專利名稱：測(cè)試集成電路的自適應(yīng)測(cè)試序列的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域，更具體地，涉及測(cè)試集成電路的自適應(yīng)測(cè)試序列。
背景技術(shù)：
在晶圓上形成集成電路，然后分割為管芯。在使用管芯以前，將該管芯封裝為組件。為了確保集成電路的可靠性和性能滿足規(guī)格，測(cè)試封裝管芯。集成電路的測(cè)試進(jìn)一歩包括測(cè)試獨(dú)立管芯，該獨(dú)立管芯可以為片上系統(tǒng)(SoC)管芯。在每個(gè)管芯或組件的測(cè)試中，可以具有需要執(zhí)行的多個(gè)測(cè)試項(xiàng)。通常，使用測(cè)試項(xiàng)的固定序列實(shí)施測(cè)試，并且根據(jù)相同的預(yù)定義固定序列實(shí)施所 有管芯或組件的晶圓針測(cè)的測(cè)試，其中，該管芯或組件具有相同結(jié)構(gòu)，在具有疊層管芯的組件中，通常一個(gè)管芯ー個(gè)管芯地實(shí)施測(cè)試，即，對(duì)于一管芯實(shí)施所有測(cè)試項(xiàng)，并其然后，對(duì)于另一管芯實(shí)施該測(cè)試項(xiàng)。然而，由于傾向于不能通過某些測(cè)試項(xiàng)，所以該方法具有較低的效率。因此，如果在傾向于沒有通過這些測(cè)試項(xiàng)以后實(shí)施這些測(cè)試項(xiàng)，則延長(zhǎng)了找到失敗的測(cè)試項(xiàng)的時(shí)間，并且實(shí)際上浪費(fèi)了傾向于沒有通過測(cè)試項(xiàng)的測(cè)試。為了克服這種缺點(diǎn)，提出了多種方法。在多種方法之一中，在測(cè)試多個(gè)管芯或組件以后，分析對(duì)管芯或組件的晶圓針測(cè)的測(cè)試結(jié)果，并且跳過好像沒有故障的這些測(cè)試項(xiàng)。盡管這種方法導(dǎo)致較低的測(cè)試成本，但是當(dāng)該管芯的確沒有通過所跳過的測(cè)試項(xiàng)時(shí)，這種方法可能導(dǎo)致較高罰款。在這種情況下，由于跳過該測(cè)試項(xiàng)目，所以故障管芯錯(cuò)誤地通過該測(cè)試。在另ー種方法中，如果管芯或組件沒有通過測(cè)試項(xiàng)，則將這種最近沒有通過的測(cè)試項(xiàng)調(diào)節(jié)為測(cè)試序列的優(yōu)先(頂部)測(cè)試項(xiàng)，并且下一管芯的測(cè)試從最近沒有通過的測(cè)試項(xiàng)開始。然而，意識(shí)到，最近沒有通過的測(cè)試項(xiàng)中的某些測(cè)試項(xiàng)可能碰巧是很少不能通過的測(cè)試項(xiàng)。例如，管芯可能沒有通過幾乎一直通過的測(cè)試項(xiàng)。因此，下一管芯和可能下一管芯以后的多個(gè)管芯將從該測(cè)試項(xiàng)開始進(jìn)行測(cè)試。在該測(cè)試項(xiàng)下降至測(cè)試序列的底部以前，可能接受了許多故障管芯。因此，也沒有優(yōu)化該方法的測(cè)試序列。

發(fā)明內(nèi)容
為解決上述問題，本發(fā)明提供了ー種方法，包括根據(jù)第一器件的第一測(cè)試序列測(cè)試包含集成電路的第一器件，其中，第一測(cè)試序列包括多個(gè)排序的測(cè)試項(xiàng)，并且其中，第一測(cè)試序列包括第一測(cè)試項(xiàng)；在測(cè)試具有與第一器件相同的結(jié)構(gòu)的多個(gè)器件時(shí)，基于沒有通過第一測(cè)試項(xiàng)的頻率計(jì)算第一測(cè)試項(xiàng)的測(cè)試優(yōu)先級(jí)；響應(yīng)于第一測(cè)試項(xiàng)的測(cè)試優(yōu)先級(jí)調(diào)節(jié)第一測(cè)試序列，以生成第二測(cè)試序列，其中，第二測(cè)試序列與第一測(cè)試序列不同；以及根據(jù)第二測(cè)試序列測(cè)試與第一器件相同的第二器件。其中，第二測(cè)試序列中的第一測(cè)試項(xiàng)的位置位于第一測(cè)試序列中的第一測(cè)試項(xiàng)的位置之前。其中，位于第二測(cè)試序列中的第一測(cè)試項(xiàng)不是最高級(jí)測(cè)試項(xiàng)。
其中，計(jì)算第一測(cè)試項(xiàng)的測(cè)試優(yōu)先級(jí)的步驟包括將第一權(quán)重和第二權(quán)重分別分配給第一測(cè)試序列中的第一測(cè)試項(xiàng)和第二測(cè)試項(xiàng)，其中，第一權(quán)重與第二權(quán)重不同。其中，使沒有通過第一測(cè)試項(xiàng)的所有器件的計(jì)數(shù)除以所有測(cè)試器件的總計(jì)數(shù)來計(jì)算第一測(cè)試項(xiàng)的測(cè)試優(yōu)先級(jí)，其中，所有測(cè)試器件與第一器件相同。其中，使沒有通過第一測(cè)試項(xiàng)的所有最近管芯的計(jì)數(shù)除以多個(gè)最近測(cè)試的器件的總計(jì)數(shù)來計(jì)算第一測(cè)試項(xiàng)的測(cè)試優(yōu)先級(jí)，其中，沒有通過第一測(cè)試項(xiàng)的所有最近管芯在多個(gè)最近測(cè)試的器件中。