可以是例如集成混合光電二極管，或分立(外部)檢測(cè)器。
[0020]感測(cè)激光器150與感測(cè)通道155光學(xué)耦合，該感測(cè)通道155可包括波導(dǎo)。光電檢測(cè)器175也與感測(cè)通道155光學(xué)耦合來(lái)檢測(cè)來(lái)自感測(cè)激光器150的光。光電檢測(cè)器175可以是例如集成混合光電二極管，或分立(外部)檢測(cè)器。
[0021]在圖1a和Ib的示例中，使用單獨(dú)激光器和光電檢測(cè)器。在備選實(shí)施例中，單個(gè)激光器和/或光電檢測(cè)器可結(jié)合波導(dǎo)分離器使用來(lái)使光學(xué)信號(hào)分離和組合。在一個(gè)實(shí)施例中，激光器可使用驅(qū)動(dòng)光電檢測(cè)器而被反饋環(huán)鎖定來(lái)維持一致的激光發(fā)射波長(zhǎng)。
[0022]在一個(gè)實(shí)施例中，驅(qū)動(dòng)電極125定位成通過(guò)漸逝耦合而在光學(xué)機(jī)械圓盤140中誘發(fā)光學(xué)諧振。當(dāng)來(lái)自驅(qū)動(dòng)激光器115的光以光學(xué)機(jī)械圓盤140的機(jī)械諧振頻率被調(diào)制時(shí)，驅(qū)動(dòng)電極125處驅(qū)動(dòng)通道110與光學(xué)機(jī)械圓盤140之間的換能(transduction)促使光學(xué)機(jī)械圓盤140諧振。
[0023]一旦光學(xué)機(jī)械圓盤140諧振，它對(duì)它安裝在上面的襯底的物理運(yùn)動(dòng)作出反應(yīng)。振動(dòng)模式與外部加速(在加速計(jì)的情況下)或旋轉(zhuǎn)(或在陀螺儀的情況下，科式加速度)成比例地受到擾動(dòng)。振動(dòng)模式的該改變通過(guò)驅(qū)動(dòng)模式節(jié)點(diǎn)處光學(xué)機(jī)械圓盤140與感測(cè)電極160之間的漸逝耦合來(lái)檢測(cè)。感測(cè)光電檢測(cè)器175處信號(hào)的檢測(cè)指示外部運(yùn)動(dòng)的存在。該外部運(yùn)動(dòng)與信號(hào)的幅度成比例。在一個(gè)實(shí)施例中，感測(cè)通道155與一個(gè)或多個(gè)節(jié)點(diǎn)(例如，45°、135。、225。、315。)對(duì)齊并且驅(qū)動(dòng)通道110與一個(gè)或多個(gè)腹點(diǎn)(antinode)(例如，0°、90。,180° ,270° )對(duì)齊。
[0024]圖2a是MEMS釋放之前硅光子光學(xué)機(jī)械陀螺儀的一個(gè)實(shí)施例的橫截面。圖2a的示例圖示圖1a和Ib的光學(xué)機(jī)械陀螺儀架構(gòu)的橫截面視圖。驅(qū)動(dòng)激光器215配置成通過(guò)調(diào)制器220和SiN稱合器225向尚未被釋放的光學(xué)機(jī)械圓盤240提供光學(xué)信號(hào)。光電檢測(cè)器230定位成接收光學(xué)信號(hào)。
[0025]圖2b是MEMS釋放之后硅光子光學(xué)機(jī)械陀螺儀的一個(gè)實(shí)施例的橫截面。在MEMS釋放步驟之后，在光學(xué)機(jī)械圓盤240下面存在腔260。圖2c是晶圓級(jí)封裝之后硅光子光學(xué)機(jī)械陀螺儀的一個(gè)實(shí)施例的橫截面。在圖2c中圖示的晶圓級(jí)封裝275可使用晶圓接合而貼合來(lái)包封并且調(diào)整振動(dòng)圓盤的周圍環(huán)境以確保高機(jī)械品質(zhì)因數(shù)。
[0026]圖3是用于利用光學(xué)機(jī)械陀螺儀的技術(shù)的一個(gè)實(shí)施例的流程圖。光學(xué)信號(hào)由激光器生成并且以光學(xué)機(jī)械圓盤的機(jī)械諧振頻率來(lái)調(diào)制，310。如上文描述的，這可通過(guò)用調(diào)制器調(diào)制光來(lái)實(shí)現(xiàn)或可調(diào)諧激光器來(lái)以正確的頻率生成光。
