專利名稱：Led晶粒點(diǎn)測機(jī)的針偏檢測系統(tǒng)及方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明關(guān)于一種LED晶粒點(diǎn)測機(jī)的針偏檢測系統(tǒng)及方法，尤其是一種用于測試 LED晶粒點(diǎn)測機(jī)的針偏狀況的檢測系統(tǒng)及方法。
背景技術(shù)：
LED (Light emitting diode)具有耗電量小、壽命長、反應(yīng)速度快的特性，在近幾年被譽(yù)為下一個(gè)世代的照明元件，其產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)分為上、中、下游，上游將原料制作成磊晶片后，中游負(fù)責(zé)整合成LED晶圓，再將進(jìn)行晶粒切割成單一晶粒(LEDchip die)，最后在下游將晶粒封裝成各式不同型態(tài)的LED(如SMD、Lamp式的LED)；而LED的發(fā)光效率lm/Watt — 直是各家廠商競爭的指標(biāo)之一，即表示給予多少的電能可以轉(zhuǎn)換成多少光能的能力；由于LED(Light emitting diode)發(fā)光效率關(guān)系到了 LED的各種設(shè)計(jì)與品質(zhì)優(yōu)劣，故產(chǎn)業(yè)鏈中LED的光學(xué)量測便是很重要的一環(huán)，LED在每一階段的制程，皆需由量測儀器來對產(chǎn)品做光學(xué)參數(shù)上的量測，在LED產(chǎn)線上不論是在裸晶段與封裝段的全光通量與色度的量測標(biāo)準(zhǔn)與設(shè)備將會扮演重要的角色；而習(xí)用的點(diǎn)測裝置利用兩支對精細(xì)的探針作為接點(diǎn)與傳輸用回路的一部分，進(jìn)行點(diǎn)觸LED晶粒上的導(dǎo)電端(兩個(gè)電極)；因此進(jìn)行檢測時(shí)，以預(yù)定的頻率點(diǎn)觸、導(dǎo)通、點(diǎn)亮發(fā)光二極體晶粒發(fā)出光訊號供檢測，重復(fù)此步驟至對應(yīng)移動(dòng)檢測下一待測發(fā)光二極體晶粒。然而，由于該晶粒點(diǎn)測機(jī)臺的相關(guān)構(gòu)件經(jīng)長期重復(fù)高頻運(yùn)作，容易因?yàn)檩p微的構(gòu)件移位或是其他的問題，而使得檢測過程中發(fā)生探針對準(zhǔn)發(fā)光二極體晶粒的位置產(chǎn)生偏移，例如上下排左右位置偏移、一致性偏右或左、掃描后(或移至CCD，并按暫停)移至點(diǎn)測位置就上下偏移與區(qū)域性偏移邊緣部份位置偏移或是邊緣部份位置偏移；由于晶粒點(diǎn)測機(jī)臺是持續(xù)不斷地進(jìn)行檢測LED晶粒，因此機(jī)臺作業(yè)人員僅能于測試暫停時(shí)，使用目鏡具有刻度的顯微鏡進(jìn)行人工視覺觀察，若是針痕位移大于15um，則才能夠判斷確實(shí)有針偏的情況發(fā)生；因此，由圖IA及圖IB可知，正常針痕位置如圖IA所示，是指兩支探針的針痕41， 42正好位于該LED晶粒31的兩個(gè)電極311，312中央點(diǎn)，而具有異常偏移針痕位置如圖IB 所示，是指兩支探針無法對準(zhǔn)該LED晶粒31的兩個(gè)電極中央點(diǎn)311，312，故該兩支探針的針痕41，42會往旁邊偏移；因此若是單純由機(jī)臺作業(yè)人員的人工視覺觀察的方式才能夠判斷是否有針偏的情況發(fā)生，將很容易會導(dǎo)致晶粒檢測結(jié)果的嚴(yán)重謬誤發(fā)生。因此，若能提供一種LED晶粒點(diǎn)測機(jī)的針偏檢測系統(tǒng)及方法，能夠?qū)l(fā)生針偏的次數(shù)進(jìn)行累積計(jì)數(shù)與顯示，以輔助機(jī)臺作業(yè)人員進(jìn)行針偏位移失效總數(shù)的統(tǒng)計(jì)，故能夠替代人工視覺判定其針偏失效的機(jī)制，以使機(jī)臺作業(yè)人員能夠探究其針偏的根本原因以進(jìn)行分析，以其能夠預(yù)防及改善對策，應(yīng)為一最佳解決方案。