該方法進(jìn)ー步包括在完成測(cè)試第一測(cè)試項(xiàng)以后，測(cè)量選自由第一器件的溫度、第一器件的應(yīng)力、及其組合所構(gòu)成的組中的參數(shù)；響應(yīng)于參數(shù)的值，調(diào)節(jié)第一測(cè)試序列從而生成第三測(cè)試序列，其中，第三測(cè)試序列與第一測(cè)試序列不同；以及根據(jù)第三測(cè)試序列執(zhí)行第一器件上的第一測(cè)試序列中的剰余測(cè)試項(xiàng)。其中，第一測(cè)試項(xiàng)為測(cè)試鏈，測(cè)試鏈包括具有固定測(cè)試序列的多個(gè)測(cè)試項(xiàng)。 此外，本發(fā)明還提供了ー種方法，包括根據(jù)第一測(cè)試序列測(cè)試第一器件，其中，測(cè)試第一器件的步驟包括執(zhí)行第一測(cè)試序列中的第一測(cè)試項(xiàng)；以及在執(zhí)行第一測(cè)試項(xiàng)的步驟以后，執(zhí)行第一測(cè)試序列中的第二測(cè)試項(xiàng)，其中，沒有通過第二測(cè)試項(xiàng)；以及在測(cè)試第一器件的步驟以后，根據(jù)與第一測(cè)試序列不同的第二測(cè)試序列測(cè)試與第一器件相同的第二器件，其中，測(cè)試第二器件的步驟包括執(zhí)行第二測(cè)試序列中的最高級(jí)測(cè)試項(xiàng)；在執(zhí)行最高級(jí)測(cè)試項(xiàng)的步驟以后，執(zhí)行第二測(cè)試序列中的第二測(cè)試項(xiàng)；以及在執(zhí)行第二測(cè)試項(xiàng)的步驟以后，執(zhí)行第一測(cè)試項(xiàng)。其中，沒有通過執(zhí)行第二器件的第一測(cè)試項(xiàng)的步驟，并且其中，方法進(jìn)ー步包括在測(cè)試第二器件的步驟以后，根據(jù)第二測(cè)試序列測(cè)試與第一器件相同的第三器件。該方法進(jìn)ー步包括在測(cè)試具有與第一器件相同的結(jié)構(gòu)的多個(gè)器件時(shí)，基于沒有通過第一測(cè)試項(xiàng)和第二測(cè)試項(xiàng)的頻率計(jì)算第一測(cè)試項(xiàng)和第二測(cè)試項(xiàng)的測(cè)試優(yōu)先級(jí)；以及響應(yīng)于第一測(cè)試項(xiàng)和第二測(cè)試項(xiàng)的測(cè)試優(yōu)先級(jí)調(diào)節(jié)第一測(cè)試序列，以生成第二測(cè)試序列。其中，計(jì)算第一測(cè)試項(xiàng)和第二測(cè)試項(xiàng)的測(cè)試優(yōu)先級(jí)的步驟包括將第一權(quán)重和第ニ權(quán)重分別分配給第一測(cè)試項(xiàng)和第二測(cè)試項(xiàng)，并且其中，第一權(quán)重與第二權(quán)重不同。其中，使沒有通過第一測(cè)試項(xiàng)的所有管芯的計(jì)數(shù)除以所有測(cè)試器件的總計(jì)數(shù)來計(jì)算第一測(cè)試項(xiàng)的測(cè)試優(yōu)先級(jí)，其中，所有測(cè)試器件與第一器件相同。其中，使沒有通過第一測(cè)試項(xiàng)的最近管芯的計(jì)數(shù)除以多個(gè)最近測(cè)試的器件的總計(jì)數(shù)來計(jì)算第一測(cè)試項(xiàng)的測(cè)試優(yōu)先級(jí)，其中，沒有通過第一測(cè)試項(xiàng)的最近管芯在多個(gè)最近測(cè)試的器件中，并且其中，所有測(cè)試器件與第一器件相同。該方法進(jìn)ー步包括在完成對(duì)第二器件執(zhí)行第一測(cè)試項(xiàng)以后，測(cè)量選自由第二器件的溫度、第二器件的應(yīng)力、及其組合所構(gòu)成的組中的參數(shù)；響應(yīng)于參數(shù)，調(diào)節(jié)第二測(cè)試序列從而生成第三測(cè)試序列，其中，第三測(cè)試序列與第二測(cè)試序列不同；以及根據(jù)第三測(cè)試序列完成對(duì)第二器件的測(cè)試。此外，還提供了ー種方法，包括根據(jù)第一測(cè)試序列測(cè)試器件，其中，測(cè)試器件的步驟包括執(zhí)行第一測(cè)試序列中的第一測(cè)試項(xiàng)；以及在完成執(zhí)行第一測(cè)試項(xiàng)以后，測(cè)量選自由器件的溫度、器件的應(yīng)力、及其組合所構(gòu)成的組中的參數(shù)；響應(yīng)于參數(shù)調(diào)節(jié)第一測(cè)試序列從而生成第二測(cè)試序列，其中，第二測(cè)試序列與第一測(cè)試序列不同；以及根據(jù)第二測(cè)試序列的順序執(zhí)行第一測(cè)試序列中的剩余測(cè)試項(xiàng)。該方法進(jìn)ー步包括在測(cè)試器件并且執(zhí)行剰余測(cè)試項(xiàng)的步驟以后，使用第二測(cè)試序列測(cè)試與器件相同的額外器件。該方法進(jìn)ー步包括在實(shí)施剩余測(cè)試項(xiàng)的步驟以后，根據(jù)器件的未通過測(cè)試項(xiàng)進(jìn)一步調(diào)節(jié)第二測(cè)試序列從而生成第三測(cè)試序列，其中，第三測(cè)試序列與第二測(cè)試序列不同。其中，調(diào)節(jié)第二測(cè)試序列從而生成第三測(cè)試序列的步驟包括基于未通過測(cè)試項(xiàng)的頻率確定第二測(cè)試序列中的測(cè)試項(xiàng)的測(cè)試優(yōu)先級(jí)；以及根據(jù)測(cè)試項(xiàng)的測(cè)試優(yōu)先級(jí)對(duì)第二測(cè)試序列中的測(cè)試項(xiàng)進(jìn)行排序，從而生成第三測(cè)試序列。其中，通過將不同權(quán)重分配給測(cè)試項(xiàng)中的不同測(cè)試項(xiàng)來實(shí)施確定測(cè)試項(xiàng)的測(cè)試優(yōu)先級(jí)的步驟。


