專(zhuān)利名稱(chēng):測(cè)溫裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實(shí)用新型是有關(guān)一種測(cè)溫裝置,特別是指一種藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐的測(cè)溫裝置。
背景技術(shù):
藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐的爐壁上設(shè)置有一觀察孔。觀察孔內(nèi)設(shè)置有一用以觀察爐體內(nèi)情形的石英或是藍(lán)寶石材質(zhì)的玻璃,以供操作人員由爐外觀察爐內(nèi)狀況。舉例來(lái)說(shuō),因?yàn)樗{(lán)寶石長(zhǎng)晶爐在長(zhǎng)晶的過(guò)程中需要良好的溫度監(jiān)控,因此使用紅外線溫度偵測(cè)器自爐體外產(chǎn)生紅外線經(jīng)由觀察孔的玻璃入射至爐體內(nèi),以獲得爐內(nèi)的溫度值。但藍(lán)寶石長(zhǎng)晶過(guò)程需在高真空及高溫中操作,舉例來(lái)說(shuō)高達(dá)2100 2200°C的高溫。然而在此相當(dāng)高溫的情況下,爐體內(nèi)利用金屬材質(zhì)所制成的鎢坩鍋會(huì)產(chǎn)生金屬蒸汽 (鎢蒸汽)或是其他氧化物雜質(zhì)。此些雜質(zhì)將附著在爐體內(nèi)各處。在長(zhǎng)時(shí)間生產(chǎn)的周期中, 大約二個(gè)星期,安裝在爐體觀察孔上的石英或是藍(lán)寶石材質(zhì)的玻璃將遭受到金屬蒸汽或者氧化物的污染及附著,嚴(yán)重干擾紅外線反射波長(zhǎng),造成無(wú)法透過(guò)此玻璃量測(cè)爐體內(nèi)溫度。有鑒于此,本實(shí)用新型遂針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)的缺失,提出一種適用于藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐的測(cè)溫裝置,以有效克服上述的所述等問(wèn)題。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的主要目的在提供一種適用于藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐的測(cè)溫裝置,其氧化鋯管末端是處于加熱器旁,以使紅外線溫度偵測(cè)器所發(fā)射的紅外線直接照射于氧化鋯管末端, 而獲得準(zhǔn)確性較佳的溫度。本實(shí)用新型的另一目的在提供一種適用于藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐的測(cè)溫裝置,其能有效保護(hù)石英或藍(lán)寶石材質(zhì)的玻璃免于金屬蒸汽或者氧化物的污染及附著,并進(jìn)而確保紅外線反射波長(zhǎng)經(jīng)石英或藍(lán)寶石材質(zhì)的玻璃仍與實(shí)際相同。為達(dá)上述的目的,本實(shí)用新型提出一種裝設(shè)于一藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐上的測(cè)溫裝置。此藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐包含有一觀察孔上與一設(shè)置于藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐爐內(nèi)的加熱器,觀察孔上設(shè)置有一玻璃。本實(shí)用新型的測(cè)溫裝置主要包含有一氧化鋯管與一紅外線溫度偵測(cè)器。上述的氧化鋯管是設(shè)置于藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐內(nèi)。氧化鋯管前端鄰近玻璃,末端延伸至加熱器。上述的紅外線溫度偵測(cè)器是設(shè)置于藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐外。紅外線溫度偵測(cè)器的檢測(cè)端對(duì)應(yīng)觀察孔,以發(fā)出紅外光直接穿透過(guò)玻璃量測(cè)氧化鋯管末端的溫度。較佳的,所述氧化鋯管的前端是利用一密封件裝設(shè)于所述觀察孔內(nèi)。較佳的,所述觀察孔外周壁上設(shè)置有一冷卻裝置。較佳的,其更包含有一固定件,其是將所述紅外線溫度偵測(cè)器的檢測(cè)端固定于所述觀察孔上。在本實(shí)用新型的測(cè)溫裝置下,紅外線溫度偵測(cè)器所發(fā)出的紅外光將直接照射在氧化鋯管末端,此時(shí)因?yàn)檠趸喒苣┒耸翘幱诩訜崞髋赃?,所以可獲得準(zhǔn)確性較佳的量測(cè)溫度,此測(cè)溫的準(zhǔn)確性高達(dá)約士0. 003%。[0012]此外,因?yàn)楸緦?shí)用新型安裝氧化鋯管的同時(shí)一并保護(hù)石英或藍(lán)寶石材質(zhì)的玻璃免于金屬蒸汽或者氧化物的污染及附著,因此紅外線溫度偵測(cè)器所發(fā)射出的紅外線自氧化鋯管末端反射回來(lái)穿過(guò)此玻璃時(shí),將不會(huì)遭受到金屬蒸汽或者氧化物的污染,進(jìn)而確保紅外線反射波長(zhǎng)與實(shí)際相同。
圖1是本實(shí)用新型的測(cè)溫裝置的實(shí)施例示意圖;圖2是圖1的局部放大示意圖。附圖標(biāo)記說(shuō)明10-測(cè)溫裝置;12-藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐;14-觀察孔;16-加熱器;18-玻璃;20-氧化鋯管;22-紅外線溫度偵測(cè)器;24-密封件;26-冷卻裝置。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖,對(duì)本實(shí)用新型上述的和另外的技術(shù)特征和優(yōu)點(diǎn)作更詳細(xì)的說(shuō)明。請(qǐng)一并參閱圖1與圖2,其是本實(shí)用新型的測(cè)溫裝置的實(shí)施例示意圖與圖1的局部放大示意圖。如圖所示,本實(shí)用新型的測(cè)溫裝置10是裝設(shè)于一藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐12上。此藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐12包含有一觀察孔14與一設(shè)置于藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐12爐內(nèi)的加熱器16。