[0027]調(diào)制的光通過(guò)漸逝耦合而在光學(xué)機(jī)械圓盤中誘發(fā)振動(dòng)，320。光學(xué)機(jī)械圓盤然后作為光學(xué)環(huán)形諧振器和機(jī)械圓盤諧振器而操作。例如由包含光學(xué)機(jī)械圓盤的裝置的運(yùn)動(dòng)所引起的光學(xué)機(jī)械圓盤的物理運(yùn)動(dòng)導(dǎo)致感測(cè)通道光電檢測(cè)器所接收的光學(xué)信號(hào)的改變。
[0028]感測(cè)通道光電檢測(cè)器感測(cè)在感測(cè)通道上的光學(xué)信號(hào)的改變，330。裝置的運(yùn)動(dòng)從感測(cè)的信號(hào)改變而確定，340。運(yùn)動(dòng)與光電檢測(cè)器所感測(cè)的信號(hào)成比例。生成信號(hào)或其他指標(biāo)來(lái)指示運(yùn)動(dòng)，350。信號(hào)可以傳送，或指示可以存儲(chǔ)，或接口可以修改，或可響應(yīng)于運(yùn)動(dòng)而采取許多其他動(dòng)作。
[0029]圖4是電子系統(tǒng)的一個(gè)實(shí)施例的框圖。在圖4中圖不的電子系統(tǒng)意在代表一系列電子系統(tǒng)(有線或無(wú)線)，包括例如平板裝置、智能電話、臺(tái)式計(jì)算機(jī)系統(tǒng)、膝上型計(jì)算機(jī)系統(tǒng)、服務(wù)器、游戲控制臺(tái)、游戲控制器等。備選電子系統(tǒng)可包括更多、更少和/或不同的部件。
[0030]電子系統(tǒng)400包括用于傳送信息的總線405或其他通信裝置和耦合于總線405的處理器410 (其可處理信息)。電子系統(tǒng)400可包括多個(gè)處理器和/或協(xié)同處理器。電子系統(tǒng)400可進(jìn)一步包括耦合于總線405的隨機(jī)存取存儲(chǔ)器(RAM)或其他動(dòng)態(tài)存儲(chǔ)裝置420(稱為存儲(chǔ)器)，并且可存儲(chǔ)可由處理器410執(zhí)行的信息和指令。存儲(chǔ)器420還可用于在指令由處理器410執(zhí)行期間存儲(chǔ)暫時(shí)變量或其他中間信息。
[0031]電子系統(tǒng)400還可包括耦合于總線405的只讀存儲(chǔ)器(ROM)和/或其他靜態(tài)存儲(chǔ)裝置430，其可存儲(chǔ)對(duì)于處理器410的靜態(tài)信息和指令。數(shù)據(jù)存儲(chǔ)系統(tǒng)440可耦合于總線405來(lái)存儲(chǔ)信息和指令。數(shù)據(jù)存儲(chǔ)系統(tǒng)440 (例如磁盤或光盤和對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)器)可耦合于電子系統(tǒng)400。
[0032]電子系統(tǒng)400還可經(jīng)由總線405而耦合于顯示裝置450，其可以是用于向用戶顯示信息的任何類型的顯示裝置，例如觸摸屏。輸入裝置460可以是允許用戶向電子系統(tǒng)400提供輸入的任何類型的接口和/或裝置。輸入裝置可包括硬按鈕和/或軟按鈕、語(yǔ)音或揚(yáng)聲器輸入，用于向處理器410傳送信息和命令選擇。
[0033]電子系統(tǒng)400可進(jìn)一步包括傳感器470，其可用于支持由電子系統(tǒng)400提供的功能性。傳感器470可包括例如陀螺儀、接近傳感器、光傳感器等?？芍С衷S多傳感器和傳感器類型。在一個(gè)實(shí)施例中，陀螺儀可以是本文描述的光學(xué)機(jī)械陀螺儀。
[0034]電子系統(tǒng)400可進(jìn)一步包括網(wǎng)絡(luò)接口 480，用于提供對(duì)網(wǎng)絡(luò)(例如局域網(wǎng))的訪問。網(wǎng)絡(luò)接口 480可包括例如具有天線485的無(wú)線網(wǎng)絡(luò)接口，該天線485可代表一個(gè)或多個(gè)天線。網(wǎng)絡(luò)接口 480還可包括例如有線網(wǎng)絡(luò)接口，用于經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)纜線487而與遠(yuǎn)程裝置通信，該網(wǎng)絡(luò)纜線487可以是例如以太網(wǎng)電纜、同軸電纜、光纖纜、串行纜或并行纜。網(wǎng)絡(luò)訪問也可根據(jù)4G/LTE標(biāo)準(zhǔn)來(lái)提供。