為了更好地理解實(shí)施例及其優(yōu)點(diǎn)，現(xiàn)在將結(jié)合附圖所進(jìn)行的以下描述作為參考，其中圖I示出了ー種器件，該器件為包括堆疊在探針卡盤(prober chuck)上的底部管芯、中間管芯、以及頂部管芯的組件。圖2示出了在圖I中所示的器件的邏輯圖，其中，示出了器件的測(cè)試項(xiàng)。圖3示出了根據(jù)多個(gè)實(shí)施例用于測(cè)試圖I中所示的器件的流程圖；圖4示出了響應(yīng)于器件的測(cè)試結(jié)果而動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)測(cè)試序列；圖5示出了根據(jù)從多種算法中出現(xiàn)的故障可能性來調(diào)節(jié)測(cè)試序列；以及圖6示出了其中嵌入有“測(cè)試鏈中的測(cè)試池”和“測(cè)試池中的測(cè)試鏈”的混合測(cè)試序列。
具體實(shí)施例方式下面，詳細(xì)討論本發(fā)明實(shí)施例的制造和使用。然而，應(yīng)該理解，本實(shí)施例提供了許多可以在各種具體環(huán)境中實(shí)現(xiàn)的可應(yīng)用的發(fā)明概念。所討論的具體實(shí)施例僅僅示出制造和使用本發(fā)明的具體方式，而不用于限制本發(fā)明的范圍。根據(jù)實(shí)施例提供了一種測(cè)試集成電路的方法。討論了實(shí)施例的變型例和操作。在整個(gè)附圖和所描述的實(shí)施例中，將相同的參考標(biāo)號(hào)用于表示相同的元件。使用如圖I所示的示例性組件說明了該實(shí)施例的概念。然而，可以實(shí)現(xiàn)，所測(cè)試的器件可以具有與圖I中所示的不同的結(jié)構(gòu)，并且測(cè)試具有不同結(jié)構(gòu)的位于晶圓上的組件或芯片也在本發(fā)明的范圍內(nèi)。此外，可以將實(shí)施例的測(cè)試方法應(yīng)用于各種類型器件的測(cè)試，例如，獨(dú)立管芯、三維集成電路(3DIC)、片上系統(tǒng)(SoC)等。圖I示出了要測(cè)試的器件10。在示例性實(shí)施例中，器件10為一封裝件，包括封裝在其中的ー個(gè)或多個(gè)管芯。提供了探針卡盤12，并且將該探針卡盤配置為設(shè)置至適當(dāng)溫度，例如，該溫度可以為室溫(25°C )至約140°C。還在多種不同溫度(例如，在0°C以下)下，在測(cè)試器件方面使用通過實(shí)施例所提供的方法。還可以將其他方法(除了使用探針卡盤以夕卜)用于將所測(cè)試的器件冷卻或加熱至不同溫度。在示例性實(shí)施例中，堆疊底部管芯14、中間管芯16、以及頂部管芯18，并且通過探針卡盤12加熱這些管芯。在實(shí)施例中，底部管芯14包括熱傳感器14a，用于感測(cè)溫度；和/或應(yīng)カ傳感器14b,用于感測(cè)管芯14中的應(yīng)力。此外，中間管芯16包括熱傳感器16a和/或應(yīng)カ傳感器16b。頂部管芯18包括熱傳感器18a、和/或應(yīng)カ傳感器18b。因此，可以感測(cè)(測(cè)量)在管芯14、16、以及18的每ー個(gè)中的溫度和/或應(yīng)力。可以通過探針卡20實(shí)施管芯14、16、以及18的測(cè)試，該探針卡包括探針引腳22，用于探測(cè)位于頂部管芯18中的接觸焊盤(未示出)。圖2示出了用于管芯14、16、以及18的測(cè)試項(xiàng)的邏輯圖。管芯14、16、以及18中的每ー個(gè)的測(cè)試可以包括需要執(zhí)行的ー個(gè)或多個(gè)測(cè)試項(xiàng)。在所示的示例性實(shí)施例中，管芯14的測(cè)試包括測(cè)試項(xiàng)Al、A2、以及A3，管芯16的測(cè)試包括測(cè)試項(xiàng)BI、B2、B3以及B4，以及管芯18的測(cè)試包括測(cè)試項(xiàng)C1、C2、C3、C4以及C5。在如圖I所示的組件10的測(cè)試中，逐個(gè)實(shí)施測(cè)試項(xiàng)，并且如果器件10通過所有測(cè)試項(xiàng)，則確定該器件10為優(yōu)良器件。如果沒有通過測(cè)試項(xiàng)中的任何ー個(gè)，則將器件10確定為故障器件，并且器件10的測(cè)試停止。從而更有效地實(shí)施更可能在測(cè)試的早期階段不能通過的測(cè)試項(xiàng)。
圖3示出了用于測(cè)試具有同樣結(jié)構(gòu)的多個(gè)器件(例如圖I中的器件10或者晶圓上的單個(gè)芯片)的流程圖。首先，開始測(cè)試(步驟30)，并且接收用于測(cè)試的第一測(cè)試器件(器件I)。例如，步驟30可以包括將器件I置于如圖I所示的探針卡盤12上，并且將探針卡盤12加熱至期望溫度。接下來，在步驟32中，從測(cè)試序列34中選擇最先(very first)測(cè)試項(xiàng)(下文中，稱作頂部測(cè)試項(xiàng))，其中，以連續(xù)順序列出了要實(shí)施的所有測(cè)試項(xiàng)。根據(jù)通過測(cè)試序列34所指定的順序?qū)嵤y(cè)試項(xiàng)的測(cè)試。圖4示出了示例性序列34，該示例性序列示出了接收器件I時(shí)的測(cè)試序列34 (標(biāo)示為34A)，和隨著測(cè)試進(jìn)程動(dòng)態(tài)改變的測(cè)試序列34。在實(shí)施例中，用于測(cè)試器件I的測(cè)試序列34A可以為逐個(gè)管芯的順序。