專利名稱：一種金屬薄膜試樣的自動(dòng)研磨裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種試樣的制備裝置，特別涉及一種金屬薄膜試樣的自動(dòng)研磨裝置，該裝置及研磨方法也同樣適用于金屬薄板試樣的研磨及拋光。
背景技術(shù)：
透射電鏡是通過高速電子透過試樣薄區(qū)穿透成像的，物質(zhì)對電子的散射很強(qiáng)，電子在物質(zhì)中的穿透深度有限，用作透射電鏡觀察的試樣要求厚度在500埃至2000埃，表面清潔，具有面積大且無人為缺陷的薄區(qū)(電子束透明區(qū))。薄膜試樣制作的成功與否直接關(guān)系到透射電鏡的觀察結(jié)果。制作理想的透射電鏡試樣要經(jīng)過多道工序的減薄，其中機(jī)械預(yù)減薄是制樣的最基礎(chǔ)最關(guān)鍵的步驟。它要求將試樣從0. 5mm左右研磨至30 μ m左右。目前常用的機(jī)械預(yù)減薄方法是將切割好的薄片用膠粘在金屬塊或橡皮上，手持金屬塊或橡皮在砂紙上研磨。研磨試樣的力度大小及著力點(diǎn)是由手上的力度和用力點(diǎn)決定的。由于試樣很薄，人為的用力不均會(huì)直接導(dǎo)致試樣磨偏，使試樣薄厚不均，試樣產(chǎn)生的干擾層也不均，對下一步的減薄造成影響。用粘貼的方法固定試樣主要存在兩個(gè)問題，第一， 試樣安裝和取下困難。安裝的試樣時(shí)要等上幾小時(shí)甚至是20小時(shí)才能把試樣粘牢。取下試樣時(shí)需要用有機(jī)溶劑將膠溶解，試樣表面會(huì)有殘留的膠，清理困難。第二，由于裝卸時(shí)間長，試樣在研磨過程中無法隨時(shí)取下試樣測量厚度，因此厚度很難控制。如果研磨后取下試樣，測量試樣厚度未達(dá)到要求，還需重新粘貼試樣，就會(huì)使制樣時(shí)間延長。目前透射電鏡金屬薄膜試樣的機(jī)械預(yù)減薄方法均無法避免人為因素的影響，不能達(dá)到制作理想薄膜試樣的要求。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于為制作透射電鏡金屬薄膜試樣提供一種自動(dòng)研磨裝置，該裝置裝卸試樣方便、快捷，能自動(dòng)研磨試樣，可消除人為因素在機(jī)械減薄過程中對制樣效果的影響。本實(shí)用新型的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的，它包括載物臺和研磨裝置，載物臺包括底座、 滑道、滑塊、支柱；載物臺下方是底座，底座與滑道連接為一體，滑塊連接在滑道內(nèi)，滑塊上安有支柱，研磨裝置包括磨塊和連桿，磨塊與連桿固定，連桿套在兩端的支柱上，電機(jī)連接在一側(cè)的滑道上。本實(shí)用新型的具體結(jié)構(gòu)有，底座上裝有耐磨層，由定位銷固定，底座與耐磨層的中心位置有一對應(yīng)的凹槽，內(nèi)置試樣防滑墊，試樣放置在防滑墊上，防滑墊與耐磨層有30 μ m 的高度差，可防止試樣滑出防滑墊。本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)還有，砂紙粘貼在磨塊底部，磨塊中心有空腔，空腔中裝有砝碼，砝碼重量可根據(jù)需要調(diào)換。本實(shí)用新型連桿的兩側(cè)圓柱套與支柱緊配合，圓柱套帶動(dòng)磨塊可沿支柱上下滑動(dòng)，用以放、取試樣及調(diào)整磨塊與試樣的距離。[0010]本實(shí)用新型采用電機(jī)驅(qū)動(dòng)滑塊，在滑道上運(yùn)動(dòng)，從而使支柱帶動(dòng)磨塊往復(fù)運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)對試樣的研磨。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)及效果在于1、磨塊與砝碼的重量可對試樣施加向下的研磨壓力，與原手動(dòng)研磨相比施力均勻，試樣不會(huì)磨偏，制樣成功率高。2、滑塊在電機(jī)的驅(qū)動(dòng)下往復(fù)運(yùn)動(dòng)，帶動(dòng)磨塊往復(fù)運(yùn)動(dòng)研磨試樣，操作方便，制樣效率高，與原手動(dòng)拋光相比省時(shí)、省力。3、磨塊與連桿連接在一起， 可沿支柱上下移動(dòng)，只需用手提起磨塊就可將試樣取出，試樣裝卸方便，可隨時(shí)取下試樣測量試樣厚度。4、本實(shí)用新型在磨樣過程中無人為因素干擾，制樣條件穩(wěn)定，制樣效果的可重復(fù)性高。

