專利名稱：檢驗(yàn)設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種檢驗(yàn)設(shè)備。更具體地說，本發(fā)明涉及一種用于判斷形成于板上的測量目標(biāo)的好壞的檢驗(yàn)設(shè)備。
背景技術(shù)：
一般而言，在電子器件中至少使用一個(gè)印刷電路板(PCB)，并且例如電路圖案、連接焊盤部、電連接到連接焊盤部的驅(qū)動(dòng)芯片等各種電路元件安裝在PCB上。通常使用板檢驗(yàn)設(shè)備來檢查形成或構(gòu)造于印刷電路板上的各種電路元件是否良好。在常規(guī)的板檢驗(yàn)設(shè)備中，檢驗(yàn)PCB需要耗費(fèi)大量時(shí)間并占用大的作業(yè)空間。因此，需要一種能夠縮短檢驗(yàn)PCB所需的時(shí)間并且確保檢驗(yàn)PCB所需的空間的檢驗(yàn)設(shè)備。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的示例性實(shí)施例提供一種能夠縮短檢驗(yàn)板所需的時(shí)間并且保證檢驗(yàn)板所需的空間的檢驗(yàn)設(shè)備。以下描述中提到了本發(fā)明的附加特征，并且部分附加特征可從描述中直接得出， 或可以通過實(shí)踐本發(fā)明來獲悉。本發(fā)明的示例性實(shí)施例公開一種檢驗(yàn)設(shè)備。所述檢驗(yàn)設(shè)備包括工作架部、光學(xué)組件和光學(xué)組件移動(dòng)部。所述工作架部將板移動(dòng)到測量位置并且支撐所述板。所述光學(xué)組件包括投射部，其布置在所述板的上方，以將光柵圖案光投射到所述板上；圖像采集部，其布置在所述投射部的側(cè)部處，以接收被所述板向上反射的光柵圖案光并且采集反射圖像； 以及第一光路改變部，其改變被所述板向上反射的光柵圖案光的光路并且將光柵圖案光引導(dǎo)到所述圖像采集部，從而使光柵圖案光向下入射到所述圖像采集部中。所述光學(xué)組件移動(dòng)部布置在所述光學(xué)組件的上方，并且與所述光學(xué)組件相連以使所述光學(xué)組件移動(dòng)。例如，所述工作架部可以包括目標(biāo)移動(dòng)裝置，所述目標(biāo)移動(dòng)裝置用于將所述板移動(dòng)到所述測量位置。所述目標(biāo)移動(dòng)裝置可以使所述板沿第一方向移動(dòng)，所述光學(xué)組件移動(dòng)部可以使所述光學(xué)組件沿與所述第一方向大致垂直的第二方向移動(dòng)。所述圖像采集部可以布置在所述投射部的與所述第二方向?qū)?yīng)的第一側(cè)部處。所述檢驗(yàn)設(shè)備還可以包括線纜引導(dǎo)部，所述線纜引導(dǎo)部布置在所述投射部的第二側(cè)部處，所述第二側(cè)部與所述投射部的布置有所述圖像采集部的第一側(cè)部相反。所述光學(xué)組件移動(dòng)部可以布置在所述線纜引導(dǎo)部上方并且與所述線纜引導(dǎo)部相連。在示例性實(shí)施例中，所述第一光路改變部可以包括第一反射鏡，所述第一反射鏡將被所述板向上反射的光柵圖案光水平地反射向所述投射部的布置有所述圖像采集部的側(cè)部。所述第一光路改變部還可以包括第二反射鏡，所述第二反射鏡將被所述第一反射鏡水平反射的光柵圖案光向下反射向所述圖像采集部。
所述投射部可以布置成與所述板大致垂直，并且所述光學(xué)組件還可以包括第二光路改變部，所述第二光路改變部改變光路從而使得來自所述投射部的光柵圖案光傾斜地入射到所述板上。所述光學(xué)組件可以包括ail個(gè)投射部，m為自然數(shù)，當(dāng)從俯視圖中觀察時(shí)，所述ail個(gè)投射部可以以規(guī)則的間隔分隔開地布置在與所述板大致平行的圓周上。所述第二光路改變部可以包括布置在投射部中每一個(gè)投射部下方的第三反射鏡和布置在所述第三反射鏡下方的第四反射鏡。所述第三反射鏡將向下入射到所述第三反射鏡上的光柵圖案光沿與所述投射部大致垂直的方向反射向布置在所述投射部下方并且面向所述投射部的所述第四反射鏡，所述第四反射鏡將來自所述第三反射鏡的光柵圖案光反射向所述板。所述 an個(gè)投射部中的每個(gè)投射部均可以包括用于產(chǎn)生光的光源和用于將來自所述光源的光轉(zhuǎn)換成光柵圖案光的光柵部件，與所述an個(gè)投射部中的每個(gè)投射部對應(yīng)的所述光柵部件被一個(gè)光柵移動(dòng)裝置移動(dòng)。所述光學(xué)組件還可以包括照明部，所述照明部與所述投射部、所述圖像采集部和所述第一光路改變部相連成一體，所述照明部布置在所述光學(xué)組件的主體的下方以向所述板提供光。本發(fā)明的另一示例性實(shí)施例公開一種檢驗(yàn)設(shè)備。