例如，如圖4所示，首先順序執(zhí)行用于管芯14(圖I)的測(cè)試項(xiàng)Al、A2、以及A3，然后順序?qū)嵤┯糜诠苄?6的測(cè)試項(xiàng)BI至B4，并且然后，進(jìn)ー步順序?qū)嵤y(cè)試項(xiàng)Cl至C5。在備選實(shí)施例中，測(cè)試序列34A可以不是逐個(gè)管芯的順序。例如，可以根據(jù)測(cè)試時(shí)間對(duì)測(cè)試序列34A進(jìn)行排序，其中，需要較短測(cè)試時(shí)間的測(cè)試項(xiàng)列在需要較長(zhǎng)測(cè)試時(shí)間的測(cè)試項(xiàng)之前。備選地，可以根據(jù)故障可能性對(duì)測(cè)試序列34A進(jìn)行排序，其中，具有故障的較高可能性的測(cè)試項(xiàng)列在具有較低的故障可能性的測(cè)試項(xiàng)之前。再次參照?qǐng)D3，然后，實(shí)施用于器件I的頂部測(cè)試項(xiàng)(在圖4所示的示例性實(shí)施例中的測(cè)試項(xiàng)Al)(步驟36)，并且記錄測(cè)試項(xiàng)Al的結(jié)果(步驟38)。在步驟40中，確定是否已經(jīng)執(zhí)行器件I的所有測(cè)試項(xiàng)。如果在要執(zhí)行的測(cè)試序列34中存在剰余測(cè)試項(xiàng)，則流程返回步驟32，從而使得選擇接下來的測(cè)試項(xiàng)(圖4中的A2)，并且對(duì)于接下來的測(cè)試項(xiàng)重復(fù)步驟36和38。重復(fù)包括步驟32至40的循環(huán)直到實(shí)施在測(cè)試序列34中的所有測(cè)試項(xiàng)。如果已經(jīng)實(shí)施器件I的所有測(cè)試項(xiàng)，則生成器件I的數(shù)據(jù)記錄(步驟42)，并且通過來自其他測(cè)試器件的測(cè)試結(jié)果編輯該數(shù)據(jù)記錄。數(shù)據(jù)記錄可以包括性能數(shù)據(jù)，例如驅(qū)動(dòng)電流Idd、偏置電壓Vbias、速度、頻率、功耗等的。該數(shù)據(jù)記錄可以進(jìn)一歩包括測(cè)試時(shí)間、故障位置等。如果所測(cè)試的器件沒有通過測(cè)試，則還可以將該器件置于用于保持故障器件的各個(gè)故障收集器(fail bin)中。在動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)測(cè)試序列34中，評(píng)估數(shù)據(jù)收集器中的數(shù)據(jù)。接下來，在步驟44中，確定是否已經(jīng)測(cè)試了所有器件，并且如果已經(jīng)測(cè)試了所有器件，則該測(cè)試結(jié)束。另外，測(cè)試流程進(jìn)入步驟46，并且根據(jù)器件I的測(cè)試結(jié)果，可以更新或不更新測(cè)試序列34。然后，流程圖返回步驟30，并且選擇接下來要測(cè)試的器件。然后，對(duì)接下來的器件重復(fù)步驟32至46。應(yīng)理解，這時(shí)，可能已經(jīng)更新了測(cè)試序列34，并且因此，該測(cè)試序列與測(cè)試序列34A不同。例如，參照?qǐng)D4，在測(cè)試器件m時(shí)，測(cè)試序列34可能變成34B，該測(cè)試序列為B2、C3、Al、A2、Cl、C2、B1、A3、B4、C4、C5。當(dāng)進(jìn)ー步進(jìn)行該測(cè)試時(shí)，在測(cè)試器件η時(shí)，測(cè)試序列34可變成34C，該測(cè)試序列為Β2、A3、Β4、C4、C5、C3、Al、Α2、Cl、C2、BI。因此，隨著測(cè)試的進(jìn)程動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)測(cè)試序列34。參照?qǐng)D5討論了測(cè)試序列34的動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)。圖5用于描述調(diào)節(jié)測(cè)試序列34的算法。在多個(gè)算法的每ー個(gè)中，對(duì)測(cè)試項(xiàng)中的每一個(gè)計(jì)算測(cè)試優(yōu)先級(jí)。然后，根據(jù)測(cè)試項(xiàng)的測(cè)試優(yōu)先級(jí)，例如，以上升順序或者下降順序，對(duì)測(cè)試序列進(jìn)行排序，據(jù)此限定測(cè)試優(yōu)先級(jí)。在實(shí)施例中，以下降順序?qū)y(cè)試項(xiàng)進(jìn)行排序，其中，將具有更高優(yōu)先級(jí)的測(cè)試項(xiàng)置于具有更低測(cè)試優(yōu)先級(jí)的測(cè)試項(xiàng)的前面。例如，如圖5所示，如果各個(gè)測(cè)試項(xiàng)A、B、C、D、以及E的測(cè)試優(yōu)先級(jí)PA、PB、PC、PD、以及PE的值PA > PB >PC > PD > PE,則將測(cè)試序列排序?yàn)锳、B、C、D、以及E。測(cè)試優(yōu)先級(jí)的計(jì)算可以包括高頻故障(MFF)算法。在該算法中，將測(cè)試項(xiàng)的測(cè)試 優(yōu)先級(jí)P計(jì)算為P =故障計(jì)數(shù) / 測(cè)試器件總數(shù)(Fail_count/Total_Tested_Devices)[等式· I]其中，“故障計(jì)數(shù)”表示在所有測(cè)試器件(測(cè)試器件的總數(shù))中的所有故障器件的計(jì)數(shù)，其中，故障器件沒有通過測(cè)試項(xiàng)。