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的即在于提供一種LED晶粒點(diǎn)測機(jī)的針偏檢測系統(tǒng)及方法，能夠?qū)l(fā)生針偏的次數(shù)進(jìn)行累積計(jì)數(shù)與顯示針偏次數(shù)，以輔助機(jī)臺作業(yè)人員進(jìn)行針偏位移失效總數(shù)的統(tǒng)計(jì)。本發(fā)明的又一目的即在于提供一種LED晶粒點(diǎn)測機(jī)的針偏檢測系統(tǒng)及方法，取代舊有人工視覺判定其針偏失效的方式，以使機(jī)臺作業(yè)人員能夠更有效地預(yù)防及采取改善對策。可達(dá)成上述發(fā)明目的的一種LED晶粒點(diǎn)測機(jī)的針偏檢測系統(tǒng)及方法，包含一點(diǎn)測機(jī)及一計(jì)數(shù)顯示裝置，其中該點(diǎn)測機(jī)至少具有一用以置放至少一片LED晶圓的承載位移裝置及兩支用以與該LED晶圓上該些LED晶粒電氣接觸的測試探針，而該計(jì)數(shù)顯示裝置與該兩支測試探針電性相接，故能夠形成一針偏檢測回路，以計(jì)數(shù)顯示該兩支測試探針于該LED 晶圓上的測試探針偏移次數(shù)；因此針偏檢測方法由該兩支測試探針依序點(diǎn)測LED晶圓上的該些LED晶粒，并在持續(xù)位移點(diǎn)測的情況下，能夠藉由檢測該兩支測試探針是否與該LED晶粒接觸范圍形成導(dǎo)通回路，并持續(xù)累積未接觸導(dǎo)通的次數(shù)，以作為探針偏移的總次數(shù)。更具體的說，所述LED晶粒表面具有至少一個(gè)電極，并以該些電極與該兩支測試探針接觸。更具體的說，所述計(jì)數(shù)顯示裝置由一顯示裝置及一針偏計(jì)數(shù)電路所組成，其中該針偏計(jì)數(shù)電路藉由電性檢測以累積該兩支測試探針于該LED晶圓上的探針偏移次數(shù)，并由該顯示裝置進(jìn)行顯示。更具體的說，所述兩支測試探針與該計(jì)數(shù)顯示裝置形成一針偏檢測回路，因此該計(jì)數(shù)顯示裝置能夠藉由電性檢測該兩支測試探針是否與該LED晶粒的電極接觸導(dǎo)通，并累積及顯示未接觸導(dǎo)通的次數(shù)。本發(fā)明的有益效果包括，所提供的LED晶粒點(diǎn)測機(jī)的針偏檢測系統(tǒng)及方法，與其他應(yīng)用技術(shù)相互比較時(shí)，更具備下列優(yōu)點(diǎn)1.本發(fā)明能夠?qū)l(fā)生針偏的次數(shù)進(jìn)行累積計(jì)數(shù)與顯示針偏次數(shù)，以輔助機(jī)臺作業(yè)人員進(jìn)行針偏位移失效總數(shù)的統(tǒng)計(jì)。2.本發(fā)明能夠避免舊有以人工視覺判定其針偏失效的方式所具有的缺點(diǎn)，使機(jī)臺作業(yè)人員能夠即時(shí)掌握針偏情況，并能夠進(jìn)一步探究其根本原因分析，以其能夠更有效地預(yù)防及采取改善對策。有關(guān)于本發(fā)明的前述及其他技術(shù)內(nèi)容、特點(diǎn)與功效，在以下配合參考圖式的較佳實(shí)施例的詳細(xì)說明中，將可清楚的呈現(xiàn)。


圖IA 為正常針痕位置示意圖；圖IB 為異常偏移針痕位置示意圖；圖2 為本發(fā)明一種LED晶粒點(diǎn)測機(jī)的針偏檢測系統(tǒng)及方法的整體架構(gòu)示意圖；圖3 為本發(fā)明一種LED晶粒點(diǎn)測機(jī)的針偏檢測系統(tǒng)及方法的整體結(jié)構(gòu)示意圖；圖4A 為本發(fā)明一種LED晶粒點(diǎn)測機(jī)的針偏檢測系統(tǒng)及方法的探針正常狀態(tài)示意圖；以及圖4B 為本發(fā)明一種LED晶粒點(diǎn)測機(jī)的針偏檢測系統(tǒng)及方法的探針偏移狀態(tài)示意圖。