[0035]在一個(gè)實(shí)施例中，網(wǎng)絡(luò)接口 480可例如通過(guò)遵循IEEE 802.1lb和/或ffiEE802.1lg和/或IEEE 802.1ln標(biāo)準(zhǔn)而提供對(duì)局域網(wǎng)的訪問，并且/或無(wú)線網(wǎng)絡(luò)接口可例如通過(guò)遵循藍(lán)牙標(biāo)準(zhǔn)而提供對(duì)個(gè)人區(qū)域網(wǎng)絡(luò)的訪問。還可以支持其他無(wú)線網(wǎng)絡(luò)接口和/或協(xié)議，例如4G/LTE。
[0036]IEEE 802.1lb對(duì)應(yīng)于 1999年 9 月 16 日批準(zhǔn)的題為“Local and Metropolitan AreaNetworks, Part 11: Wireless LAN Medium Access Control (MAC) and Physical Layer (PHY)Specifications: Higher-Speed Physical Layer Extension in the 2.4 GHz Band，，的 IEEE 標(biāo)準(zhǔn)802.llb-1999以及相關(guān)文獻(xiàn)。IEEE 802.1lg對(duì)應(yīng)于2003年6月27日批準(zhǔn)的題為“Localand Metropolitan Area Networks, Part 11: Wireless LAN Medium Access Control (MAC)and Physical Layer (PHY) Specifications, Amendment 4: Further Higher Rate Extensionin the 2.4 GHz Band”的IEEE標(biāo)準(zhǔn)802.llg-2003以及相關(guān)文獻(xiàn)。藍(lán)牙協(xié)議在2001年2月22 日由Bluetooth Special Interest Group, Inc.發(fā)布的“Specification of the BluetoothSystem: Core, Version 1.1”中描述。還可支持關(guān)聯(lián)的以及之前或隨后的藍(lán)牙標(biāo)準(zhǔn)的版本。
[0037]除經(jīng)由無(wú)線LAN標(biāo)準(zhǔn)的通信外或代替經(jīng)由無(wú)線LAN標(biāo)準(zhǔn)的通信，網(wǎng)絡(luò)接口 480可使用例如時(shí)分多址(TDMA)協(xié)議、全球移動(dòng)通信系統(tǒng)(GSM)協(xié)議、碼分多址(CDMA)協(xié)議和/或任何其他類型的無(wú)線通信協(xié)議而提供無(wú)線通信。
[0038]在說(shuō)明書中對(duì)“一個(gè)實(shí)施例”或“實(shí)施例”的引用意指結(jié)合實(shí)施例描述的特定特征、結(jié)構(gòu)或特性包括在本發(fā)明的至少一個(gè)實(shí)施例中。短語(yǔ)“在一個(gè)實(shí)施例中”在說(shuō)明書中各種地方的出現(xiàn)可并不一定全指相同的實(shí)施例。振動(dòng)模式的改變可使用對(duì)感測(cè)波導(dǎo)(感測(cè)通道)的漸逝耦合來(lái)檢測(cè)，該感測(cè)波導(dǎo)設(shè)計(jì)成處于驅(qū)動(dòng)模式節(jié)點(diǎn)處。在感測(cè)通道中的光電檢測(cè)器處的信號(hào)檢測(cè)指示外部運(yùn)動(dòng)的存在。