根據(jù)等式1，只要器件的測(cè)試沒有通過測(cè)試項(xiàng)，各個(gè)測(cè)試優(yōu)先級(jí)P就上升，這可能或者沒有導(dǎo)致測(cè)試項(xiàng)的測(cè)試優(yōu)先級(jí)的順序被改變。例如，參照?qǐng)D5，假設(shè)當(dāng)測(cè)試器件m吋，測(cè)試優(yōu)先級(jí)值具有關(guān)系PA > PB > PC > H) > PE,因此，測(cè)試序列為A、B、C、D、以及E。如果測(cè)試器件m沒有通過測(cè)試項(xiàng)C，則這可能導(dǎo)致或不導(dǎo)致測(cè)試項(xiàng)C的優(yōu)先級(jí)PC上升至高于測(cè)試項(xiàng)B的測(cè)試優(yōu)先級(jí)PB。如果測(cè)試優(yōu)先級(jí)PC上升至高于PB但小于PA，則測(cè)試優(yōu)先級(jí)值具有關(guān)系PA > PC > PB > ro > PEo因此，如圖5所示，將測(cè)試序列調(diào)整為A、C、B、D、以及E，并且器件(m+1)的測(cè)試將使用這種經(jīng)調(diào)整的測(cè)試序列。應(yīng)理解，通過使用這種算法，當(dāng)提升測(cè)試項(xiàng)C的順序時(shí)，可能或者沒有提升為測(cè)試序列34的頂部測(cè)試項(xiàng)。圖5還可以用于表示暫時(shí)頻率故障(TFF)的算法。除將測(cè)試項(xiàng)的測(cè)試優(yōu)先級(jí)P的計(jì)算表示為P =最近故障計(jì)數(shù) / 最近測(cè)試器件(Recent_Fail_count/Recent_Tested_Devices) [等式 2]以外，該算法與MFF算法類似，其中，“最近故障計(jì)數(shù)”為在最近采樣的測(cè)試器件(最近測(cè)試器件)中的故障器件的計(jì)數(shù)，其中，故障器件沒有通過測(cè)試項(xiàng)。最近測(cè)試器件可以在已經(jīng)測(cè)試的I個(gè)至所有的測(cè)試器件范圍內(nèi)。在示例性實(shí)施例中，最近測(cè)試器件表示最近測(cè)試的50個(gè)(或大于I的任何其他數(shù)量)器件。通過使用TFF算法，在調(diào)整測(cè)試序列時(shí)考慮最近測(cè)試的器件和相應(yīng)的故障器件，而不計(jì)算更早測(cè)試的器件?？梢詫?duì)測(cè)試優(yōu)先級(jí)的計(jì)算進(jìn)行加權(quán)。例如，測(cè)試項(xiàng)中的每ー個(gè)可以分配O至I范圍內(nèi)的權(quán)重。具有更高權(quán)重的測(cè)試項(xiàng)具有被移動(dòng)至測(cè)試序列的前面的更大機(jī)會(huì)，而具有更低權(quán)重的測(cè)試項(xiàng)具有被移動(dòng)至測(cè)試序列的前面的更小機(jī)會(huì)。測(cè)試項(xiàng)的權(quán)重分配考慮多種因素。例如，花費(fèi)更長(zhǎng)完成時(shí)間的測(cè)試項(xiàng)可以分配更小權(quán)重。另外，需要更多功耗的測(cè)試項(xiàng)可以分配更小權(quán)重，因?yàn)槿绻紫葴y(cè)試這些測(cè)試項(xiàng)，則這些測(cè)試項(xiàng)更可能導(dǎo)致測(cè)試器件的溫度變化，并且因此，影響實(shí)施隨后的測(cè)試項(xiàng)?？梢詫⒂?jì)算高頻故障的權(quán)重(WMFF)的算法的測(cè)試項(xiàng)的測(cè)試優(yōu)先級(jí)P表示為P=(權(quán)數(shù)* 故障計(jì)數(shù))/測(cè)試器件總數(shù)(Weight*Fail_count)/Total_Tested_Devices [等式 3]其中，“權(quán)數(shù)”為測(cè)試項(xiàng)的分配權(quán)重。還可以使用圖5示出WMFF算法。可以將在計(jì)算最近頻率故障的權(quán)重(WTFF)的算法中的測(cè)試項(xiàng)的測(cè)試優(yōu)先級(jí)P表示為P=(權(quán)數(shù)*最近故障計(jì)數(shù))/最近測(cè)試器件((Weight*Recent_Fail_count)/Recent_Tested_Devices) [等式 4]其中，“權(quán)數(shù)”為測(cè)試項(xiàng)的分配權(quán)重。此外，也可以使用圖5示出WTFF算法。 應(yīng)理解，等式I至4中的每ー個(gè)，沒有通過測(cè)試項(xiàng)可能導(dǎo)致或不導(dǎo)致測(cè)試序列被調(diào)整。甚至沒有通過測(cè)試項(xiàng)可能導(dǎo)致該測(cè)試項(xiàng)的測(cè)試優(yōu)先級(jí)上升，如果測(cè)試優(yōu)先級(jí)沒有上升到大于在測(cè)試序列中大于其前面的測(cè)試項(xiàng)的測(cè)試優(yōu)先級(jí)的程度，則測(cè)試序列可能仍保持不變。在圖5和在等式I至4中，測(cè)試序列34的動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)和測(cè)試優(yōu)先級(jí)的計(jì)算基于故障可能性，其中，首先測(cè)試最可能不能通過的測(cè)試項(xiàng)。在測(cè)試序列34的動(dòng)態(tài)調(diào)整和圖3中的測(cè)試項(xiàng)的動(dòng)態(tài)選擇(步驟32)中，還可以考慮額外因素。