所述檢驗(yàn)設(shè)備包括目標(biāo)移動(dòng)部， 其將板移動(dòng)到測量位置；投射部，其將光柵圖案光投射到所述板上；圖像采集部，其布置在所述投射部的側(cè)部處，以通過接收被所述板反射的光柵圖案光來采集反射圖像；以及光路改變部，其改變被所述板反射的光柵圖案光的光路并且將光柵圖案光引導(dǎo)到所述圖像采集部。在示例性實(shí)施例中，所述檢驗(yàn)設(shè)備還可以包括并排布置的至少兩個(gè)工作架。每個(gè)工作架均從相鄰的設(shè)備接納板，并且獨(dú)立地支撐所接納的板，并且獨(dú)立地對每個(gè)板進(jìn)行檢驗(yàn)。在示例性實(shí)施例中，檢驗(yàn)設(shè)備還可以包括光學(xué)組件移動(dòng)部，所述光學(xué)組件移動(dòng)部布置在所述投射部和所述圖像采集部的上方，以使所述投射部和所述圖像采集部移動(dòng)。在示例性實(shí)施例中，所述光路改變部可以包括第一反射鏡，其將被所述板向上反射的光柵圖案光水平地反射向所述投射部的布置有所述圖像采集部的側(cè)部；以及第二反射鏡，其將被所述第一反射鏡水平反射的光柵圖案光向下反射向所述圖像采集部。本發(fā)明的另一示例性實(shí)施例公開一種檢驗(yàn)設(shè)備。所述檢驗(yàn)設(shè)備包括投射部，其將光柵圖案光投射到板上；圖像采集部，其接收被所述板反射的光柵圖案光并且采集反射圖像；光路改變部，其包括至少一個(gè)反射鏡和用于固定所述至少一個(gè)反射鏡的反射鏡固定部， 所述至少一個(gè)反射鏡改變光路從而使得來自所述投射部的光柵圖案光傾斜地入射到所述板上；以及照明部，其與所述光路改變部的反射鏡固定部相連，并且布置在所述反射鏡固定部的下方，以向所述板提供光。在示例性實(shí)施例中，所述檢驗(yàn)設(shè)備可以包括ail個(gè)投射部，m為自然數(shù)，所述ail個(gè)投射部中的每個(gè)投射部均可以布置成與所述板大致垂直，當(dāng)從俯視圖中觀察時(shí)，所述ail個(gè)投射部可以以規(guī)則的間隔分隔開地布置在與所述板大致平行的圓周上。所述光路改變部可以包括布置在投射部中每一個(gè)投射部下方的第三反射鏡和布置在所述第三反射鏡下方的第四反射鏡。所述第三反射鏡將向下入射到所述第三反射鏡上的光柵圖案光沿與所述投射部大致垂直的方向反射向布置在所述投射部下方并且面向所述投射部的所述第四反射鏡，所述第四反射鏡將來自所述第三反射鏡的光柵圖案光反射向所述板。在示例性實(shí)施例中，所述檢驗(yàn)設(shè)備還可以包括工作架部，其從相鄰的設(shè)備接納板并且將所述板移動(dòng)到測量位置，所述工作架部包括并排布置以支撐所述板的至少兩個(gè)工作架；以及光學(xué)組件移動(dòng)部，其布置在所述投射部和所述圖像采集部的上方并且與所述投射部和所述圖像采集部相連，以使所述投射部和所述圖像采集部移動(dòng)。根據(jù)本發(fā)明，所述板檢驗(yàn)設(shè)備包括多個(gè)工作架，并且各個(gè)工作架獨(dú)立地進(jìn)行板檢驗(yàn)，因此大幅縮短檢驗(yàn)板所需的時(shí)間。此外，用于移動(dòng)包括投射部的光學(xué)組件的光學(xué)組件移動(dòng)部布置在光學(xué)組件的上方，用于接收從投射部產(chǎn)生的光柵圖案光的圖像采集部布置在投射部的側(cè)部，以保證因安裝工作架而變小的空間。應(yīng)該理解，上文的概述和下文的詳述是為了進(jìn)行舉例說明，并且是想?yún)⒄諜?quán)利要求書對本發(fā)明作進(jìn)一步的解釋。


附圖示出了本發(fā)明的實(shí)施例，用于更充分地理解本發(fā)明且被納入說明書中以構(gòu)成說明書的一部分，并且與下文中的描述一起說明本發(fā)明的原理。圖1是示出根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例的板檢驗(yàn)設(shè)備的正視圖。圖2是示出圖1中所示的板檢驗(yàn)設(shè)備的工作架部分的俯視圖。圖3是圖1中所示的板檢驗(yàn)設(shè)備的光學(xué)組件的光路的示意圖。圖4是示出圖1中所示的板檢驗(yàn)設(shè)備的光學(xué)組件的示例性實(shí)施例的正視圖。圖5是示出圖4中所示的板檢驗(yàn)設(shè)備的光學(xué)組件的俯視圖。