具體實(shí)施例方式請參閱圖2及圖3為本發(fā)明一種LED晶粒點(diǎn)測機(jī)的針偏檢測系統(tǒng)及方法的整體架構(gòu)示意圖及整體結(jié)構(gòu)示意圖，由圖中可知，該LED晶粒點(diǎn)測機(jī)的針偏檢測系統(tǒng)用以檢測LED 晶圓上的多個(gè)LED晶粒，而該LED晶粒點(diǎn)測機(jī)的針偏檢測系統(tǒng)包含一點(diǎn)測機(jī)1，至少具有一用以置放至少一片LED晶圓3的承載位移裝置11及兩支用以與該LED晶圓3上該些LED晶粒31電氣接觸的測試探針12 ；一計(jì)數(shù)顯示裝置2，分別與該兩支測試探針12電性相接，以形成一針偏檢測回路， 用以計(jì)數(shù)顯示該兩支測試探針12于該些LED晶粒31上點(diǎn)測時(shí)的測試探針偏移數(shù)；因此，當(dāng)該點(diǎn)測機(jī)1持續(xù)位移該LED晶圓3的LED晶粒31的情況下，其針偏檢測方法能夠由該兩支測試探針12依序點(diǎn)測置放于該承載位移裝置11的LED晶圓3上的該些 LED晶粒31，能夠進(jìn)行檢測該兩支測試探針12與該LED晶粒31接觸范圍是否形成導(dǎo)通回路，并持續(xù)累積未接觸導(dǎo)通的次數(shù)，以作為該兩支測試探針12偏移的總次數(shù)。以此一較佳實(shí)施例來說，本發(fā)明用于探針校準(zhǔn)工作上，僅針對有無針偏進(jìn)行較準(zhǔn)，以利在點(diǎn)測機(jī)1在出廠前或是出廠后的單純校驗(yàn)工作上，通過該LED晶粒表面具有兩個(gè)電極311、312的其中之一，并選擇以該些電極311、312的其一與該兩支測試探針接觸。值得一提的是，該計(jì)數(shù)顯示裝置2由一顯示裝置21及一針偏計(jì)數(shù)電路22所組成， 其中該針偏計(jì)數(shù)電路22藉由通電檢測以累積該兩支測試探針12于該LED晶圓3上的偏移次數(shù)，并由該顯示裝置21進(jìn)行顯示。值得一提的是，該兩支測試探針12與該計(jì)數(shù)顯示裝置2形成一針偏檢測回路，因此該計(jì)數(shù)顯示裝置2能夠藉由電性檢測該兩支測試探針12是否與該LED晶粒31接觸導(dǎo)通， 并累積及顯示未接觸導(dǎo)通的次數(shù)。請參閱圖4A及圖4B為本發(fā)明LED晶粒點(diǎn)測機(jī)的針偏檢測系統(tǒng)的探針正常狀態(tài)示意圖及探針偏移狀態(tài)示意圖，由圖4A可知，該兩支測試探針12的針痕41，42若能夠位于同一個(gè)電極311上時(shí)，該計(jì)數(shù)顯示裝置2的針偏計(jì)數(shù)電路22進(jìn)行電性檢測該LED晶粒31，會導(dǎo)致該LED晶粒31與兩支測試探針12回路導(dǎo)通，因此該針偏計(jì)數(shù)電路22能夠判斷該兩支測試探針12并沒有探針偏移的情況發(fā)生，故該計(jì)數(shù)顯示裝置2所累積的數(shù)量為0 ；反之，如圖4B所示，當(dāng)該兩支測試探針12的針痕41，42若位于不恰當(dāng)?shù)奈恢蒙蠒r(shí) (任一支測試探針12插偏或是插空，使得兩支測試探針12的針痕41，42無法位于同一個(gè)電極311上)，該計(jì)數(shù)顯示裝置2的針偏計(jì)數(shù)電路22進(jìn)行電性檢測該LED晶粒31，會導(dǎo)致該 LED晶粒31與兩支測試探針12回路不導(dǎo)通，因此該針偏計(jì)數(shù)電路22判斷該兩支測試探針 12有探針偏移的情況發(fā)生，故該計(jì)數(shù)顯示裝置2所會累積的數(shù)量為1，并會于該計(jì)數(shù)顯示裝置2上累積增加1，以告知機(jī)臺作業(yè)人員有探針偏移的情況發(fā)生。