再次參照?qǐng)D1，如在步驟35中所示的，在執(zhí)行測(cè)試項(xiàng)期間，可以監(jiān)控管芯14、16、以及18的溫度和應(yīng)力。如果溫度和/或應(yīng)カ超過預(yù)先指定的閾值，則可以將要執(zhí)行的某些測(cè)試項(xiàng)動(dòng)態(tài)推動(dòng)至測(cè)試序列34中的相對(duì)較后的位置，從而生成最近的測(cè)試序列，并且根據(jù)最近生成的測(cè)試序列34完成器件的測(cè)試。因此，如圖3和圖4所示，溫度和應(yīng)カ還可能導(dǎo)致測(cè)試序列34的調(diào)整。圖3示出了動(dòng)態(tài)調(diào)整測(cè)試序列34作為步驟35。參照?qǐng)D6，測(cè)試序列34可以為測(cè)試項(xiàng)池(例如Pool- I、Pool- II、Pool- III、Pool-IV、以及Pool- V )和測(cè)試(項(xiàng))鏈的混合。在測(cè)試項(xiàng)池中，可以按任何順序測(cè)試多個(gè)測(cè)試項(xiàng)。因此，在確定時(shí)間測(cè)試序列34時(shí)，例如，可以根據(jù)通過等式I至等式4所獲得的確定結(jié)果，以任何順序測(cè)試在相同測(cè)試項(xiàng)池中的測(cè)試項(xiàng)。測(cè)試項(xiàng)池中的每ー個(gè)可以包括測(cè)試模塊的測(cè)試項(xiàng)，例如，管芯、管芯的功能模塊、包括來自多個(gè)管芯的元件的功能模塊等。例如,在圖6中，Pool- II可以為測(cè)試項(xiàng)池,并且可以以任何順序測(cè)試測(cè)試項(xiàng)Item-A、Item_B、Item-C、Item_D、以及 Item-E。另一方面,測(cè)試項(xiàng)池 Pool- I、Pool_ II、Pool_ III、Pool_ IV、以及Pool- V可以具有固定順序，因而可以形成測(cè)試鏈。在測(cè)試項(xiàng)池的每ー個(gè)的內(nèi)部，可能具有測(cè)試鏈，例如測(cè)試鏈項(xiàng)-I和測(cè)試鏈項(xiàng)_2。因此，圖6示出了測(cè)試池和測(cè)試鏈的混合。在測(cè)試鏈中，必須以固定順序測(cè)試多個(gè)測(cè)試項(xiàng)。當(dāng)某些測(cè)試項(xiàng)具有其他測(cè)試項(xiàng)的依賴性時(shí)，通常發(fā)生這種情況。例如，在圖6的Pool- IV中，測(cè)試量項(xiàng)-I包括測(cè)試項(xiàng)I、J、以及K，并且必須在序列項(xiàng)I、項(xiàng)J、項(xiàng)K中進(jìn)行測(cè)試。類似地，測(cè)試鏈項(xiàng)_2包括測(cè)試項(xiàng)X、Y、以及Ζ，并且必須在序列項(xiàng)X、項(xiàng)Y、以及項(xiàng)Z中進(jìn)行測(cè)試。然而，可以將測(cè)試鏈項(xiàng)-I和測(cè)試鏈項(xiàng)_2中的每ー個(gè)均處理為可以與其他測(cè)試項(xiàng)共用的集成単元。例如,在圖6的Pool- IV中，可以以任何順序測(cè)試測(cè)試項(xiàng)Item-G、Item-E、測(cè)試鏈item-1、以及測(cè)試鏈item-2?？梢允褂脺y(cè)試優(yōu)先級(jí)表示測(cè)試鏈中的每ー個(gè)，并且可以根據(jù)所計(jì)算的測(cè)試優(yōu)先級(jí)對(duì)測(cè)試鏈進(jìn)行排序。
在圖6中，測(cè)試項(xiàng)池中的每ー個(gè)可具有其特有的測(cè)試算法，該測(cè)試算法可能與在其他測(cè)試項(xiàng)池中的算法相同或者不同。例如，測(cè)試項(xiàng)Pool- II可以使用算法A，而測(cè)試項(xiàng)Pool- II可使用算法B。通過使用實(shí)施例，集成電路的測(cè)試方案可以適用于多種因素，其中多種因素影響測(cè)試的成本和可靠性，從而使得可以生產(chǎn)和使用最優(yōu)測(cè)試序列。根據(jù)實(shí)施例，方法包括測(cè)試第一器件和第二器件，這兩種器件彼此相同并且包括集成電路。根據(jù)第一器件的第一測(cè)試序列實(shí)施第一器件的測(cè)試，其中，第一測(cè)試序列包括多個(gè)排序的測(cè)試項(xiàng)，并且其中，第一測(cè)試序列包括測(cè)試項(xiàng)。基于在測(cè)試具有與第一器件相同的結(jié)構(gòu)的多個(gè)器件中，基于沒有通過的測(cè)試項(xiàng)的頻率計(jì)算測(cè)試項(xiàng)的測(cè)試優(yōu)先級(jí)。然后，響應(yīng)于測(cè)試項(xiàng)的測(cè)試優(yōu)先級(jí)，調(diào)節(jié)第一測(cè)試序列從而生成第二測(cè)試序列，其中，第二測(cè)試序列與第ー測(cè)試序列不同。根據(jù)第二測(cè)試序列測(cè)試第二器件。根據(jù)其他實(shí)施例，方法包括根據(jù)第一測(cè)試序列測(cè)試第一器件。測(cè)試第一器件的步驟包括在第一測(cè)試序列中的實(shí)施第一測(cè)試項(xiàng)；并且在實(shí)施第一測(cè)試項(xiàng)的步驟以后，在第一 測(cè)試序列中實(shí)施第二測(cè)試項(xiàng)。第二測(cè)試項(xiàng)沒有通過。