具體實(shí)施例方式下面參考附圖更全面地描述本發(fā)明，其中附圖中示出了本發(fā)明的示例性實(shí)施例。 然而，本發(fā)明可以用很多不同的方式來實(shí)現(xiàn)，而不能認(rèn)為限于本文中所提到的示例性實(shí)施例。當(dāng)然，提供示例性實(shí)施例是為了使公開充分并全面，并且向本領(lǐng)域的技術(shù)人員充分地傳達(dá)本發(fā)明的范圍。為清晰起見，附圖中可能放大某些層和區(qū)域的尺寸和相對尺寸。應(yīng)該理解，當(dāng)文中提到部件或?qū)印霸诹硪徊考驅(qū)由稀?、“與另一部件或?qū)舆B接”或 “與另一部件或?qū)酉噙B”時(shí)，該部件或?qū)涌梢灾苯釉诹硪徊考驅(qū)由?、與另一部件或?qū)又苯舆B接或與另一部件或?qū)又苯酉噙B，或者在該部件或?qū)优c另一部件或?qū)又g可以存在介入的部件或?qū)?。相比之下，?dāng)文中提到部件“直接位于另一部件或?qū)由稀?、“與另一部件或?qū)又苯舆B接”或“與另一部件或?qū)又苯酉噙B”時(shí)，不存在介入的部件或?qū)?。在全文中，相同的附圖標(biāo)記表示相同的部件。本文所使用的短語“和/或”包括一個(gè)或多個(gè)相關(guān)列舉項(xiàng)的任意組合和全部組合。應(yīng)該理解，盡管文中可以使用短語第一、第二和第三等來描述多個(gè)部件、組件、區(qū)域、層和/或部分，但這些部件、組件、區(qū)域、層和/或部分不受這些短語限制。這些短語僅僅用來將一個(gè)部件、組件、區(qū)域、層或部分與另一個(gè)區(qū)域、層或部分區(qū)分開。從而，在不背離本發(fā)明的教導(dǎo)的情況下，可以將下文所述的第一部件、第一組件、第一區(qū)域、第一層或第一部分稱為第二部件、第二組件、第二區(qū)域、第二層或第二部分。在本文中，為了便于描述，可以使用諸如“之下”、“下方”、“較低”、“上方”和“較高”等空間相對短語來描述附圖中所示的一個(gè)部件或特征與另一個(gè)(些)部件或特征的關(guān)系。 應(yīng)該理解，除了圖中示出的方位外，空間相對短語還意圖涵蓋裝置在使用或操作中的不同方位。例如，如果裝置在圖中翻轉(zhuǎn)，則描述為在其它部件或特征“下方”或“之下”的部件的方位將變?yōu)樵谄渌考蛱卣鳌吧戏健?。從而，示例性短語“下方”可以涵蓋上方和下方兩個(gè)方位。該裝置可以以其它方式定方位(旋轉(zhuǎn)90度或在其它方位)，并且對本文所使用的空間相對描述詞做相應(yīng)理解。本文所使用的術(shù)語僅僅為了描述具體的示例性實(shí)施例，而不是為了限制本發(fā)明。 除非文中明確指出，否則本文所使用的單數(shù)形式“一”、“一個(gè)”和“該”意圖涵蓋復(fù)數(shù)形式。 還應(yīng)該理解，短語“包括”和/或“包含”在用于本說明書時(shí)表示存在所提及的特征、整體、 步驟、操作、部件和/或組件，但不排除存在額外的一個(gè)或多個(gè)其它特征、整體、步驟、操作、 部件、組件和/或它們的組合。在本文中參考剖視圖來描述本發(fā)明的示例性實(shí)施例，其中剖視圖是本發(fā)明理想示例性實(shí)施例(和中間結(jié)構(gòu))的示意圖。如此，可以預(yù)料到會(huì)因例如制造工藝和/或公差而與所圖示的形狀存在差異。從而，本發(fā)明的示例性實(shí)施例不應(yīng)該看作限于本文所示區(qū)域的具體形狀，而應(yīng)該包括由例如制造導(dǎo)致的形狀偏差。例如，示出為矩形的注入?yún)^(qū)域在邊緣處通常具有整圓的或彎曲的特征和/或注入濃度梯度而不是從注入?yún)^(qū)域至非注入?yún)^(qū)域呈現(xiàn)二元變化。同樣，由離子注入形成的埋入?yún)^(qū)域可能造成一些離子注入發(fā)生在埋入?yún)^(qū)域與進(jìn)行離子注入時(shí)所穿透的表面之間的區(qū)域中。從而，圖中所示的區(qū)域本質(zhì)上是示意性的，所示區(qū)域的形狀并非意圖示出裝置的區(qū)域的實(shí)際形狀，并且并非意圖限制本發(fā)明的范圍。除非另外限定，否則本文所使用的所有短語(包括技術(shù)短語和科學(xué)短語)的含義與本發(fā)明所屬領(lǐng)域的普通技術(shù)人員通常理解的含義相同。還應(yīng)該理解到，常用詞典中所定義的短語應(yīng)該解釋為具有與其在相關(guān)技術(shù)背景中的含義一致的含義，并且除非本文明確定義，否則不應(yīng)該用理想化的或過于刻板的意義來進(jìn)行解釋。下面將參考附圖詳細(xì)說明本發(fā)明的示例性實(shí)施例。圖1是示出根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例的板檢驗(yàn)設(shè)備的正視圖。圖2是示出圖1 中所示的板檢驗(yàn)設(shè)備的工作架部分的俯視圖。圖3是圖1中所示的板檢驗(yàn)設(shè)備的光學(xué)組件的光路的示意圖。參考圖1至圖3，根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例的板檢驗(yàn)設(shè)備100包括工作臺(tái)110、 工作架部120、光學(xué)組件130和光學(xué)組件移動(dòng)部140。