[0039]盡管本發(fā)明的實(shí)施例已經(jīng)從若干實(shí)施例方面描述，本領(lǐng)域內(nèi)技術(shù)人員將認(rèn)識(shí)到本發(fā)明不限于描述的實(shí)施例，而可以在附上的權(quán)利要求的精神和范圍內(nèi)在修改和更改的情況下實(shí)踐。描述從而要視為說(shuō)明性而非限制性的。
【權(quán)利要求】
1.一種設(shè)備，其包括: 光學(xué)機(jī)械圓盤，其充當(dāng)光學(xué)環(huán)形諧振器和機(jī)械圓盤諧振器； 驅(qū)動(dòng)激光器，用于生成光學(xué)驅(qū)動(dòng)信號(hào)； 驅(qū)動(dòng)通道，用于充當(dāng)對(duì)于所述光學(xué)驅(qū)動(dòng)信號(hào)的波導(dǎo)并且包括關(guān)于所述光學(xué)機(jī)械圓盤位于第一鄰近處的驅(qū)動(dòng)電極，所述驅(qū)動(dòng)電極通過(guò)漸逝耦合來(lái)激發(fā)所述環(huán)； 驅(qū)動(dòng)光電檢測(cè)器，其配置成從所述驅(qū)動(dòng)通道接收輸出光學(xué)信號(hào)； 感測(cè)激光器，用于生成光學(xué)感測(cè)信號(hào)； 感測(cè)通道，用于充當(dāng)對(duì)于所述光學(xué)感測(cè)信號(hào)的波導(dǎo)并且包括關(guān)于所述光學(xué)機(jī)械圓盤位于第二鄰近處的感測(cè)電極； 感測(cè)光電檢測(cè)器，其配置成從所述感測(cè)通道接收輸出光學(xué)信號(hào)。
2.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中所述驅(qū)動(dòng)激光器以所述光學(xué)機(jī)械圓盤的機(jī)械諧振頻率來(lái)調(diào)制光以通過(guò)光學(xué)機(jī)械力來(lái)驅(qū)使所述圓盤振動(dòng)。
3.如權(quán)利要求2所述的設(shè)備，其中所述光學(xué)機(jī)械力包括輻射壓力。
4.如權(quán)利要求2所述的設(shè)備，其中所述光學(xué)機(jī)械力包括光學(xué)梯度力。
5.如權(quán)利要求1所 述的設(shè)備，其進(jìn)一步包括調(diào)制器，用于以所述光學(xué)機(jī)械圓盤的機(jī)械諧振頻率來(lái)調(diào)制光學(xué)驅(qū)動(dòng)信號(hào)以通過(guò)光學(xué)機(jī)械力來(lái)驅(qū)使所述圓盤振動(dòng)。
6.如權(quán)利要求5所述的設(shè)備，其中所述光學(xué)機(jī)械力包括輻射壓力。
7.如權(quán)利要求5所述的設(shè)備，其中所述光學(xué)機(jī)械力包括光學(xué)梯度力。
8.一種平板計(jì)算裝置，其包括: 觸摸屏界面； 光學(xué)機(jī)械圓盤，其充當(dāng)光學(xué)環(huán)形諧振器和機(jī)械圓盤諧振器； 驅(qū)動(dòng)激光器，用于生成光學(xué)驅(qū)動(dòng)信號(hào)； 驅(qū)動(dòng)通道，用于充當(dāng)對(duì)于所述光學(xué)驅(qū)動(dòng)信號(hào)的波導(dǎo)并且包括關(guān)于所述光學(xué)機(jī)械圓盤位于第一鄰近處的驅(qū)動(dòng)電極，所述驅(qū)動(dòng)電極通過(guò)漸逝耦合來(lái)激發(fā)所述環(huán)； 驅(qū)動(dòng)光電檢測(cè)器，其配置成從所述驅(qū)動(dòng)通道接收輸出光學(xué)信號(hào)； 感測(cè)激光器，用于生成光學(xué)感測(cè)信號(hào)； 感測(cè)通道，用于充當(dāng)對(duì)于所述光學(xué)感測(cè)信號(hào)的波導(dǎo)并且包括關(guān)于所述光學(xué)機(jī)械圓盤位于第二鄰近處的感測(cè)電極； 感測(cè)光電檢測(cè)器，其配置成從所述感測(cè)通道接收輸出光學(xué)信號(hào)； 處理器，其耦合成用于監(jiān)視所述感測(cè)光電檢測(cè)器和所述驅(qū)動(dòng)光電檢測(cè)器，并且與所述觸摸屏界面耦合。