方法進(jìn)ー步包括，在測(cè)試第一器件的步驟以后，根據(jù)根據(jù)與第一測(cè)試序列不同的第二測(cè)試序列測(cè)試與第一器件相同的第二器件。測(cè)試第二器件的步驟包括在第二測(cè)試序列中實(shí)施頂部測(cè)試項(xiàng)；在實(shí)施頂部測(cè)試項(xiàng)的步驟以后，在第二測(cè)試序列中實(shí)施第二測(cè)試項(xiàng)；以及在實(shí)施第二測(cè)試項(xiàng)的步驟以后，實(shí)施第一測(cè)試項(xiàng)。仍根據(jù)其他實(shí)施例，方法包括根據(jù)第一測(cè)試序列測(cè)試器件。測(cè)試器件的步驟包括在第一測(cè)試序列中實(shí)施第一測(cè)試項(xiàng)，并且在完成實(shí)施第一測(cè)試項(xiàng)以后，測(cè)量選自由器件的溫度、器件的應(yīng)力、以及其組合所構(gòu)成的組的參數(shù)。該方法進(jìn)ー步包括響應(yīng)于該參數(shù)調(diào)節(jié)第ー測(cè)試序列從而生成第二測(cè)試序列，其中，第二測(cè)試序列與第一測(cè)試序列不同；以及根據(jù)第ニ測(cè)試序列的順序?qū)嵤┰诘谝粶y(cè)試序列中的剩余測(cè)試項(xiàng)。盡管已經(jīng)詳細(xì)地描述了本實(shí)施例及其優(yōu)勢(shì)，但應(yīng)該理解，可以在不背離所附權(quán)利要求限定的本實(shí)施例主g和范圍的情況下，做各種不同的改變，替換和更改。而且，本申請(qǐng)的范圍并不僅限于本說明書中描述的エ藝、機(jī)器、制造、材料組分、裝置、方法和步驟的特定實(shí)施例。作為本領(lǐng)域普通技術(shù)人員應(yīng)理解，通過本發(fā)明，現(xiàn)有的或今后開發(fā)的用于執(zhí)行與本發(fā)明所述相應(yīng)實(shí)施例基本相同的功能或獲得基本相同結(jié)果的エ藝、機(jī)器、制造，材料組分、裝置、方法或步驟根據(jù)本發(fā)明可以被使用。因此，所附權(quán)利要求應(yīng)該包括在這樣的エ藝、機(jī)器、制造、材料組分、裝置、方法或步驟的范圍內(nèi)。此外，每條權(quán)利要求構(gòu)成單獨(dú)的實(shí)施例，并且多個(gè)權(quán)利要求和實(shí)施例的組合在本發(fā)明的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.ー種方法，包括 根據(jù)第一器件的第一測(cè)試序列測(cè)試包含集成電路的所述第一器件，其中，所述第一測(cè)試序列包括多個(gè)排序的測(cè)試項(xiàng)，并且其中，所述第一測(cè)試序列包括第一測(cè)試項(xiàng)； 在測(cè)試具有與所述第一器件相同的結(jié)構(gòu)的多個(gè)器件時(shí)，基于沒有通過第一測(cè)試項(xiàng)的頻率計(jì)算第一測(cè)試項(xiàng)的測(cè)試優(yōu)先級(jí)； 響應(yīng)于第一測(cè)試項(xiàng)的測(cè)試優(yōu)先級(jí)調(diào)節(jié)所述第一測(cè)試序列，以生成第二測(cè)試序列，其中，所述第二測(cè)試序列與所述第一測(cè)試序列不同；以及 根據(jù)所述第二測(cè)試序列測(cè)試與所述第一器件相同的第二器件。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的方法，其中，所述第二測(cè)試序列中的第一測(cè)試項(xiàng)的位置位于所述第一測(cè)試序列中的第一測(cè)試項(xiàng)的位置之前。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的方法，其中，位于所述第二測(cè)試序列中的第一測(cè)試項(xiàng)不是最高級(jí)測(cè)試項(xiàng)。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的方法，其中，計(jì)算第一測(cè)試項(xiàng)的測(cè)試優(yōu)先級(jí)的步驟包括將第一權(quán)重和第二權(quán)重分別分配給所述第一測(cè)試序列中的第一測(cè)試項(xiàng)和第二測(cè)試項(xiàng)，其中，所述第一權(quán)重與所述第二權(quán)重不同。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的方法，進(jìn)ー步包括 在完成測(cè)試第一測(cè)試項(xiàng)以后，測(cè)量選自由所述第一器件的溫度、所述第一器件的應(yīng)力、及其組合所構(gòu)成的組中的參數(shù)； 響應(yīng)于所述參數(shù)的值，調(diào)節(jié)第一測(cè)試序列從而生成第三測(cè)試序列，其中，所述第三測(cè)試序列與所述第一測(cè)試序列不同；以及 根據(jù)所述第三測(cè)試序列執(zhí)行所述第一器件上的所述第一測(cè)試序列中的剰余測(cè)試項(xiàng)。