工作臺(tái)110是為執(zhí)行檢驗(yàn)板的步驟而準(zhǔn)備的臺(tái)。工作架部120安裝在工作臺(tái)110上，以支撐與檢驗(yàn)?zāi)繕?biāo)(對象)對應(yīng)的板10。工作架部120包括并排布置的至少兩個(gè)工作架。例如，如圖1所示，工作架部120 包括第一工作架122和第二工作架124。第一工作架122和第二工作架IM可以獨(dú)立地接納板10，可以在第一工作架122 和第二工作架IM處獨(dú)立地檢驗(yàn)各個(gè)板10。第一工作架122和第二工作架IM可以從與第一側(cè)相鄰的設(shè)備200接納與檢驗(yàn)?zāi)繕?biāo)對應(yīng)的板10。此外，第一工作架122和第二工作架IM可以將板10傳送到與第二側(cè)相鄰的設(shè)備300處，第二側(cè)與第一側(cè)相反。在圖2中，傳送板的方向被稱為第一方向D1，粗箭頭表示板10的傳送流向。
在示例性實(shí)施例中，與第一側(cè)相鄰的設(shè)備200可以包括用于在板10上形成焊料的絲網(wǎng)印刷機(jī)，與第二側(cè)相鄰的設(shè)備300可以包括將電子部件安裝到板10上的安裝器。例如， 在板檢驗(yàn)設(shè)備100接納經(jīng)絲網(wǎng)印刷機(jī)而形成有焊料的板10之后，板檢驗(yàn)設(shè)備100檢驗(yàn)形成與板10上的焊料的好壞。如果檢驗(yàn)結(jié)果良好，則板檢驗(yàn)設(shè)備100將板10傳送到安裝器，然后安裝器將電子部件安裝到板10上。由于板檢驗(yàn)設(shè)備100包括多個(gè)工作架并且對于各個(gè)工作架獨(dú)立地對板10進(jìn)行檢驗(yàn)，因此可以大幅縮短檢驗(yàn)多個(gè)板10所需的時(shí)間。例如，當(dāng)在第一工作架122處接納并且檢驗(yàn)供檢驗(yàn)的一個(gè)板10時(shí)，在第二工作架IM處提前接納另一板10。于是，當(dāng)完成對上述一個(gè)板10的檢驗(yàn)并且將該板10傳送至與第二側(cè)相鄰的設(shè)備300時(shí)，可以對在第二工作架 124中接納的供檢驗(yàn)的另一板10進(jìn)行檢驗(yàn)。因此，可以縮短傳送板10的時(shí)間。第一工作架122和第二工作架IM可以彼此形成一體，可選地，第一工作架122和第二工作架1 可以彼此獨(dú)立地形成?？梢愿鶕?jù)板10的尺寸使板10在第一工作架122和第二工作架124中沿與第一方向Dl大致垂直的第二方向D2對準(zhǔn)。工作架部120包括目標(biāo)移動(dòng)裝置1 和旋轉(zhuǎn)帶128。目標(biāo)移動(dòng)裝置1 可以將傳送到第一工作架122和第二工作架IM處的板10沿第一方向Dl移動(dòng)到測量位置。在完成對板10的檢驗(yàn)之后，目標(biāo)移動(dòng)裝置1 將板10沿第一方向Dl傳送到與第二側(cè)相鄰的設(shè)備300。在示例性實(shí)施例中，目標(biāo)移動(dòng)裝置1 可以包括驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)126a和旋轉(zhuǎn)軸U6b。 驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)126a驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸126b旋轉(zhuǎn)。旋轉(zhuǎn)帶128隨著旋轉(zhuǎn)軸126b的旋轉(zhuǎn)而旋轉(zhuǎn)，可以在旋轉(zhuǎn)帶1 和旋轉(zhuǎn)軸126b之間形成用于將旋轉(zhuǎn)軸126b的旋轉(zhuǎn)力傳遞到旋轉(zhuǎn)帶1 上的輥(未示出)。為了檢驗(yàn)板10，光學(xué)組件130產(chǎn)生光并且接收被板10反射的光以采集(拍攝)圖像。光學(xué)組件130包括投射部132、圖像采集部134和第一光路改變部136。投射部132布置在板的上方，以將光柵圖案光投射到板10上。投射部132將用于獲取如高度信息、可視度信息等三維信息的光柵圖案光投射到板10上，以便測量形成在板 10上的測量目標(biāo)20的三維形狀。例如，投射部132包括光源132a，其用于產(chǎn)生光；光柵部件132b，其用于將來自光源13 的光轉(zhuǎn)換成光柵圖案光；光柵移動(dòng)裝置132c，其間隔地移動(dòng)(pitch-move)光柵部件132b ；以及投射透鏡132d，其將經(jīng)光柵部件132b轉(zhuǎn)換的光柵圖案光投射到測量目標(biāo) 20上?？