此觀察孔14上設(shè)置有一石英或是藍(lán)寶石材質(zhì)的玻璃18,以供觀察爐體內(nèi)情形。本實(shí)用新型的測(cè)溫裝置10主要包含有一氧化鋯管20與一紅外線溫度偵測(cè)器22。上述的氧化鋯管20是設(shè)置于藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐12內(nèi)。氧化鋯管20前端鄰近玻璃18,末端延伸至加熱器16。上述的紅外線溫度偵測(cè)器22是設(shè)置于藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐12外。紅外線溫度偵測(cè)器22的檢測(cè)端對(duì)應(yīng)觀察孔14,以發(fā)出紅外光直接穿透過(guò)玻璃18,來(lái)量測(cè)氧化鋯管20末端的溫度。再者,上述的氧化鋯管20的前端是利用真空密封技術(shù)使用一密封件M裝設(shè)于觀察孔14內(nèi),并由此保護(hù)觀察孔14內(nèi)的石英或藍(lán)寶石玻璃18免于遭受到金屬蒸汽或者氧化物的污染及附著。再者,觀察孔14外周壁上設(shè)置有一冷卻裝置26,以消除藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐內(nèi)高溫?zé)醾鲗?duì)本實(shí)用新型的測(cè)溫裝置的影響,舉例來(lái)說(shuō)對(duì)密封件、氧化鋯等的影響。此外,本實(shí)用新型的測(cè)溫裝置10的紅外線溫度偵測(cè)器22是通過(guò)一固定件觀來(lái)將紅外線溫度偵測(cè)器22的檢測(cè)端固定于觀察孔14上。當(dāng)然,此固定件觀的施行實(shí)施例可以有各種型態(tài)變化,而在圖示中是舉一可套接于觀察孔內(nèi)周壁的固定件作為實(shí)施例,但并不以此局限此固定件只能以此型態(tài)施行。在本實(shí)用新型的測(cè)溫裝置下,紅外線溫度偵測(cè)器所發(fā)出的紅外光將直接照射在氧化鋯管末端,此時(shí)因?yàn)檠趸喒苣┒耸翘幱诩訜崞髋赃?,所以可獲得準(zhǔn)確性較佳的量測(cè)溫度,此測(cè)溫的準(zhǔn)確性高達(dá)約士0. 003%。此外,因?yàn)楸緦?shí)用新型安裝氧化鋯管的同時(shí)一并保護(hù)石英或藍(lán)寶石材質(zhì)的玻璃免于金屬蒸汽或者氧化物的污染及附著,因此紅外線溫度偵測(cè)器所發(fā)射出的紅外線自氧化鋯管末端反射回來(lái)穿過(guò)此玻璃時(shí),將不會(huì)遭受到金屬蒸汽或者氧化物的污染,進(jìn)而確保紅外線反射波長(zhǎng)與實(shí)際相同。以上說(shuō)明對(duì)本實(shí)用新型而言只是說(shuō)明性的,而非限制性的,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員理解,在不脫離以下所附權(quán)利要求所限定的精神和范圍的情況下,可做出許多修改,變化, 或等效,但都將落入本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種測(cè)溫裝置,其特征在于,其是裝設(shè)于一藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐上,所述藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐包含有一觀察孔上與一設(shè)置于所述藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐爐內(nèi)的加熱器,所述觀察孔上設(shè)置有一玻璃, 所述測(cè)溫裝置包含有一氧化鋯管,其是設(shè)置于所述藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐爐內(nèi),所述氧化鋯管前端鄰近所述玻璃,末端延伸至所述加熱器;以及一紅外線溫度偵測(cè)器,其是設(shè)置于所述藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐外,所述紅外線溫度偵測(cè)器的檢測(cè)端對(duì)應(yīng)所述觀察孔,以發(fā)出紅外光直接穿透過(guò)所述玻璃量測(cè)所述氧化鋯管末端的溫度。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)溫裝置,其特征在于,所述氧化鋯管的前端是利用一密封件裝設(shè)于所述觀察孔內(nèi)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)溫裝置,其特征在于,所述觀察孔外周壁上設(shè)置有一冷卻直ο
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)溫裝置,其特征在于,其更包含有一固定件,其是將所述紅外線溫度偵測(cè)器的檢測(cè)端固定于所述觀察孔上。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型提供一種裝設(shè)于一藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐上的測(cè)溫裝置。此藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐包含有一觀察孔上與一設(shè)置于藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐爐內(nèi)的加熱器,觀察孔上設(shè)置有一玻璃。本實(shí)用新型的測(cè)溫裝置主要包含有一氧化鋯管與一紅外線溫度偵測(cè)器。上述的氧化鋯管是設(shè)置于藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐內(nèi),且前端鄰近玻璃,末端延伸至加熱器。上述的紅外線溫度偵測(cè)器是設(shè)置于藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐外且檢測(cè)端對(duì)應(yīng)觀察孔,紅外線溫度偵測(cè)器發(fā)出紅外光直接穿透過(guò)玻璃量測(cè)氧化鋯管末端的溫度,以獲得準(zhǔn)確性高的溫度量測(cè)值。
文檔編號(hào)G01J5/00GK202177454SQ20112004157
公開(kāi)日2012年3月28日 申請(qǐng)日期2011年2月17日 優(yōu)先權(quán)日2011年2月17日
發(fā)明者謝旭明 申請(qǐng)人:宏貿(mào)科技有限公司