9.如權(quán)利要求8所述的平板，其中所述驅(qū)動(dòng)激光器以所述光學(xué)機(jī)械圓盤的機(jī)械諧振頻率來(lái)調(diào)制光以通過(guò)光學(xué)機(jī)械力來(lái)驅(qū)使所述圓盤振動(dòng)。
10.如權(quán)利要求9所述的平板，其中所述光學(xué)機(jī)械力包括輻射壓力。
11.如權(quán)利要求9所述的平板，其中所述光學(xué)機(jī)械力包括光學(xué)梯度力。
12.如權(quán)利要求8所述的平板，其進(jìn)一步包括調(diào)制器，用于以所述光學(xué)機(jī)械圓盤的機(jī)械諧振頻率來(lái)調(diào)制光學(xué)驅(qū)動(dòng)信號(hào)以通過(guò)光學(xué)機(jī)械力來(lái)驅(qū)使所述圓盤振動(dòng)。
13.如權(quán)利要求12所述的平板，其中所述光學(xué)機(jī)械力包括輻射壓力。
14.如權(quán)利要求12所述的平板，其中所述光學(xué)機(jī)械力包括光學(xué)梯度力。
15.—種系統(tǒng),其包括: 全向天線； 光學(xué)機(jī)械圓盤，其充當(dāng)光學(xué)環(huán)形諧振器和機(jī)械圓盤諧振器； 驅(qū)動(dòng)激光器，用于生成光學(xué)驅(qū)動(dòng)信號(hào)； 驅(qū)動(dòng)通道，用于充當(dāng)對(duì)于所述光學(xué)驅(qū)動(dòng)信號(hào)的波導(dǎo)并且包括關(guān)于所述光學(xué)機(jī)械圓盤位于第一鄰近處的驅(qū)動(dòng)電極，所述驅(qū)動(dòng)電極通過(guò)漸逝耦合來(lái)激發(fā)所述環(huán)； 驅(qū)動(dòng)光電檢測(cè)器，其配置成從所述驅(qū)動(dòng)通道接收輸出光學(xué)信號(hào)； 感測(cè)激光器，用于生成光學(xué)感測(cè)信號(hào)； 感測(cè)通道，用于充當(dāng)對(duì)于所述光學(xué)感測(cè)信號(hào)的波導(dǎo)并且包括關(guān)于所述光學(xué)機(jī)械圓盤位于第二鄰近處的感測(cè)電極； 感測(cè)光電檢測(cè)器，其配置成從所述感測(cè)通道接收輸出光學(xué)信號(hào)； 處理器，其耦合成用于監(jiān)視所述感測(cè)光電檢測(cè)器和所述驅(qū)動(dòng)光電檢測(cè)器，并且與所述觸摸屏界面耦合。
16.如權(quán)利要求15所述的系統(tǒng)，其進(jìn)一步包括觸摸屏界面。
17.如權(quán)利要求15所述的系統(tǒng)，其中所述驅(qū)動(dòng)激光器以所述光學(xué)機(jī)械圓盤的機(jī)械諧振頻率來(lái)調(diào)制光以通過(guò)光學(xué)機(jī)械力來(lái)驅(qū)使所述圓盤振動(dòng)。
18.如權(quán)利要求17所述的系統(tǒng)，其中所述光學(xué)機(jī)械力包括輻射壓力。
19.如權(quán)利要求17所述的系統(tǒng)，其中所述光學(xué)機(jī)械力包括光學(xué)梯度力。
20.如權(quán)利要求15所述的系統(tǒng)，其進(jìn)一步包括調(diào)制器，用于以所述光學(xué)機(jī)械圓盤的機(jī)械諧振頻率來(lái)調(diào)制光學(xué)驅(qū)動(dòng)信號(hào)以通過(guò)光學(xué)機(jī)械力來(lái)驅(qū)使所述圓盤振動(dòng)。
21.如權(quán)利要求20所述的系統(tǒng)，其中所述光學(xué)機(jī)械力包括輻射壓力。
22.如權(quán)利要求20所述的系統(tǒng)，其中所述光學(xué)機(jī)械力包括光學(xué)梯度力。
【文檔編號(hào)】G01C19/66GK103998895SQ201180075842
【公開日】2014年8月20日 申請(qǐng)日期:2011年12月23日 優(yōu)先權(quán)日:2011年12月23日
【發(fā)明者】J.赫克, H.榮, R.瓊斯 申請(qǐng)人:英特爾公司