梢允褂美鐗弘?PZT)致動(dòng)器等光柵移動(dòng)裝置132c使光柵部件132b每次移動(dòng) 2 π/n并且總共移動(dòng)n-1次，以產(chǎn)生光柵圖案光的相變。“η”為2以上的自然數(shù)。可以基于測量目標(biāo)20沿周向以大致恒定角度彼此間隔開地布置多個(gè)具有上述結(jié)構(gòu)的投射部132，以便提高檢驗(yàn)精度。圖像采集部134通過接收被板10向上反射的光柵圖案光來采集反射圖像。例如， 圖像采集部134可以采用CCD相機(jī)和CMOS相機(jī)中一者，并且可以在圖像采集部134中安裝成像透鏡(未示出)，以將反射圖像形成在相機(jī)上。圖像采集部134布置在投射部132的側(cè)部處。為了確保由于并排布置工作架而變小的空間，光學(xué)組件移動(dòng)部140(下文說明)安裝在光學(xué)組件130的上方，而不是像常規(guī)結(jié)構(gòu)那樣安裝在光學(xué)組件130的側(cè)部。此外，為了使光學(xué)組件130的穩(wěn)定性和精度不會(huì)因安裝在光學(xué)組件130上方的光學(xué)組件移動(dòng)部140而劣化，在投射部132的側(cè)部處設(shè)置圖像采集部134，而不是像常規(guī)結(jié)構(gòu)那樣在與板10大致垂直的上方位置安裝圖像采集部134。如果圖像采集部134像常規(guī)結(jié)構(gòu)那樣安裝在與板10大致垂直的上方位置，則增加了光學(xué)組件 130和光學(xué)組件移動(dòng)部140之間的距離，從而使光學(xué)組件130的穩(wěn)定性和精度劣化。在示例性實(shí)施例中，圖像采集部134可以布置在投射部132的與第二方向D2對應(yīng)的第一側(cè)部處。在圖3中，圖像采集部134布置在投射部132的右側(cè)?？蛇x地，圖像采集部 134可以布置在投射部132的左側(cè)。第一光路改變部136改變被板10向上反射的光柵圖案光的光路，并且將光柵圖案光引導(dǎo)至圖像采集部134，從而使光柵圖案光向下入射到圖像采集部134。在示例性實(shí)施例中，第一光路改變部136包括第一反射鏡136a和第二反射鏡 136b。第一反射鏡136a將被板10向上反射的光柵圖案光水平地反射向投射部132的布置有圖像采集部134的側(cè)部。換句話說，第一反射鏡136a將被板10向上反射的光柵圖案光反射向右方，并且使被反射的光柵圖案光到達(dá)第二反射鏡136b。第二反射鏡136b將被第一反射鏡136a水平反射的光柵圖案光向下反射向圖像采集部134。換句話說，第二反射鏡136b向下反射被第一反射鏡136a反射向右方的光柵圖案光，并且使被反射的光柵圖案光到達(dá)布置在投射部132的側(cè)部處的圖像采集部134。光學(xué)組件移動(dòng)部140布置在光學(xué)組件130的上方，并且與光學(xué)組件130相連以移動(dòng)光學(xué)組件130。在示例性實(shí)施例中，光學(xué)組件移動(dòng)部140包括第一移動(dòng)引導(dǎo)件142和第二移動(dòng)引導(dǎo)件144，第一移動(dòng)引導(dǎo)件142沿第一方向Dl移動(dòng)光學(xué)組件130，第二移動(dòng)引導(dǎo)件144沿第二方向D2移動(dòng)光學(xué)組件130。第二移動(dòng)引導(dǎo)件144可以被引導(dǎo)件支撐體146支撐，引導(dǎo)件支撐體146安裝在工作臺(tái)10的與第二方向D2對應(yīng)的兩側(cè)。光學(xué)組件移動(dòng)部140不是在工作臺(tái)10上方安裝在光學(xué)組件130的側(cè)部，而是布置在光學(xué)組件130的上方并且與光學(xué)組件130相連，因此確保了會(huì)因并排布置工作架而變小的空間。如圖3所示，光學(xué)組件130的投射部132可以傾斜地布置，以便于將光柵圖案光投射到板10上。然而，可選地，可以通過改變光柵圖案光的投射光路來將光柵圖案光設(shè)置為傾斜的。圖4示出圖1中所示的板檢驗(yàn)設(shè)備的光學(xué)組件的示例性實(shí)施例的正視圖。圖5是示出圖4中所示的板檢驗(yàn)設(shè)備的光學(xué)組件的俯視圖。參考圖4和圖5，投射部132可以布置成與板10大致垂直。因此，可以減小投射部 132占據(jù)的空間，以便更有效地利用作業(yè)空間。光學(xué)組件130還可以包括第二光路改變部137，第二光路改變部137改變光路從而使從投射部132產(chǎn)生的光柵圖案光傾斜地入射到板10上。在示例性實(shí)施例中，第二光路改變部137可以包括第三反射鏡137a和第四反射鏡 137b。第三反射鏡137a將向下入射到第三反射鏡137a上的光柵圖案光沿與投射部132大致垂直的方向反射向第四反射鏡137b。