藉由以上較佳具體實(shí)施例的詳述，希望能更加清楚描述本發(fā)明的特征與精神，而并非以上述所揭露的較佳具體實(shí)施例來對本發(fā)明的范疇加以限制。相反地，其目的是希望能涵蓋各種改變及具相等性的安排于本發(fā)明所欲申請的專利范圍的范疇內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種LED晶粒點(diǎn)測機(jī)的針偏檢測系統(tǒng)，用以檢測LED晶圓上的多個(gè)LED晶粒，其特征在于，包括有一點(diǎn)測機(jī)，至少具有一用以置放至少一片LED晶圓的承載位移裝置及兩支用以與該 LED晶圓上該些LED晶粒電氣接觸的測試探針；以及一計(jì)數(shù)顯示裝置，分別與該兩支測試探針電性相接，以形成一針偏檢測回路，用以計(jì)數(shù)顯示該兩支測試探針于該些LED晶粒上點(diǎn)測時(shí)的測試探針偏移數(shù)。
2.如權(quán)利要求1所述LED晶粒點(diǎn)測機(jī)的針偏檢測系統(tǒng)，其特征在于，該些LED晶粒具有至少一電極，該電極分別與該兩支測試探針接觸。
3.如權(quán)利要求1所述LED晶粒點(diǎn)測機(jī)的針偏檢測系統(tǒng)，其特征在于，該計(jì)數(shù)顯示裝置包括一顯示裝置及一針偏計(jì)數(shù)電路，其中該針偏計(jì)數(shù)電路藉由通電檢測以累積該兩支測試探針于該LED晶圓上的探針偏移次數(shù)，并由該顯示裝置進(jìn)行顯示。
4.一種LED晶粒點(diǎn)測機(jī)的針偏檢測方法，其特征在于，通過一用以置放至少一片晶圓的承載位移裝置及兩支用以與該晶圓上該些LED晶粒電氣接觸的測試探針，以及一與該兩支測試探針電性相接的計(jì)數(shù)顯示裝置以形成一針偏檢測回路，用以計(jì)數(shù)顯示該兩支測試探針于該LED晶圓上的測試探針偏移次數(shù)，該方法包括由該兩支測試探針依序點(diǎn)測晶圓上的該些LED晶粒，在持續(xù)位移點(diǎn)測的情況下，藉由檢測該兩支測試探針是否與該LED晶粒接觸范圍形成導(dǎo)通回路，并由計(jì)數(shù)顯示裝置持續(xù)累積未接觸導(dǎo)通的次數(shù)，以作為探針偏移的總次數(shù)。
5.如權(quán)利要求4所述LED晶粒點(diǎn)測機(jī)的針偏檢測方法，其特征在于，該兩支測試探針與該計(jì)數(shù)顯示裝置形成一針偏檢測回路，因此該計(jì)數(shù)顯示裝置能夠藉由電性檢測該兩支測試探針是否與該LED晶粒形成導(dǎo)通回路，并累積及顯示未接觸導(dǎo)通的次數(shù)。
全文摘要
一種LED晶粒點(diǎn)測機(jī)的針偏檢測系統(tǒng)及方法，包含一點(diǎn)測機(jī)及一計(jì)數(shù)顯示裝置，其中該點(diǎn)測機(jī)至少具有一用以置放至少一片LED晶圓的承載位移裝置及兩支用以與該LED晶圓上該些LED晶粒電氣接觸的測試探針，而該計(jì)數(shù)顯示裝置與該兩支測試探針電性相接，故能夠形成一針偏檢測回路，用以計(jì)數(shù)顯示該兩支測試探針于該LED晶圓上的測試探針偏移次數(shù)；因此該兩支測試探針能夠依序點(diǎn)測LED晶圓上的該些LED晶粒，在持續(xù)位移點(diǎn)測的情況下，能夠藉由檢測該兩支測試探針是否與該LED晶粒接觸范圍形成導(dǎo)通回路，并持續(xù)累積未接觸導(dǎo)通的次數(shù)，以作為探針偏移的總次數(shù)。本發(fā)明能夠?qū)l(fā)生針偏的次數(shù)進(jìn)行累積計(jì)數(shù)與顯示針偏次數(shù)，以輔助機(jī)臺作業(yè)人員進(jìn)行針偏位移失效總數(shù)的統(tǒng)計(jì)。
文檔編號G01R31/26GK102254220SQ201110091898
公開日2011年11月23日 申請日期2011年4月13日 優(yōu)先權(quán)日2011年4月13日
發(fā)明者曾一士, 林晉生, 白智亮 申請人:致茂電子(蘇州)有限公司