圖1為本實(shí)用新型的主視圖；圖2為本實(shí)用新型的裝置的立體圖；圖3是耐磨層上的定位銷分布圖。圖中1滑道、2滑塊、3支柱、4連桿、5電機(jī)、6磨塊、7砝碼、8砂紙、9防滑墊、10底座、11耐磨層、12定位銷。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)說明。如圖1、2所示，載物臺和研磨裝置，載物臺包括底座10、滑道1、滑塊2、支柱3 ；研磨裝置包括磨塊6和連桿4，載物臺下方是底座10，底座10與滑道1連接為一體，滑塊2連接在滑道1內(nèi)，滑塊2上安有支柱3，磨塊2與連桿4固定，連桿4套在兩端的支柱3上，電機(jī)5連接在一側(cè)的滑道1上。如圖3所示，底座10上表面與耐磨層11用定位銷12連接固定其固定方式不限定， 能固定即可，如圖1所示，底座10與耐磨層11的中心位置有一對應(yīng)的凹槽，內(nèi)置試樣防滑墊9，滑墊9可以是磁鐵、帶細(xì)紋的硬質(zhì)橡膠等，試樣放置在防滑墊9上，防滑墊9與耐磨層 11之間有30 μ m的高度差可防止試樣滑出防滑墊9。如圖1、2所示，研磨裝置由磨塊6和連桿2組成，兩側(cè)連桿4要對稱安裝在磨塊6 的兩側(cè)，連桿4的一端為圓柱環(huán)，套在支柱3上，將支柱3與磨塊6連接在一起，用電機(jī)5帶動(dòng)一側(cè)滑塊2在滑道1上左右往復(fù)滑動(dòng)，即可帶動(dòng)整個(gè)研磨裝置對試樣進(jìn)行左右滑動(dòng)研磨， 使用背面帶有粘膠的砂紙，砂紙粘貼在磨塊6底部，磨塊6中心有空腔，空腔中裝有砝碼7， 研磨力度的大小通過放置磨塊中心空腔內(nèi)的砝碼7進(jìn)行調(diào)節(jié)，研磨時(shí)根據(jù)制樣要求更換砂紙8的型號，粘于磨塊6底部。在磨樣過程中可隨時(shí)停止電機(jī)5，提起磨塊6取出試樣測量試樣厚度。
權(quán)利要求1.一種金屬薄膜試樣的自動(dòng)研磨裝置，其特征在于，它包括載物臺和研磨裝置，載物臺包括底座、滑道、滑塊、支柱，載物臺下方是底座，底座與滑道連接為一體，滑塊連接在滑道內(nèi)，滑塊上安有支柱；研磨裝置包括磨塊和連桿，磨塊與連桿固定，連桿套在兩端的支柱上，電機(jī)連接在一側(cè)的滑道上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種金屬薄膜試樣的自動(dòng)研磨裝置，其特征在于，所述的底座上裝有耐磨層，由定位銷固定，底座與耐磨層的中心位置有一對應(yīng)的凹槽，內(nèi)置試樣防滑墊，試樣放置在防滑墊上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種金屬薄膜試樣的自動(dòng)研磨裝置，其特征在于，砂紙粘貼在磨塊底部，磨塊底部與砂紙的粘貼面是高精度平面，磨塊中心有空腔，空腔中裝有砝碼， 砝碼重量可根據(jù)需要調(diào)換。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種金屬薄膜試樣的自動(dòng)研磨裝置，它包括載物臺和研磨裝置，載物臺包括底座、滑道、滑塊、支柱；研磨裝置包括磨塊和連桿，載物臺下方是底座，底座與滑道連接為一體，滑塊連接在滑道內(nèi)，滑塊上安有支柱，磨塊與連桿固定，連桿套在兩端的支柱上，電機(jī)連接在一側(cè)的滑道上。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)及效果在于試樣安裝使用穩(wěn)定性好，磨制過程試樣不會(huì)磨偏，且不受人為因素干擾，制樣成功率高；試樣裝、卸方便，省時(shí)、省力；磨塊往復(fù)運(yùn)動(dòng)研磨試樣，制樣效率高，效果顯著。
文檔編號G01N1/32GK202133576SQ20112020047
公開日2012年2月1日 申請日期2011年6月14日 優(yōu)先權(quán)日2011年6月14日
發(fā)明者張之勝, 張鵬遠(yuǎn), 徐烽, 李桂艷, 楊靜, 趙寶純, 隋曉紅 申請人:鞍鋼股份有限公司