第四反射鏡137b將來自第三反射鏡137a的光柵圖案光反射向板10。例如，光學(xué)組件130可以包括an個(gè)投射部132 (m為自然數(shù))，當(dāng)從俯視圖中觀察時(shí)，ail個(gè)投射部132以規(guī)則的間隔分隔開地設(shè)置在與板10大致平行的圓周上。在圖4中， 光學(xué)組件130包括4個(gè)投射部132。在該情況下，第三反射鏡137a布置在各投射部132的下方，第四反射鏡137b布置在第三反射鏡137a的下方。第三反射鏡137a將向下入射到第三反射鏡137a的光柵圖案光沿與投射部132大致垂直的方向反射向布置在投射部132下方并且面向投射部132的第四反射鏡137b，第四反射鏡137b將來自第三反射鏡137a的光柵圖案光反射向板10。因此，投射部132可以與板10大致垂直，并且可以減小投射部132占據(jù)的空間，以便確保會(huì)因并排布置工作架而變小的空間?？梢岳靡粋€(gè)光柵移動(dòng)裝置(未示出)移動(dòng)與ail個(gè)投射部132中的每個(gè)投射部 132對應(yīng)的光柵部件(未示出)。換句話說，在投射部132布置成與板10大致垂直的情況下，與圖3不同，投射部130并排布置，因此，可以使用一個(gè)光柵移動(dòng)裝置移動(dòng)與至少兩個(gè)投射部132對應(yīng)的光柵部件。投射部132、圖像采集部134、第一光路改變部136和第二光路改變部137可以與主體138形成為一體。此外，可以在主體138的下方布置燈安裝部138a，并且燈安裝部138a 可以與主體138形成為一體。燈安裝部138例如可以呈圓形或四邊環(huán)形。在圖4和圖5中， 盡管附圖標(biāo)記136a、136b、137a和137b嚴(yán)格來說分別是指用于將第一反射鏡、第二反射鏡、 第三反射鏡和第四反射鏡固定到主體138上的反射鏡固定部，但是為方便起見，將上述附圖標(biāo)記用于表示第一反射鏡、第二反射鏡、第三反射鏡和第四反射鏡。光學(xué)組件130還可以包括照明部139。照明部139可以提供光以用于板10的初始對準(zhǔn)、設(shè)置檢驗(yàn)區(qū)域等，并且可以提供彩色光以用于獲取測量目標(biāo)20的二維圖像。在示例性實(shí)施例中，照明部139包括驅(qū)動(dòng)板139a，其布置在燈安裝部138a的上表面上；以及光源139b，其布置在驅(qū)動(dòng)板139a的下表面上。驅(qū)動(dòng)板139a對應(yīng)于印刷電路板(PCB)，并且驅(qū)動(dòng)光源139b。光源139b向板10提供光。例如，照明部139可以包括產(chǎn)生白光的熒光燈，或者包括分別產(chǎn)生紅光、綠光和藍(lán)光的紅光發(fā)光二極管(LED)、綠光LED和藍(lán)光LED中的至少一個(gè)。照明部139提供光以用于初始對準(zhǔn)、設(shè)置檢驗(yàn)區(qū)域等，或提供彩色光以用于獲取二維圖像，在這方面與投射光柵圖案光以用于獲取形成在板10上的測量目標(biāo)20的三維尺寸信息的投射部132不相同。與常規(guī)結(jié)構(gòu)不同，由于板檢驗(yàn)設(shè)備100的上述結(jié)構(gòu)特征，照明部139可以與光學(xué)組件130形成為一體。第三反射鏡137a和第四反射鏡137b可以通過反射鏡固定部固定到主體138。照明部139可以布置在反射鏡固定部的下方并且與反射鏡固定部相連，以向板10提供光。板檢驗(yàn)設(shè)備100還可以包括線纜引導(dǎo)部150，該線纜引導(dǎo)部150引導(dǎo)用于板檢驗(yàn)設(shè)備100的各種線纜。在示例性實(shí)施例中，線纜引導(dǎo)部150可以布置在投射部132的第二側(cè)部處，該第二側(cè)部與布置有圖像采集部134的第一側(cè)部相反。在圖4中，線纜引導(dǎo)部150布置在投射部 132的左側(cè)?？蛇x地，如果將圖像采集部134布置在投射部132的左側(cè)，則可以將線纜引導(dǎo)部150布置在投射部132的右側(cè)。
線纜引導(dǎo)部150可以包括線纜鏈(cable chain) 152，并且在光學(xué)組件130和線纜引導(dǎo)部150被光學(xué)組件移動(dòng)部140移動(dòng)時(shí)，相應(yīng)地，線纜鏈152幫助被線纜引導(dǎo)部150引導(dǎo)的線纜平滑地移動(dòng)而不扭絞。如上文所述，板檢驗(yàn)設(shè)備包括多個(gè)工作架，并且各個(gè)工作架獨(dú)立地進(jìn)行板檢驗(yàn)，因此大幅縮短檢驗(yàn)板所需的時(shí)間。此外，用于移動(dòng)包括投射部的光學(xué)組件的光學(xué)組件移動(dòng)部布置在光學(xué)組件的上方，用于接收從投射部產(chǎn)生的光柵圖案光的圖像采集部布置在投射部的側(cè)部，以確保因安裝工作架而變小的空間。顯然，對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員而言，可以在不脫離本發(fā)明主旨和范圍的情況下對本發(fā)明進(jìn)行各種修改和變型。從而，其意圖在于使本發(fā)明涵蓋落入所附權(quán)利要求書及其等同內(nèi)容的范圍內(nèi)的本發(fā)明的修改和變型。本申請要求2010年11月12日提交的韓國專利申請No. 2010-112764的優(yōu)先權(quán)， 該韓國申請的全部內(nèi)容通過引用并入本文。