6.ー種方法，包括 根據(jù)第一測(cè)試序列測(cè)試第一器件，其中，測(cè)試所述第一器件的步驟包括 執(zhí)行所述第一測(cè)試序列中的第一測(cè)試項(xiàng)；以及 在執(zhí)行第一測(cè)試項(xiàng)的步驟以后，執(zhí)行所述第一測(cè)試序列中的第二測(cè)試項(xiàng)，其中，沒有通過第二測(cè)試項(xiàng)；以及 在測(cè)試所述第一器件的步驟以后，根據(jù)與所述第一測(cè)試序列不同的第二測(cè)試序列測(cè)試與所述第一器件相同的第二器件，其中，測(cè)試所述第二器件的步驟包括 執(zhí)行所述第二測(cè)試序列中的最高級(jí)測(cè)試項(xiàng)； 在執(zhí)行所述最高級(jí)測(cè)試項(xiàng)的步驟以后，執(zhí)行所述第二測(cè)試序列中的第二測(cè)試項(xiàng)；以及 在執(zhí)行第二測(cè)試項(xiàng)的步驟以后，執(zhí)行第一測(cè)試項(xiàng)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，進(jìn)ー步包括 在測(cè)試具有與所述第一器件相同的結(jié)構(gòu)的多個(gè)器件時(shí)，基于沒有通過第一測(cè)試項(xiàng)和第ニ測(cè)試項(xiàng)的頻率計(jì)算第一測(cè)試項(xiàng)和第二測(cè)試項(xiàng)的測(cè)試優(yōu)先級(jí)；以及 響應(yīng)于第一測(cè)試項(xiàng)和第二測(cè)試項(xiàng)的測(cè)試優(yōu)先級(jí)調(diào)節(jié)所述第一測(cè)試序列，以生成所述第ニ測(cè)試序列， 其中，計(jì)算第一測(cè)試項(xiàng)和第二測(cè)試項(xiàng)的測(cè)試優(yōu)先級(jí)的步驟包括將第一權(quán)重和第二權(quán)重分別分配給第一測(cè)試項(xiàng)和第二測(cè)試項(xiàng)，并且其中，所述第一權(quán)重與所述第二權(quán)重不同。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，進(jìn)ー步包括在完成對(duì)所述第二器件執(zhí)行所述第一測(cè)試項(xiàng)以后，測(cè)量選自由所述第二器件的溫度、所述第二器件的應(yīng)力、及其組合所構(gòu)成的組中的參數(shù)； 響應(yīng)于所述參數(shù)，調(diào)節(jié)所述第二測(cè)試序列從而生成第三測(cè)試序列，其中，所述第三測(cè)試序列與所述第二測(cè)試序列不同；以及 根據(jù)所述第三測(cè)試序列完成對(duì)所述第二器件的測(cè)試。
9.ー種方法，包括 根據(jù)第一測(cè)試序列測(cè)試器件，其中，測(cè)試所述器件的步驟包括 執(zhí)行所述第一測(cè)試序列中的第一測(cè)試項(xiàng)；以及 在完成執(zhí)行第一測(cè)試項(xiàng)以后，測(cè)量選自由所述器件的溫度、所述器件的應(yīng)力、及其組合所構(gòu)成的組中的參數(shù)； 響應(yīng)于所述參數(shù)調(diào)節(jié)所述第一測(cè)試序列從而生成第二測(cè)試序列，其中，所述第二測(cè)試序列與所述第一測(cè)試序列不同；以及 根據(jù)所述第二測(cè)試序列的順序執(zhí)行所述第一測(cè)試序列中的剰余測(cè)試項(xiàng)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，進(jìn)ー步包括在實(shí)施所述剩余測(cè)試項(xiàng)的步驟以后，根據(jù)所述器件的未通過測(cè)試項(xiàng)進(jìn)ー步調(diào)節(jié)所述第二測(cè)試序列從而生成第三測(cè)試序列，其中，所述第三測(cè)試序列與所述第二測(cè)試序列不同， 其中，調(diào)節(jié)所述第二測(cè)試序列從而生成所述第三測(cè)試序列的步驟包括 基于未通過所述測(cè)試項(xiàng)的頻率確定所述第二測(cè)試序列中的測(cè)試項(xiàng)的測(cè)試優(yōu)先級(jí)；以及根據(jù)所述測(cè)試項(xiàng)的所述測(cè)試優(yōu)先級(jí)對(duì)所述第二測(cè)試序列中的測(cè)試項(xiàng)進(jìn)行排序，從而生成所述第三測(cè)試序列， 其中，通過將不同權(quán)重分配給所述測(cè)試項(xiàng)中的不同測(cè)試項(xiàng)來實(shí)施確定所述測(cè)試項(xiàng)的測(cè)試優(yōu)先級(jí)的步驟。
全文摘要
一種涉及測(cè)試集成電路的自適應(yīng)測(cè)試序列方法包括彼此相同并且包括集成電路的第一器件和第二器件。根據(jù)第一器件的第一測(cè)試序列實(shí)施第一器件的測(cè)試，其中，第一測(cè)試序列包括多個(gè)排序測(cè)試項(xiàng)，并且其中，第一測(cè)試序列包括測(cè)試項(xiàng)。在測(cè)試具有與第一器件相同的結(jié)構(gòu)的多個(gè)器件中基于沒有通過測(cè)試項(xiàng)的頻率計(jì)算測(cè)試項(xiàng)的測(cè)試優(yōu)先級(jí)。然后，響應(yīng)于測(cè)試項(xiàng)的測(cè)試優(yōu)先級(jí)調(diào)節(jié)第一測(cè)試序列從而生成第二測(cè)試序列，其中，第二測(cè)試序列與第一測(cè)試序列不同。根據(jù)第二測(cè)試序列檢測(cè)第二器件。
文檔編號(hào)G01R31/00GK102692569SQ20111031789
公開日2012年9月26日 申請(qǐng)日期2011年10月18日 優(yōu)先權(quán)日2011年3月25日
發(fā)明者彭經(jīng)能, 林鴻志, 王敏哲, 陳俊晟, 陳顥 申請(qǐng)人:臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司