權(quán)利要求
1.一種檢驗(yàn)設(shè)備，包括工作架部，其用于將板移動(dòng)到測量位置并且支撐所述板； 光學(xué)組件，其包括投射部，其布置在所述板的上方，以將光柵圖案光投射到所述板上； 圖像采集部，其布置在所述投射部的側(cè)部處，以接收被所述板向上反射的光柵圖案光并且采集反射圖像；以及第一光路改變部，其改變被所述板向上反射的光柵圖案光的光路并且將光柵圖案光引導(dǎo)到所述圖像采集部，從而使光柵圖案光向下入射到所述圖像采集部中；以及光學(xué)組件移動(dòng)部，其布置在所述光學(xué)組件的上方，并且與所述光學(xué)組件相連以使所述光學(xué)組件移動(dòng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢驗(yàn)設(shè)備，其中，所述工作架部包括目標(biāo)移動(dòng)裝置，所述目標(biāo)移動(dòng)裝置用于將所述板移動(dòng)到所述測量位置，所述目標(biāo)移動(dòng)裝置使所述板沿第一方向移動(dòng)，所述光學(xué)組件移動(dòng)部使所述光學(xué)組件沿與所述第一方向大致垂直的第二方向移動(dòng)，并且所述圖像采集部布置在所述投射部的與所述第二方向?qū)?yīng)的第一側(cè)部處。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的檢驗(yàn)設(shè)備，還包括線纜引導(dǎo)部，所述線纜引導(dǎo)部布置在所述投射部的第二側(cè)部處，所述第二側(cè)部與所述投射部的布置有所述圖像采集部的第一側(cè)部相反。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的檢驗(yàn)設(shè)備，其中，所述光學(xué)組件移動(dòng)部布置在所述線纜引導(dǎo)部上方并且與所述線纜引導(dǎo)部相連。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢驗(yàn)設(shè)備，其中，所述第一光路改變部包括第一反射鏡，所述第一反射鏡將被所述板向上反射的光柵圖案光水平地反射向所述投射部的布置有所述圖像采集部的側(cè)部。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的檢驗(yàn)設(shè)備，其中，所述第一光路改變部還包括第二反射鏡，所述第二反射鏡將被所述第一反射鏡水平反射的光柵圖案光向下反射向所述圖像采集部。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢驗(yàn)設(shè)備，其中，所述投射部布置成與所述板大致垂直，并且所述光學(xué)組件還包括第二光路改變部，所述第二光路改變部改變光路，從而使得來自所述投射部的光柵圖案光傾斜地入射到所述板上。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的檢驗(yàn)設(shè)備，其中，所述光學(xué)組件包括an個(gè)投射部，m為自然數(shù)，當(dāng)從俯視圖中觀察時(shí)，所述an個(gè)投射部以規(guī)則的間隔分隔開地布置在與所述板大致平行的圓周上，所述第二光路改變部包括布置在投射部中每一個(gè)投射部下方的第三反射鏡和布置在所述第三反射鏡下方的第四反射鏡，并且所述第三反射鏡將向下入射到所述第三反射鏡上的光柵圖案光沿與所述投射部大致垂直的方向反射向布置在所述投射部下方并且面向所述投射部的所述第四反射鏡，所述第四反射鏡將來自所述第三反射鏡的光柵圖案光反射向所述板。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的檢驗(yàn)設(shè)備，其中，所述an個(gè)投射部中的每個(gè)投射部均包括用于產(chǎn)生光的光源和用于將來自所述光源的光轉(zhuǎn)換成光柵圖案光的光柵部件，與所述ail個(gè)投射部中的每個(gè)投射部對應(yīng)的所述光柵部件被一個(gè)光柵移動(dòng)裝置移動(dòng)。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢驗(yàn)設(shè)備，其中，所述光學(xué)組件還包括照明部，所述照明部與所述投射部、所述圖像采集部和所述第一光路改變部相連成一體，所述照明部布置在所述光學(xué)組件的主體的下方以向所述板提供光。
11.一種檢驗(yàn)設(shè)備，包括目標(biāo)移動(dòng)部，其將板移動(dòng)到測量位置； 投射部，其將光柵圖案光投射到所述板上；圖像采集部，其布置在所述投射部的側(cè)部處，以通過接收被所述板反射的光柵圖案光來采集反射圖像；以及光路改變部，其改變被所述板反射的光柵圖案光的光路并且將光柵圖案光引導(dǎo)到所述圖像采集部。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的檢驗(yàn)設(shè)備，還包括并排布置的至少兩個(gè)工作架，其中，每個(gè)工作架均從相鄰的設(shè)備接納板，并且獨(dú)立地支撐所接納的板，并且獨(dú)立地對每個(gè)板進(jìn)行檢驗(yàn)。
13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的檢驗(yàn)設(shè)備，還包括光學(xué)組件移動(dòng)部，所述光學(xué)組件移動(dòng)部布置在所述投射部和所述圖像采集部的上方，以使所述投射部和所述圖像采集部移動(dòng)。
14.根據(jù)權(quán)利要求11所述的檢驗(yàn)設(shè)備，其中，所述光路改變部包括第一反射鏡，其將被所述板向上反射的光柵圖案光水平地反射向所述投射部的布置有所述圖像采集部的側(cè)部；以及第二反射鏡，其將被所述第一反射鏡水平反射的光柵圖案光向下反射向所述圖像采集部。
15.一種檢驗(yàn)設(shè)備，包括投射部，其將光柵圖案光投射到板上；圖像采集部，其接收被所述板反射的光柵圖案光并且采集反射圖像； 光路改變部，其包括至少一個(gè)反射鏡和用于固定所述至少一個(gè)反射鏡的反射鏡固定部，所述至少一個(gè)反射鏡改變光路從而使得來自所述投射部的光柵圖案光傾斜地入射到所述板上；以及照明部，其與所述光路改變部的反射鏡固定部相連，并且布置在所述反射鏡固定部的下方，以向所述板提供光。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的檢驗(yàn)設(shè)備，其中，所述檢驗(yàn)設(shè)備包括an個(gè)投射部，m為自然數(shù)，所述an個(gè)投射部中的每個(gè)投射部均布置成與所述板大致垂直，當(dāng)從俯視圖中觀察時(shí)， 所述an個(gè)投射部以規(guī)則的間隔分隔開地布置在與所述板大致平行的圓周上，所述光路改變部包括布置在投射部中每一個(gè)投射部下方的第三反射鏡和布置在所述第三反射鏡下方的第四反射鏡，并且所述第三反射鏡將向下入射到所述第三反射鏡上的光柵圖案光沿與所述投射部大致垂直的方向反射向布置在所述投射部下方并且面向所述投射部的所述第四反射鏡，所述第四反射鏡將來自所述第三反射鏡的光柵圖案光反射向所述板。
17.根據(jù)權(quán)利要求15所述的檢驗(yàn)設(shè)備，還包括工作架部，其從相鄰的設(shè)備接納板并且將所述板移動(dòng)到測量位置，所述工作架部包括并排布置以支撐所述板的至少兩個(gè)工作架；以及光學(xué)組件移動(dòng)部，其布置在所述投射部和所述圖像采集部的上方并且與所述投射部和所述圖像采集部相連，以使所述投射部和所述圖像采集部移動(dòng)。
全文摘要
本發(fā)明公開一種檢驗(yàn)設(shè)備，包括工作架部、光學(xué)組件和光學(xué)組件移動(dòng)部。工作架部接納板以使板移動(dòng)。工作架部包括并排布置的多個(gè)工作架。光學(xué)組件包括投射部，其布置在板的上方；圖像采集部，其布置在投射部的側(cè)部處，以接收被板向上反射的光柵圖案光并且采集反射圖像；以及光路改變部，其改變被板向上反射的光柵圖案光的光路并且將光柵圖案光引導(dǎo)到圖像采集部，從而使得光柵圖案光向下入射到圖像采集部。光學(xué)組件移動(dòng)部布置在光學(xué)組件的上方并且與光學(xué)組件相連，以使光學(xué)組件移動(dòng)。因此，可以縮短檢驗(yàn)板所需的時(shí)間并且保證檢驗(yàn)板所需的空間。
文檔編號(hào)G01N21/89GK102565078SQ201110360588
公開日2012年7月11日 申請日期2011年11月14日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月12日
發(fā)明者全文榮, 尹相圭, 洪鐘圭, 許湞, 金弘珉 申請人:株式會(huì)社高永科技